Schleusenvorrichtung, Schleusensystem und Verfahren zu einem Betrieb einer Schleusenvorrichtung

Stand der Technik Die Erfindung betrifft eine Schleusenvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 , ein Schleusensystem nach Anspruch 21 , eine Transportkammer nach Anspruch 23 und ein Verfahren zu einem Betrieb einer Schleusenvorrichtung nach Anspruch 24.

Es ist bereits eine Schleusenvorrichtung mit zumindest einer Schleusenkammer, aufweisend zumindest ein beweglich gelagertes Schleusenbetätigungselement, welches zumindest dazu vorgesehen ist, einen Öffnungszustand zumindest einer Öffnung der Schleusenkammer einzustellen, und eine Lagereinheit, welche zu der beweglichen Lagerung des Schleusenbetätigungselements vorgesehen ist, vorgeschlagen worden. In den Druckschriften EP 2 876 341 B1 und

US 9,086,173 B2 sind derartige Schleusenvorrichtungen gezeigt, wobei dort die Öffnungselemente, welche Öffnungen einer Schleusenkammer verdecken, fest und unlösbar mit dem Schleusenbetätigungselement verbunden sind.

Die Aufgabe der Erfindung besteht insbesondere darin, eine gattungsgemäße Vorrichtung mit vorteilhaften Eigenschaften hinsichtlich einer Flexibilität

bereitzustellen. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der

Patentansprüche 1 , 21 , 23 und 24 gelöst, während vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung den Unteransprüchen entnommen werden können. Vorteile der Erfindung

Die Erfindung geht aus von einer Schleusenvorrichtung, insbesondere einer Vakuumschleusenvorrichtung, mit zumindest einer, insbesondere vakuumdicht verschließbaren, Schleusenkammer, aufweisend zumindest ein beweglich gelagertes Schleusenbetätigungselement, welches zumindest dazu vorgesehen ist, einen Öffnungszustand zumindest einer Öffnung der Schleusenkammer, vorzugsweise Öffnungszustände von zumindest zwei Öffnungen der

Schleusenkammer, einzustellen, und eine Lagereinheit, welche zu der

beweglichen Lagerung des Schleusenbetätigungselements vorgesehen ist.

Es wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement zumindest dazu vorgesehen ist, zumindest teilautomatisiert, insbesondere vollautomatisiert, eine, insbesondere betriebsmäßig lösbare, kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und zumindest einem

Öffnungselement herzustellen, wobei das Öffnungselement zumindest dazu vorgesehen ist, zumindest die Öffnung der Schleusenkammer und/oder zumindest eine Öffnung einer mit der Schleusenkammer koppelbaren weiteren Kammer, insbesondere einer Prozesskammer oder einer Transportkammer, vorzugsweise vakuumdicht, zu verschließen. Dadurch können insbesondere vorteilhafte

Eigenschaften hinsichtlich einer Flexibilität der Schleusenvorrichtung erreicht werden. Insbesondere kann die Schleusenvorrichtung dadurch vorteilhaft dafür vorgesehen werden, eine Mehrzahl unterschiedlicher Öffnungen, beispielsweise Öffnungen mit unterschiedlichen Öffnungsmaßen oder unterschiedlichen

Öffnungsformen, und/oder eine Mehrzahl unterschiedlicher Öffnungselemente, wie Deckel, Teller usw., zu schalten und/oder zu handhaben. Vorteilhaft kann dadurch beispielsweise eine Kopplung von verschiedenen Transportkammern zu einer Schleusung von Inhalten der Transportkammern ermöglicht werden, insbesondere unter einer Beibehaltung von Vakuumbedingungen, wodurch vorteilhaft ein verunreinigungsfreier Transport des Inhalts der Transportkammer durch die Schleuse in eine Prozesskammer ermöglicht werden kann. Insbesondere können besonders vorteilhafte Schleusungseigenschaften, insbesondere für verunreinigungsempfindliche Produkte, wie z.B. Ausgangsmaterialien für eine OLED-Produktion, erreicht werden. Zudem kann vorteilhaft ein

Schleusungsvorgang besonders einfach gehalten werden.

Unter einer„Schleusenvorrichtung“ soll insbesondere eine Einrichtung verstanden werden, welche zu einem Übergang zwischen zwei Bereichen vorgesehen ist, wobei die beiden Bereiche unterschiedliche Eigenschaften aufweisen, welche nicht vermischt werden sollen. Durch eine„Vakuumschleusenvorrichtung“ soll insbesondere ein Übergang zwischen zwei vakuumierten Bereichen oder ein Übergang zwischen zwei Bereichen unterschiedlicher Drücke, wobei zumindest ein Bereich ein Vakuum aufweist, ermöglicht werden. Unter einem

„Öffnungszustand“ soll insbesondere ein geschlossener Zustand einer Öffnung und/oder ein geöffneter Zustand einer Öffnung verstanden werden. Unter einem Einstellen eines Öffnungszustands soll insbesondere ein, insbesondere

reversibles, Öffnen und/oder ein, insbesondere reversibles, Verschließen der Öffnung verstanden werden. Unter einer„beweglichen Lagerung“ soll

insbesondere eine translatorische Lagerung und/oder eine rotatorische Lagerung verstanden werden. Insbesondere ist die Lagereinheit dazu vorgesehen, das gesamte Schleusenbetätigungselement beweglich zu lagern und/oder zumindest einen Teil des Schleusenbetätigungselements relativ zu einem weiteren Teil des Schleusenbetätigungselements beweglich zu lagern, wobei vorzugsweise der Teil und der weitere Teil des Schleusenbetätigungselements zumindest teilweise in einem Inneren der Schleusenkammer angeordnet sind. Das

