Vakuumventil mit Drucksensor

Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil mit wenigstens einem Drucksensor und ein ebensolches Verfahren.

Allgemein sind Vakuumventile zur Regelung eines Volumenoder Massenstroms und/oder zum im Wesentlichen gasdichten Schliessen eines Fliesswegs, der durch eine in einem

Ventilgehäuse ausgeformte Öffnung führt, in

unterschiedlichen Ausführungsformen aus dem Stand der Technik bekannt und kommen insbesondere bei

Vakuumkammersystemen im Bereich der IC-, Halbleiter- oder Substratfertigung, die in einer geschützten Atmosphäre möglichst ohne das Vorhandensein verunreinigender Partikel stattfinden muss, zum Einsatz. Derartige

Vakuumkammersysteme umfassen insbesondere mindestens eine zur Aufnahme von zu bearbeitenden oder herzustellenden Halbleiterelementen oder Substraten vorgesehene,

evakuierbare Vakuumkammer, die mindestens eine

Vakuumkammeröffnung besitzt, durch welche die

Halbleiterelemente oder anderen Substrate in die und aus der Vakuumkammer führbar sind, sowie mindestens eine

Vakuumpumpe zum Evakuieren der Vakuumkammer. Beispielsweise durchlaufen in einer Fertigungsanlage für Halbleiter-Wafer oder Flüssigkristall-Substrate die hochsensiblen

Halbleiter- oder Flüssigkristall-Elemente sequentiell mehrere Prozess-Vakuumkammern, in denen die innerhalb der Prozess-Vakuumkammern befindlichen Teile mittels jeweils einer Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet werden. Sowohl während des Bearbeitungsprozesses innerhalb der Prozess- Vakuumkammern, als auch während des Transports von Kammer zu Kammer müssen sich die hochsensiblen Halbleiterelemente oder Substrate stets in geschützter Atmosphäre - insbesondere in luftleerer Umgebung - befinden.

Hierfür kommen zum einen Peripherieventile zum Öffnen und Schliessen einer Gaszu- oder -abfuhr und zum anderen

Transferventile zum Öffnen und Schliessen der

Transferöffnungen der Vakuumkammern für das Ein- und

Ausführen der Teile zum Einsatz.

Die von Halbleiterteilen durchlaufenen Vakuumventile werden aufgrund des beschriebenen Anwendungsgebiets und der damit verbundenen Dimensionierung als Vakuum-Transferventile, aufgrund ihres mehrheitlich rechteckigen

Öffnungsquerschnitts auch als Rechteckventil und aufgrund ihrer üblichen Funktionsweise auch als Schieberventil, Rechteckschieber oder Transferschieberventil bezeichnet. Peripherieventile werden insbesondere zur Steuerung oder Regelung des Gasflusses zwischen einer Vakuumkammer und einer Vakuumpumpe oder einer weiteren Vakuumkammer

eingesetzt. Peripherieventile befinden sich beispielsweise innerhalb eines Rohrsystems zwischen einer Prozess- Vakuumkammer oder einer Transferkammer und einer

Vakuumpumpe, der Atmosphäre oder einer weiteren Prozess- Vakuumkammer . Der Öffnungsquerschnitt derartiger Ventile, auch Pumpenventile genannt, ist in der Regel kleiner als bei einem Vakuum-Transferventil. Da Peripherieventile abhängig vom Einsatzgebiet nicht nur zum vollständigen Öffnen und Schliessen einer Öffnung, sondern auch zum

Steuern oder Regeln eines Durchflusses durch

kontinuierliches Verstellen des Öffnungsquerschnitts zwischen eine vollständigen Offenstellung und einer gasdichten Geschlossenstellung eingesetzt werden, werden sie auch als Regelventile bezeichnet. Ein mögliches Peripherieventil zur Steuerung oder Regelung des Gasflusses ist das Pendelventil.

Bei einem typischen Pendelventil, wie beispielsweise aus der US 6,089,537 (Olmsted) bekannt, wird in einem ersten Schritt ein in der Regel runder Ventilteller über eine in der Regel ebenfalls runde Öffnung von einer die Öffnung freigebenden Stellung, der Offenposition, in eine die

Öffnung überdeckende Zwischenstellung rotatorisch

geschwenkt. Im Falle eines Schieberventils, wie

beispielsweise in der US 6,416,037 (Geiser) oder der US

6,056,266 (Blecha) beschrieben, ist der Ventilteller, wie auch die Öffnung, meist rechteckig ausgebildet und wird in diesem ersten Schritt linear von einer die Öffnung

freigebenden Stellung in eine die Öffnung überdeckende Zwischenstellung geschoben. In dieser Zwischenstellung befindet sich der Ventilteller des Pendel- oder

Schieberventils in einer beabstandeten Gegenüberlage zu dem die Öffnung umgebenden Ventilsitz. In einem zweiten Schritt wird der Abstand zwischen dem Ventilteller und dem

Ventilsitz verkleinert, so dass der Ventilteller und der Ventilsitz gleichmässig aufeinander gedrückt werden, so dass der Ventilverschluss eine Schliessposition erreicht, in der die Öffnung im Wesentlichen gasdicht verschlossen wird. Diese zweite Bewegung erfolgt vorzugsweise im

Wesentlichen in eine senkrechte Richtung zum Ventilsitz.

Die Abdichtung kann z.B. entweder über einen auf der

Verschlussseite des Ventiltellers angeordneten

Dichtungsring, der auf den die Öffnung umlaufenden

Ventilsitz gepresst wird, erfolgen, oder über einen

Dichtungsring auf dem Ventilsitz, gegen den die

Verschlussseite des Ventiltellers gedrückt wird. Durch den in zwei Schritten erfolgenden Schliessvorgang wird der Abdichtring zwischen dem Ventilteller und dem Ventilsitz kaum Scherkräften, die den Abdichtring zerstören würden, unterworfen, da die Bewegung des Ventiltellers im zweiten Schritt im Wesentlichen geradlinig senkrecht auf den

Ventilsitz stattfindet.

Unterschiedliche Dichtvorrichtungen sind aus dem Stand der Technik bekannt, beispielsweise aus der US 6,629,682 B2 (Duelli) . Ein geeignetes Material für Dichtungsringe und Dichtungen bei Vakuumventilen ist beispielsweise

Fluorkautschuk, auch FKM genannt, insbesondere das unter dem Handelsnamen „Viton" bekannte Fluorelastomer, sowie Perfluorkautschuk, kurz FFKM.

Aus dem Stand der Technik sind unterschiedliche

Antriebssysteme zur Erzielung einer beim Pendelventil rotatorischen und beim Schieberventil translatorischen

Bewegung des Ventiltellers parallel über die Öffnung und einer im Wesentlichen translatorischen Bewegung senkrecht auf die Öffnung bekannt, beispielsweise aus der

US 6,089,537 (Olmsted) für ein Pendelventil und aus der US 6,416,037 (Geiser) für ein Schieberventil.

