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Patent Searching and Data


Title:
PLASMA DISPLAY PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/060496
Kind Code:
A1
Abstract:
A plasma display panel includes a first substrate and a second substrate which face each other. The first substrate includes first and second electrodes extending in a first direction, a first dielectric layer, address electrodes, and a protective layer. First barrier ribs extending in a second direction crossing the first direction and second barrier ribs extending in the first direction are formed integrally with the second substrate. For example, the address electrodes are provided on the first dielectric layer covering the first and second electrodes and provided along the first barrier ribs. The protective layer includes first protrusions provided on the first dielectric layer and the address electrodes and each curved to fit the step of the address electrode at a portion located on the address electrode. The first protrusions each touch at least either the first or the second barrier rib, and consequently exhaust paths along the second direction are formed between the protective layer except the portions of the first protrusions and the second barrier ribs.

Inventors:
HARADA HIDEKI (JP)
SAWAI YUICHI (JP)
Application Number:
PCT/JP2007/001211
Publication Date:
May 14, 2009
Filing Date:
November 06, 2007
Export Citation:
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Assignee:
HITACHI LTD (JP)
HARADA HIDEKI (JP)
SAWAI YUICHI (JP)
International Classes:
H01J9/02; H01J11/14; H01J11/40; H01J11/54
Foreign References:
JP2006286250A2006-10-19
Attorney, Agent or Firm:
FURUYA, Fumio et al. (19-5 Nishishinjuku 1-chom, Shinjuku-ku Tokyo 23, JP)
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Claims:
 放電空間を介して互いに対向する第1基板および第2基板と、
 前記第1基板上に、第1方向にそれぞれ延在する第1および第2電極と、
 前記第1基板上に設けられ、前記第1および第2電極を覆う第1誘電体層と、
 前記第2基板と一体に形成され、前記第1方向と交差する第2方向に延在し、間隔を置いて配置された複数の第1隔壁と、
 前記第1隔壁と一体に形成され、前記第1方向に延在し、間隔を置いて配置された複数の第2隔壁と、
 前記第1誘電体層上に設けられ、前記第1隔壁に沿って延在するアドレス電極と、
 前記第1誘電体層および前記アドレス電極上に設けられ、前記アドレス電極上に位置する部分で、前記アドレス電極の段差に合わせて湾曲する第1突出部を有し、前記第1突出部が前記第1および第2隔壁の少なくとも一方に接する保護層と、
 前記第1突出部を除いた部分の前記保護層と前記第2隔壁との間に形成された前記第2方向に沿う排気経路とを備えていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項1記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記アドレス電極は、厚さが1μm以上10μm以下に形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項1記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記アドレス電極は、少なくとも一部が、前記第1隔壁に対向する位置に設けられていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項1記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記第1誘電体層および前記アドレス電極と前記保護層との間に設けられ、前記アドレス電極上に位置する部分で、前記アドレス電極の段差に合わせて前記第1突出部とともに湾曲する第2突出部を有する第2誘電体層を備えていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項1記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記第1および第2基板間に設けられ、前記第1および第2隔壁の形成領域より外側に額縁状に配置され、前記第1基板と前記第2基板とを封着するための封着フリットを備えていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項5記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記封着フリットは、セラミックスフィラーを含有しないガラスで形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 請求項5記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
 前記封着フリットは、ガラスおよびセラミックスフィラーにより構成され、
 前記セラミックスフィラーは、最大粒子径が前記アドレス電極の厚さ以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
 放電空間を介して互いに対向する第1基板および第2基板を備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
 前記第1基板上に、第1方向に延在する第1および第2電極を形成し、
 前記第1基板上に、前記第1および第2電極を覆う第1誘電体層を形成し、
 前記第1誘電体層上に、前記第1方向と交差する第2方向に延在するアドレス電極を形成し、
 前記第1誘電体層および前記アドレス電極上に、前記アドレス電極上に位置する部分で、前記アドレス電極の段差に合わせて湾曲する第1突出部を有する保護層を形成し、
 前記第2基板を選択的に除去して、前記第2基板上に格子状の隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
 請求項8記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
 前記保護層を形成する前に、前記第1誘電体層および前記アドレス電極上に、前記アドレス電極上に位置する部分で、前記アドレス電極の段差に合わせて湾曲する第2突出部を有する第2誘電体層を形成し、
 前記保護層を前記第2誘電体層上に形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
 請求項8記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
 前記アドレス電極の厚さを1μm以上10μm以下に形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
 
