以下、添付図面に従って本発明に係る多� ��膜フィルムの製造方法の好ましい実施の形� ��について説明する。

 まず、本実施形態において、多層膜フィ� ��ムの一例として反射防止フィルムの構造に� ��いて説明する。なお、多層膜フィルムとし� ��は、反射防止フィルムに限らず、熱現像感� ��、ナノ粒子等を含む機能性フィルム、燃料� ��池のセパレータフィルム等の各種フィルム� ��適用できることはいうまでもない。

 図1は、本実施形態における反射防止フィ ルムの一例を示す断面模式図である。図1に� �すように、反射防止フィルム10は、透明支持 体12上に、第1のポリマーを主成分とする第1� �ポリマー層14と、第2のポリマーを主成分と� �る第2のポリマー層16と、が積層された多層� �18が形成されてなる。なお、本実施形態では 、2種類のポリマーを用いて2層の膜構造を形� ��する例で説明するが、3種類以上の複数のポ リマー(或いはモノマー)を用いて3層以上の多 層膜を形成することもできることはいうまで もない。

 透明支持体12としては、第1、第2のポリマ ー層を形成する際に使用する溶媒が浸透する ものであり、且つ透明なものであればよい。 透明支持体の光透過率は、80%以上であること が好ましく、86%以上であることがさらに好ま しい。透明支持体のヘイズは、2.0%以下であ� �ことが好ましく、1.0%以下であることがさら� ��好ましい。透明支持体の屈折率は、1.4乃至1 .7であることが好ましい。また、プラスチッ� ��フィルムを用いることが好ましい。プラス� ��ックフィルムの材料の例には、セルロース� ��ステル、ポリアミド、ポリカーボネート、� ��リエステル(例、ポリエチレンテレフタレー ト、ポリエチレンナフタレート等、)、ポリ� �チレン、ポリオレフィン、ポリスルホン、� �リエーテルスルホン、ポリアリレート、ポ� �エーテルイミド、ポリメチルメタクリレー� �及びポリエーテルケトン等が挙げられる。

 第1のポリマー層14は、第1のポリマーのマ トリクス14A中に、第2のポリマーのドメイン16 Bが分散した海島構造となっている。

 第2のポリマー層16は、第2のポリマーのマ トリクス16A中に、第1のポリマーのドメイン14 Bが分散した海島構造となっている。

 ドメイン14B、16Bの形状は、特に限定され� ��、例えば、円形状、楕円形状等である。ド� ��イン14B、16Bの平均粒子径は、例えば、2~100μ m、好ましくは5~50μmである。

 ドメイン14Bの平均粒子径は、透明支持体1 2側の屈折率よりも空気界面側の屈折率を高� �して反射防止性を向上させる上で、ドメイ� �16Bの平均粒子径よりも小さいことが好まし� �。ドメイン14Bとドメイン16Bの平均粒子径は� �例えば、50nm~20μmとすることが好ましい。

 マトリクス14A/ドメイン14B、マトリクス16A /ドメイン16Bの体積割合は、例えば、90/10~30/70 程度とすることができる。また、ドメイン14B 、16Bは、マトリクスの内部だけでなくマトリ クスの表面にも分散してもよい。これにより 、マトリクスの表面に凸凹構造やうねり構造 を形成することができる。ドメイン14B、16Bが 、マトリクスの表面に部分的に突出している 場合、突出した凸部の平均高さは、例えば、 0.1~5μmであることが好ましい。

 多層膜18としての厚みは、例えば1~500μm、 好ましくは5~200μm程度である。

 反射防止フィルム10としては、必要に応� �て、例えばハードコート層や帯電防止層(例� ��ば、導電剤や親水性成分を含む光硬化性樹� ��で構成された導電性薄膜など)等の薄膜を形 成してもよい。

 次に、多層膜18を構成する各種素材につ� �て説明する。

 本実施形態に使用されるポリマー(第1、� �2のポリマー)としては、特に限定はないが、 通常、熱可塑性樹脂が使用される。熱可塑性 樹脂としては、スチレン系樹脂、(メタ)アク� ��ル系樹脂、有機酸ビニルエステル系樹脂、� ��ニルエーテル系樹脂、ハロゲン含有樹脂、� ��レフィン系樹脂(脂環式オレフィン系樹脂を 含む)、ポリカーボネート系樹脂、ポリエス� �ル系樹脂、ポリアミド系樹脂、熱可塑性ポ� �ウレタン樹脂、ポリスルホン系樹脂(ポリエ� ��テルスルホン、ポリスルホンなど)、ポリフ ェニレンエーテル系樹脂(2,6-キシレノールの� ��合体など)、セルロース誘導体(セルロース� �ステル類、セルロースカーバメート類、セ� �ロースエーテル類など)、シリコーン樹脂(ポ リジメチルシロキサン、ポリメチルフェニル シロキサンなど)、ゴム又はエラストマー(ポ� ��ブタジエン、ポリイソプレンなどのジエン� ��ゴム、スチレン-ブタジエン共重合体、アク リロニトリル-ブタジエン共重合体、アクリ� �ゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴムなど)� ��どが例示できる。これらの熱可塑性樹脂は� ��二種以上組み合わせて使用できる。