Die Antriebseinheit stellt dabei die zur Bewegung

erforderliche Kraft bzw. Energie beispielsweise mittels eines Elektromotors bereit, welcher den Ventilverschluss antreibt, z.B. über eine Kopplung mit einem Verstellarm. Ebenso sind aus dem Stand der Technik, z.B. der DE 197 46 241 AI, pneumatische Antriebseinheiten bekannt, welche wenigstens eine mit einem Druckmedium betriebene Kolben- Zylinder-Einheit aufweisen, welche mit dem Ventilverschluss gekoppelt ist. Das Anpressen des Ventiltellers auf den Ventilsitz muss derart erfolgen, dass sowohl die geforderte Gasdichtigkeit innerhalb des gesamten Druckbereichs sichergestellt ist, als auch eine Beschädigung des Abdichtmediums, insbesondere des Abdichtrings in Form eines O-Rings, durch zu grosse Druckbeanspruchung vermieden wird. Um dies zu

gewährleisten, sehen bekannte Ventile eine in Abhängigkeit von der zwischen den beiden Ventiltellerseiten herrschenden Druckdifferenz geregelte Anpressdruckregelung des

Ventiltellers vor. Besonders bei grossen Druckschwankungen oder dem Wechsel von Unterdruck auf Überdruck, oder

umgekehrt, ist eine gleichmässige Kraftverteilung entlang des gesamten Umfangs des Abdichtrings jedoch nicht immer gewährleistbar. Generell wird angestrebt, den Abdichtring von Abstützkräften, die sich aus dem an das Ventil

anliegenden Druck ergeben, zu entkoppeln. In der

US 6,629,682 (Duelli) wird hierzu z.B. ein Vakuumventil mit einem Abdichtmedium vorgeschlagen, das sich aus einem

Abdichtring und einem danebenliegenden Abstützring

zusammensetzt, so dass der Abdichtring von Abstützkräften im Wesentlichen befreit ist.

Um die geforderte Gasdichtigkeit, gegebenenfalls sowohl für Über- als auch Unterdruck, zu erreichen, sehen zusätzlich oder alternativ zum zweiten Bewegungsschritt manche

bekannte Pendelventile oder Schieberventile einen senkrecht zum Ventilteller verschiebbaren, die Öffnung umgebenden Ventilring vor, der zum gasdichten Schliessen des Ventils auf den Ventilteller gedrückt wird. Derartige Ventile mit relativ zum Ventilteller aktiv verschiebbaren Ventilringen sind beispielsweise aus der DE 1 264 191 Bl, der

DE 34 47 008 C2, der US 3,145,969 (von Zweck) und der

DE 77 31 993 U bekannt. In der US 5,577,707 (Brida) wird ein Pendelventil mit einem eine Öffnung aufweisenden

Ventilgehäuse und einem parallel über die Öffnung

schwenkbaren Ventilteller zum Steuern eines Durchflusses durch die Öffnung beschrieben. Ein Ventilring, der die Öffnung umschliesst, ist senkrecht in Richtung zum

Ventilteller mittels mehrerer Federn und Druckluftzylinder aktiv bewegbar. Eine mögliche Weiterentwicklung dieses Pendelventils wird in der US 2005/0067603 AI (Lucas et al . ) vorgeschlagen . Da oben genannte Ventile unter anderem bei der Herstellung hochsensibler Halbleiterelemente in einer Vakuumkammer zum Einsatz kommen, muss eine entsprechende Abdichtwirkung auch für solche Prozesskammern verlässlich gewährleistet sein. Hierfür ist insbesondere der Zustand eines Dichtmaterials oder einer bei Verpressung mit dem Dichtmaterial in Kontakt stehenden Dichtfläche von Bedeutung. Im Verlauf der

Betriebsdauer eines Vakuumventils können typischerweise Abnutzungen des Dichtmaterials oder der Dichtflächen auftreten . Weiterhin sind das Antriebssystem bzw. die sich mechanisch bewegenden Bauteile des Ventils fehleranfällig. Z.B. kann es aufgrund von Abnutzungs- oder Alterungserscheinungen oder aufgrund externer Störeinflüsse wie mechanische

Schocks und dergleichen zu Beeinträchtigungen der Kolben- Zylinder-Einheit eines pneumatischen Ventilantriebs kommen, beispielsweise in Form von Undichtigkeiten des Kolbens oder einer erhöhten inneren Reibung. Derartige Gegebenheiten können zu Beeinträchtigungen der Abdichtwirkung oder generell der Funktion bzw. Verlässlichkeit des

Vakuumventils führen. Bislang gibt es im Stand der Technik keine Möglichkeit, solche Fehler frühzeitig bzw. vorab zu erkennen . Um die Qualität des Ventils bzw. der Abdichtung auf einem konstant ausreichend hohen Niveau zu halten, erfolgt deshalb eine Wartung des Ventils typischerweise in

bestimmten zeitlichen Abständen, häufig, indem Teile des Ventils, wie z.B. die Dichtung, pneumatische Antriebsteile oder das Ventil als Ganzes ausgetauscht bzw. erneuert werden. Ein solcher Wartungszyklus bemisst sich dabei meist an der Anzahl der zu erwartenden Öffnungs- und

Schliesszyklen in einem bestimmten Zeitraum. Die Wartung erfolgt also meist vorsorglich um das Eintreten einer

Undichtigkeit oder sonstiger Fehlfunktionen vorab

weitestgehend ausschliessen zu können.

Ein Nachteil dieser Ventilwartung liegt in deren

vorsorglichem Charakter. Die von der Wartung betroffenen Teile werden zumeist vor Ablauf deren regulärer oder tatsächlicher Lebensdauer erneuert oder ersetzt, was einen erhöhten Kostenaufwand bedeutet. Zudem benötigt jeder derartige Wartungsschritt in der Regel eine gewisse

Stillstandszeit für einen Produktionsprozess und erhöhnten technischen und finanziellen Aufwand. Dies bedeutet dann in Summe einen Stillstand der Produktion in Abständen, die kürzer sind als erforderlich, und häufiger als dies überhaupt notwendig wäre.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein

verbessertes Vakuumventil bereitzustellen, welches einen optimierten Betrieb erlaubt.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein verbessertes Vakuumventil bereitzustellen, welches eine optimierte Ventilwartung und damit eine Verbesserung, d.h. Verkürzung von allfälligen Prozessstillständen, erlaubt. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein verbessertes Vakuumventil bereitzustellen, welches eine Verlängerung, der Lebensdauer von einzelnen Ventilteilen ermöglicht . Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines verbesserten Verfahrens zur Steuerung eines

Vakuumventils .

Diese Aufgaben werden durch die Verwirklichung der

kennzeichnenden Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale, die die Erfindung in alternativer oder

vorteilhafter Weise weiterbilden, sind den abhängigen

Patentansprüchen zu entnehmen.

Die grundlegende Idee der vorliegenden Erfindung ist es, ein Vakuumventil mit einer ein Druckmedium aufweisenden, vorzugsweisen pneumatischen oder elektro-pneumatischen,

Antriebseinheit mit einem Drucksensor auszustatten, welcher eine Druckmessung des Druckmediums der Antriebseinheit ermöglicht .

Gegenstand der Erfindung ist also ein Vakuumventil,

vorzugsweise ein Vakuumschieberventil, Pendelventil oder Monoventil, zur Regelung eines Volumen- oder Massenstroms und/oder zum gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs, mit einem Ventilsitz, der eine eine Öffnungsachse definierende Ventilöffnung und eine die Ventilöffnung umlaufende erste Dichtfläche aufweist. Der Ventilsitz kann hierbei

integraler oder struktureller Bestandteil des Vakuumventils sein und insbesondere einen Teil des Ventilgehäuses

verkörpern. Alternativ kann der Ventilsitz durch die

Öffnung einer Prozesskammer, z.B. einer Vakuumkammer, gebildet sein und unter Zusammenwirkung mit dem relativ zu dem Ventilsitz beweglichen Ventilverschluss ein Vakuumventil im Sinne der vorliegenden Erfindung bilden.

