Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems einer Vakuumpumpe, vorzugsweise einer Molekular- oder Turbomolekularpumpe, welches mittels Magnetlagern im Gehäuse der Vakuumpumpe aufgehängt ist. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine für die Durchführung des Prüfverfahrens geeignete Vakuumpumpe.

Molekular- und Turbomolekularvakuumpumpen werden u. a. in der Halbleiterindustrie eingesetzt und dienen der Evakuierung von Kammern, in denen Plasmaprozesse ablaufen. Beim Ablauf derartiger Prozesse entstehen eine Vielzahl aggressiver Gase, wie z. B. Wasserstoff, Sauerstoff, Halogene, Verbindungen dieser Gase usw., welche elementar, molekular und/oder auch als Radikale vorliegen. Kritisch sind diese Gase vor allem für fett- oder ölgeschmierte Lagerungen. Es ist deshalb erstrebenswert, Vakuumpumpen für diese Einsatzzwecke mit Magnetlagerungen zu betreiben. Passive oder zumindest weitgehend passive, also mit Permanentmagneten ausge¬ rüstete Magnetlagerungen haben sich als besonders vorteilhaft erwiesen.

Die Montage von magnetgelagerten Vakuumpumpen ist zeit- und kostenaufwendig, da sie sehr sorgfältig durchgeführt werden muß. Der Grund dafür liegt darin, daß zwischen den rotierenden und festen Bauteilen der Magnetlagerungen relativ kleine Spalte (wenige Zehntelmillimeter) vorhanden sind. Eine weitere Schwie¬ rigkeit ist die Montage von Einrichtungen zur Begrenzung der

radialen und axialen Abweichungen des rotierenden Systems von der Sollage (Notlauflagereinrichtungen) . Diese Einrichtungen sollen verhindern, daß bei Störungen (Erschütterungen, Stöße, Luftein¬ brüche usw. ) die rotierenden und festen Bauteile sowohl des Magnetlagers als auch der Vakuumpumpe (insbesondere die Schaufeln von Turbomolekularpumpen) einander berühren. Notlauflagerein¬ richtungen umfassen das unmittelbare Lager, in der Regel ein trockenlaufendes Lager, da Fett- oder ölSchmierungen die Qualität des von der Pumpe erzeugten Vakuums beeinträchtigen würden. Das Lager kann mit der Welle des rotierenden Systems rotieren oder - bei störungsfreiem Betrieb - dem rotierenden System ruhend zugeordnet sein. Zur Notlauflagereinrichtung gehören weiterhin Bauteile, die das Notlauflager tragen. Weitere Bauteile sind mit Kontaktflächen ausgerüstet, die dem Lager zugeordnet sind und davon einen Abstand haben müssen, der der maximal zulässigen Abweichung entspricht.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Möglich¬ keiten zu schaffen, die zum einen die Kontrolle der korrekten Montage einer magnetgelagerten Vakuumpumpe und zum anderen eine einfache Justierung der Bauteile von Notlauflagereinrichtungen zulassen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems nach seiner magnetischen Aufhängung derart vorgenommen wird, daß der Rotor und das Gehäuse in einen Stromkreis eingeschaltet werden, in dem sich neben einer Stromquelle ein Stromflußindikator befindet, und daß das Prüfungsergebnis mit Hilfe des Stromindi- katorε festgestellt wird. Zeigt der Stromindikator einen Strom¬ fluß an, dann berühren sich das rotierende System und das Gehäuse der Vakuumpumpe. Diese Berührungen können auf fehlerhafter (bei¬ spielsweise schiefer) Montage von Magnetlagerungen oder auf Verunreinigungen (Späne) beruhen. Der festgestellte Fehler ist dann zu beseitigen. Vorteilhaft an diesem Kontrollverfahren ist, daß es technisch einfach und schnell durchführbar ist.