 (メタ)アクリル系樹脂としては、(メタ)ア クリル系単量体の単独又は共重合体、(メタ)� ��クリル系単量体と共重合性単量体との共重� ��体などが使用できる。(メタ)アクリル系単� �体には、例えば、(メタ)アクリル酸;(メタ)ア クリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、( メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸t-� ��チル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ) アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸オク� ��ル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシルなど の(メタ)アクリル酸C1-10アルキル;(メタ)アク� �ル酸フェニルなどの(メタ)アクリル酸アリー ル;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒ ドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどの� ��ドロキシアルキル(メタ)アクリレート;グリ� ��ジル(メタ)アクリレート;N,N-ジアルキルアミ ノアルキル(メタ)アクリレート;(メタ)アクリ� ��ニトリル;トリシクロデカンなどの脂環式炭 化水素基を有する(メタ)アクリレートなどが� ��示できる。共重合性単量体には、前記スチ� ��ン系単量体、ビニルエステル系単量体、無� ��マレイン酸、マレイン酸、フマル酸などが� ��示できる。これらの単量体は、単独で又は� ��種以上組み合わせて使用できる。

 (メタ)アクリル系樹脂としては、例えば� �ポリメタクリル酸メチルなどのポリ(メタ)ア クリル酸エステル、メタクリル酸メチル-(メ� ��)アクリル酸共重合体、メタクリル酸メチル -(メタ)アクリル酸エステル共重合体、メタク リル酸メチル-アクリル酸エステル-(メタ)ア� �リル酸共重合体、(メタ)アクリル酸エステル -スチレン共重合体(MS樹脂など)などが挙げら� ��る。好ましい(メタ)アクリル系樹脂として� �、ポリ(メタ)アクリル酸メチルなどのポリ(� �タ)アクリル酸C1-6アルキル、特にメタクリル 酸メチルを主成分(50~100重量%、好ましくは70~1 00重量%程度)とするメタクリル酸メチル系樹� �が挙げられる。

 セルロース誘導体のうちセルロースエス� ��ル類としては、例えば、脂肪族有機酸エス� ��ル(セルロースジアセテート、セルロースト リアセテートなどのセルロースアセテート;� �ルロースプロピオネート、セルロースブチ� �ート、セルロースアセテートプロピオネー� �、セルロースアセテートブチレートなどのC1 -6有機酸エステルなど)、芳香族有機酸エステ ル(セルロースフタレート、セルロースベン� �エートなどのC7-12芳香族カルボン酸エステル )、無機酸エステル類(例えば、リン酸セルロ� ��ス、硫酸セルロースなど)が例示でき、酢酸 ・硝酸セルロースエステルなどの混合酸エス テルであってもよい。セルロース誘導体には 、セルロースカーバメート類(例えば、セル� �ースフェニルカーバメートなど)、セルロー� ��エーテル類(例えば、シアノエチルセルロー ス;ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキ� �プロピルセルロースなどのヒドロキシC2-4ア� ��キルセルロース;メチルセルロース、エチル セルロースなどのC1-6アルキルセルロース;カ� ��ボキシメチルセルロース又はその塩、ベン� ��ルセルロース、アセチルアルキルセルロー� ��など)も含まれる。

 好ましい熱可塑性樹脂としては、通常、� ��結晶性であり、かつ有機溶媒(特に複数のポ リマーや硬化性化合物を溶解可能な共通溶媒 )に可溶な樹脂が使用される。特に、成形性� �は製膜性、透明性や耐候性の高い樹脂、例� �ば、スチレン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂 、脂環式オレフィン系樹脂、ポリエステル系 樹脂、セルロース誘導体(セルロースエステ� �類など)などが好ましい。特に、熱可塑性樹� ��として、セルロース誘導体が好ましい。セ� ��ロース誘導体は、半合成高分子であり、他� ��樹脂や硬化剤と溶解挙動が異なるため、非� ��に良好な相分離性を有する。