Weiter umfasst das Vakuumventil einen Ventilverschluss, insbesondere einen Ventilteller, zur Regelung des Volumen- oder Massenstroms und/oder zur Unterbrechung des

Fliesswegs, mit einer zu der ersten

Dichtfläche korrespondierenden zweiten Dichtfläche, deren veränderliche Lage durch eine jeweilige Position und

Ausrichtung des Ventilverschlusses bestimmt ist. Zudem weist das Vakuumventil eine mit dem Ventilverschluss gekoppelte Antriebseinheit mit wenigstens einer Kolben- Zylinder-Einheit mit mindestens einem Kolben und einer Zylinderbohrung. Bei der Antriebseinheit handelt es sich vorzugsweise um eine pneumatische oder elekto-pneumatische Form, sie kann aber auch als hydraulische Antriebseinheit ausgebildet sein. Die Antriebseinheit weist weiter ein Druckmedium auf zur Beaufschlagung wenigstens einer

druckwirksamen Fläche des Kolbens zum Ausführen einer

Verstellbewegung des Ventilverschlusses. Mittels der

Antriebseinheit ist so der Ventilverschluss von einer

Offenposition, in welcher der Ventilverschluss und der Ventilsitz relativ zueinander kontaktlos vorliegen, in eine Schliessposition, in welcher, insbesondere über eine

Dichtung, ein bezogen auf die Öffnungsachse axial

dichtender Kontakt zwischen der ersten Dichtfläche und der zweiten Dichtfläche besteht und die Ventilöffnung dadurch gasdicht verschlossen ist, und zurück verstellbar ist.

Optional weist eine oder beide der beiden Dichtflächen eine Dichtung aus Dichtmaterial auf. Das Dichtmaterial kann z.B. ein polymerbasiertes Material (z.B. Elastomer, insbesondere Fluorelastomer) sein, das auf die Dichtfläche

aufvulkanisiert ist oder als O-Ring in einer Nut in dem Ventilverschluss oder dem Ventilsitz vorliegt. Als

Dichtflächen werden im Rahmen der Erfindung also

vorzugsweise diejenigen Flächen betrachtet, bei denen zum Verschliessen der Ventilöffnung ( Schliessposition) eine Dichtung aus Dichtmaterial verpresst vorliegt.

Erfindungsgemäss umfasst das Vakuumventil ferner wenigstens einen Drucksensor, wobei der Drucksensor derart ausgebildet und angeordnet ist, dass eine Druckmessung des Druckmediums durchführbar ist. Das erfindungsgemässe Vakuumventil weist also - vorzugsweise in der Antriebseinheit und dort z.B.

integriert in eine Druckmediumsrohr- oder

Druckmediumsschlauchleitung der Antriebseinheit - einen Druckmesser auf, der den Druck des Druckmediums, z.B. in bestimmten Zeitabständen, misst. Vorzugsweise ist der

Drucksensor ausgebildet zur fortlaufenden Druckmessung des Druckmediums, so dass beispielsweise eine kontinuierliche Überwachung des Druckmediumdrucks erfolgt. Darüber hinaus ist der Druckmessbereich des Drucksensors optional abgestimmt auf den Druckarbeitsbereich der

Antriebseinheit, wobei vorteilhaft eine Reserve für

mögliche irreguläre Druckabweichungen vorgehalten wird. Vorzugsweise ist der Drucksensor ausgebildet ist zur

Messung eines Druckbereichs zwischen 0 bar und 10 bar, wobei als weitere Option der gemessene Druck in ein

digitales Ausgangssignal und/oder eine analoge

Ausgangsspannung von vorzugsweise 0 bis 10 Volt gewandelt wird. Ein digitales Ausgangssignal wird dabei vorzugsweise über ein digitales Interface (z.B. SPI oder I2C) übertragen bzw. weitergeleitet. In einigen Ausführungsformen handelt es sich um einen Drucksensor zur absoluten Druckmessung. Zur Druckmessung weist der Drucksensor als Option eine verformbare Membran und/oder einen Piezokristall und/oder einen Quarz- und/oder Piezoresonator auf. Das

Funktionsprinzip des Drucksensors ist also dann eine mechanische Verformung einer Membran durch Einwirkung des Druckmediums (und der Erfassung der Verformung

beispielsweise durch Induktionsmessung oder

Kapazitätsmessung) , oder Messung einer elektrischen Ladung bzw. deren Änderung durch Druck- bzw. Krafteinwirkung oder Messung der Änderung eines Schwingverhaltens aufgrund Druckeinwirkung .

In besonders vorteilhaften Ausführungsformen des

erfindungsgemässen Vakuumventils ist der Drucksensor ausserhalb eines durch das Vakuumventil definierten von einer äusseren Umgebung abgetrennten Vakuumbereichs angeordnet . Optional ist der Drucksensor derart im Vakuumventil angeordnet ist, dass wenigstens ein Eingangsdruck der Kolben-Zylinder-Einheit messbar ist. Vorzugsweise ist das Vakuumventil so ausgebildet, dass zwei bzw. beide

Eingangsdrücke der Kolben-Zylinder-Einheit messbar sind. Alternativ oder zusätzlich ist der Drucksensor (oder ein weiterer Drucksensor) derart im Vakuumventil angeordnet, dass ein Druck in wenigstens einer Kammer, insbesondere zwei Kammern, des Zylinders messbar ist. In manchen Ausführungsformen weist das Vakuumventil zwei Kolben-Zylinder-Einheiten zum Verstellen des

Ventilverschlusses in zwei unterschiedliche, insbesondere zueinander im Wesentlichen orthogonale, Richtungen auf. Dann weist vorzugsweise jede Kolben-Zylinder-Einheit wenigstens einen Drucksensor zur jeweiligen Druckmessung des jeweiligen Druckmediums oder der jeweiligen Kolben- Zylinder-Einheit bzw. in einem jeweiligen

Zylinder (abschnitt ) auf. Alternativ weist das Vakuumventil einen („gemeinsamen") Drucksensor auf, welcher, z.B. durch sequentielles Schalten, zur Druckmessung beider Druckmedien oder beider Kolben-Zylinder-Einheiten ausgebildet ist. In einer weiteren Fortbildung weist das Vakuumventil ausserdem einen Positionssensor auf, der ausgebildet ist zur, insbesondere fortlaufenden, Messung einer Position des Ventilverschlusses und/oder des Kolbens. Optional sind dabei die Positionsmessung und die Druckmessung derart aufeinander abstimmbar, dass der zur Verstellung des

Ventilverschlusses und/oder Kolbens aus einer Ruheposition, vorzugsweise der Offenposition und/oder Schliessposition, notwendige Druck bestimmbar ist. Als weitere Option sind der Drucksensor und der Positionssensor dergestalt

ausgebildet, dass sowohl anhand der Druckmessung und als auch anhand der Positionsmessung jeweils eine Bewegung des Ventilverschlusses und/oder des Kolbens ableitbar ist.