Description:
プラズマディスプレイパネルお びプラズマディスプレイパネルの製造方法

 本発明は、プラズマディスプレイパネル よびプラズマディスプレイパネルの製造方 に関する。

 プラズマディスプレイパネル(PDP)は、2枚 ガラス基板をシール材により互いに貼り合 せて構成されており、ガラス基板の間に形 される空間(放電空間)に放電光を発生させ ことで画像を表示する。画像における画素 対応するセルは、自発光型であり、放電に り発生する紫外線を受けて赤、緑、青の可 光を発生する蛍光体が塗布されている。

 例えば、3電極構造のPDPは、X電極およびY 極間でサステイン放電を発生させることで 画像を表示する。サステイン放電を発生さ るセル(点灯させるセル)は、例えば、Y電極 よびアドレス電極間で選択的にアドレス放 を発生させることにより、選択される。

 また、近年、X電極およびY電極とアドレス 極の3電極を前面ガラス基板に配置したPDPが 案されている(例えば、特許文献1参照)。こ 種のPDPでは、アドレス電極が背面ガラス基 上に配置されないため、放電空間が形成さ る領域の背面ガラス基板をサンドブラスト により除去することにより、背面ガラス基 と一体に格子状の隔壁を形成することもで る。例えば、格子状の隔壁は、アドレス電 の延在する方向に沿って配置される縦方向 隔壁と、アドレス電極の延在する方向に直 する方向に延在する横方向の隔壁とで構成 れる。

特開2005-116508号公報

 格子状に隔壁を設けたPDPでは、例えば、 述した横方向の隔壁の高さや形状を変える とにより、組み立てられたPDPの放電空間に 電ガスを封入するための排気経路を確保す 。しかしながら、横方向の隔壁の高さや形 を変えるプロセスは、煩雑であり、熱収縮 利用するプロセスは、加工精度の管理が難 い。特に、背面ガラス基板と一体に格子状 隔壁を設けたPDPでは、横方向の隔壁の形状 変えることにより、排気経路を確保するこ は、困難であり、排気経路を設けるための 造コストが増加する。

 本発明の目的は、前面ガラス基板上に3電 極を有するPDPにおいて、製造コストの増加を 抑制しつつ、放電空間に放電ガス等を封入す るための排気経路を設けることである。

 プラズマディスプレイパネルは、互いに 向する第1基板および第2基板を有している 第1基板は、第1方向に延在する第1および第2 極、第1誘電体層、アドレス電極、保護層を 有している。そして、第1方向と交差する第2 向に延在する第1隔壁と第2方向に延在する 2隔壁とが、第2基板と一体に形成されている 。例えば、アドレス電極は、第1および第2電 を覆う第1誘電体層上に設けられ、前記第1 壁に沿って延在して設けられる。そして、 護層は、第1誘電体層およびアドレス電極上 設けられ、アドレス電極上に位置する部分 、アドレス電極の段差に合わせて湾曲する 1突出部を有している。この第1突出部が第1 よび第2隔壁の少なくとも一方に接し、第1 出部を除いた部分の保護層と第2隔壁との間 第2方向に沿う排気経路が形成されている。

 本発明では、前面ガラス基板上に3電極を 有するPDPにおいて、製造コストの増加を抑制 しつつ、放電空間に放電ガス等を封入するた めの排気経路を設けることができる。

一実施形態におけるPDPの要部を示す図 ある。 図1に示したPDPの概要を示す図である。 図2に示したPDPのA-A’線に沿う断面を示 す図である。 図2に示したPDPのB-B’線に沿う断面を示 す図である。 図1に示したPDP内部の真空度と排気時間 との関係の一例を示す図である。 排気時間を60分に固定したときのPDPの 空度と、アドレス電極AEの厚さとの関係の一 例を示す図である。 図1に示したPDPを用いて構成されたプラ ズマディスプレイ装置の一例を示す図である 。 図7に示した回路部の概要を示す図であ る。 別の実施形態におけるPDPの要部を示す である。 別の実施形態におけるPDPの要部を示す 図である。 図10に示したPDPのA-A’線に沿う断面を す図である。 図1に示した実施形態の変形例におけ PDPの要部を示す図である。 図12に示したPDPのA-A’線に沿う断面を す図である。

 以下、本発明の実施形態を図面を用いて 明する。

 図1は、実施形態の1つにおけるプラズマ ィスプレイパネル(以下、PDPとも称する)の要 部を示している。図中の矢印D1は、第1方向D1 示し、矢印D2は、第1方向D1に画像表示面に 行な面内で直交する第2方向D2を示している PDP10は、画像表示面を構成する前面基板部12 、前面基板部12に対向する背面基板部14とに より構成されている。前面基板部12と背面基 部14の間(より詳細には、背面基板部14の凹 )に放電空間DSが形成される。