Besonders vorteilhaft ist, daß das erfindungsgemäße Verfahren auch die Justierung von Notlauflagereinrichtungen ermöglicht. Diese Justierung schließt sich zweckmäßig dem Schritt der Über¬ prüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems an, so daß die jeweilige Notlauflagereinrichtung der korrekten Soll-Lage des rotierenden Systems angepaßt wird.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen:

- Figur 1 einen Schnitt durch eine vereinfacht dargestellte magnetgelagerte Turbomolekularvakuumpumpe und

- Figur 2 einen Teilschnitt durch eine Pumpe nach Figur 1 mit einer weiteren Ausführungsform einer nach der Erfindung justierbaren Notlauflagereinrichtung.

Die in Figur 1 dargestellte Turbomolekularvakuumpumpe 1 weist die Gehäuseteile 2, 3 und 4 auf. Das Gehäuseteil 2 bildet gleichzei¬ tig den Stator und trägt die Statorschaufeln 5. Die Statorschau¬ feln 5 und die am Rotor 6 befestigten Rotorschaufeln 7 sind wechselnd in Reihen angeordnet und bilden den ringförmigen Gasförderkanal 8. Der Gasförderkanal 8 verbindet den Einlaß 9 der Pumpe 1, gebildet vom Anschlußflansch 11, mit dem Auslaß 12, an den üblicherweise eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.

Der Rotor 6 ist auf einer Welle 13 befestigt, die sich ihrerseits über Magnetlagerungen 14 und 15 im Gehäuse der Pumpe 1 abstützt. Zwischen den beiden Magnetlagerungen 14 und 15 befindet sich der Antriebsmotor 16, der von der Spule 17 und dem mit der Welle 13 rotierenden Anker 18 gebildet wird. Der Antriebsmotor 16 ist als Spaltrohrmotor ausgebildet. Das zwischen Spule 17 und Anker 18 angeordnete Spaltrohr ist mit 19 bezeichnet. Die Spule 17 befin¬ det sich in einem vom Spaltrohr und vom Gehäuseteil 3 gebildeten Raum 21, der für die von der Pumpe 1 geförderten Gase nicht zugänglich ist.

Das obere Magnetlager 14 ist als passives Magnetlager ausgebil¬ det. Es besteht aus rotierenden Lagerringen 22, welche auf der Welle 13 befestigt sind, und ortsfesten Lagerringen 23, die von der Hülse 24 umgeben sind.

Das weitere Magnetlager 15 ist teilweise aktiv (in axialer Richtung) und teilweise passiv (in radialer Richtung) ausgebil¬ det. Um dieses zu erreichen, sind auf der Welle 13 Lagerringe 25 befestigt, welche jeweils aus einem Nabenring 26, einem Perma¬ nentmagnetring 27 und einem Armierungsring 28 bestehen. Diese Armierungsringe haben die Aufgabe, Zerstörungen der Permanent¬ magnetringe 27 infolge der hohen Fliehkräfte zu vermeiden.

Den rotierenden Permanentringen 27 sind feststehende Spulen 29 zugeordnet. Diese bilden Magnetfelder, die mit Hilfe des durch die Spulen fließenden Stromes veränderbar sind. Die Änderungen des Spulenstromes erfolgen in Abhängigkeit von Axialsensoren, welche nicht dargestellt sind.

Im Spalt zwischen den mit der Welle rotierenden Lagerringen 25 befindet sich eine feststehende Ringscheibe 31 aus nicht magne- tisierbarem Material hoher elektrischer Leitfähigkeit. Dieses Material bewirkt eine Lagerstabilisierung mit wirkungsvoller Wirbelstromdämpfung. Ein dem Magnetlager 15 entsprechendes Lager ist in der europäischen Patentschrift 155 624 offenbart.