Beispielsweise sind aus der Druckmessung die auf den Kolben wirkenden Kräfte und damit bei Kenntnis dessen Masse und ggf- weiterer Parameter die (zu erwartende) Bewegung ableitbar und anhand der Position die (tatsächliche)

Bewegung (Weg-Zeit-Kennlinie) . Als weitere Alternative oder weiterer Zusatz sind der Drucksensor und der

Positionssensor dergestalt ausgebildet sind, dass anhand der Druckmessung und der Positionsmessung eine Kraft-Weg- Kennlinie erzeugbar ist. Insbesondere bei Ventilen mit einer Dichtung ist dann eine Kraft-Weg-Kennlinie der

Dichtung ermittelbar, deren Auswertung beispielsweise mögliche Veränderungen im Dichtmaterial erkennen lassen kann .

Weiter sind diese Positionsmessung und die erwähnte

Druckmessung mittels des Drucksensors derart aufeinander abgestimmt bzw. abstimmbar, dass der zur Verstellung des Ventilverschlusses aus einer Ruheposition, insbesondere der Offen- und/oder Schliessposition, notwendige Druck

bestimmbar ist. Es lässt sich somit also z.B. durch

parallele Positions- und Druckmessung bestimmen, welchen Druck die Antriebseinheit aufbauen muss, damit sich der Ventilverschluss sich aus der Offen- oder Schliessposition bewegt bzw. zu bewegen beginnt. Optional wird der Ventilsitz durch einen strukturell mit dem Vakuumventil verbunden Teil des Vakuumventils gebildet, insbesondere wobei der Ventilsitz an einem Gehäuse des Vakuumventils ausgebildet ist, oder von einer

Prozesskammer, insbesondere einem Kammergehäuse,

bereitgestellt ist.

In einer Ausführungsform weist das Vakuumventil eine

Kontroll- und Steuereinheit auf zur Ansteuerung der

Antriebseinheit mit vordefinierten Steuerwerten zur

Verstellung des Ventilverschlusses zwischen der

Offenposition und der Schliessposition, wobei die

Antriebseinheit, der Ventilverschluss und der Sensor derart ausgebildet sind und zusammenwirken, dass die Steuerwerte basierend auf dem Messsignal des Drucksensors eingestellt werden, insbesondere derart, dass das Messsignal

kontinuierlich einem vordefinierten Sollwert entspricht.

Dabei sind optional das Vakuumventil, die Sensoranordnung und die Kontroll- und Steuereinheit beispielsweise derart konfiguriert, dass der Drucksensor für eine Bereitstellung und Übertragung des Messsignals beispielsweise über eine herkömmliche drahtgebundene oder kabellose Verbindung mit der Kontroll- und Steuereinheit in einseitiger oder

zweiseitiger Kommunikation steht.

In einer weiteren Fortbildung weist das Vakuumventil eine derart ausgebildete Verarbeitungseinheit auf, insbesondere bereitgestellt durch die Kontroll- und Steuereinheit oder die Sensoranordnung, dass ein von der Verarbeitungseinheit erfasstes Drucksensormesssignal mittels der

Verarbeitungseinheit verarbeitbar ist und anhand des erfassten Drucksensormesssignals eine Zustandsinformation des Vakuumventils ermittelt wird. Die Zustandsinformation wird beispielsweise bezüglich einer mechanischen und/oder strukturellen Integrität der des Ventilverschlusses und/oder der Antriebseinheit bereitgestellt, insbesondere wobei die Zustandsinformation mittels eines Ist-Soll- Vergleichs für das erfasste Drucksensormesssignal ermittelt ist, z.B. basierend auf einem erfassten und einem

erwarteten Druck für eine Referenzeinstellung der

Antriebseinheit. Optional wird basierend auf einem Abgleich der Zustandsinformation mit vordefinierten Toleranzwerten ein Ausgabesignal bereitgestellt bezüglich einer Bewertung eines durch das Vakuumventil gesteuerten Prozesses, beispielsweise eine Bewertung, ob eine geforderte (Dicht) - Wirkung erreicht wird oder es können allfällige

Beschädigungen z.B. der Antriebseinheit oder Dichtflächen erkannt werden. Beispielsweise kann dann einem Benutzer durch ein visuelles oder akustisches Signal angezeigt werden, ob ein Prozess innerhalb der geforderten Toleranzen abläuft oder ein unerwünschtes Unter- oder Überschreiten einer solchen Toleranz (z.B. basierend auf der Verstellgeschwindigkeit oder Endlage) zu erwarten ist.

Die vorliegende Erfindung umfasst zudem ein Verfahren zur Steuerung eines Vakuumventils, insbesondere eines

Vakuumschieberventils, Pendelventils oder Monoventils, wobei das Vakuumventil ausgebildet ist zur Regelung eines Volumen- oder Massenstroms und/oder zum gasdichten

Unterbrechen eines Fliesswegs. Das zu steuernde

Vakuumventil weist dabei einen Ventilsitz, der eine eine Öffnungsachse definierende Ventilöffnung und eine die

Ventilöffnung umlaufende erste Dichtfläche, einen

Ventilverschluss , insbesondere Ventilteller, zur Regelung des Volumen- oder Massenstroms und/oder zur Unterbrechung des Fliesswegs, mit einer zu der ersten Dichtfläche

korrespondierenden zweiten Dichtfläche, deren veränderliche Lage durch eine jeweilige Position und Ausrichtung des Ventilverschlusses bestimmt ist. Ferner weist das Ventil wenigstens eine mit dem Ventilverschluss gekoppelte

Antriebseinheit mit wenigstens einer Kolben-Zylinder- Einheit mit mindestens einem Kolben und einer

Zylinderbohrung auf, wobei die Antriebseinheit weiter ein Druckmedium aufweist zur Beaufschlagung wenigstens einer druckwirksamen Fläche des Kolbens, so dass der

Ventilverschluss von einer Offenposition, in welcher der Ventilverschluss und der Ventilsitz relativ zueinander kontaktlos vorliegen, in eine Schliessposition, in welcher, insbesondere über eine Dichtung, ein bezogen auf die

Öffnungsachse axial dichtender Kontakt zwischen der ersten Dichtfläche und der zweiten Dichtfläche besteht und die Ventilöffnung dadurch gasdicht verschlossen ist, und zurück verstellbar ist. Die Antriebseinheit ist vorzugsweise als pneumatische oder elektro-pneumatische Einheit ausgebildet, es kann sich jedoch auch um eine hydraulische Einheit handeln .

Erfindungsgemäss wird im Rahmen des Verfahrens,

insbesondere fortlaufend, ein Druck des Druckmediums gemessen. Optional wird dabei ein druckabhängiges digitales Ausgangssignal oder eine druckabhängige analoge

Ausgangsspannung erzeugt. Die Ausgangsspannung liegt vorzugsweise im Bereich zwischen 0 Volt und 10 Volt.

In einer Fortbildung des Verfahrens wird im Rahmen des Verfahrens basierend auf der Druckmessung eine

Zustandsinformation des Vakuumventils, insbesondere

bezüglich einer mechanischen und/oder strukturellen

Integrität der Antriebseinheit, ermittelt, wobei optional die Zustandsinformation mittels eines Ist-Soll-Vergleichs für das erfasste Messsignal ermittelt ist und/oder

basierend auf einem Abgleich der Zustandsinformation mit vordefinierten Toleranzwerten ein Ausgabesignal

bereitgestellt wird bezüglich einer Bewertung eines durch das Vakuumventil gesteuerten Prozesses.