 また、硬化後の耐擦傷性の観点から、例� ��ば、互いに非相溶なポリマーのうち一方の� ��リマーとして、硬化反応に関与する官能基( 硬化剤と反応可能な官能基)を有するポリマ� �を用いることもできる。このような官能基� �しては、縮合性又は反応性官能基(例えば、� ��ドロキシル基、酸無水物基、カルボキシル� ��、アミノ基又はイミノ基、エポキシ基、グ� ��シジル基、イソシアネート基など)、重合性 官能基(例えば、ビニル、プロペニル、イソ� �ロペニル、ブテニル、アリルなどのC2-6アル� ��ニル基、エチニル、プロピニル、ブチニル� ��どのC2-6アルキニル基、ビニリデンなどのC2- 6アルケニリデン基、又はこれらの重合性官� �基を有する官能基((メタ)アクリロイル基な� �)等)等が挙げられる。

 本実施形態においては、例えば、第1のポリ マーがセルロース誘導体(例えば、セルロー� �アセテートプロピオネートなどのセルロー� �エステル類)であり、第2のポリマーがアクリ ル系樹脂である場合、第1のポリマーと第2の� ��リマーとの質量比は、例えば、1:3~1:10程度� �することが好ましい。なお、複数のポリマ� �の代わりに、複数のモノマーを用いてもよ� �、或いはポリマーとモノマーを組み合わせ� �用いることもできる。
例えば、アクリレートモノマーで、具体的な 素材としてはペンタエリスリトールトリアク リレートやジペンタエリスリトールヘキサア クリレートなどがある。

 硬化性化合物としては、熱線や活性エネ� ��ギー線(紫外線や電子線など)等により反応� �る官能基を有する化合物であり、熱や活性� �ネルギー線などにより硬化又は架橋して樹� �(特に硬化又は架橋樹脂)を形成可能な種々の 硬化性化合物が使用できる。

 硬化性化合物としては、例えば、熱硬化� ��化合物又は樹脂[エポキシ基、イソシアネー ト基、アルコキシシリル基、シラノール基、 重合性基(ビニル基、アリル基、(メタ)アクリ ロイル基など)などを有する低分子量化合物(� ��はプレポリマー、例えば、エポキシ系樹脂� ��不飽和ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹� ��、シリコーン系樹脂などの低分子量樹脂な� ��)]、活性光線(紫外線など)により硬化可能な 光硬化性化合物(光硬化性モノマー、オリゴ� �ー、プレポリマーなどの紫外線硬化性化合� �など)などが例示でき、光硬化性化合物は、E B(電子線)硬化性化合物などであってもよい。 なお、光硬化性モノマー、オリゴマーや低分 子量であってもよい光硬化性樹脂などの光硬 化性化合物を、単に「光硬化性樹脂」という 場合がある。硬化性化合物は、単独で又は二 種以上組み合わせて使用できる。

 光硬化性化合物は、通常、光硬化性基、� ��えば、重合性基(ビニル基、アリル基、(メ� �)アクリロイル基など)や感光性基(シンナモ� �ル基など)を有しており、特に重合性基を有� ��る光硬化性化合物(例えば、単量体、オリゴ マー(又は樹脂、特に低分子量樹脂))が好まし い。

 重合性基を有する光硬化性化合物のうち� ��単量体としては、例えば、単官能性単量体[ (メタ)アクリル酸エステルなどの(メタ)アク� �ル系単量体、例えば、アルキル(メタ)アクリ レート(メチル(メタ)アクリレートなどのC1-6� �ルキル(メタ)アクリレートなど)、シクロア� �キル(メタ)アクリレート、橋架環式炭化水素 基を有する(メタ)アクリレート(イソボルニル (メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)ア� �リレートなど)、グリシジル(メタ)アクリレ� �ト;酢酸ビニルなどのビニルエステル、ビニ� ��ピロリドンなどのビニル系単量体など]、少 なくとも2つの重合性不飽和結合を有する多� �能性単量体[エチレングリコールジ(メタ)ア� �リレート、プロピレングリコールジ(メタ)ア クリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリ� ��ート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)ア� �リレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリ レートなどのアルキレングリコールジ(メタ)� ��クリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)� ��クリレート、ジプロピレングリコールジ(メ タ)アクリレート、ポリオキシテトラメチレ� �グリコールジ(メタ)アクリレートなどの(ポ� �)オキシアルキレングリコールジ(メタ)アク� �レート;トリシクロデカンジメタノールジ(メ タ)アクリレート、アダマンタンジ(メタ)アク リレートなどの橋架環式炭化水素基を有する ジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパ ントリ(メタ)アクリレート、トリメチロール� ��タントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ� �リトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエ リスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジ� ��ンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ� �トなどの3~6程度の重合性不飽和結合を有す� �多官能性単量体]が例示できる。

