Gemäß dem Stand der Technik existiert eine Vielzahl unter- schiedlicher Mikromembranpumpen, wobei als Antriebskonzepte überwiegend elektromagnetische, thermische und piezoelektri- sche Antriebsprinzipien eingesetzt werden. Elektromagneti- sche Antriebskonzepte für mit Rückschlagventilen versehene Mikromembranpumpen sind beispielsweise bei E. Quandt, K.

Seemann, Magnetostrictive Thin Film Microflow Devices, Micro System Technologies 96, S. 451-456, VDE-Verlag GmbH, 1996, beschrieben.

Thermische Antriebskonzepte sind beispielsweise bei B.

Büstgens u. a., Micromembrane Pump Manufactured by Molding, Proc. Actuator 94 ; Bremen 1994, S. 86-90, dargelegt. In der EP-A-0134614 und bei H. T. G. Van Lintel u. a., A Piezoelectric Micropump Based on Micromaching of Silicon, Sensors&Actua- tors, 15,1988, S. 153-167, sind piezoelektrische Antriebs- prinzipien für Mikromembranpumpen, die aktive oder passive Rückschlagventile verwenden, erläutert.

Eine bekannte Mikromembranpumpe mit einem elektrostatischen Antrieb, die einen Pumpkörper aufweist, in den eine Einlaß- und eine Auslaß-Öffnung integriert sind, die jeweils mit Rückschlagventilen versehen sind, ist bei R. Zengerle : Mi- kromembranpumpen als Komponenten für Mikro-Fluidsysteme ; Verlag Shaker ; Aachen 1994 ; ISBN 3-8265-0216-7, sowie der DE 41 43 343 A1 beschrieben. Eine derartige Mikropumpe ist in Fig. 1 dargestellt.

Die in Fig. 1 gezeigte Mikropumpe besteht aus vier Silizium- chips, wobei zwei der Chips den elektrostatischen Aktor, der aus einer flexiblen Pumpmembran 10 und einer Gegenelektrode 12, die mit einer Isolationsschicht 14 versehen ist, be- steht, gebildet ist. Die beiden anderen Siliziumchips 16 und 18 definieren einen Pumpenkörper, in dem Klappenventile 20 und 22 angeordnet sind. Zwischen dem Pumpenkörper, der durch die Siliziumchips 16 und 18 gebildet ist, und der flexiblen Pumpmembran 10, die umfangsmäßig mit dem Pumpenkörper ver- bunden ist, ist eine Pumpkammer 24 gebildet. Zwischen den Aufhängungsvorrichtungen 26 der flexiblen Pumpmembran 10 und der Gegenelektrode ist eine Abstandsschicht 28 angeordnet.

Bei Anlegen einer elektrischen Spannung an den elektrostati- schen Aktor findet eine elektrostatische Anziehung der ela- stischen Pumpmembran 10 an die starre Gegenelektrode 12 statt, wodurch ein Unterdruck in der Pumpkammer 24 erzeugt wird, der zum Einströmen des Pumpmediums über das Einlaß- klappenventil 22 führt, siehe Pfeil 30. Nach dem Abschalten der Spannung und einem Ladungsausgleich durch Kurzschluß der Elektroden relaxiert die Pumpenmembran und verdrängt das Pumpmedium über das AuslaBklappenventil 20 aus der Pumpkam- mer.

Mit Ausnahme der unterschiedlichen Antriebseinrichtung könn- te auch eine piezoelektrisch beschriebene Mikropumpe eben- falls den in Fig. 1 beschriebenen Aufbau des Mikropumpenkör- pers aufweisen.

In der DE 694 01 250 C2 sind Verfahren zum Herstellen eine Mikropumpe beschrieben, bei denen eine Siliziumplatte mit in derselben gebildeten Ventilstrukturen mit einer Abschluß- platte verbunden wird.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein einfaches Verfahren zum Herstellen eines Pumpenkörpers auf Wafer-Ebene ermöglicht, wobei das Verfahren ferner die Her- stellung eines Pumpenkörpers ermöglicht, der zur Herstellung einer Mikromembranpumpe mit einem hohen Kompressionsverhält- nis geeignet ist.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 ge- löst.