 前面基板部12は、ガラス基材FS(第1基板)上 (図では下側)に第1方向D1に延在して形成され X電極XE(第1電極、維持電極)およびY電極YE(第 2電極、走査電極)を有している。X電極XEは、X バス電極XbおよびX透明電極Xtにより構成され Y電極YEは、Yバス電極YbおよびY透明電極Ytに り構成され、X電極XEと対をなしている。X電 極XEおよびY電極YEで構成される電極対(より具 体的には、X透明電極XtおよびY透明電極Yt間) 繰り返して放電(サステイン放電)を発生させ る。

 Xバス電極XbおよびYバス電極Ybは、ガラス 材FS上に第1方向D1に沿って平行に形成され 第2方向D2に沿って交互に形成される。そし 、Xバス電極Xbには、Xバス電極XbからYバス電 Ybに向けて第2方向D2に延在するX透明電極Xt 接続されている。また、Yバス電極Ybには、Y ス電極YbからXバス電極Xbに向けて第2方向D2 延在するY透明電極Ytが接続されている。な 、透明電極XtおよびYtは、それぞれが接続さ るバス電極XbおよびYbとガラス基材FSとの間 全面に配置されてもよい。

 ここで、Xバス電極XbおよびYバス電極Ybは 金属材料等で形成された不透明な電極であ 、X透明電極XtおよびY透明電極Ytは、ITO膜等 形成された可視光を透過する透明電極であ 。なお、バス電極XbおよびYbと同じ材料(金 材料等)で、バス電極XbおよびYbと一体の電極 が透明電極XtおよびYtの代わりに形成されて よい。

 電極Xb、Xt、Yb、Ytは、第1誘電体層DL1に覆 れている。すなわち、ガラス基材FS上(図で 下側)に、電極XE、YEを覆う誘電体層DL1が形 される。例えば、誘電体層DL1は、電極XE(バ 電極Xb、透明電極Xt)および電極YE(バス電極Yb 透明電極Yt)が形成されたガラス基材FSを焼 し、その後、ガラス基材FSに誘電体スラリー (例えば、固体と液体との混合物による誘電 材料)を塗布し、乾燥、サンドブラスト、焼 工程を経て形成される。なお、誘電体層DL1 、CVD法により形成された二酸化シリコン膜 の絶縁膜で形成されてもよい。

 誘電体層DL1上(図では下側)に、バス電極Xb 、Ybに直交する方向(第2方向D2)に延在する複 のアドレス電極AEが形成される。このように 、この実施形態のPDPは、前面基板部12に3電極 (電極XE、YE、AE)を有している。例えば、アド ス電極AEは、誘電体層DL1上に電極材料を塗 、乾燥、焼成し、アドレス電極AEのパターン が形成されたフォトマスクを用い、露光、現 像、エッチング工程を経て形成される。

 例えば、アドレス電極AEは、光学濃度(Opti cal Density値(OD値))が高いバナジンリン酸ガラ を金属粒子に混合した材料で形成され、黒 化されている。なお、アドレス電極AEは、Fe 、Mn、Co、Ru、Ni、Mo等の酸化物顔料を混合し ガラスを用いて、黒色化あるいは暗色化さ て形成されてもよい。黒色化されたアドレ 電極AEは、入射される外光を吸収するため、 ブラックマトリックスとして機能する。この 結果、この実施形態では、画像のコントラス トを向上できる。

 アドレス電極AEおよび誘電体層DL1は、保 層PLに覆われている。すなわち、誘電体層DL1 およびアドレス電極AE上(図では下側)に、保 層PLが形成される。なお、保護層PLは、アド ス電極AE上に位置する部分で、アドレス電 AEの段差に合わせて湾曲する第1突出部PP1を して形成される。例えば、保護層PLは、放電 を発生しやすくするために、陽イオンの衝突 による2次電子の放出特性の高いMgO膜で形成 れる。

 放電空間DSを介して前面基板部12に対向す る背面基板部14は、ガラス基材RS(第2基板)上 、第1隔壁(バリアリブ)BR1および第2隔壁BR2に り格子状に形成された隔壁を有している。 壁BR1は、アドレス電極AEに沿った第2方向D2 延在して配置されている。換言すれば、ア レス電極AEは、隔壁BR1に沿って延在している 。また、隔壁BR2は、バス電極Xb、Ybに沿った 1方向D1に延在して配置さている。隔壁BR1、BR 2により、セル(後述する図2に示す波線で囲ん だ領域)の側壁が構成される。

 例えば、隔壁BR1、BR2は、以下に示す工程 より、ガラス基材RSの放電空間DSが形成され る部分を直接食刻して形成される。先ず、洗 浄、乾燥工程が実施されたガラス基材RS上に ドライフィルムレジスト等のフォトレジス が設けられる。ガラス基材RS上に設けられ フォトレジストは、マスク等により露光現 することにより、セルの位置および形状に 応した所定のパターン(例えば、格子状の隔 パターン)に形成される。すなわち、ガラス 基材RS上に、フォトレジストにより格子状の 壁パターンが形成される。