 硬化性化合物は、その種類に応じて、硬� ��剤と組み合わせて用いてもよい。例えば、� ��硬化性化合物は光重合開始剤と組み合わせ� ��用いることができる。

 光重合開始剤としては、例えば、アセト� ��ェノン類又はプロピオフェノン類、ベンジ� ��類、ベンゾイン類、ベンゾフェノン類、チ� ��キサントン類、アシルホスフィンオキシド� ��等を使用できる。光重合開始剤の含有量は� ��硬化性化合物に対して0.1~20重量部程度とす� ��ことができる。

 なお、複数のポリマーの相分離性は、そ� ��ぞれ双方の成分に対する良溶媒を用いて均� ��溶液を調製し、溶媒を徐々に蒸発させる過� ��で、残存固形分が白濁するか否かを目視に� ��確認することにより簡便に判定できる。複� ��のポリマーの相分離性を、更に厳密に測定� ��たい場合には、分光光度計や濁度計を用い� ��、濃度変化に対する出力(透過率、吸収率等 )の変化点より、相分離の発生した濃度を正� �に測定する方法を用いることができる。ま� �、光散乱法によっても相分離の発生の有無� �調べることもできる。

 上記溶媒としては、上記複数のポリマー� ��うち少なくとも2種類のポリマーを溶解し、 且つ透明支持体12へ浸透するものであればよ� ��。即ち、透明支持体12の種類、ポリマーや� �合性成分の種類等に応じて適宜選択するこ� �ができる。このような溶媒としては、混合� �媒の場合、少なくとも1種類は固形分(複数の ポリマー及び硬化性化合物、反応開始剤、そ の他添加剤)を均一に溶解できる溶媒であれ� �よく、例えば、ケトン類(アセトン、メチル� ��チルケトン、メチルイソブチルケトン、シ� ��ロヘキサノンなど)、エーテル類(ジオキサ� �、テトラヒドロフランなど)、脂肪族炭化水� ��類(ヘキサンなど)、脂環式炭化水素類(シク� ��ヘキサンなど)、芳香族炭化水素類(トルエ� �、キシレンなど)、ハロゲン化炭素類(ジクロ ロメタン、ジクロロエタンなど)、エステル� �(酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなど) 、水、アルコール類(エタノール、イソプロ� �ノール、ブタノール、シクロヘキサノール� �ど)、セロソルブ類(メチルセロソルブ、エチ ルセロソルブなど)、セロソルブアセテート� �、スルホキシド類(ジメチルスルホキシドな� ��)、アミド類(ジメチルホルムアミド、ジメ� �ルアセトアミドなど)などが例示できる。こ� ��らの溶媒は、単独で又は二種以上組み合わ� ��て使用できる。

 上記溶媒に、透明支持体への浸透速度が� ��めて小さい溶媒(浸透性の低い溶媒)を混合� �た混合溶媒としてもよい。このような浸透� �の低い溶媒としては、透明支持体との組み� �わせによるが、透明支持体への浸透速度が� �述した溶媒(浸透性の高い溶媒)の1/2以下とな る溶媒、例えば、透明支持体としてTACを用い た場合、浸透性の低い溶媒としてはブタノー ル、テトラヒドロフラン等を挙げることがで きる。

 透明支持体12としては、溶媒による濃度� �布を精密に制御する上で、既述した中でも� �1、第2のポリマーを溶解する溶媒のみを浸透 させ、それ以外の成分を浸透させない材料が 好ましい。また、透明支持体12としては、予� ��表面に他の機能層が形成されたものも含ま� ��る。

 上記のような多層膜構造は、以下のよう� ��して形成することができる。即ち、上記多� ��膜構造は、透明支持体12上に、共通の溶媒� �よって複数の非相溶なポリマー(或いはモノ� ��ー)を相溶した溶液を塗布した後、乾燥させ ることにより形成する。この乾燥させる工程 は、(イ)前記塗布した溶液の少なくとも1種類 の溶媒(浸透性の高い溶媒)を透明支持体12内� �所定速度で浸透させることにより、塗布層� �厚み方向に濃度分布を形成させて上下へ相� �離させる作用、(ロ)乾燥に伴う相分離(核形� �やスピノーダル分解)を生じさせることによ� ��ドメインを有する海島(液滴)相構造(球状、� ��球状、円盤状や楕円体状等の独立相の海島� ��造)を形成する作用、を伴う。即ち、相分離 の進行に伴って、核形成や成長機構により海 島構造が発達する場合と、スピノーダル分解 によって共連続相構造を形成し、その後の相 分離の進行によって海島(液滴相)構造となる� ��合がある。

 なお、上記の方法において、熱又は光重� ��性成分(特に多官能硬化モノマー及び/又は� �リゴマー)を使用し、多層膜を形成した後に� ��活性エネルギー線(紫外線、電子線等)の照� �や加熱により重合させて硬化させてもよい� �

 図2は、非相溶の第1、第2のポリマーと、� ��れらのポリマーを溶解する溶媒と、を含む� ��液の相分離を説明する三角相図の一例であ� ��、第1のポリマーがセルロースアシレートプ ロピオネート(CAP)、第2のポリマーがアクリル 樹脂の場合である。

 同図において、実線の曲線はバイノーダ� ��線を示しており、相分離が発生する境界線� ��ある。点線の曲線は、スピノーダル線を示� ��ている。

 バイノーダル線の内側の領域で相分離が� ��生する。バイノーダル線とスピノーダル線� ��囲まれた領域は準安定領域と呼ばれ、相分� ��は核形成や成長機構により進行する。スピ� ��ーダル線の内側の領域は不安定領域であり� ��スピノーダル分解による相分離が起こる。� ��イノーダル線とスピノーダル線が一致する� ��が臨界点Pである。

 図2に示すように、上記(イ)、(ロ)におい� �、溶液の乾燥開始点Sから相分離した上下層� ��組成比が三角相図上の臨界点Pを別方向(第1� ��第2のポリマー側)にまたぐように濃度変化� �せる。これにより、例えば、下層では、第1� ��ポリマーを主成分とするマトリクス中にお� ��て核形成や成長機構、或いはスピノーダル� ��解によって第2のポリマーの海島(液滴相)構� ��が形成され、上層では、第2のポリマーを主 成分とするマトリクス中において、第1のポ� �マーの海島(液滴相)構造が形成される。これ により、図1に示すような組成比が反転した� �一な海島構造を有する多層膜を得ることが� �きる。

 このようなスピノーダル線、バイノーダ� ��線、臨界点等については、例えば、文献(COR NELL UNIVERSITY PRESS,「Scaling Concepts in Polymer P hysics」,p94-96)に基づいて求めることができる� ��

 上記の制御は、溶液に含まれる少なくと� ��1種類の溶媒(浸透性の高い溶媒)が透明支持� ��へ浸透する速度(浸透速度)と、溶液から蒸� �する速度(乾燥速度)との比を制御することに より行う。即ち、溶液の塗布層の厚み方向に 上記溶媒の濃度分布を生じさせることにより 相分離させる。

 具体的には、(溶媒の乾燥速度)/(溶媒の透 明支持体への浸透速度)>1を満たす範囲とす ることが好ましく、(溶媒の乾燥速度)/(溶媒� �透明支持体への浸透速度)>2を満たす範囲� �することがより好ましい。

 上記溶媒の透明支持体への浸透速度は、� ��えば、透明支持体と溶媒の組み合わせ、溶� ��中の溶媒の含有量、溶質の含有量等により� ��整することができる。例えば、溶液中の溶� ��の含有量を増加させた場合、塗布層の厚み� ��向に溶媒の濃度勾配が大きくなるので、溶� ��の浸透速度を上げることができる。

 透明支持体と溶媒の組み合わせは、溶媒� ��浸透し易いもの、具体的には溶媒の浸透速� ��が溶媒の乾燥速度よりも大きくなる組み合� ��せが好ましい。また、上記溶媒の浸透速度� ��、透明支持体へほとんど浸透しない他の溶� ��を添加することで調整することもできる。� ��の場合、塗布層の厚み方向における濃度勾� ��を大きくするので、浸透速度を上げること� ��できる。

 浸透速度は、例えば、図3に示すような顕 微ラマン測定装置20により測定することがで� ��る。即ち、同図に示すように、ガラスセル2 2内部に透明支持体12と溶媒24を封入し、溶媒� ��透明支持体12内部へ浸透量の時間変化を、� �面方向(同図の横より)から顕微ラマン測定装 置20を用いて測定する。顕微ラマン測定装置2 0としては、例えば、inVia Reflex (Renishaw社)の� ��のが使用できる。

 上記溶媒の乾燥速度は、乾燥風速、乾燥温� ��等により調整することができる。また、乾� ��速度は、0.03~5g/m ² /秒であることが好ましい。これは、乾燥速� �が遅すぎると溶媒の浸透が進行しすぎて透� �支持体の変形等を引き起こす虞があり、逆� �乾燥速度が速すぎると十分なサイズの相構� �が形成されなかったり、乾燥のムラによる� �状品質の低下等が生じる虞があるためであ� �。

 乾燥速度は、例えば、図4に示すようなポ ータブル型のFTIR装置30により測定することが できる。即ち、同図に示すように、センサー 部32がファイバーになったポータブル型のFTIR 装置30を用いて、矢印方向に走行する透明支� ��体12の塗布層の上部から、乾燥に伴う塗布� �内部の溶媒の蒸発量の時間変化を吸光度変� �より調べる。このようなFTIR装置としては、� ��えば、VIR-9500(日本分光)を使用できる。