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstel- len eines Pumpenkörpers mit einer mit einem Einlaßventil versehenen Einlaßöffnung und einer mit einem Auslaßventil versehenen Auslaßöffnung. Zunächst wird jeweils eine erste Hauptoberfläche einer ersten und zweiten Halbleiterscheibe zur Festlegung einer Ventilklappenstruktur des Einlaßventils und einer Ventilsitzstruktur des Auslaßventils in der ersten Scheibe und einer Ventilklappenstruktur des Auslaßventils und einer Ventilsitzstruktur des Einlaßventils in der zwei- ten Scheibe strukturiert. Nachfolgend wird jeweils eine Ven- tilklappenwannenstruktur und eine Ventilöffnungswannenstruk- tur in einer vorbestimmten Beziehung zu den Ventilklappen- strukturen und den Ventilsitzstrukturen in jeweils einer zweiten Hauptoberfläche der ersten und der zweiten Halblei- terscheibe gebildet. Die ersten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe werden derart verbunden, daß die jeweils eine Ventilklappenstruktur zu einer Ventil- sitzstruktur eine vorbestimmte Beziehung aufweist. Ab- schließend werden die jeweils zweiten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe zumindest im Be- reich der Ventilklappenwannenstruktur und der Ventilöff- nungswannenstruktur zum Freilegen der Ventilklappen und zum Öffnen der Ventilsitze geätzt.

Die vorstehend beschriebenen elektrostatisch angetriebenen Mikromembranpumpen weisen in der Form, die beispielsweise in Fig. 1 dargestellt ist, eine Mehrzahl von Nachteilen auf.

Bedingt durch den geringen Hub der Mikromembran und das ver- gleichsweise große Pumpkammervolumen weist eine solche be- kannte Pumpe ein sehr geringes Kompressionsverhältnis auf.

Als Kompressionsverhältnis wird das Verhältnis des verdräng- ten Pumpvolumens zu dem gesamten Pumpkammervolumen bezeich- net. Durch dieses geringe Kompressionsverhältnis ist eine Förderung kompressibler Medien, wie z. B. von Gasen, nicht möglich, da die Kompressibilität solcher Medien in der Regel über dem Kompressionsverhältnis der Pumpe liegt.

Ferner weist die Pumpkammer der beschriebenen bekannten Pum- pen eine ungünstige strömungstechnische, sowie nicht blasen- tolerante Geometrie auf. Lufteinschlüsse in einem flüssigen Pumpmedium sammeln sich in der Pumpkammer und verschlechtern durch ihre vergleichsweise hohe Kompressibilität die Pumpei- genschaften erheblich. Ferner ist aufgrund des schlechten Kompressionsverhaltens ein selbstansaugendes Verhalten nicht zu erzielen.

Bei den bekannten Mikropumpen steht durch den verwendeten Herstellungsprozeß die Pumpmembran ferner in elektrischem Kontakt mit dem geförderten Medium. Da bei einer elektro- statisch angetriebenen Mikropumpe im Betrieb Spannungen in der Größenordnung von 200 V am Aktor auftreten, können im Störfall erhebliche elektrische Potentiale am Pumpmedium an- liegen, die je nach Anwendung zu Störungen externer Kompo- nenten führen können. Ferner werden bekannte Mikropumpen beim derzeitigen Stand der Technik durch Kleben einzelner Chips montiert, wobei diese Montage nicht den Anforderungen an eine rationelle Fertigung genügt.

Es wären daher Mikromembranpumpen mit einem reduzierten Pumpkammervolumen vorteilhaft, um die oben genannten Nach- teile auszuräumen. Eine Möglichkeit zur Reduzierung des Pumpkammervolumens würde in dem Dünnen des der Antriebsein- richtung zugewandten Ventilchips bestehen. Jedoch ist gerade das Dünnen derartiger Ventilchips mit ganz erheblichen Pro- blemen verbunden. Zum einen führt ein mechanisches Dünnen, beispielsweise ein Schleifen oder Polieren, aufgrund der da- bei auftretenden starken Vibrationen unter Umständen zur Be- schädigung der Klappe, d. h. die Ventilklappe kann an ihrem Einspannpunkt abbrechen. Ferner scheidet ein chemischer Pro- zeß zum Abdünnen des Ventilchips ebenfalls aus, da die be- stehenden Ventilklappen gegenüber dem chemischen Abtrag ge- schützt werden müssen, was prozeßtechnisch nur mit sehr ho- hem Aufwand möglich ist.

Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ermöglicht ein solches Dünnen des Ventilchips, ohne die Gefahr einer Beschädigung der empfindlichen Ventilklappen und ohne einen hohen prozeßtechnischen Aufwand.

Ferner ermöglicht das erfindungsgemäße Verfahren die Ferti- gung der Pumpenkörper auf Waferebene, wobei die gefertigten Pumpenkörper aufgrund des stapelförmigen Aufbaus ferner fur eine Endmontage einer Mikromembranpumpe auf Waferebene ge- eignet sind, was ein im Vergleich zu zahlreichen anderen Konzepten ein fertigungstechnisch sehr günstiges Konzept darstellt.

Weiterbildungen der vorliegenden Anmeldung sind in den ab- hängigen Ansprüchen dargelegt.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich- nungen näher erläutert. Es zeigen : Fig. 1 eine bekannte Mikromembranpumpe mit einem elektro- statischen Antrieb ; Fig. 2a), 2b), 3a) und 3b) Mikromembranpumpen mit Pumpenkör- pern, die nach erfindungsgemäßen Verfahren herge- stellt wurden ; Fig. 4 einen elektrostatischen Mikropumpenantrieb für eine Mikromembranpumpe ; Fig. 5 einen piezoelektrischen Mikropumpenantrieb für eine Mikromembranpumpe ; Fig. 6 schematische Querschnittdarstellungen zur Erläute- rung eines ersten Ausführungsbeispiels des erfin- dungsgemäßen Verfahrens ; Fig. 7 schematische Querschnittdarstellungen zur Erläute- rung eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfin- dungsgemaben Verfahrens ; und Fig. 8 schematische Querschnittdarstellungen zur Erläute- rung eines dritten Ausführungsbeispiels des erfin- dungsgemäßen Verfahrens.

In den Fig. 2a), 2b), 3a) sowie 3b) sind Ausführungsbeispie- le von Mikromembranpumpen dargestellt, deren Pumpenkörper mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wurde.

Fig. 2a) zeigt eine Mikromembranpumpe auf der Basis eines piezoelektrischen Aktors 100. Der verwendete piezoelektri- sche Aktor wird nachfolgend bezugnehmend auf Fig. 5 näher erläutert. Ein Pumpenkörper ist durch zwei Halbleiterschei- ben, vorzugsweise Siliziumwafer, 102 und 104 gebildet. In den Halbleiterscheiben 102 und 104 sind ein Einlaßventil 106 und ein Auslaßventil 108 mittels mikromechanischer Verfahren gebildet. Wie in Fig. 2a) zu sehen ist, ist dazu das Sili- ziumsubstrat 102 auf der der Mikromembran zugewandten Ober- fläche gedünnt, um die Realisierung eines kleinen Pumpkam- mervolumens und damit eines hohen Kompressionsverhältnisses zu ermöglichen.

ErfindungsgemäBe Verfahren zum Bilden einer solchen Struktur werden später bezugnehmend auf die Fig. 6-8 beschrieben.

In Fig. 2b) ist ein Ausführungsbeispiel einer Mikromembran- pumpe auf der Basis eines elektrostatischen Antriebs darge- stellt. Der elektrostatische Antrieb besteht aus einer Ge- genelektrode 120 und einem elektrostatischem Aktor 122, der als Mikromembran dient. Dieser elektrostatische Antrieb wird nachfolgend bezugnehmend auf Fig. 4 näher erläutert.

Ein Pumpenkörper ist wiederum durch zwei Siliziumsubstrate 102 und 104, in denen passive Rückschlagventile 106 und 108 gebildet sind, realisiert. Wie in Fig. 2b) zu sehen ist, ist der elektrostatische Aktor 122, der gleichzeitig als Mikro- membran dient, im wesentlichen planar, so daß derselbe in den Bereichen außerhalb der Einlaßöffnung bzw. der Auslaß- öffnung, in denen die Rückschlagventile 106 und 108 gebildet sind, auf dem Pumpenkörper aufliegt. Dadurch sowie durch das Dünnen des Ventilchips kann bei dem elektrostatischen An- trieb ein hohes Kompressionsverhältnis erhalten werden.