Mit 32 und 33 sind Notlauflagereinrichtungen bezeichnet. Das obere Notlauflager 33 ist an einem zentralen Flanschbauteil 34 befestigt, das sich im Einlaßbereich 9 der Pumpe 1 befindet und über Stützen 35 am Gehäuseteil 2 abstützt. Dem Lager 33 ist am Rotor 6 ein topfförmiges Bauteil 36 zugeordnet. Zwischen der Innenwand des Bauteiles 36 und dem Außenring 37 des Lagers 33 ist ein Spalt 38 vorgesehen, so daß diese Bauteile einander nicht berühren, wenn der Rotor seine Soll-Lage hat. Führen größere Erschütterungen zu entsprechend größeren radialen Auslenkungen der Rotordrehachse, dann kommt ein Kontakt zwischen Bauteil 36 und Notlauflager 33 zustande. Der Spalt 38 zwischen Lager 33 und

Bauteil 36 ist so bemessen, daß die radialen Auslenkungen auf ein zulässiges Maß begrenzt sind.

Das untere Notlauflager 32, das mit der Welle 13 rotiert, ist dazu bestimmt, auch axiale Abweichungen des Rotors 6 von der Soll-Lage zu verhindern. Dazu ist im Zwischenflansch 39 zwischen den Gehäuseteilen 3 und 4 eine zylindrische Ausnehmung 41 mit radialen Abstufungen vorgesehen, auf die sich der Außenring des Lagers 32 bei übermäßigen axialen Verschiebungen des Rotors 6 (z. B. bei einem Lufteinbruch im Einlaßbereich der Pumpe) aufsetzt.

Die Überprüfung der korrekten Betriebsposition des rotierenden Systems erfolgt folgendermaßen:

Der magnetisch aufgehängte, aber noch nicht vom Antriebsmotor 16 in Drehung versetzte Rotor 6 und das Gehäuse werden derart hintereinander in einen Stromkreis 42 eingeschaltet, daß die zwischen dem rotierenden System und dem Gehäuse bestehenden Abstände ebenfalls Bestandteil des Stromkreises 42 sind. Die Befestigung der zum Stromkreis 42 gehörenden Leitungen am Rotor 6 (z. B. an eine Rotorschaufel 7) und am Gehäuseteil 1 kann z. B. mit Krokodilklemmen durchgeführt werden. Dabei ist eine Abwei¬ chungen des Rotors 6 von der Soll-Lage bewirkenden Belastung zu vermeiden.

Im Stromkreis 42 befinden sich außerdem die Stromquelle 43 und der Stromflußindikator 44, z. B. eine Lampe. Ist beispielsweise das Magnetlager 14 nicht gleichmäßig montiert oder befinden sich noch Metallspäne insbesondere im Bereich der Magnetlager, dann kann es zu einer Schieflage des rotierenden Systems oder einer Überbrückung der zwischen den ruhenden und den rotierenden Lagerringen befindlichen Spalte kommen. Die Folge ist, daß ein Strom fließt, der vom Indikator 44 angezeigt wird. In diesem Falle liegt ein Fehler vor, der beseitigt werden muß.

Zeigt der Indikator 44 keinen Stromfluß an, dann ist die Montage fehlerfrei. Das rotierende System, das seine Soll-Lage eingenom¬ men hat, ist berührungsfrei im Gehäuse aufgehängt.

Ein besonderes Problem ist noch die Justierung der oberen Not¬ lauflagereinrichtung 33, 34, 36. Der Grund dafür liegt unter anderem darin, daß die Stützen 35 nachträglich in das Gehäuseteil 2 eingeschweißt werden müssen, so daß eine von Anfang an exakte, mit der Soll-Lage des Rotors 6 fluchtende Befestigung des Flansch¬ bauteiles 34 an den Stützen 35 nicht möglich ist.

Um die Notlauflagereinrichtung 33, 34, 36 exakt justieren zu können, ist es erforderlich, einen Spalt 38 einzustellen, der über seinen Umfang eine im wesentlichen gleiche Stärke hat. Die das obere Notlauflager bildenden Bauteile sind so ausgebildet, daß sie diese Justierung erlauben.