 上述の露光工程は、露光光がガラス基材R Sの裏面(図の下側の面)で反射し、再びガラス 基材RSを通過してフォトレジストを誤って感 することを防止するために、ガラス基材RS 黒色のステージ上に置いて実施される。あ いは、ガラス基材RSの裏面(図の下側の面)は 露光工程の前に、予め黒色に色付けされて る。

 ガラス基材RSのうち、フォトレジスト(格 状の隔壁パターン)で覆われていない部分が 、サンドブラスト等により切削される。サン ドブラストでは、十分な切削力を有する高強 度なセラミックス材料(炭化ケイ素や酸化ア ミニウム等)の粉末が、切削材として用いら る。なお、フォトレジストは、高強度なセ ミックス材料の粉末を用いたサンドブラス 加工に対応するため、ガラス軟化点が高く 耐アルカリ性に優れた材料が用いられる。

 最後に、フォトレジストがエッチング除 され、隔壁BR1、BR2が形成される。このよう 、この実施形態では、ガラス基材RSを選択 に除去して、ガラス基材RS上に格子状の隔壁 (隔壁BR1、BR2)が形成される。また、この実施 態では、隔壁BR1、BR2を形成するための焼成 程を必要としないため、PDPの製造コストを 減できる。多くの場合、この焼成工程の焼 炉は電気をエネルギーとしており、この焼 工程を無くすことは電気エネルギーの削減 もなる。また、ガラス基材RSを除去して隔 を形成場合、ペースト状の隔壁材料等を用 る必要がないため、廃材の削減にもなる。

 さらに、上述の工程により形成された隔 BR1、BR2の側面と、隔壁BR1、BR2に囲まれた部 のガラス基材RS上とに、紫外線により励起 れて赤(R)、緑(G)、青(B)の可視光を発生する 光体PHr、PHg、PHbが、それぞれ塗布される。 下、可視光の色毎に区別しない場合等、蛍 体PHr、PHg、PHbを、蛍光体PHとも称する。

 PDP10の1つの画素は、赤、緑および青の光 発生する3つのセルにより構成される。ここ で、1つのセル(一色の画素)は、後述する図2 示すように、隔壁BR1、BR2で囲われる領域に 成される。このように、PDP10は、画像を表示 するためにセルをマトリックス状に配置し、 かつ互いに異なる色の光を発生する複数種の セルを交互に配列して構成されている。特に 図示していないが、バス電極Xb、Ybに沿って 成されたセルにより、表示ラインが構成さ る。

 PDP10は、前面基板部12および背面基板部14 、保護層PL(より詳細には、突出部PP1)と隔壁 BR1(あるいは隔壁BR2)が互いに接するように貼 合わせ、Ne、Xe等の放電ガスを放電空間DSに 入することで構成される。なお、放電ガス 放電空間DSに封入するための排気経路ERは、 互いに隣接する突出部PP1間に形成される。

 図2、図3および図4は、図1に示したPDP10の 要を示している。なお、図2は、画像表示面 側(図3の上側)から見たPDP10の状態を示してい 。また、図3は、図2に示したPDP10のA-A’線に 沿う断面を示し、図4は、図2に示したPDP10のB- B’線に沿う断面を示している。図2の網掛け 分は、ガラス基材RSの外周部OTおよび隔壁BR1 、BR2(隔壁BR1、BR2の形成領域BA)を示し、図2お び図4の第2方向D2に沿った波線の矢印は、排 気経路ERを示している。また、上述したよう 、セルC1は、隔壁BR1、BR2で囲われる領域(図2 の破線で囲んだ領域)に形成される。

 図2に示すように、透明電極Xtは、各セルC 1内に配置され、バス電極Xbからバス電極Ybに けて突出し、先端の幅が根本より広いT字形 状に形成されている。そして、透明電極Ytは 各セルC1内に配置され、バス電極Ybからバス 電極Xbに向けて突出し、先端の幅が根本よりT 字形状に形成されている。図の例では、透明 電極Xt、Ytは、第2方向D2に沿って対向してい 。これにより、透明電極Xtと透明電極Yt間に 圧を印加することにより、アドレス放電に り選択されたセルC1でサステイン放電を発 させることができる。