In den Fig. 3a) und 3b) sind zwei weitere Ausführungsbei- spiele einer Mikromembranpumpe dargestellt, die sich von den in Fig. 2a) und 2b) dargestellten Ausführungsbeispielen aus- schließlich hinsichtlich des zweiten, den Pumpenkörper defi- nierenden Siliziumsubstrats unterscheiden. Bei den in den Fig. 3a) und 3b) dargestellten Ausführungsbeispielen ist auch das zweite Siliziumsubstrat 104', das zusammen mit dem Siliziumsubstrat 102 den Pumpkörper bildet, gedünnt, und zwar auf der von der Mikromembran 122 abgewandten Seite. Ein derartiger Pumpenkörper, wie er in den Fig. 3a) und 3b) dar- gestellt ist, ergibt sich durch ein Herstellungsverfahren, wie es nachfolgend bezugnehmend auf Fig. 7 erläutert wird.

Fig. 4 zeigt einen planaren elektrostatischen Mikropumpenan- trieb, der mit einem Pumpenkörper, der gemäß dem erfindungs- gemäßen Verfahren hergestellt wurde, verbunden werden kann, um eine Mikromembranpumpe zu bilden. Der elektrostatische Antrieb unterscheidet sich von dem in Fig. 1 dargestellten Antrieb im wesentlichen durch einen planaren Aktor, der aus einer starren Gegenelektrode 120 und einer ganzflächig dün- nen Membran 122 besteht. Somit ist der Anteil des Pumpkam- mervolumens, der von der Antriebseinheit gebildet wird, auf ein Nullvolumen reduziert, wie in Fig. 2b) zu sehen ist, wo- durch sich ein wesentlicher Beitrag zur Kompressionserhöhung ergibt.

Der beschriebene planare elektrostatische Aktor kann bei- spielsweise mit dem nachfolgend beschriebenen Verfahren hergestellt werden. Zunächst werden Ausgangswafer für die Gegenelektrode 120 und die Pumpmembran 122 hergestellt. Dies beinhaltet insbesondere die Schaffung einer Möglichkeit zur elektrischen Kontaktierung, beispielsweise das Aufbringen von Bondpads, sowie bei elektrisch nicht leitenden Ausgangs- materialien die Herstellung einer geeignet strukturierten leitfähigen Beschichtung zur Realisierung der Elektrodenflä- chen, wiederum mit der Möglichkeit der elektrischen Kontak- tierung. Nachfolgend wird eine Abstandsschicht 140 an der späteren Montagefläche von Pumpmembran 122 und Gegenelektro- de 120 gebildet. Ferner werden Isolationsschichten 142 an allen Berührungsstellen der beiden Wafer gebildet, um einen elektrischen Kurzschluß zwischen den Elektroden zu verhin- dern. An der Abstandsschicht 140 erfolgt eine strukturierte Verbindung der beiden Ausgangswafer. Im Anschluß wird der Ausgangswafer für die Pumpmembran 122 ganzflächig abgetra- gen, bis die gewünschte Enddicke der Pumpmembran erreicht ist.

Als Abtragungsverfahren zur Herstellung der flexiblen elek- trostatisch angetriebenen Pumpmembran 122 können je nach ge- wähltem Material ein mechanischer Abtrag, beispielsweise durch Schleifen, oder ein Ätzen verwendet werden. Zur Unter- stützung von Ätzprozessen kann die Pumpmembran 122 an ihrer Oberseite als Mehrschichtstruktur ausgeführt sein, die als unterste Lage eine Ätzstopschicht an der späteren Membranun- terseite aufweist. Die Herstellung der Pumpmembran erfordert keinen Strukturierungsprozeß, so daß durch einen solchen im wesentlichen planaren elektrostatischen Mikropumpenantrieb neben der Optimierung des Kompressionsverhältnisses eine Mi- nimierung der Herstellungskosten erreicht werden kann.

Eine weitergehende Strukturierung der Unterseite der Pump- membran, beispielsweise die Herstellung von zusätzlichen Hilfsstrukturen wie Abstandhaltern oder Strömungskanälen, oder das nachträglich Entfernen oder Aufbringen von Be- schichtungen kann im Anschluß an das ganzflächige Abtragen erfolgen. Zu dieser weitergehenden Strukturierung gehört beispielsweise das Aufbringen von zusätzlichen Schichten zur Erhöhung der chemischen Beständigkeit, zur elektrischen Iso- lation oder zur gezielten Einstellung mechanischer Eigen- schaften, beispielsweise einer lokal unterschiedlichen Mem- brandicke zur Erzielung einer lokal inhomogenen Elastizität.