 次に、本実施形態における多層膜構造を� ��えた反射防止フィルムの製造方法について� ��明する。なお、反射防止層用の塗布液とし� ��は、非相溶の2種類のポリマー、これらのポ リマーを溶解する溶媒、及び硬化性化合物を 含む溶液を用いる例である。

 図1は、本実施形態の反射防止フィルムの 製造工程40の一例を示した概略図である。

 長尺状の透明支持体12(既に何らかの機能� ��が形成されているものも含む)が、フィルム ロール42から送出機44により送り出される。� �明支持体12の走行速度は、例えば、0.1~1.5m/秒 とすることができる。

 透明支持体12はガイドローラ46によってガ イドされて除塵機48に送りこまれる。除塵機4 8は、透明支持体12の表面に付着した塵を取り 除くことができるようになっている。除塵機 48の下流には、塗布手段であるエクストルー� ��ョン方式の塗布装置50の塗布ヘッド50Aが設� �られており、反射防止層用塗布液がバック� �ップローラに巻き掛けられた透明支持体12上 に逐次、もしくは同時に塗布できるようにな っている。塗布層は、例えば、湿潤厚みが40� �m以下とすることができる。

 塗布方法としては、ディップコート法、� ��アーナイフコート法、カーテンコート法、� ��ライドコート法、ローラーコート法、ワイ� ��ーバーコート法、グラビアコート、マイク� ��グラビア法等も用いることができる。塗布� ��ッド50Aは、クリーンルーム等の清浄な雰囲� ��に設置するとよい。その際、清浄度はクラ� ��1000以下が好ましく、クラス100以下がより好 ましく、クラス10以下が更に好ましい。

 塗布ヘッド50Aの下流には、本実施形態に� ��ける相分離を生じさせる(初期)乾燥ゾーン54 と、加熱(本乾燥)ゾーン56と、が順次設けら� �ている。(初期)乾燥ゾーン54で、形成された� ��布層の表面を気体層でシールしながら溶媒� ��抑制下に蒸発させ、溶媒の大部分を蒸発さ� ��後に、塗布層をさらに加熱(本乾燥)ゾーン56 で乾燥することが好ましい。

 この乾燥ゾーン54では、防眩層用塗布液� �塗布層を、所定温度(例えば、室温25℃)で溶� ��を蒸発させると共に、透明支持体12内部に� �媒を浸透させることにより上述した相分離� �誘起させる。

 乾燥速度は、速すぎると相分離する前に� ��燥して固化するため、0.03~5.0g/m2/秒とするこ とが好ましい。乾燥温度は、溶媒の沸点に応 じて、例えば、40~120℃程度の温度で乾燥させ てもよい。乾燥風量は、例えば1~20m/分程度と することができる。

 乾燥ゾーン54における該塗布層表面の気� �層のシールは、塗布層の表面に沿って気体� �塗布層の移動速度に対して-0.1~0.1m/秒の相対� ��度となるように移動させることが好ましい� ��上記溶媒を抑制下に蒸発させるには、塗布� ��中の溶媒含有量の減少速度が時間と比例関� ��にある期間内に行なうことが好ましい。乾� ��は覆いを付けることが好ましい。また、乾� ��風には整流した風もしくは均一な風を用い� ��もよいし、もしくは蒸発した溶媒を塗布層� ��対向して設置された冷却凝縮板により凝縮� ��せ取り除いてもよい。

 加熱(本乾燥)ゾーン56としては、特に限定 はないが、熱風加熱装置(例えば、特開2001-314 799に記載の熱処理装置等)、ヒータ加熱装置� �が使用できる。熱風加熱する場合、加熱ム� �を抑制する上で、熱風の風速は1m/秒以下と� �ることが好ましい。

 乾燥工程の下流には、塗布層を硬化させ� ��工程として、熱線や活性エネルギー線(紫外 線や電子線など)により塗布層を硬化又は架� �させる。硬化方法としては、硬化性化合物� �種類に応じて選択できるが、例えば、紫外� �照射装置58が使用される。この紫外線照射に より、所望の硬化、架橋を形成できるように なっている。

 また素材によっては熱で硬化するための� ��処理ゾーンが設けられ所望の硬化、架橋を� ��うこともある。または、上記塗布層を形成� ��た透明支持体12を巻き取った後、別工程で� �ーブン加熱や、搬送しての熱処理を行うこ� �もある。そして、この下流に設けられた巻� �り機60により、反射防止膜が形成された透明 支持体12が巻き取られるようになっている。