Schleusenbetätigungselement ist insbesondere als eine Art automatisiert betreibbarer Schieber ausgebildet. Insbesondere ist das

Schleusenbetätigungselement, vorzugsweise mittels der Lagereinheit, zumindest dazu vorgesehen, zumindest zwei Öffnungselemente zwischen die Öffnungen verschließenden Sitzen der Öffnungselemente und einer Lagerposition des Schleusenbetätigungselements zu bewegen. In der Lagerposition ist das

Öffnungselement und/oder das Schleusenbetätigungselement derart innerhalb der Schleusenkammer angeordnet, dass das Schleusenbetätigungselement und/oder die mit dem Schleusenbetätigungselement kraft- und/oder formschlüssig gekoppelten Öffnungselemente, insbesondere das Öffnungselement und das zweite Öffnungselement, vollständig frei sind von Schnittpunkten mit beliebigen Geraden, welche Öffnungen verbinden, deren Öffnungszustand durch das Schleusenbetätigungselement einstellbar ist.

Unter einer„teilautomatisierten“ Funktion soll insbesondere verstanden werden, dass die Funktion teilweise ohne Mitwirkung eines Menschen bestimmungsgemäß arbeitet. Eine„vollautomatisierte“ Funktion arbeitet insbesondere ganz ohne Mitwirkung des Menschen bestimmungsgemäß. Unter einer„betriebsmäßig lösbaren“ Kopplung soll insbesondere eine Kopplung verstanden werden, welche insbesondere zerstörungsfrei, vorzugsweise über eine schaltbare Funktion des Schleusenbetätigungselements, lösbar und/oder verbindbar ist, z.B. durch ein Ab- und/oder Anschalten eines Magnetfelds, ein Lösen und/oder Verbinden einer mechanischen Rastvorrichtung und/oder ein Ab- und/oder Anschalten einer einen Unterdrück erzeugenden Pumpvorrichtung. Insbesondere ist die betriebsmäßig lösbare Verbindung während eines Betriebs der Schleusenvorrichtung lösbar und/oder verbindbar. Unter einer„kraftschlüssigen Kopplung“ soll insbesondere eine lösbare, durch eine Haltekraft, beispielsweise eine Magnetkraft, eine

Druckkraft und/oder eine Reibungskraft erzeugte Kopplung verstanden werden. Vorzugsweise ist die kraftschlüssige Kopplung als eine magnetische Kopplung, bevorzugt eine Magnetkupplung, und/oder eine pneumatische Kopplung zu verstehen. Insbesondere ist die kraftschlüssige Kopplung fernschaltbar, beispielsweise über eine Bestromung eines Elektromagneten und/oder eine Schaltung einer Säugpumpe. Unter einer„formschlüssigen Kopplung“ soll insbesondere eine lösbare, durch ein zumindest teilweises Ineinandergreifen zumindest zweier Kupplungspartner, beispielweise eines Kopplungselements des Schleusenbetätigungselements und eines Kopplungselements eines

Öffnungselements, bewirkte Kopplung verstanden werden. Die formschlüssige Kopplung ist insbesondere als eine Rast- oder Clipsverbindung ausgebildet.

Untere einem Öffnungselement soll insbesondere ein auf zumindest eine der Öffnungen der Schleusenkammer angepasster, vorzugsweise abnehmbarer, Deckel oder ein von dem Schleusenbetätigungselement getrennt ausgebildeter Ventilteller verstanden werden. Insbesondere ist das Öffnungselement dazu vorgesehen, zumindest eine Öffnung der Schleusenkammer vakuumdicht zu verschließen. Das Öffnungselement ist beispielsweise als ein zu der

Schleusenvorrichtung zugehöriges Öffnungselement oder als ein Öffnungselement einer Prozesskammer oder einer Transportkammer ausgebildet. Unter einem „vakuumdichten Verschließen“ soll insbesondere ein Verschließen verstanden werden, bei welchem eine Leckrate kleiner als 10 ⁴ mbar ^* l/s, vorzugsweise kleiner als 10 ⁵ mbar ^* l/s und bevorzugt kleiner als 10 ⁶ mbar ^* l/s ist. Unter einer

„Prozesskammer“ soll insbesondere eine Vakuumkammer verstanden werden, welche dazu vorgesehen ist, eine Atmosphäre für einen Bearbeitungsprozess und/oder einen Fertigungsprozess, insbesondere an und/oder von einem

elektronischen Bauteil, beispielsweise einem elektronischen Chip oder einer Diode, beispielsweise einer OLED, bereitzustellen. Vorzugsweise ist die

Prozesskammer als eine Evaporationskammer, beispielsweise einer OLED- Fertigung, ausgebildet. Unter einer„Transportkammer“ soll insbesondere ein Vakuumtransportbehältnis, beispielsweise ein Vacuum-Pod, FOUP, ein SMIF oder ein vergleichbarer Container zu einem Transport von Gegenständen,

insbesondere Halbleitern und/oder OLEDs, vorzugsweise Produktionsmaterialien zu einer Herstellung von Halbleitern und/oder OLEDs, unter Vakuum, verstanden werden. Insbesondere ist denkbar, dass das Schleusenbetätigungselement dazu vorgesehen ist, ein Öffnungselement, insbesondere zumindest zwei

Öffnungselemente, von einem Sitz, welcher die, insbesondere dem jeweiligen Öffnungselement zugehörige, Öffnung der Schleusenkammer, insbesondere vakuumdicht, verschließt, zumindest zu einem Großteil, vorzugsweise vollständig, zu entfernen und/oder zumindest das Öffnungselement, insbesondere zumindest zwei Öffnungselemente, in den Sitz, welcher die, insbesondere jeweils

zugehörige, Öffnung, insbesondere vakuumdicht, verschließt, zu verbringen.