 アドレス電極AEは、第2方向D2に配列され セルC1のグループ毎に設けられ、隔壁BR1に沿 って延在して配置されている。また、画像表 示面側から見た場合、アドレス電極AEは、一 が隔壁BR1から自身に対応するセルC1側(図で 、隔壁BR1の右側)にはみ出して配置されてい る。すなわち、アドレス電極AEは、自身に対 する一方のセルC1側に片寄って配置されて る。このため、アドレス電極AEと透明電極Yt に電圧を印加することにより、着目するセ C1でアドレス放電を発生させることができ 。このとき、隔壁BR1も誘電体層の一部とし 作用し、アドレス電極AEと透明電極Yt間の電 が放電空間DSに生ずる。なお、アドレス電 AEは、全部が隔壁BR1上に配置されてもよいし 、全部が隔壁BR1より自身に対応するセルC1側 配置されてもよい。

 前面基板部12と背面基板部14とを貼り合わ せるための封着フリットSFは、ガラス基材RS 外周部OTに額縁状に形成されている。例えば 、封着フリットSFは、セラミックスフィラー 含有しない低融点ガラスで形成され、前面 板部12と背面基板部14とを貼り合わせる。な お、封着フリットSFは、ガラスおよびセラミ クスフィラーにより形成されてもよい。こ 場合、セラミックスフィラーは、最大粒子 がアドレス電極AEの厚さ(例えば、1μm~10μm) 下のものが用いられる。

 ここで、ガラスおよびセラミックスフィ ーにより形成される一般的な封着フリット は、セラミックスフィラーの平均粒子経は 10μm~20μm程度である。例えば、アドレス電 AEの厚さよりも大きな粒子経を有するセラミ ックスフィラーが混合されると、前面基板部 12と背面基板部14とを貼り合わせた後の封着 リットの厚さは、アドレス電極AEの厚さより 大きくなる。この場合、アドレス電極AEの端 (PDP10と外部回路との接続部)の近辺等で前面 基板部12と背面基板部14とが完全に密着しな おそれがある。

 これに対し、この実施形態では、封着フ ットSFにセラミックスフィラーが含有され ときでも、アドレス電極AEの厚さ以下の粒子 経を有するセラミックスフィラーが使用され る。これにより、この実施形態では、前面基 板部12と背面基板部14とを貼り合わせた後の 着フリットの厚さがアドレス電極AEの厚さよ り大きくなることを防止でき、前面基板部12 背面基板部14とを気密性よく貼り合わせる とができる。なお、この実施形態に適用さ るアドレス電極AEの厚さの範囲は、後述する 図5および図6で説明する。

 封着フリットSFと隔壁BR1、BR2の形成領域BA との間に形成された排気空間ESには、ガラス 材RSの外面(図3および図4の下側)まで貫通す 排気孔EHが設けられている。例えば、排気 間ESは、サンドブラスト法等により、ガラス 基材RSを直接彫り込んで、額縁状に形成され 。なお、排気経路ERは、各セルC1(より詳細 は各セルC1の放電空間DS)を通って第2方向D2に 沿って形成される。これにより、放電ガスは 、前面基板部12と背面基板部14とを貼り合わ た後に、排気孔EH、排気空間ES、および排気 路ERを介して各セルC1の放電空間DSに封入さ る。

 図3に示すように、封着フリットSFは、前面 板部12および背面基板部14の間に設けられ、 前面基板部12と背面基板部14とを貼り合わせ いる。
すなわち、封着フリットSFは、前面基板部12 よび背面基板部14間に設けられ、隔壁BR1、BR2 の形成領域BAより外側に額縁状に配置されて る。また、アドレス電極AEは、一部が隔壁BR 1に対向する位置に設けられ、保護層PLは、ア ドレス電極AE部で盛り上がる突出部PP1が隔壁B R1に接して形成されている。

 なお、アドレス電極AEおよび突出部PP1は 隔壁BR1を外して、隔壁BR1より自身に対応す セルC1側(図3では、右側)に設けられてもよい 。この場合にも、突出部PP1は、隔壁BR2により 支持されるため、排気経路ERを確保できる。 た、図3の例では、一番右側の隔壁BR1上には 、アドレス電極AEが配置されていないが、後 する図11に示すように、アドレス電極AEが配 置されていない隔壁BR1上に、ダミー電極DEが 置されてもよい。

 図4に示すように、排気経路ERは、両端に 成された排気空間ESの一方から他方まで、 セルC1の放電空間DSを通って第2方向D2に沿っ 形成されている。なお、排気経路ERは、上 した図3に示した互いに隣接する突出部PP1間 形成されている。すなわち、この実施形態 は、隔壁BR2と保護層PLとの間に設けられ、 出部PP1を除いた部分に形成される第2方向D2 沿う排気経路ESを有している。上述したよう に、突出部PP1がアドレス電極AEの段差に合わ て湾曲して形成されるため、この実施形態 は、隔壁BR2と保護層PLとの間に設けられ、 出部PP1を除いた部分に形成される第2方向D2 沿う排気経路ESを、簡易に製造できる。すな わち、この実施形態では、放電空間に放電ガ ス等を封入するための排気経路ERを低コスト 設けることができる。