 透明支持体12上に逐次塗布を行い2層以上� ��塗布層を形成させる場合には、これらを連� ��で行う(巻き取らず、塗布、乾燥工程を繰り 返し、最終的に巻き取る)ことが生産上は好� �しい。

 以上説明したように、本発明に係る多層� ��フィルム及びその製造方法を採用すること� ��より、透明支持体上に異なる機能(組成の違 いによる屈折率変化等)を有する多層膜を1回� ��塗布で容易に形成できる。これにより、屈� ��率の異なる光干渉層を備えた反射防止フィ� ��ムを生産効率よく製造することができる。

 なお、本実施形態では、2種類のポリマー を溶媒に溶解させた溶液を用いて2層の膜構� �を形成する例で説明したが、3種類以上の複� ��のポリマー(或いはモノマー)を溶媒に溶解� �せた溶液を用いて3層以上の多層膜を形成す� ��こともできる。

 本発明に係る多層膜は、以下に述べる反� ��防止フィルムの好ましい実施態様において� ��防眩層、低屈折率層、中屈折率層、高屈折� ��層のうち任意の組み合わせを構成すること� ��できる。

 即ち、反射防止フィルムは、透明支持体� ��に単層から複数層の光干渉層からなる反射� ��止層が最表面に設けられ、必要に応じてハ� ��ドコート層、防眩層が透明支持体と光干渉� ��の間に設けられる。中でも、防眩層と反射� ��止層の両方を具備したものを防眩性反射防� ��フィルムという。

 透明支持体上に防眩層、低屈折率層を積� ��した層構成からなる防眩性反射防止フィル� ��は、以下を満足する屈折率を有する様に設� ��される。防眩層>低屈折率層の屈折率、ま た又、透明支持体と防眩層の間に、ハードコ ート層を設けてもよい。反射防止膜のヘイズ は、防眩層にあったヘイズとすることが好ま しい。又膜の強度は、JIS K5400に従う鉛筆硬� �試験でH以上であることが好ましく、2H以上� �あることがさらに好ましく、3H以上であるこ とが最も好ましい。

 透明支持体上にハードコート層を設け、� ��屈折率層を積層した層構成からなるクリア� ��反射防止膜以下を満足する屈折率を有する� ��に設計される。防眩層>低屈折率層の屈折 率、また又、透明支持体と防眩層の間に、ハ ードコート層を設けてもよい。反射防止膜の ヘイズは、5%以下あることが好ましく、3%以� �がさらに好ましい。又膜の強度は、JIS K5400� ��従う鉛筆硬度試験でH以上であることが好ま しく、2H以上であることがさらに好ましく、3 H以上であることが最も好ましい。

 もしくは透明支持体上に防眩層を設け、� ��屈折率層、低屈折率層を積層した層構成か� ��なる防眩性反射防止膜以下を満足する屈折� ��を有する様に設計される。高屈折率層の屈� ��率>透明支持体の屈折率>低屈折率層の� �折率。反射防止膜のヘイズは、防眩層にあ� �たヘイズとすることが好ましい。又膜の強� �は、JIS K5400に従う鉛筆硬度試験でH以上であ ることが好ましく、2H以上であることがさら� ��好ましく、3H以上であることが最も好まし� �。

 もしくは透明支持体上にハードコート層を� ��け、高屈折率層、低屈折率層を積層した層� ��成からなる防眩性反射防止膜以下を満足す� ��屈折率を有する様に設計される。高屈折率� ��の屈折率>透明支持体の屈折率>低屈折� �層の屈折率。反射防止膜のヘイズは、5%以下 あることが好ましく、3%以下がさらに好まし� ��。又膜の強度は、JIS K5400に従う鉛筆硬度試 験でH以上であることが好ましく、2H以上であ ることがさらに好ましく、3H以上であること� ��最も好ましい。
〔高屈折率層及び中屈折率層〕
 高屈折率層の屈折率は、-般に1.70~2.20である 。高屈折率層の厚さは、5nm~10μmであることが 好ましく、10nm~1μmであることがさらに好まし い。中屈折率層の屈折率は、低屈折率層の屈 折率と高屈折率層の屈折率との間の値となる ように調整する。中屈折率層の屈折率は、1.5 0~1.70であることが好ましい。
〔低屈折率層〕
 低屈折率層は、高屈折率層の上に順次積層� ��て成る。低屈折率層の屈折率は1.20~1.55であ� ��。好ましくは1.30~1.50である。耐擦傷性、防� ��性を有する最外層として構築することが好� ��しい。耐擦傷性を大きく向上させる手段と� ��て表面への滑り性付与が有効で、従来公知� ��シリコーンの導入、フッ素の導入等から成� ��薄膜層の手段を適用できる。含フッ素化合� ��の屈折率は1.35~1.50であることが好ましい。� ��り好ましくは1.36~1.47である。