Alternativ oder zusätzlich kann das Schleusenbetätigungselement dazu

vorgesehen sein, eine weitere Öffnung der Schleusenkammer, insbesondere die zweite Öffnung der Schleusenkammer, mittels eines fest, insbesondere nicht zerstörungsfrei lösbaren, mit dem Schleusenbetätigungselement verbundenen zusätzlichen Öffnungselement zu verschließen.

Ferner wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement zumindest dazu vorgesehen ist, zumindest teilautomatisiert eine, insbesondere

betriebsmäßig lösbare, kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und zumindest einem von dem Öffnungselement verschiedenen zweiten Öffnungselement, insbesondere einem

Schleusenöffnungselement und/oder einem Öffnungselement einer

Transportkammer, vorzugsweise eines Vakuumtransportbehältnisses,

herzustellen. Dadurch kann vorteilhaft eine Flexibilität der Schleusenvorrichtung weiter erhöht werden. Insbesondere können vorteilhaft zumindest zwei

verschiedene Öffnungselemente von einem einzelnen

Schleusenbetätigungselement geschaltet werden. Dadurch kann vorteilhaft eine Komplexität reduziert werden. Das zweite Öffnungselement ist insbesondere als ein Deckel und/oder eine Abdeckung einer Öffnung einer Transportkammer, insbesondere eines zweiten Vakuumtransportbehältnisses, einer Prozesskammer, insbesondere einer zweiten Prozesskammer oder der Schleusenkammer ausgebildet. Vorteilhaft kann dadurch beispielsweise eine einfache Schleusung eines Gegenstands zwischen zwei verschiedenen Transportkammern oder zwischen zwei verschiedenen Prozesskammern ermöglicht werden.

Zudem wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement dazu vorgesehen ist, in zumindest einem Betriebszustand zumindest gleichzeitig, insbesondere betriebsmäßig lösbar, kraft- und/oder formschlüssig mit dem

Öffnungselement und mit dem zweiten Öffnungselement gekoppelt zu sein.

Dadurch kann vorteilhaft eine Flexibilität der Schleusenvorrichtung weiter erhöht werden. Insbesondere können vorteilhaft zumindest zwei verschiedene

Öffnungselemente von einem einzelnen Schleusenbetätigungselement gleichzeitig geschaltet werden, wodurch eine Komplexität vorteilhaft reduziert werden kann. Insbesondere können dadurch vorteilhaft mit einem einzelnen Schleusenbetätigungselement beide Öffnungselemente abgenommen werden. Beispielsweise kann das Schleusenbetätigungselement dazu vorgesehen sein, erst ein Öffnungselement von einer einen Pfad zu der Prozesskammer

freigebenden Öffnung abzunehmen und danach nach einer Anpassung der Drücke in der Prozesskammer und der Schleusenkammer ein zweites

Öffnungselement von einer einen Pfad zu der Transportkammer freigebenden Öffnung abzunehmen, so dass vorteilhaft ein, insbesondere druckfreier, Pfad zwischen der Transportkammer und der Prozesskammer erzeugt werden kann. Unter einer„zumindest gleichzeitigen Kopplung“ soll insbesondere verstanden werden, dass das Schleusenbetätigungselement dazu vorgesehen ist, in zumindest einem Betriebszustand mit zumindest zwei Öffnungselementen auf einmal gekoppelt zu sein. Unter„vorgesehen“ soll insbesondere speziell programmiert, ausgelegt und/oder ausgestattet verstanden werden. Darunter, dass ein Objekt zu einer bestimmten Funktion vorgesehen ist, soll insbesondere verstanden werden, dass das Objekt diese bestimmte Funktion in zumindest einem Anwendungs- und/oder Betriebszustand erfüllt und/oder ausführt.

Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass die durch das Öffnungselement verschließbare Öffnung der Schleusenkammer und eine zweite Öffnung der Schleusenkammer, welche durch das zweite Öffnungselement verschließbar ist, auf gegenüberliegenden Seiten der Schleusenkammer angeordnet sind. Dadurch kann vorteilhaft eine einfache Schleusung von Gegenständen durch die

Schleusenvorrichtung erreicht werden. Insbesondere weisen die erste Öffnung und die zweite Öffnung zueinander zumindest im Wesentlichen parallel

zueinander ausgerichtete Öffnungsebenen auf. Unter„im Wesentlichen parallel“ soll insbesondere eine Ausrichtung einer Richtung relativ zu einer Bezugsrichtung, insbesondere in einer Ebene, verstanden werden, wobei die Richtung gegenüber der Bezugsrichtung eine Abweichung insbesondere kleiner als 8°, vorteilhaft kleiner als 5° und besonders vorteilhaft kleiner als 2° aufweist. Unter einer „Öffnungsebene“ soll insbesondere eine durch eine Öffnung, insbesondere den Rand der Öffnung ausgebildete Ebene verstanden werden. Vorzugsweise erstreckt sich die Öffnungsebene einer Öffnung zumindest über die gesamte Öffnung. Vorzugsweise verläuft die Öffnungsebene einer Öffnung zumindest im Wesentlichen senkrecht zu einer Wandung der Öffnung. Bevorzugt erstreckt sich die Öffnungsebene einer Öffnung zumindest im Wesentlichen senkrecht zu einer Geraden, welche einen kürzesten Durchtrittspfad durch die Öffnung darstellt. Der Ausdruck„im Wesentlichen senkrecht“ soll insbesondere eine Ausrichtung einer Richtung relativ zu einer Bezugsrichtung definieren, wobei die Richtung und die Bezugsrichtung, insbesondere in einer Ebene betrachtet, einen Winkel von 90° einschließen und der Winkel eine maximale Abweichung von insbesondere kleiner als 8°, vorteilhaft kleiner als 5° und besonders vorteilhaft kleiner als 2° aufweist. Besonders bevorzugt erstreckt sich die Öffnungsebene einer Öffnung zumindest im Wesentlichen parallel zu einer die Öffnung verdeckenden Seitenfläche eines kleinsten gedachten Quaders, welcher die Öffnung gerade noch vollständig umschließt, wobei insbesondere die die Öffnung verdeckende Seitenfläche des kleinsten gedachten Quaders in einer Blickrichtung senkrecht zu der Seitenfläche die Öffnung vollständig verdeckt. Unter„gegenüberliegend“ soll in diesem