In einer weiteren Fortbildung erfolgt im Rahmen des

Verfahrens zusätzlich eine mit der Druckmessung gekoppelte Positionsmessung des Ventilsverschlusses und/oder des

Kolbens. Optional wird dadurch der zum Verstellen des

Ventilverschlusses aus der Offen- und/oder Schliessposition notwendige Druck bestimmt. Als weitere Option erfolgt sowohl anhand der Druckmessung und als auch anhand der Positionsmessung jeweils ein Ableiten oder Bestimmen einer Bewegung des Ventilverschlusses und/oder des Kolbens und weiter ein Vergleich der beiden abgeleiteten Bewegungen hinsichtlich etwaiger Diskrepanzen. Beispielsweise wird anhand des wirkenden Drucks und damit der auf den Kolben wirkenden Kraft unter Kenntnis weiterer Parameter dessen Bewegung berechnet und diese berechnete Bewegung mit der anhand der Positionsmessung bestimmten Bewegung (Position im zeitlichen Verlauf) verglichen. Etwaige Abweichungen lassen z.B. Rückschlüsse auf ( Parameter- ) Veränderungen des Ventils bzw. der Antriebseinheit zu. Als weitere Option für ein Verfahren mit Druckmessung und Positionsmessung wird anhand der Druckmessung und der Positionsmessung eine

Kraft-Weg-Kennlinie erzeugt, insbesondere bei Vorliegen einer Dichtung im Vakuumventil eine Kraft-Weg-Kennlinie der Dichtung .

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist weiters ein

Computerprogrammprodukt mit Programmcode, der auf einem maschinenlesbaren Träger, insbesondere einer Steuer- und Verarbeitungseinheit eines erfindungsgemässen

Vakuumventils, gespeichert ist, oder Computer-Daten-Signal, verkörpert durch eine elektromagnetische Welle, zur

Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens.

Die vorliegende Erfindung stellt also vorteilhaft ein

Vakuumventil bereit, welches eine fortlaufende oder

kontinuierliche Druckmessung der pneumatischen (oder hydraulischen) Antriebselemente ermöglicht, so dass der Zustand des Antriebs oder der Verstellbewegungen oder - abläufe des Ventils kontrolliert oder überprüft und ggf. bewertet werden können. Weiter erlaubt die Druckmessung eine automatische und fortlaufende Zustandsverifikation des Vakuumventils bzw. einzelner seiner Bauteile, z.B. der Antriebseinheit, deren Leitungen oder Zylinder-Kolben- Einheiten, wobei nicht nur direkt Zustandsinformationen über Antriebsteile ermittelbar oder ableitbar sind, sondern indirekt auch über weitere Teile des Vakuumventils, z.B. zusammen mit einer Positionsmessung des Ventilverschlusses eine Haftkraft des Verschlusses auf der Ventilöffnung.

Fehler oder Unregelmässigkeiten, die auf zukünftige Fehler deuten, können dabei frühzeitig oder überhaupt erst erkannt werden und/oder unnötige Wartungen aufgrund festgestellter Fehlerfreiheit vermieden werden. Die Überprüfungen können dabei vorteilhaft während der normalen Prozessabläufe erfolgen, so dass diese nicht unterbrochen werden müssen.

Das erfindungsgemässe Vakuumventil wird nachfolgend anhand von in den Zeichnungen schematisch dargestellten

Ausführungsbeispielen rein beispielhaft näher beschrieben. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen

Bezugszeichen gekennzeichnet. Die beschriebenen

Ausführungsformen sind in der Regel nicht massstabsgetreu dargestellt und sie sind auch nicht als Einschränkung zu verstehen .

Im Einzelnen zeigen

Fig. la,b eine mögliche erste Ausführungsform eines

erfindungsgemässen Vakuumventils als

Monoventil ;

Fig. 2 eine mögliche zweite Ausführungsform eines

erfindungsgemässen Vakuumventils als

Monoventil ;

Fig. 3 eine mögliche weitere Ausführungsform eines erfindungsgemässen Vakuumventils als

Monoventil ; und Fig. 4 eine schematische Darstellung einer weiteren erfindungsgemässen Ausführungsform eines

Vakuumventils als Transferventil.

Die Figuren la, lb zeigen schematisch eine erste

Ausführungsform eines erfindungsgemässen Vakuumventils 1. Im Beispiel ist das Ventil 1 ausgeführt als ein sogenanntes Monoventil und im Querschnitt dargestellt in einer

Offenposition 0 (Fig. la) und einer Schliessposition oder Geschlossenposition G (Fig.lb) . Das Ventil 1 zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung besitzt ein Ventilgehäuse 24 mit einer Öffnung 2 für den Fliessweg, wobei die Öffnung 2 eine geometrische Öffnungsachse H entlang des Fliesswegs aufweist. Die Öffnung 2 verbindet einen ersten Gasbereich L, welcher sich in der Zeichnung links des Ventils 1 bzw. einer Trennwand (nicht dargestellt) befindet, mit einem zweiten Gasbereich R rechts davon. Eine solche Trennwand wird z.B. durch eine Kammerwand einer Vakuumkammer

gebildet . Ein Ventilverschluss 4 ist linear entlang einer zu der Öffnungsachse H quer verlaufenden, geometrischen

Verstellachse V in einer Verschlusselementebene 22 von einer die Öffnung 2 freigebenden, geöffneten Position 0 in eine über die Öffnung 2 linear geschobene, geschlossene Position G in eine Schliessrichtung und umgekehrt zurück in eine (zur Schliessrichtung entgegengesetzten)

Öffnungsrichtung mittels einer Antriebseinheit 7

verschiebbar .

Im Beispiel umschliesst eine gekrümmte erste Dichtfläche 3 die Öffnung 2 des Ventilgehäuses 24 entlang eines ersten Abschnitts 21a in einer ersten Ebene 20a und entlang eines zweiten Abschnitts 21b in einer zweiten Ebene 20b. Die erste Ebene 20a und die zweite Ebene 20b sind zueinander beabstandet, verlaufen parallel zueinander und parallel zu der Verschlusselementebene 22. Somit weisen der erste

Abschnitt 21a und der gegenüberliegende zweite Abschnitt 21b zueinander einen geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse V und in Richtung der Öffnungsachse H auf. Zwischen den beiden gegenüberliegenden Abschnitten 21a und 21b in dem sich entlang der Verstellachse V erstreckenden Bereich ist die Öffnung 2 angeordnet.

Das Verschlusselement 4 weist eine zur ersten Dichtfläche 3 korrespondierende zweite Dichtfläche 6 auf, welche entlang zum ersten und zweiten Abschnitt 21a, 21b

korrespondierender Abschnitte verläuft. Im Beispiel weist die erste Dichtfläche 3 ein Dichtmaterial 23 auf. Diese Dichtung 23 kann beispielsweise als Polymer mittels

Vulkanisation auf den Ventilsitz aufvulkanisiert sein.

Alternativ kann die Dichtung 23 z.B. als O-Ring in einer Nut des Ventilsitzes ausgeführt sein. Auch kann ein

Dichtmaterial auf den Ventilsitz aufgeklebt sein und dadurch die Dichtung 23 verkörpern. In einer alternativen Ausführungsform kann die Dichtung 23 seitens des

Ventilverschlusses 4, insbesondere auf der zweiten

Dichtfläche 6, angeordnet sein. Auch Kombinationen dieser Ausführungen sind denkbar. Solche Dichtungen 23 sind selbstverständlich nicht auf das im Beispiel beschriebene Ventil 1 beschränkt, sondern auch bei den weiteren

beschriebenen Ventilausführungsformen oder deren

Abwandlungen bzw. Kombinationen untereinander anwendbar.