 図5は、図1に示したPDP10内部(放電空間DS) 真空度と排気時間との関係の一例を示して る。なお、図5は、アドレス電極AEの厚さが 0.5μm(図中のX印)、1μm(図中の三角形)、5μm(図 中の円形)および10μm(図中の四角形)の4種類の PDPを用いてそれぞれ測定された真空度と排気 時間との関係を示している。そして、図の横 軸は排気時間(単位は分(min))を示し、縦軸は PDP10内部の気圧(単位はヘクトパスカル(Pa))を 示している。排気時間は、真空引きを開始し てからの経過時間である。以下に、本データ を測定したときの条件を示す。

 上述した封着フリットが塗布されたガラ 基材RSの仮焼きの温度は、480℃である。こ ときに用いた封着フリットは、日本電気硝 製の無鉛ガラスペーストである。給排気用 管(P管)が取り付けされた仮焼き後のガラス 材RSと、保護層PLまで形成されたガラス基材F Sとを貼り合わせるときの焼成は、最高温度 450℃に保持して実施される。真空引き(真空 気)は、最高温度が450℃に保持されてから30 後に実施される。そして、PDP10の中央に取 付けられた真空計(シュルツゲージ)によって 、PDP10内部(放電空間DS)の真空度が測定される 。図5に示したデータは、42型PDPのサンプルを 用いて、封着と排気とを同時に進行するプロ セスにより、PDPの真空度を測定した結果であ る。

 図に示すように、アドレス電極AEの厚さが10 μmのPDPが、所定の真空度(例えば、10 -4 Pa)に最も早く到達し、次いで、アドレス電極 AEの厚さが5μm、1μmのPDPが所定の真空度(例え 、10 -4 Pa)に到達している。例えば、真空度が10 -4 Pa以下になる排気時間は、アドレス電極AEの さが10μmのPDPで約30分、アドレス電極AEの厚 が5μmのPDPで約35分、アドレス電極AEの厚さが 1μmのPDPで約45分である。

 一方、アドレス電極の厚さが0.5μmのPDPでは 200分の排気時間が経過した後でも、2×10 -4 Paの真空度であり、所定の真空度に到達しな った。また、排気時間が約60分経過した後 真空度の変化は、アドレス電極AEの厚さが0.5 μm、1μm、5μmおよび10μmの4種類のPDPとも少な 。このため、例えば、排気時間を60分に固 したときのPDPの真空度と、アドレス電極AEの 厚さとの関係は、排気経路を確保するための アドレス電極AEの厚さの下限の判断材料の1つ になる。

 図6は、排気時間を60分に固定したときのPDP 真空度と、アドレス電極AEの厚さとの関係 一例を示している。図の横軸はアドレス電 AEの厚さ(単位はμm)を示し、縦軸は各PDP10内 の気圧(単位はPa)を示している。なお、真空 の測定条件は、上述した図5と同じである。 この実施形態では、PDPの真空度が真空度が10 -4 Pa以下(排気時間60分)を適切と判断している。

 アドレス電極AEの厚さが1μm以上のPDPでは、 ドレス電極AEの厚さが大きくなるに従い60分 後の真空度が高くなる(気圧が低くなる)が、 れぞれのPDPの真空度に大きな違いはない。 方、アドレス電極AEの厚さが1μm以下のPDPで 、アドレス電極AEの厚さが薄くなるに従い60 分後の真空度が急激に低くなる(気圧が高く る)。図に示すように、アドレス電極AEの厚 が0.9μm以上のPDPでは、60分の真空引きにより 、PDPの真空度は、10 -4 Pa以下の気圧になる。しかし、アドレス電極A Eの厚さが0.8μm以下のPDPでは、60分の真空引き でも、PDPの真空度は、10 -4 Pa以下の気圧にならない。

 この結果、少なくとも、アドレス電極AE 厚さが1μm以上10μm以下のPDPでは、上述した 1-図4に示したアドレス電極AEの段差を利用し て設けられた排気経路ERは、真空排気のため 排気パスとして機能する。すなわち、この 施形態では、アドレス電極AEの厚さを1μm以 10μm以下にすることにより、放電空間に放 ガス等を封入するための排気経路ERを確実に 設けることができる。