Zusammenhang insbesondere diametral gegenüberliegend verstanden werden. Alternativ ist denkbar, dass die Öffnungen auf Seiten der Schleusenkammer angeordnet sind, welche gewinkelt zueinander ausgerichtet sein können, beispielsweise senkrecht zueinanderstehen können. Folglich müsste

insbesondere ein geschleuster Artikel einen gewinkelten oder einen gebogenen Weg durch die Schleusenkammer nehmen.

Weiterhin wird vorgeschlagen, dass zumindest die Öffnung und die zweite Öffnung in einer Blickrichtung senkrecht zu einer Öffnungsebene der Öffnung,

insbesondere senkrecht zu den Öffnungsebenen der Öffnung und der zweiten Öffnung, zumindest zu einem Großteil, vorzugsweise vollständig, überlappen. Dadurch kann vorteilhaft eine einfache und/oder möglichst direkte Schleusung von Gegenständen durch die Schleusenvorrichtung erreicht werden. Zudem kann vorteilhaft ein Pfad durch die Schleusenvorrichtung möglichst kurz gehalten werden. Dadurch kann vorteilhaft eine besonders kompakt ausgestaltete Schleusenvorrichtung erreicht werden. Unter„einem Großteil“ soll insbesondere zumindest 66 %, vorzugsweise zumindest 75 %, vorteilhaft zumindest 85 %, bevorzugt zumindest 95 % und besonders bevorzugt zumindest 99 % verstanden werden. Insbesondere ist denkbar, dass die Öffnungen unterschiedliche Größen aufweisen und lediglich eine der Öffnungen mit der anderen Öffnung zumindest teilweise, vorzugsweise zumindest zu einem Großteil, überlappt. Insbesondere ist ein Überlappungsbereich zumindest so groß, dass ein Transport eines Artikels, insbesondere eines Substrats, gerade noch, vorzugsweise entlang eines linearen Pfads, durch die Schleusenkammer durchschiebbar ist.

Außerdem wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement

zumindest zu einer magnetischen Kopplung mit zumindest dem Öffnungselement, insbesondere mit zumindest einem Schleusenöffnungselement der

Schleusenkammer, vorgesehen ist. Dadurch können insbesondere vorteilhafte Kopplungseigenschaften erreicht werden. Insbesondere kann vorteilhaft eine Partikelerzeugung in einem Inneren der Schleusenkammer, beispielsweise durch Reibung ineinandergreifender Bauteile, möglichst gering gehalten werden.

Vorteilhaft kann eine besonders hohe Vakuumtauglichkeit erreicht werden. Zudem kann vorteilhaft eine einfache, sichere und/oder schaltbare betriebsmäßig lösbare Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und dem Öffnungselement erreicht werden. Unter einer„magnetischen Kopplung“ zweier Bauteile soll insbesondere verstanden werden, dass die Bauteile dazu vorgesehen sind, gegenseitig eine magnetische Anziehungskraft aufeinander auszuüben, welche insbesondere groß genug ist, dass das Öffnungselement positionsfest an dem Schleusenbetätigungselement fixiert ist. Insbesondere geht eine die magnetische Kopplung erzeugende Kraft, vorzugsweise zumindest ein die magnetische

Kopplung erzeugendes Magnetfeld, von dem Schleusenbetätigungselement aus. Insbesondere wird das die magnetische Kopplung erzeugende Magnetfeld zumindest teilweise in dem Schleusenbetätigungselement erzeugt. Bevorzugt umfasst das Öffnungselement zumindest einen Abschnitt, welcher dazu

vorgesehen ist, mit dem Magnetfeld des Schleusenbetätigungselements wechselzuwirken. Beispielsweise ist dieser Abschnitt aus einem magnetischen, insbesondere ferromagnetischen, Material ausgebildet und/oder weist einen Magneten, beispielsweise einen Permanentmagnet oder einen Elektromagnet, auf. Alternativ oder zusätzlich kann auch von dem Öffnungselement eine die magnetische Kopplung erzeugende Kraft, vorzugsweise zumindest ein die magnetische Kopplung erzeugendes Magnetfeld, ausgehen. Alternativ oder zusätzlich kann das die magnetische Kopplung erzeugende Magnetfeld zumindest teilweise in dem Öffnungselement erzeugt werden. Alternativ oder zusätzlich kann das Schleusenbetätigungselement zumindest einen Abschnitt aufweisen, welcher beispielsweise aus einem magnetischen, insbesondere ferromagnetischen

Material ausgebildet ist und/oder einen Magnet aufweist und welcher

insbesondere dazu vorgesehen ist, mit dem Magnetfeld des

Schleusenbetätigungselements wechselzuwirken.