 低屈折率層の膜厚は、30~200nmであることが� �ましく、50~150nmであることがさらに好ましく 、60~120nmであることが最も好ましい。
〔反射防止フィルムの他の層〕
 さらに、ハードコート層、前方散乱層、プ� ��イマー層、帯電防止層、下塗り層や保護層� ��を設けてもよい。
(ハードコート層)
 ハードコート層は、反射防止フィルムに物� ��強度を付与するために、透明支持体に設け� ��。特に、透明支持体と前記高屈折率層の間� ��設けることが好ましい。

 ハードコート層は、光及び/又は熱の硬化 性化合物の架橋反応、又は、重合反応により 形成されることが好ましい。

 硬化性官能基としては、光重合性官能基が� ��ましく、又加水分解性官能基含有の有機金� ��化合物は有機アルコキシシリル化合物が好� ��しい。
これらの化合物の具体例としては、高屈折率 層で例示したと同様のものが挙げられる。ハ ードコート層の具体的な構成組成物としては 、例えば、特開2002-144913号公報、同2000-9908号� ��報、WO0/46617号公報等記載のものが挙げられ� ��。

 高屈折率層はハードコート層を兼ねること� ��できる。このような場合、高屈折率層で記� ��した手法を用いて微粒子を微細に分散して� ��ードコート層に含有させて形成することが� ��ましい。ハードコート層は、平均粒径0.2~10� �mの粒子を含有させて防眩機能(アンチグレア 機能)を付与した防眩層(後述)を兼ねることも できる。ハードコート層の膜厚は用途により 適切に設計することができる。ハードコート 層の膜厚は、0.2~10μmであることが好ましく、 より好ましくは0.5~7μmである。ハードコート� ��の強度は、JIS K5400に従う鉛筆硬度試験で、 H以上であることが好ましく、2H以上であるこ とがさらに好ましく、3H以上であることが最� ��好ましい。又、JISK5400に従うテーバー試験� �、試験前後の試験片の摩耗量が少ないほど� �ましい。
(前方散乱層)
 前方散乱層は、液晶表示装置に適用した場� ��の、上下左右方向に視角を傾斜させたとき� ��視野角改良効果を付与するために設ける。� ��記ハードコート層中に屈折率の異なる微粒� ��を分散することで、ハードコート機能と兼� ��ることもできる。例えば、前方散乱係数を� ��定化した特開11-38208号公報、透明樹脂と微� �子の相対屈折率を特定範囲とした特開2000-199 809号公報、ヘイズ値を40%以上と規定した特開 2002-107512号公報等が挙げられる。
(アンチグレア機能)
 反射防止膜は、外光を散乱させるアンチグ� ��ア機能を有していてもよい。アンチグレア� ��能は、反射防止膜の表面に凹凸を形成する� ��とにより得られる。反射防止膜がアンチグ� ��ア機能を有する場合、反射防止膜のヘイズ� ��、3~30%であることが好ましく、5~20%であるこ とがさらに好ましく、7~20%であることが最も� ��ましい。反射防止膜表面に凹凸を形成する� ��法は、これらの表面形状を充分に保持でき� ��方法であればいずれの方法でも適用できる� ��例えば、本発明に係る多層膜の形成方法の� ��かにも、低屈折率層中に微粒子を使用して� ��表面に凹凸を形成する方法(例えば、特開200 0-271878号公報等)、低屈折率層の下層(高屈折� �層、中屈折率層又はハードコート層)に比較� ��大きな粒子(粒径0.05~2μm)を少量(0.1~50質量%)� �加して表面凹凸膜を形成し、その上にこれ� �の形状を維持して低屈折率層を設ける方法(� ��えば、特開2000-281410号公報、同2000-95893号公� ��、同2001-100004号公報、同2001-281407号公報等)� �最上層(防汚性層)を塗設後の表面に物理的に 凹凸形状を転写する方法(例えば、エンボス� �工方法として、特開昭63-278839号公報、特開� �11-183710号公報、特開2000-275401号公報等記載)� �が挙げられる。

 本実施形態では、主に、反射防止フィル� ��に本発明を適用する例で説明したが、これ� ��限定されることはなく、例えば、防眩性フ� ��ルム、偏光板、光学補償フィルム等の光学� ��機能性フィルムシート、熱現像感剤、ナノ� ��子等を含む機能性フィルム、燃料電池のセ� ��レータフィルム、磁気記録テープ、接着テ� ��プ、バリアフィルム等の製造技術にも適用� ��能である。なお、支持体としては、多層膜� ��形成するための溶媒のみが浸透するもので� ��ればいずれでもよい。