Als Ausgangsmaterialien für die Gegenelektrode 120 und für die Pumpmembran 122 können insbesondere Silizium, Glas oder Kunststoffe verwendet werden. Die Abstandsschicht 140 kann in beliebiger Kombination durch eine Strukturierung oder durch ein additives Aufbringen an einem oder an beiden Aus- gangswafern erzeugt werden. Als Verfahren zum Verbinden der Gegenelektrode 120 mit der Pumpmembran können je nach ver- wendeten Ausgangsmaterialien beispielsweise Kleben bei be- liebigen Materialien, anodisches Bonden bei Silizium-Glas- oder Silizium-Silizium-Verbindungen mit Glas-Abstands- schicht, oder ein Silicon-Fusion-Bonden bei einer Silizium- Silizium-Verbindung eingesetzt werden. Um ein Verbindungs- verfahren zu ermöglichen, bei dem eine Temperaturerhöhung notwendig ist, beispielsweise bei einem anodischen Bonden, werden bei dem elektrostatischen Aktor in der Gegenelektrode 120 Öffnungen 144 angebracht, die bei temperaturbedingter Ausdehnung und Kompression des Gasvolumens zwischen Pumpmem- bran 122 und Gegenelektrode 120 einen Druckausgleich zur Um- gebung ermöglichen. In gleicher Weise können diese Öffnungen in der Abstandsschicht 140 angeordnet sein.

Fig. 5 zeigt einen piezoelektrischen Mikropumpenantrieb, der mit einem Pumpenkörper, der gemäß dem erfindungsgemäßen Ver- fahren hergestellt wurde, verbunden werden kann, um eine Mi- kromembranpumpe zu bilden. Eine Pumpmembran 110 weist Befe- stigungsstrukturen 150 zur Anbringung der Membran 110 an ei- nem Pumpenkörper auf. Die Befestigungsstrukturen und die Membran sind auf der von dem Pumpenkörper abgewandten Seite mit einer elektrisch leitenden Schicht 152 überzogen. Mit- tels einer Verbindungsschicht 154 ist ein piezoaktives Mate- rial 156 an der Membran 110 angebracht. Das piezoaktive Ma- terial 156 ist ebenfalls mit einer leitfähigen Schicht 158 überzogen.

Im folgenden werden kurz Verfahren zur Herstellung des pie- zoelektrischen Aktors beschrieben. Zunächst wird die dünne Pumpmembran 110 gebildet, wobei innerhalb der Pumpkammer Strukturen vorgesehen werden müssen, die später eine optima- le Strömung zwischen Einlaßventil und Auslaßventil gewähr- leisten. Die Unterseite der Pumpmembran kann ferner weiter- gehend strukturiert werden, beispielsweise durch die Her- stellung zusätzlicher Hilfstrukturen in der Form von Ab- standhaltern und Strömungskanälen. Ferner können nachträg- lich Beschichtungen aufgebracht oder entfernt werden. Wie- derum gehört dazu das Aufbringen von zusätzlichen Schichten zur Erhöhung der chemischen Beständigkeit, zur elektrischen Isolation oder zur gezielten Einstellung mechanischer Eigen- schaften, beispielsweise einer lokal unterschiedlichen Mem- brandicke zur Erzielung einer lokal inhomogenen Elastizität.

Im Anschluß wird die Pumpmembran 110 mit einem piezoelektri- schen Material 156 verbunden. Das piezoelektrische Material kann in der Form eines Kristalls vorliegen oder alternativ in der Form einer dünnen Schicht 156 direkt auf die Pump- membran 110 aufgebracht werden. Beide Seiten des Piezomate- rials müssen dabei elektrisch kontaktierbar sein, wobei eine nichtleitende Schicht 154 als Verbindung zwischen Piezoun- terseite und elektrisch leitender Pumpmembran 110, z. B. eine Klebeschicht, zugelassen werden kann, da für die Umsetzung des Piezoeffekts ein elektrisches Feld entscheidend ist.