Insbesondere ist die magnetische Kopplung schaltbar, vorzugsweise aktivierbar und/oder deaktivierbar. Insbesondere ist zumindest ein Magnetfeld, welches die magnetische Kopplung bewirkt schaltbar, vorzugsweise aktivierbar und/oder deaktivierbar. Insbesondere weist die Schleusenvorrichtung und/oder das

Öffnungselement eine Steuer- und/oder Regeleinheit auf. Insbesondere ist die Steuer- und/oder Regeleinheit zumindest dazu vorgesehen, die magnetische Kopplung und/oder zumindest ein Magnetfeld der magnetischen Kopplung zu schalten, vorzugsweise zu aktivieren und/oder zu deaktivieren. Alternativ ist vorstellbar, dass zumindest ein mittels der Steuer- und/oder Regeleinheit schaltbares Magnetfeld dazu vorgesehen ist, ein Magnetfeld, welches die magnetische Kopplung erzeugt, zu modifizieren, vorzugsweise zu überlagern. Insbesondere ist die magnetische Kopplung durch ein derartiges überlagertes Magnetfeld lösbar. Dadurch kann vorteilhaft eine stromlose Kopplung erreicht werden. Zudem kann dadurch eine„fail-safe-Funktion“ geschaffen werden, welche beispielsweise verhindern kann, dass sich Öffnungselemente in Folge eines temporären Stromausfalls von dem Schleusenbetätigungselement lösen und sich unkontrolliert in der Schleusenkammer bewegen, wodurch vorteilhaft Beschädigungen oder unnötig lange Betriebsunterbrechungen vermieden werden können.

Unter einem„Schleusenöffnungselement“ soll insbesondere ein Öffnungselement verstanden werden, welches der Schleusenkammer zugehörig ist und dazu vorgesehen ist, eine Öffnung der Schleusenkammer zu verschließen, unabhängig davon mit welchem Transportbehältnis oder mit welcher Prozesskammer die Schleusenkammer verwendet wird, bzw. in welche Prozesskammer die

Schleusenkammer integriert ist. Insbesondere ist das Schleusenöffnungselement ein Öffnungselement, welches dazu vorgesehen ist, die Öffnung der

Schleusenkammer zu verschließen, welche mit einer Öffnung der Prozesskammer verbunden ist. Unter einer„Steuer- und/oder Regeleinheit“ soll insbesondere eine Einheit mit zumindest einer Steuerelektronik verstanden werden. Unter einer „Steuerelektronik“ soll insbesondere eine Einheit mit einer Prozessoreinheit und mit einer Speichereinheit sowie mit einem in der Speichereinheit gespeicherten Betriebsprogramm verstanden werden.

Zusätzlich wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement zumindest zu einer betriebsmäßig lösbaren kraft- und/oder formschlüssigen mechanischen Kopplung mit zumindest dem Öffnungselement, insbesondere mit zumindest einem Schleusenöffnungselement der Schleusenkammer, vorgesehen ist.

Dadurch können insbesondere vorteilhafte Kopplungseigenschaften erreicht werden. Insbesondere kann vorteilhaft eine sichere und/oder einfache

betriebsmäßig lösbare Kopplung erreicht werden. Vorteilhaft kann eine„fail-safe- Funktion“, insbesondere eine ausfallsichere Kopplung zwischen dem

Öffnungselement und dem Schleusenbetätigungselement, erreicht werden. Es ist denkbar, dass die kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem

Schleusenbetätigungselement und dem Öffnungselement eine Kombination zumindest aus einer magnetischen Kopplung und einer mechanischen Kopplung ausbildet. Die mechanische Kopplung ist insbesondere als eine Clips-Verbindung, als eine Steckverbindung, als eine Pressverbindung, als eine Schraubverbindung oder dergleichen ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich ist vorstellbar, dass die mechanische Kopplung zumindest einen Aktor aufweist, welcher zumindest dazu vorgesehen ist zumindest ein Halteelement der mechanischen Kopplung derart zu bewegen, dass ein Kraft- und/oder ein Formschluss zwischen dem

Öffnungselement und dem Schleusenbetätigungselement hergestellt und/oder gelöst wird. Insbesondere ist die mechanische Kopplung, insbesondere der Aktor, mittels der Steuer- und/oder Regeleinheit ansteuerbar, vorzugsweise aktivierbar und/oder deaktivierbar.

Zudem wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement zumindest zu einer pneumatischen Kopplung zumindest mit dem Öffnungselement,

insbesondere mit zumindest einem Schleusenöffnungselement der

Schleusenkammer, vorgesehen ist. Dadurch können insbesondere vorteilhafte Kopplungseigenschaften erreicht werden. Zudem kann vorteilhaft eine bereits vorhandene Evakuationsvorrichtung, insbesondere eine bereits vorhandene Vakuumpumpe, vorzugsweise zusätzlich zu der Regulierung von Innendrücken zumindest der Schleusenkammer und/oder der Prozesskammer, zu einer

Erzeugung zumindest eines Teils der kraft- und/oder formschlüssigen Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und dem Öffnungselement verwendet werden. Dadurch kann vorteilhaft eine Komplexität reduziert werden. Insbesondere weist das Schleusenbetätigungselement zu einer Erzeugung der pneumatischen Kopplung zumindest einen Druckanschluss auf, welcher dazu vorgesehen ist, mittels eines Unterdrucks das Öffnungselement an das

Schleusenbetätigungselement anzusaugen. Insbesondere ist die pneumatische Kopplung mittels der Steuer- und/oder Regeleinheit ansteuerbar, vorzugsweise aktivierbar und/oder deaktivierbar.