 図7は、図1に示したPDP10を用いて構成され たプラズマディスプレイ装置の一例を示して いる。プラズマディスプレイ装置(以下、PDP 置とも称する)は、PDP10、PDP10の画像表示面16 (光の出力側)に設けられる光学フィルタ20、 PDP10の画像表示面16側に配置された前筐体30、 PDP10の背面18側に配置された後筐体40およびベ ースシャーシ50、ベースシャーシ50の後筐体40 側に取り付けられ、PDP10を駆動するための回 部60、およびPDP10をベースシャーシ50に貼り けるための両面接着シート70を有している 回路部60は、複数の部品で構成されるため、 図では、破線の箱で示している。光学フィル タ20は、前筐体30の開口部32に取り付けられる 保護ガラス(図示せず)に貼付される。なお、 学フィルタ20は、電磁波を遮蔽する機能を してもよい。また、光学フィルタ20は、保護 ガラスではなく、PDP10の画像表示面16側に直 貼付されてもよい。

 図8は、図1に示したPDP10を駆動するための 回路部60の概要を示している。回路部60は、 ス電極Xbに共通のパルスを印加するXドライ XDRV、バス電極Ybに選択的にパルスを印加す YドライバYDRV、アドレス電極AEに選択的にパ スを印加するアドレスドライバADRV、ドライ バXDRV、YDRV、ADRVの動作を制御する制御部CNTお よび電源部PWRを有している。ドライバXDRV、YD RV、ADRVは、PDP10を駆動する駆動部として動作 る。電源部PWRは、ドライバYDRV、XDRV、ADRVに 給する電源電圧Vsc、Vs/2、-Vs/2、Vsa等を生成 る。

 制御部CNTは、画像データR0-7、G0-7、B0-7に づいて使用するサブフィールドを選択し、 ライバYDRV、XDRV、ADRVに制御信号YCNT、XCNT、AC NTを出力する。ここで、サブフィールドは、P DP10の1画面を表示するための1フィールドが分 割されたフィールドであり、サブフィールド 毎にサステイン放電の回数が設定されている 。そして、画素を構成するセルC1毎に、使用 るサブフィールドを選択することにより、 階調の画像が表示される。

 以上、この実施形態では、保護層PLは、 ドレス電極AEの段差に合わせて湾曲して形成 された突出部PP1を有し、隔壁BR1、BR2の少なく とも一方に接して設けられている。すなわち 、保護層PLのうち、突出部PP1を除く部分は、 壁BR2から離れている。この突出部PP1を除く 分と隔壁BR2との間に形成された隙間は、第2 方向D2に沿う排気経路ERとして機能する。特 、アドレス電極AEの厚さを1μm以上10μm以下に することにより、放電空間に放電ガス等を封 入するための排気経路ERを確実に設けること できる。すなわち、この実施形態では、放 空間に放電ガス等を封入するための排気経 ERを低コストで設けることができる。

 図9は、別の実施形態におけるPDP10の要部 示している。この実施形態では、上述した 1に示した構成に第2誘電体層DL2が追加され 構成されている。その他の構成は、図1-図4 同じである。図1-図4で説明した要素と同一 要素については、同一の符号を付し、これ については、詳細な説明を省略する。また この実施形態のPDP10を用いたPDP装置は、図7 よび図8と同じである。

 第2誘電体層DL2は、保護層PLが形成される に、誘電体層DL1およびアドレス電極AE上(図 は下側)に設けられ、アドレス電極AE上に位 する部分で、アドレス電極AEの段差に合わ て湾曲する第2突出部PP2を有して形成される 例えば、誘電体層DL2は、CVD法により形成さ た二酸化シリコン膜等の絶縁膜で形成され 。

 誘電体層DL2上に、突出部PP2に合わせて湾 する突出部PP1を有する保護層PLが形成され 。すなわち、誘電体層DL2は、誘電体層DL1お びアドレス電極AEと保護層PLとの間に設けら 、アドレス電極AE上に位置する部分で、ア レス電極AEの段差に合わせて突出部PP1ととも に湾曲する突出部PP2を有している。したがっ て、排気経路ERは、互いに隣接する突出部PP1 に形成される。以上、この実施形態におい も、上述した図1-図8で説明した実施形態と 様の効果を得ることができる。

 図10および図11は、別の実施形態における PDP10の要部を示している。なお、図10は、画 表示面側(図11の上側)から見た状態を示し、 11は、図10に示したPDP10のA-A’線に沿う断面 示している。この実施形態では、上述した 2に示した構成にダミー電極DEが追加されて 成されている。その他の構成は、図1-図4と じである。図1-図4で説明した要素と同一の 素については、同一の符号を付し、これ等 ついては、詳細な説明を省略する。また、 の実施形態のPDP10を用いたPDP装置は、図7お び図8と同じである。なお、図10に示したPDP1 0のB-B’線に沿う断面は、図4と同じである。

 図10に示すように、隔壁BR1上には、アド ス電極AEおよびダミー電極DEのいずれかが配 されている。ここで、上述した図2で説明し たように、アドレス電極AEは、第2方向D2に配 されたセルC1のグループ毎に隔壁BR1に沿っ 配置される。したがって、アドレス電極AEは 、第1方向D1に配列された隔壁BR1のうち、両側 に配置された隔壁BR1の一方の隔壁BR1(図10では 、一番右側の隔壁BR1)上には、配置されてい い。