Werden zur Herstellung des piezoelektrischen Antriebs eben- falls Verbindungsverfahren, die eine Temperaturerhöhung not- wendig machen, eingesetzt, muß das Piezomaterial 156 nach diesen Verfahren unter Umständen wieder nachpolarisiert wer- den. Dabei muß eine hohe elektrische Spannung an den Kri- stall angelegt werden, wobei das Material eine Temperatur haben sollte, die ungefähr der Curietemperatur des Aktorma- terials entspricht, typischerweise 180°C-350°C.

Zum Bilden einer Mikromembranpumpe werden die bezugnehmend auf die Fig. 4 und 5 beschriebenen Aktorvorrichtungen auf einem gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Pumpenkörper angebracht, wodurch eine Mikromembranpumpe, wie sie vorher bezugnehmend auf die Fig. 2 und 3 beschrieben wurde, erzeugt wird. Zur Verbindung der Aktorvorrichtung auf dem Pumpenkörper können beliebige in der Technik bekannte Verfahren verwendet werden.

Im folgenden werden nun die erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Pumpenkörpers, der für die erfindungsge- mäße Mikromembranpumpe geeignet ist, näher beschrieben.

Vorzugsweise wird als Ausgangsmaterial der Ventileinheit Si- lizium verwendet. Wie oben beschrieben, ermöglicht die er- findungsgemäße Herstellung des Pumpenkörpers mit der inte- grierten Ventileinheit ein geringes Pumpkammervolumen. Dies gilt insbesondere für den innenliegenden Ventilchip, der zum Pumpkammervolumen beiträgt. Es ist jedoch offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung auch ein vorteilhaftes Verfah- ren zum Bilden eines Pumpenkörpers, wie er beispielsweise in Fig. 1 gezeigt ist, liefert. Es ist daher für Fachleute of- fensichtlich, das die bei den jeweiligen Ausführungsbeispie- len des erfindungsgemäßen Verfahrens beschriebenen Schritte des Dünnens von einem oder beiden den Ventilkörper bildenden Halbleiterplatten optional sind.

Ein erstes Verfahren wird nun bezugnehmend auf Fig. 6 be- schrieben. Der Ventilkörper mit der integrierten Ventil- struktur wird dabei aus zwei Halbleiterplatten, vorzugsweise Siliziumplatten, gebildet, die zunächst in den Schritten a) -c) einer gleichartigen Behandlung unterworfen werden.

Zunächst werden die Ventilchips 200 auf ihrer Vorderseite, d. h. auf einer Hauptoberfläche desselben, beispielsweise durch ein Ätzverfahren vorstrukturiert, um eine Ventilklap- penstruktur 202 und eine Ventilsitzstruktur 204 festzulegen.

Diese Vorstrukturierung ist in einem Schritt a) in Fig. 6 dargestellt. In einem nächsten Schritt werden beispielsweise durch naßchemische Ätzverfahren bei dem dargestellten Aus- führungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens Ventil- klappenwannen 206 und Ventilöffnungswannen 208 von der Rück- seite der Chips her in einer vorbestimmten Beziehung zu den Ventilklappenstrukturen 202 und den Ventilsitzstrukturen 204 gebildet, siehe Schritt b). Nachfolgend werden die Ventil- chips 200 bei diesem Ausführungsbeispiel auf der Oberseite mit einer Oxidschicht 210 überzogen, Schritt c).

Im Anschluß werden die beiden Chips beispielsweise durch anodische Bondverfahren oder durch ein Silicon-Fusion-Bonden an den mit der Oxidschicht überzogenen Oberflächen derselben verbunden, siehe Schritt d). Die beiden Chips sind dabei derart angeordnet, daß die Ventilsitzstrukturen des einen Chips mit den Ventilklappenstrukturen des anderen Chips aus- gerichtet sind und umgekehrt. Dies führt zu einer Verbindung der Ventilklappen mit dem Ventilsitz und somit zu einer me- chanischen Stabilisierung, der beim nachfolgenden Dünnungs- prozeß eine Beschädigung der Ventilklappen zuverlässig ver- hindert.

Das nach dem Schritt d) erhaltene Waferpaar 212 wird an- schließend einseitig gedünnt, siehe oberen Wafer in Schritt e), wodurch die Ventilwannen 206,208 des gedünnten Wafers möglichst flach herausgebildet werden sollen. Nachfolgend wird ein abschließender naßchemischer Ätzprozeß durchge- führt, der zum Freilegen der Klappenstrukturen bzw. zum Öff- nen der Ventilsitze führt, siehe Schritt f). Somit ist das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung des erfindungs- gemäßen Pumpenkörpers mit integrierter Ventilstruktur abge- schlossen.