Monoventile, d.h. mittels einer einzigen linearen Bewegung schliessbare Vakuumventile haben beispielsweise den Vorteil eines vergleichsweise einfachen Schliessmechanismus, z.B. verglichen mit den mittels zweier Bewegungen schliessbaren Transferventilen, die einen verhältnismässig komplex aufgebauten Antrieb erfordern. Da das Verschlusselement zudem einteilig ausgebildet sein kann, kann es hohen

Beschleunigungskräften ausgesetzt werden, so dass dieses Ventil auch für Schnell- und Notverschlüsse verwendet werden kann. Das Schliessen und Dichten kann mittels einer einzigen linearen Bewegung erfolgen, so dass ein sehr schnelles Schliessen und Öffnen des Ventils 1 möglich ist.

Insbesondere liegt ein Vorteil von Monoventilen

beispielsweise darin, dass die Dichtung 3, 6 aufgrund ihres Verlaufs beim Schliessen keiner Querbelastung in

Querrichtung zur Längserstreckung der Dichtung 3, 6

unterliegt. Andererseits ist die Dichtung 3, 6 aufgrund

Ihrer Quererstreckung zur Öffnungsachse H kaum in der Lage, auf das Verschlusselement 4 entlang der Öffnungsachse H auftretende Kräfte, die insbesondere bei grossem

Differenzdruck auf das Verschlusselement 4 wirken können, aufzunehmen, was einen robusten Aufbau des

Verschlusselements 4, dessen Antriebs und dessen Lagerung erfordert .

Die Antriebseinheit 7 ist im Beispiel als eine (elektro-) pneumatische Antriebseinheit 7 mit einer Kolben-Zylinder- Einheit 8 ausgebildet. Alternativ handelt es sich bei der

Antriebseinheit 7 um eine hydraulische Antriebseinheit. Die Antriebseinheit 7 bzw. die Kolben-Zylinder-Einheit 8 weist eine zweistufige Zylinderbohrung 9 auf, wobei der (in der Zeichnung) „untere" Abschnitt 11 der Bohrung 9 einen grösseren Durchmesser aufweist als der „obere" Abschnitt 12. Im Zylinder 9 ist ein Kolben 13 entlang der

Verstellachse V verschiebbar gelagert, der beidseitig je eine Kolbenstange 13u und 13o aufweist, welche durch eine Teller 13t aneinander grenzen, so dass druckwirksame

Flächen Fl und F2 bereitgestellt sind. Durch den Teller 13t wird der „untere" Kolbenabschnitt 11 in zwei Kammern llo und llu aufgeteilt, die je nach Stellung des Kolbens 13 im Zylinder 9 unterschiedlich gross sind. Die Kolben-Zylinder- Einheit 8 besitzt Dichtungen, doch sind diese hier der Übersichtlichkeit wegen nicht dargestellt. Solche

Dichtungen sind am Kolben 13 vorgesehen sowie in und an den Durchführungen für die Kolbenstangen 13u und 13o.

Die Kolben-Zylinder-Einheit 8 wird über eine

Druckmediumleitung 14 mit einem Druckmedium beaufschlagt. Im Beispiel handelt es sich bei dem Druckmedium um

Druckluft. Je nach Ausführungsform können aber auch andere, für Vakuumventile geeignete gasförmige oder flüssige

Druckmedien zum Einsatz kommen. Diese Druckmediumleitung 14 führt über einen „oberen" Leitungszweig 14o in den unteren Abschnitt 11 der Zylinderbohrung 9, welcher in diesen oberhalb der wirksamen Kolbenfläche Fl in die obere Kammer llo mündet. An die Druckmediumleitung 14 ist ein weiter ein „unterer" Leitungszweig 14u angeschlossen. Dieser

Leitungszweig 14u führt ebenfalls in den unteren Teil des Abschnittes 11 der Zylinderbohrung 9, wobei er in diesen unterhalb der druckwirksamen Kolbenfläche F2 in die untere Kammer llu mündet. Mittels eines Schaltventils 15, z.B. ein 3/2-Wege-Schaltventil, ist somit über den einen

Leitungszweig 14o die druckwirksamen Fläche Fl

beaufschlagbar und durch entsprechendes Umschalten des Schaltventils 15 über den anderen Leitungszweig 14u die druckwirksame Fläche F2, wobei die jeweilige nicht zur

Beaufschlagung herangezogene Leitungszweig entsprechend auf Belüftung geschaltet ist. Somit ist durch Beaufschlagung der Fläche Fl der Kolben 13 und damit der Ventilverschluss 4 aus der in Fig. la dargestellten Offenposition 0 „nach" unten bewegbar, so dass die in Fig. lb dargestellte

Schliessposition G erreicht wird. Durch Umschalten des Schaltventils 15 wird die Fläche F2 beaufschlagt und damit die Bewegung umgekehrt, so dass sich das Vakuumventil 1 öffnet. Alternativ zur dargestellten Form mit

beiderseitiger Beaufschlagung des Kolbens sind z.B. auch Ausführungsformen möglich, bei der eine Bewegungsrichtung mittels eines Rückstellelementes wie einer Feder realisiert wird .

Erfindungsgemäss umfasst das Vakuumventil 1 wenigstens einen Drucksensor 10, im Beispiel zwei Drucksensoren 10. Einer der beiden Drucksensoren 10 ist dabei in den „oberen" Leitungszweig 14o integriert, der andere Drucksensor 10 in den „unteren" Leitungszweig 14u. Mittels dieser

Drucksensoren 10 wird der jeweilige Druck in den

Leitungszweigen 14o, 14u bzw. die beiden Eingangsdrücke der Kolben-Zylindereinheit 8 gemessen. Die Druckmessung erfolgt dabei vorteilhaft fortlaufend, so dass eine Überwachung der Eingangsdrücke ermöglicht ist und ggf. bzw. optional ein Warnsignal bei Über- oder Unterschreiten eines Grenzwertes ausgegeben werden kann.

Der bzw. die Druckmesser 10 sind dabei beispielsweise als resistiver, kapazitiver oder induktiver Membrandruckmesser, als Piezokristalldruckmesser oder als Quarz- oder

Piezoresonatordruckmesser ausgebildet. Vorzugsweise ist der jeweilige Druckmesser ausgebildet zum Messen von Drücken zwischen 0 und lObar und/oder zur Absolutdruckmessung. Der gemessene Druck wird beispielsweise in eine Spannung zwischen 0 und 10V gewandelt und diese zur Druckanzeige verwendet oder einer Datenspeicheranlage und/oder Auswerteeinheit zugeführt. Der Drucksensor 10 bzw. die Kolben-Zylinder-Einheit 8 ist dabei optional ausserhalb des Vakuumbereichs angeordnet, was die Ansprüche an deren technische Auslegung verringert und damit vereinfacht. Eine erfindungsgemässe Antriebseinheit 7 bzw. ein

erfindungsgemässes Vakuumventil 1 mit einem Druckmesser 10 zur Druckmessung des Druckmediums kann alternativ zur

Darstellung natürlich auch ausgebildet sein zur Erzeugung einer zumindest im Wesentlichen rotatorischen

Verstellbewegung des Ventilverschlusses 4 anstelle der oder zusätzlich zur gezeigten linearen Verstellbewegung und/oder zur Erzeugung einer Kombination einer Linear- mit einer Drehbewegung .