Wenn das Schleusenbetätigungselement zumindest ein Kopplungselement aufweist, welches mittels der Lagereinheit entlang zumindest zwei voneinander verschiedenen Bewegungsbahnen bewegbar gelagert ist, kann ein besonders vorteilhafter Kopplungsvorgang, insbesondere ein besonders vorteilhaftes

Abnehmen eines Öffnungselements von einer Öffnung und/oder ein besonders vorteilhaftes Aufsetzen des Öffnungselements auf die Öffnung erreicht werden. Insbesondere kann eine Partikelerzeugung, beispielsweise durch Reibung zweier Flächen aneinander, möglichst gering gehalten werden. Zudem kann dadurch vorteilhaft eine möglichst kleinbauende Schleusenvorrichtung erhalten werden, insbesondere da im Vergleich zu einer Schwenkung eines Kopplungselements und/oder eines Schleusenbetätigungselements in einer Schleusenkammer, ein minimal notwendiger Bewegungsraum des Kopplungselements und/oder des Schleusenbetätigungselements reduziert werden kann. Unter einem

„Kopplungselement“ soll insbesondere ein Element verstanden werden, welches dazu vorgesehen ist, eine Kopplungskraft der kraftschlüssigen Kopplung des Schleusenbetätigungselement mit dem Öffnungselement zu übertragen und/oder einen Formschluss der formschlüssigen Kopplung des

Schleusenbetätigungselements mit dem Öffnungselement herzustellen.

Insbesondere ist das Kopplungselement dazu vorgesehen, das Öffnungselement in einem gekoppelten Zustand direkt zu kontaktieren. Insbesondere ist das Kopplungselement zumindest teilweise in dem Schleusenbetätigungselement integriert ausgebildet. Die Bewegungsbahnen sind insbesondere zumindest angewinkelt zueinander, vorzugsweise zumindest im Wesentlichen senkrecht zueinander, ausgerichtet. Insbesondere ist eine erste Bewegungsbahn des Kopplungselements dazu vorgesehen, das Öffnungselement auf der Öffnung aufzusetzen und/oder das Öffnungselement von der Öffnung abzunehmen.

Insbesondere ist die erste Bewegungsbahn des Kopplungselements zumindest im Wesentlichen senkrecht zu der Öffnungsebene der Öffnung ausgerichtet.

Insbesondere ist eine zweite Bewegungsbahn des Kopplungselements dazu vorgesehen, das Öffnungselement in die Lagerposition innerhalb der

Schleusenkammer zu verbringen und/oder aus der Lagerposition

herauszubewegen. Insbesondere ist die zweite Bewegungsbahn des

Kopplungselements zumindest im Wesentlichen parallel zu der Öffnungsebene der Öffnung ausgerichtet. Alternativ oder zusätzlich kann zumindest eine der Bewegungsbahnen, insbesondere die erste Bewegungsbahn des

Kopplungselements, zumindest im Wesentlichen einen Bogen ausbilden. Zudem wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement zumindest ein zweites Kopplungselement aufweist, wobei das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement auf gegenüberliegenden Seiten des

Schleusenbetätigungselements angeordnet sind. Dadurch kann vorteilhaft eine hohe Flexibilität erreicht werden. Insbesondere kann vorteilhaft mittels eines einzelnen Schleusenbetätigungselements eine Mehrzahl an Öffnungselementen aufgenommen werden. Dadurch kann vorteilhaft eine Komplexität reduziert werden. Unter„gegenüberliegenden Seiten“ sollen insbesondere zwei

voneinander wegweisende Seiten verstanden werden.

Ferner wird vorgeschlagen, dass das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement von der Lagereinheit zumindest relativ zu einem bewegbar gelagerten Trägerelement des Schleusenbetätigungselements, welches zumindest das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement trägt, bewegbar gelagert ist. Dadurch können vorteilhafte Koppeleigenschaften erreicht werden, insbesondere indem die Kopplungselemente individuell an die Öffnungselemente angenähert werden können. Vorteilhaft kann dadurch eine Flexibilität erhöht werden, insbesondere indem eine vorteilhaft kontaktierende Kopplung mit unterschiedlich ausgebildeten Öffnungselementen, beispielsweise unterschiedlich dicken Öffnungselementen, auf einfache Weise ermöglicht werden kann. Das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement sind insbesondere direkt mit dem Trägerelement verbunden ausgebildet. Das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement sind insbesondere zumindest teilweise in das

Schleusenbetätigungselement, bevorzugt das Trägerelement, integriert

ausgebildet. Das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement sind insbesondere zumindest teilweise, vorzugsweise zumindest zu einem Großteil, aus dem Schleusenbetätigungselement, bevorzugt aus dem Trägerelement, ausfahrbar ausgebildet. Das Trägerelement ist insbesondere zumindest teilweise, vorzugsweise zumindest zu einem Großteil, innerhalb der Schleusenkammer angeordnet. Das Trägerelement ist insbesondere einstückig mit dem

Schleusenbetätigungselement ausgebildet. Das Trägerelement ist insbesondere verschieden von einer Haltevorrichtung zu einer Halterung des

Schleusenbetätigungselements ausgebildet. Die Lagereinheit ist insbesondere dazu vorgesehen, das Trägerelement relativ zu der Schleusenkammer bewegbar zu lagern. Die Lagereinheit ist insbesondere dazu vorgesehen, das

Kopplungselement bewegbar relativ zu dem Trägerelement zu lagern. Die Lagereinheit ist insbesondere dazu vorgesehen, das zweite Kopplungselement bewegbar relativ zu dem Trägerelement zu lagern.