 すなわち、ダミー電極DEは、アドレス電 AEが配置されていない隔壁BR1(図10では、一番 右側の隔壁BR1)に沿って延在して配置されて る。例えば、ダミー電極DEは、アドレス電極 AEが形成されるときに、アドレス電極AEと同 材料でアドレス電極AEと一緒に形成される。 また、ダミー電極DEは、透明電極Ytとの間で ドレス放電を発生させないため、駆動回路( えば、上述した図8に示したアドレスドライ バADRV)に接続されず、例えば、接地されてい 。

 図11に示すように、ダミー電極DEは、誘電 体層DL1上(図では下側)に設けられ、一部が隔 BR1に対向して配置されている。保護層PLは 突出部PP1と、ダミー電極DE上に位置する部分 で、ダミー電極DEの段差に合わせて湾曲する 出部PP1Aとを有して形成される。なお、保護 層PLの突出部PP1、PP1Aは、隔壁BR1にそれぞれ接 して形成されている。これにより、各セルC1 放電空間DSは、互いに同じ形状に形成され 。また、PDP10は、上述した図9に示した構成 ダミー電極DEが追加されて構成されてもよい 。以上、この実施形態においても、上述した 図1-図8で説明した実施形態と同様の効果を得 ることができる。

 なお、上述した実施形態では、1つの画素 が、3つのセル(赤(R)、緑(G)、青(B))により構成 される例について述べた。本発明はかかる実 施形態に限定されるものではない。例えば、 1つの画素を4つ以上のセルにより構成しても い。あるいは、1つの画素が、赤(R)、緑(G)、 青(B)以外の色を発生するセルにより構成され てもよく、1つの画素が、赤(R)、緑(G)、青(B) 外の色を発生するセルを含んでもよい。

 上述した実施形態では、排気空間ESが額 状に形成される例について述べた。本発明 かかる実施形態に限定されるものではない 例えば、図12に示すように、排気空間ESは、 の字形状に形成されもよい。あるいは、排 空間ESは、第1方向D1に延在する部分(図12で 、排気空間ESのうち、上側および下側の部分 の少なくとも一方)のみで形成されてもよい この場合にも、上述した実施形態と同様の 果を得ることができる。

 図12および図13は、上述した図1に示した 施形態の変形例におけるPDP10の要部を示して いる。なお、図12は、画像表示面側(図13の上 )から見た状態を示し、図13は、図12に示し PDP10のA-A’線に沿う断面を示している。この PDP10は、排気空間ESの形状が上述した図2に示 た構成と相違している。その他の構成は、 1-図4と同じである。図1-図4で説明した要素 同一の要素については、同一の符号を付し これ等については、詳細な説明を省略する また、この実施形態のPDP10を用いたPDP装置 、図7および図8と同じである。なお、図12に したPDP10のB-B’線に沿う断面は、図4と同じ ある。

 図12の例では、排気空間ESは、上述した図 2に示した排気空間ESから第1方向D1に延在する 右側の排気空間ESが省かれたコの字形状に形 されている。また、第1方向D1に延在する外 部OTのうち、排気空間ESが形成されていない 側に位置する外周部OT(図12では、右側の外周 OT)は、隔壁BR2と一体に形成されている。そ て、封着フリットSFは、ガラス基材RSの外周 部OT(隔壁BR1、BR2の形成領域BAより外側)に額縁 状に形成されている。

 図13に示すように、第1方向D1に配列され セルC1のうち、排気空間ESが形成されていな 方の一番隅に位置するセルC1(図13では、一 右側のセルC1)では、放電空間DSは、外周部OT 隔壁BR1との間に形成される。これにより、 のPDP10では、各セルC1の放電空間DSは、上述 た図1-図8で説明した実施形態に比べて、互 に同じような形状に形成される。この場合 も、上述した図1-図8で説明した実施形態と 様の効果を得ることができる。

 上述した実施形態では、第2方向D2が、第1 方向D1に直交する例について述べた。本発明 かかる実施形態に限定されるものではない 例えば、第2方向D2は、第1方向D1と、ほぼ直 方向(例えば、90度±5度)に交差してもよい。 この場合にも、上述した実施形態と同様の効 果を得ることができる。

 以上、本発明について詳細に説明してき が、上記の実施形態およびその変形例は発 の一例に過ぎず、本発明はこれに限定され ものではない。本発明を逸脱しない範囲で 形可能であることは明らかである。

 本発明は、ディスプレイ装置に使用する ラズマディスプレイパネルに適用できる。