Fig. 2 zeigt im Querschnitt ein Schema einer alternativen erfindungsgemässen Ausführungsform eines Monoventils 1, wobei das Ventil 1 in der Geschlossenposition G dargestellt ist. Im Unterschied zur Ausführungsform nach den Fig. la, lb weist das Ventil 1 nur einen Drucksensor 10 auf, welcher nicht in den Druckleitungen 14o oder 14u integriert ist, sondern derart angeordnet ist, dass der Druck in der unteren Kammer llu des Zylinders 9 messbar ist. Hierzu ist der Druckmesser 10 im Beispiel an der Gehäusewand 24 angebracht und über eine Öffnung 16 in der Wand 24 mit der Kammer llu verbunden, so dass deren Druck vom Sensor 10 gemessen werden kann. Alternativ zur dargestellten

Ausführungsform weist das Ventil 1 für beide Kammern llu und llo jeweils einen Drucksensor 10 auf oder der eine Drucksensor 10 ist wechselweise, z.B. mit Hilfe eines zusätzlichen Schaltventils, mit jeweils einer der beiden Kammern llo und llu verbunden und misst wechselweise den jeweiligen Kammerndruck, beispielsweise den Druck der „unteren" Kammer llu beim Wechsel von der Schliessposition G zur Offenposition 0 und umgekehrt den Druck der „oberen" Kammer llo beim Verstellen von der Offenposition 0 zur Schliessposition G.

Im Beispiel ist der Drucksensor 10 über eine Datenleitung 19 mit einer elektronischen Verarbeitungseinheit 18 verbunden, so dass die Messdaten des Sensors 10 (z.B.

Spannungswerte) von der Verarbeitungseinheit 18 erfasst, gespeichert und ausgewertet werden können. Bei der

Verarbeitungseinheit 18 handelt es sich um eine externe Einheit oder vorzugsweise eine in das Vakuumventil 1 integrierte Einheit. Anstelle eines Datenkabels 19 sind Drucksensor 10 und die Auswerteeinheit 18 zur kabellosen Datenübertragung ausgebildet, z.B. per Funk, WiFi oder Bluetooth, was besonders bei einer (grossen) räumlichen Trennung von Auswerteeinheit 18 und Drucksensor 10 von Vorteil ist.

Die Datenverarbeitungseinheit 18 ist dabei im Beispiel ausgebildet, die erfassten Messsignale des Drucksensors 10 zu verarbeiten und anhand des bzw. der Messsignale eine Zustandsinformation des Vakuumventils 1 zu ermitteln. Die Zustandsinformation bezieht sich vorzugsweise auf eine mechanische bzw. strukturelle Integrität des

Ventilverschlusses 4 und/oder der Antriebseinheit 7, beispielsweise hinsichtlich Altersermüdungen,

Abnutzungseffekte oder einer Dichtheit der Antriebseinheit 7 bzw. der Kolben-Zylinder-Einheit 8. Die

Zustandsinformation wird dabei als Option mittels eines Ist-Soll-Vergleichs eines oder mehrerer

Drucksensormesssignale ermittelt, also indem Abweichungen von einem Referenzsignalwert festgestellt werden. Dabei wird als weitere Option ein Abgleich vorgenommen mit einem oder mehreren voreingestellten Toleranzwerten. Wird der Toleranzwert unter- oder überschritten, kann dabei ein Ausgabesignal ausgegeben werden. Abweichungen bzw.

Grenzwertüberschreitungen können dabei Hinweise auf

Störungen oder Fehler im Vakuumventil 1 sein und

insbesondere dazu dienen, solche sehr frühzeitig, noch bevor Beeinträchtigungen der eigentlichen Funktion des Ventils 1 eintreten, oder auch auf Störungen oder Fehler der durch das Ventil 1 kontrollierten Gasbereiche bzw.

Vakuumkammern . Fig. 3 zeigt eine Fortbildung des Vakuumventils 1 nach Figur 2. Im vorliegenden Beispiel weist das Ventil 1 zusätzlich einen Positionssensor 25 auf mit einem

abtastenden Lineal 26, welches fix im Vakuumventil 1 so angeordnet ist, dass es ein Target 27, welches am

Ventilverschluss 4 angeordnet ist und mit diesem

verstellbar ist, erfasst. Der Positionssensor 25 misst also, vorzugsweise fortlaufend, die Position des

Ventilverschlusses 4 innerhalb des Ventils 1. Das

Messsignal des Positionssensors 25 wird wie dasjenige des Drucksensors 10 der Auswerteeinheit 18 mittels Datenkabel 19 zugeführt.

Die Positionsmessung und die Druckmessung sind dabei derart aufeinander abgestimmt (z.B. einfach durch fortlaufende Messungen mit ausreichend hoher Taktung, so dass zumindest quasi-synchrone Erfassung des Drucks und der Position erfolgt oder mittels eines Triggers zur Triggerung der beiden Messwertaufnehmer 10 und 25) bzw. die

Auswerteeinheit 18 ist so konfiguriert, dass die

Druckmesswerte mit den Positionsmesswerten (zeitlich) korreliert werden. Dadurch lässt sich beispielsweise als Zustandsinformation feststellen, welcher Druck (in der jeweiligen Druckleitung 14o, 14u bzw. der jeweiligen Kammer llo, llu) aufgebaut werden muss, bis sich der Kolben 13 (und damit der Ventilverschluss 4) zu bewegen beginnt.

Damit sind z.B. Rückschlüsse auf die Haftreibung im

Zylinder 9 möglich und/oder bei längerer, vorzugsweise automatischer, zeitlicher Überwachung des notwendigen

Mindestverstelldrucks etwaige Veränderungen im Laufe der Zeit feststellbar. Wird beispielsweise festgestellt, dass sich der zum Verstellen bzw. Öffnen und/oder Schliessen des Ventils 1 erforderliche Mindestdruck im Laufe der Zeit erhöht, kann dies ein Hinweis auf Verschleisserscheinungen im Ventil 1 sein und von der Auswerteeinheit 18 ein

Ausgabesignal ausgegeben werden, welches auf eine

notwendige Wartung hinweist.

Weist das Vakuumventil 1 wie im Beispiel eine Dichtung 23 auf, kann dabei anhand der Druckmessung und der

Positionsmessung eine Kraft-Weg-Kennlinie speziell für die Dichtung 23 erstellt werden (z.B. einfach als Ausschnitt einer Kraft-Weg-Kennlinie für die gesamte Schliess- oder Öffnungsbewegung) . Somit liegt dann eine charakteristische Elastomerkennlinie vor. Deren Auswertung, vor allem die

Beobachtung etwaiger Veränderungen der Kennlinie im Laufe der Zeit lassen Rückschlüsse z.B. auf

Alterungserscheinungen oder Verschleiss der Dichtung 23 zu.