Bezugnehmend auf Fig. 7 wird nachfolgend ein alternatives Verfahren beschrieben. Zunächst werden wie im Schritt a) in Fig. 6 in einer Hauptoberfläche der Ventilchips 200 Ventil- sitzstrukturen 204 und Ventilklappenstrukturen 202 defi- niert. Nachfolgend werden in einem Schritt g) auf der Rück- seite der Chips Ventilklappenwannen 216 und Ventilöffnungs- wannen 218 erzeugt. Die Wannen weisen bei diesem Ausfüh- rungsbeispiel eine Wannentiefe auf, die der Wannentiefe des fertiggestellten Pumpenchips entspricht. Nach dieser Struk- turierung werden die Ventilwafer wiederum verbunden, so daß eine Ventileinheit 222 gebildet wird, siehe Schritt h). Der wesentliche Unterschied zu dem bezugnehmend auf Fig. 6 be- schriebenen Verfahren besteht in dem letzten Schritt, wobei das Abdünnen der Wafer bei dem in Fig. 7 dargestellten Ver- fahren nicht einseitig mechanisch erfolgt, sondern in einem Schritt i) beidseitig durch chemische Verfahren. Der chemi- sche Ätzprozeß wird solange angewendet, bis die Klappen bzw.

Ventilöffnungen freigelegt sind. Das Ergebnis ist ein Wafer- paar, das aus zwei Wafern der gleichen Dicke besteht.

Ein weiteres alternatives Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend bezugnehmend auf Fig. 8 erläu- tert. Die in Fig. 8 dargestellten Schritte a) und g) ent- sprechen den in der Fig. 7 dargestellten Schritten a) und g). Anschließend werden die Ventilchips wiederum zu einer Ventileinheit verbunden, wie in einem Schritt j) dargestellt ist, wobei der Einlaß und der Auslaß in diesem Stadium noch geschlossen sind. Jedoch wird nun auf die Oberfläche des un- teren Chips mit Ausnahme der strukturierten Wannen 216 und 218 eine Atzmaske 230 aufgebracht. Somit wird in einem fol- genden naßchemischen Atzverfahren nur der obere Chip ge- dünnt, während nicht der gesamte untere Chip mitgedünnt wird, da die Maske 230 das Ätzen des gesamten Chips verhin- dert, so daß der untere Chip nur in den vorstrukturierten Wannen 216 und 218 geätzt wird und nach Fertigstellung der Struktur die ursprüngliche Dicke aufweist, siehe Schritt k).

Man erhält somit ein Waferpaket, daß nach dem Freilegen der Klappen eine zur Pumpkammer gerichtete planare Ventileinheit beinhaltet, wenn die Pumpkammer durch den Pumpkörper und ei- ne auf dem oberen Chip angebrachte Mikromembran gebildet wird.

Der nach einem der oben beschriebenen Verfahren gefertigte Pumpenkörper kann nun mit einer Antriebseinheit verbunden werden. Eine kostengünstige und zugleich reproduzierbare Verbindungstechnik kann jedoch nur dann realisiert werden, wenn die Montage auf Wafer-Ebene stattfindet. Für diese Ver- bindung bietet sich wieder eine Vielzahl von Techniken und Verfahren an, beispielsweise Kleben, Silicon-Fusion-Bonden, anodisches Bonden und eutektisches Bonden. Hochtemperatur- verfahren können wiederum mit einer Depolarisation des Pie- zomaterials verbunden sein und somit ein nachträgliches Po- larisieren des Piezoaktors erfordern.

Nach dem Verbinden der Antriebseinheit mit dem Ventilkörper erhält man die in den Fig. 2 und 3 dargestellten Mikromem- branpumpen, wobei die beschriebenen Verfahren Pumpenkörper ermöglichen, die zusammen mit den beschriebenen Antriebsvor- richtungen ein hohes Kompressionsverhältnis, d. h. ein hohes Verhältnis von verdrängtem Pumpvolumen und gesamtem Pumpkam- mervolumen, ermöglichen.