Das Flanschbauteil 34 weist einen Stutzen auf, an dem das Lager 33 mit Hilfe des Bolzens 45 befestigt ist. Der Lagerinnenring 46 liegt dem Stutzen an und wird vom Bolzenkopf in seiner Lage gehalten. Das Flanschbauteil 34 ist radial verschiebbar mittels der Schrauben 47 an einem Ring 48 befestigt, der von den Stützen 35 getragen wird. Weiterhin ist der Bolzen 45 mit einer Axial¬ bohrung 49 ausgerüstet. Schließlich weist noch der Boden 51 des topfförmigen Bauteiles 36 eine Bohrung 52 auf.

Die Justierung der oberen Notlauflagereinrichtung erfolgt mit Hilfe eines Stiftes 53, der in die Bohrungen 49 und 52 ein¬ schiebbar ist. Zwischen dem Stift 53 und der Bohrung 49 besteht eine Schiebepassung, d. h. das Spiel zwischen dem Stift 53 und der Bohrung 49 ist so gering, daß gerade noch eine axiale Ver¬ schiebung des Stiftes 53 möglich ist. Die Notlauflagereinrichtung ist dann justiert, wenn die Bohrungen 49 und 52 zueinander eine konzentrische Lage haben. Die Bohrung 52 ist so groß gewählt, daß der Stift 53 mit dieser Bohrung 52 für den Fall, daß er eine zentrische Position eingenommen hat, einen Ringspalt bildet, dessen Größe zwischen 5 und 10 Prozent der maximal zulässigen

radialen Rotorauslenkung beträgt. Wird zum Beispiel eine maximale radiale Rotorauslenkung von 0,3 mm zugelassen, dann sollte der von dem Stift 53 und der Bohrung 52 gebildete Ringspalt - bei konzentrischer Lage des Stiftes 53 - etwa 20 bis 30 μ stark sein. Dieses ist beispielsweise der Fall, wenn der Stift 53 einen Durchmesser von 3 mm und die Bohrung 52 einen Durchmesser von 3,05 mm hat.

Die Justage erfolgt in der Weise, daß das Flanschbauteil 34 zunächst klemmend am Ring 47 befestigt wird. Danach wird der Stift 53 durch die Bohrung 49 eingeführt. Liegen die Bohrungen 49 und 52 nicht konzentrisch übereinander, dann wird der Stift 53 den Boden 51 des Bauteiles 36 berühren, so daß dadurch der Stromkreis 42 geschlossen wird. Der Stromflußindikator 44 leuch¬ tet auf. Das Flanschbauteil 34 wird solange - z. B. durch Stöße auf das Bauteil 34 - seitlich verschoben, bis der Stromflußin¬ dikator keinen Stromfluß mehr anzeigt. Die Bohrungen 49 und 52 liegen dann konzentrisch übereinander. Die maximale Fehlerquote ist kleiner als 10 Prozent. Danach werden die Schrauben 48 zur festen Halterung des Bauteiles 34 am Ring 47 angezogen und der Stift 53 sowie die den Stromkreis 42 bildenden Mittel entfernt. Die Pumpe 1 kann in Betrieb genommen werden.

Das Ausführungsbeispiel nach Figur 2 entspricht weitgehend dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1. Unterschiedlich ist lediglich, daß das Notlauflager 33 am rotierenden Topfbauteil 36 mittels Klemmringen befestigt ist, so daß sich der Spalt 38 zwischen dem Innenring 46 und dem Stutzen des ruhenden Flanschbauteiles 34 befindet. Ein Bolzen 45 ist nicht mehr erforderlich. Die Bohrung 49 befindet sich unmittelbar im Bauteil 34.

Die Justage dieser Notlauflagereinrichtung erfolgt in der Weise, wie es zum Ausführungsbeispiel nach Figur 1 beschrieben wurde. Nach der Justage werden wieder die Schrauben 48 fest angezogen und der Stift 53 sowie die den Stromkreis 42 bildenden Mittel entfernt. Die Pumpe kann in Betrieb genommen werden.