Als weiterer Vorteil einer kombinierten Druck- und

Positionsmessung ergibt sich, dass die aufgrund des

gemessenen Drucks auf den Kolben 13 (und damit der auf den Kolben 13 wirkenden Kraft) zu erwartende Bewegung mit dessen tatsächlicher Bewegung, welche mit der

Positionsmessung vorliegt, verglichen werden kann. Hierzu erfolgt für das Ventil 1 beispielsweise abweichend zur

Darstellung der Figur 3 eine Druckmessung in beiden Kammern llo und llu, so dass die auf den Kolben 13 wirkenden Kräfte genau bekannt sind. Sind nun Diskrepanzen der daraus (und aus Kenntnis der Masse des Kolbens 13 und des Verschlusses 4 etc.) abgeleiten (quasi theoretischen) Bewegung zu der aus der Positionsmessung feststellbaren Bewegung erkennbar, so kann daraus z.B. auf zusätzlich wirkende äussere Kräfte oder unerwartete Reibung in der Antriebseinheit geschlossen werden .

Fig. 4 zeigt eine weitere erfindungsgemässe Ausführungsform eine Vakuumventils 1, welches im Beispiel ausgebildet ist als Transferventil, dargestellt in der Schliessposition G.

Das gezeigte Transferventil ist eine Sonderform eines

Schieberventils. Das Vakuumventil hat ein rechteckiges, plattenförmiges Verschlusselement 4 (z.B. Ventilteller), das eine Dichtfläche 6 zum gasdichten Verschliessen einer Öffnung 2 aufweist. Die Öffnung 2 hat einen dem

Verschlusselement 4 entsprechenden Querschnitt und ist in einer Wand 28 ausgeformt. Die Öffnung 2 ist von einem

Ventilsitz, der seinerseits ebenfalls eine mit der

Dichtfläche 6 des Verschlusselements 4 korrespondierende Dichtfläche 3 bereitstellt, umgeben. Die Dichtfläche 6 des Verschlusselements 4 umläuft das Verschlusselement 4 und weist ein Dichtmaterial (Dichtung) 23 auf. In einer

Geschlossenposition G werden die Dichtflächen 6, 3

aufeinander gedrückt und das Dichtmaterial 23 wird dabei verpresst.

Die Öffnung 2 verbindet einen ersten Gasbereich L, welcher sich auf der einen Seite der Wand 28 befindet, mit einem zweiten Gasbereich R auf der anderen Seite der Wand 28. Die Wand 28 wird z.B. durch eine Kammerwand einer Vakuumkammer gebildet. Das Vakuumventil 1 wird dann durch ein Zusammenwirken der Kammerwand 28 mit dem

Verschlusselement 4 gebildet.

Das Vakuumventil 1 weist eine erste Antriebseinheit 7 und eine zweite Antriebseinheit 7' auf, wobei im Beispiel beide Antriebseinheiten 7, 1' als pneumatische Antriebseinheiten ausgebildet sind. Das Verschlusselement 4 ist über eine zweite Zylinder-Kolben-Einheit 8' der zweiten pneumatischen Antriebseinheit 1' am unteren Ende 13u des Kolbens 13 der ersten Antriebseinheit 7 angeordnet. Die erste

Antriebseinheit 7 sorgt für die „vertikale" Bewegung des Ventilverschlusses 4 (also das Verstellen entlang der „vertikalen" Verstellachse V) , die zweite Antriebseinheit 7', welche dem Prinzip nach den gleichen Aufbau wie die erste Antriebseinheit 7 aufweist, für dessen „horizontale" Bewegung (Verstellen entlang der „horizontalen"

Verstellachse H) .

In der (nicht dargestellten) Offenposition 0 befindet sich das Verschlusselement 4 ausserhalb des Projektionsbereichs der Öffnung 2 und gibt diese vollständig frei. Durch

Verstellen des Kolbens 13 in axiale Richtung parallel zu der ersten, „vertikalen" Verstellachse V und parallel zu der Wand 28 kann das Verschlusselement 4 mittels der

Antriebseinheit 7 von der Offenposition 0 in eine

Zwischenposition verstellt werden. In dieser

Zwischenposition überdeckt die Dichtfläche 6 des

Verschlusselements 4 die Öffnung 2 und befindet sich in beabstandeter Gegenüberlage zu der die Öffnung 2 umgebenden Dichtfläche 3 des Ventilsitzes.

Durch Verstellen des Kolbens 13' der zweiten

Antriebseinheit 1' in Richtung der zweiten, „horizontalen Verstellachse H (quer zur ersten Verstellachse V) , also z.B. senkrecht zur Wand 28 und zum Ventilsitz, kann das Verschlusselement 4 von der Zwischenposition in die

dargestellte Geschlossenposition G verstellt werden.

In der Geschlossenposition G verschliesst das

Verschlusselement 4 die Öffnung 2 gasdicht und trennt somit den ersten Gasbereich L von dem zweiten Gasbereich R gasdicht .

Das Öffnen und Schliessen des Vakuumventils erfolgt also mittels der Antriebseinheiten 7 und 7' durch eine L-förmige Bewegung in zwei zueinander senkrechte Richtungen H, V des Verschlusselements 4. Daher wird das gezeigte

Transferventil auch L-Typ-Ventil genannt.

Ein Transferventil 1 wie gezeigt wird typischerweise zur Abdichtung eines Prozessvolumens (Vakuumkammer) und zur Be- und Entladung des Volumens vorgesehen. Häufige Wechsel zwischen der Offenposition und der Geschlossenposition G sind bei einem solchen Einsatz die Regel. Hierdurch können verstärkte Abnutzungserscheinungen der Dichtflächen 6, 3 und der mechanische bewegten Bauteile, z.B. der Dichtungen der jeweiligen Kolben-Zylinder-Einheit 8, 8' oder anderer Teile der Antriebseinheiten 7, 1' eintreten.

Erfindungsgemäss weist das Vakuumventil 1 Druckmesser 10 und 10' sowohl für das „vertikale" als auch das

„horizontale" Antriebssystem auf, womit der Druck des jeweiligen Druckmediums gemessen wird. Im Bespiel der vorliegenden Figur 4 sind die Druckmesser 10, 10' dabei analog der Ausführungsform nach den Figuren la, lb in die jeweiligen Rohrleitungen 14o, 14u bzw. Schlauchleitungen 14o' und 14u' integriert, welche den jeweiligen Zylinder 9 bzw. 9' versorgen. Durch ein derart ausgebildetes Transferventil 1 lässt sich somit vorteilhaft der Druck (z.B. Eingangsdrücke oder Drücke in den jeweiligen

Zylindern 9. 9' bzw. deren jeweiligen Kammern sowohl der „horizontalen" als auch der „vertikalen" Antriebseinheit 7' bzw. 7 messen oder überwachen.

Anstelle zweier separater Antriebseinheiten 7, 1' wie dargestellt kann auch eine Antriebseinheit zum Einsatz kommen, welche z.B. zwei Kolben-Zylinder-Einheiten 8, 8' aufweist, welche über ein gemeinsames

Druckluftleitungssystem versorgt werden, wie dies in einer möglichen Form z.B. in der DE 197 46 241 AI beschrieben ist. In derartigen Ausführungsformen erfolgt eine

Druckmessung ggf. dann mit weniger als vier Drucksensoren 10, 10', z.B. mit zwei Drucksensoren, die den jeweiligen Druck der jeweiligen „vertikalen" oder „horizontalen"

Antriebsuntereinheit sequentiell messen.

Es versteht sich, dass diese dargestellten Figuren nur mögliche Ausführungsbeispiele schematisch darstellen. Die verschiedenen Ansätze können ebenso miteinander sowie mit Verfahren und Vorrichtungen des Stands der Technik, z.B. mit einem sogenannten Pendelventil, kombiniert werden.