Außerdem wird vorgeschlagen, dass das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement mittels der Lagereinheit zumindest entlang einer

Bewegungsrichtung bewegbar ist, welche zumindest im Wesentlichen senkrecht zu einer Öffnungsebene der Öffnung der Schleusenkammer, insbesondere zu allen Öffnungsebenen aller mittels des Schleusenbetätigungselements

verschließbaren Öffnungen der Schleusenkammer, verläuft. Dadurch kann vorteilhaft ein besonders behutsames Aufsetzen und/oder Abnehmen des Öffnungselements von der Öffnung erreicht werden, wodurch vorteilhaft eine Partikelgeneration besonders gering gehalten werden kann.

Zudem wird vorgeschlagen, dass das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement mittels der Lagereinheit, insbesondere relativ zu dem

Trägerelement des Schleusenbetätigungselements, zumindest entlang einer zumindest im Wesentlichen bogenförmigen Bewegungsbahn bewegbar gelagert ist. Dadurch kann vorteilhaft eine besonders kompakte Lagereinheit ermöglicht werden. Vorteilhaft kann die Lagereinheit besonders einfach ausgebildet werden. Insbesondere ist das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement mittels der Lagereinheit relativ zu dem Trägerelement des

Schleusenbetätigungselements schwenkbar ausgebildet. Insbesondere ist das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement dazu vorgesehen, mittels einer Pendelbewegung zwischen einem mit einem Öffnungselement gekoppelten Zustand und einem von einem Öffnungselement entkoppelten Zustand hin- und herbewegbar. Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement zu einer Kopplung mit Öffnungselementen in zueinander zumindest im Wesentlichen diametral entgegengesetzte Bewegungsrichtungen bewegbar, insbesondere bewegbar geführt, vorzugsweise ausfahrbar, sind.

Dadurch kann vorteilhaft eine hohe Flexibilität erreicht werden, insbesondere indem Öffnungszustände zweier gegenüberliegend angeordneter Öffnungen einer Schleusenkammer gleichzeitig mit einem einzelnen Schleusenbetätigungselement geschalten werden können. Dadurch kann insbesondere eine schnelle und einfache Schleusung von Gegenständen durch die Schleusenkammer ermöglicht werden. Der Ausdruck„im Wesentlichen diametral“ soll insbesondere eine

Ausrichtung einer Richtung relativ zu einer Bezugsrichtung definieren, wobei die Richtung und die Bezugsrichtung, insbesondere in einer Ebene betrachtet, einen Winkel von 180° einschließen und der Winkel eine maximale Abweichung von insbesondere kleiner als 8°, vorteilhaft kleiner als 5° und besonders vorteilhaft kleiner als 2° aufweist. Insbesondere sind das Kopplungselement und das zweite Kopplungselement in zueinander zumindest im Wesentlichen diametral

entgegengesetzte Bewegungsrichtungen aus dem Schleusenbetätigungselement, vorzugsweise aus dem Trägerelement, ausfahrbar.

Zusätzlich wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement, insbesondere das Kopplungselement und/oder das zweite Kopplungselement, zumindest einen Magnet, insbesondere einen Permanentmagnet oder einen Elektromagnet, aufweist, welcher insbesondere dazu vorgesehen ist, mittels eines Magnetfelds zumindest zu einem Teil die kraftschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und dem Öffnungselement zu erzeugen. Dadurch kann vorteilhaft eine besonders einfache und/oder effektive Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement und dem Öffnungselement erreicht werden. Insbesondere ist der Magnet, insbesondere der Elektromagnet, mittels der Steuer- und/oder Regeleinheit schaltbar, vorzugsweise aktivierbar und/oder deaktivierbar. Insbesondere ist ein Magnetfeld des Magneten, insbesondere des

Permanentmagneten, mittels der Steuer- und/oder Regeleinheit manipulierbar, vorzugsweise überlagerbar. Insbesondere weist das

Schleusenbetätigungselement zumindest eine der Anzahl an Kopplungselementen entsprechende Anzahl an Magneten auf. Insbesondere ist jedem

Kopplungselement zumindest ein Magnet zugewiesen. Insbesondere ist in jedem Kopplungselement ein mit dem Kopplungselement mitbewegbarer Magnet umfasst.

Ferner wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement von der Lagereinheit zumindest in einer Ebene, welche zumindest im Wesentlichen parallel zu einer Öffnungsebene der Öffnung der Schleusenkammer, insbesondere zu allen Öffnungsebenen aller Öffnungen der Schleusenkammer, verläuft, bewegbar, insbesondere translatorisch bewegbar, vorzugsweise geführt bewegbar, ist. Dadurch kann vorteilhaft eine möglichst kleinbauende

Schleusenvorrichtung erreicht werden. Zudem kann dadurch vorteilhaft eine möglichst einfache, mit geringer Komplexität versehene, Schleusenvorrichtung erreicht werden.

Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass das Schleusenbetätigungselement und die mit dem Schleusenbetätigungselement kraft- und/oder formschlüssig gekoppelten Öffnungselemente, insbesondere das Öffnungselement und das zweite Öffnungselement, in einer Lagerposition des

Schleusenbetätigungselements überdeckungsfrei sind mit den Öffnungen, deren Öffnungszustand durch das Schleusenbetätigungselement einstellbar ist. Dadurch können insbesondere vorteilhafte Schleusungseigenschaften erreicht werden. Insbesondere kann dadurch vorteilhaft ein Pfad, welchen geschleuste

Gegenstände durch die Schleusenkammer nehmen, vollständig freigegeben werden, d.h. vollständig frei von potentiellen Hindernissen gehalten werden. Unter der Wendung„überdeckungsfrei“ soll insbesondere verstanden werden, dass in einer, insbesondere senkrecht zu den Öffnungsebenen der Öffnungen

verlaufenden, Blickrichtung durch die Öffnungen der Schleusenkammer gesehen, das Schleusenbetätigungselement und die mit dem Schleusenbetätigungselement kraft- und/oder formschlüssig gekoppelten Öffnungselemente für den Betrachter unsichtbar sind und/oder keinen Teil der Öffnung verdecken.

Wenn die Schleusenkammer zumindest eine Andockeinrichtung aufweist, welche zumindest dazu vorgesehen ist, ein vakuumdichtes Andocken einer

Transportkammer, insbesondere eines Vakuumtransportbehältnisses, an die Schleusenkammer zu ermöglichen, können insbesondere vorteilhafte

Schleusungseigenschaften erreicht werden. Insbesondere kann vorteilhaft eine vakuumdichte Schleusung von Gegenständen aus der Transportkammer in eine Prozesskammer ermöglicht werden. Die Andockeinrichtung ist insbesondere zu einer mechanischen, einer magnetischen und/oder einer pneumatischen, vorzugsweise kraft- und/oder formschlüssigen Koppelung der Transportkammer mit der Schleusenkammer vorgesehen. Insbesondere überlappt zumindest eine Öffnung der Schleusenkammer mit zumindest einer Öffnung und/oder zumindest einem Öffnungselement der Transportkammer im Anschluss an einen

Andockvorgang vollständig. Eine Leckrate der Andockeinrichtung in einem

Zustand, in dem eine Transportkammer an der Andockeinrichtung angedockt ist und ein Öffnungselement der Transportkammer abgenommen ist, beträgt insbesondere weniger als 10 ⁴ mbar ^* l/s, vorzugsweise weniger als 10 ⁵ mbar ^* l/s und bevorzugt weniger als 10 ⁶ mbar ^* l/s.

Zudem wird vorgeschlagen, dass die Andockeinrichtung zumindest ein

Befestigungselement aufweist, welches zu einer kraft- und/oder formschlüssigen Halterung zumindest der Transportkammer, insbesondere des

Vakuumtransportbehältnisses, relativ zu der Schleusenkammer vorgesehen ist. Dadurch kann vorteilhaft eine hohe Sicherheit und/oder eine hohe

Vakuumdichtigkeit der Schleusenkammer erreicht werden. Vorteilhaft kann ein unbeabsichtigtes Lösen der Transportkammer von der Schleusenkammer, beispielsweise nach einem Ausgleich der Drücke in der Transportkammer und der Schleusenkammer, vermieden werden. Das Befestigungselement ist insbesondere als ein mechanisches Befestigungselement, beispielsweise eine Klammerung oder eine Verschraubung, als ein magnetisches Befestigungselement, beispielsweise eine magnetische Kupplung mittels eines Permanentmagneten oder eines

Elektromagneten, und/oder als ein pneumatisches Befestigungselement, beispielsweise ein Ansaugkanal, ausgebildet.

Wenn die Schleusenkammer zumindest eine Evakuationsvorrichtung aufweist, kann vorteilhaft ein aktiver Druckausgleich zwischen der Schleusenkammer und der Prozesskammer und/oder der Transportkammer ermöglicht werden. Dadurch kann vorteilhaft ein besonders kontaminationsfreier Schleusungsvorgang erreicht werden. Die Evakuationsvorrichtung ist insbesondere dazu vorgesehen, einen Druck in dem Inneren der Schleusenkammer einzustellen. Die

Evakuationsvorrichtung ist insbesondere dazu vorgesehen, einen Unterdrück, vorzugsweise ein Vakuum, in dem Inneren der Schleusenkammer zu erzeugen.

Die Evakuationsvorrichtung umfasst insbesondere zumindest einen

Druckanschluss, beispielsweise einen Verbindungskanal oder einen

Verbindungsschlauch, welcher in das Innere der Schleusenkammer geführt ist.

Die Evakuationsvorrichtung umfasst insbesondere zumindest eine Vakuumpumpe. Die Evakuationsvorrichtung ist insbesondere zumindest teilweise einstückig mit einem Vakuumpumpensystem der Prozesskammer ausgebildet. Die Steuer- und/oder Regeleinheit ist dazu vorgesehen, die Evakuationsvorrichtung, insbesondere die Pumpleistung der Evakuationsvorrichtung, zu steuern. Die Evakuationsvorrichtung umfasst insbesondere zumindest einen Drucksensor, welcher zumindest dazu vorgesehen ist, einen Druck in dem Inneren der

Schleusenkammer zu messen. Die Steuer- und/oder Regeleinheit ist

insbesondere dazu vorgesehen, den Drucksensor auszulesen, den Messwert mit zumindest einem weiteren Messwert eines Sensors zur Bestimmung eines Drucks in der Transportkammer oder der Prozesskammer abzugleichen und auf Basis des Vergleichs die Evakuationsvorrichtung zu steuern und/oder zu regeln. Alternativ kann die Schleusenkammer auch frei von einer Evakuationsvorrichtung

ausgebildet sein, d.h. beispielsweise keine Einstellmöglichkeit für den Druck in dem Inneren der Schleusenkammer aufweisen. Außerdem wird ein Schleusensystem, insbesondere ein Vakuumschleusensystem, mit einer Schleusenvorrichtung, insbesondere einer Vakuumschleusenvorrichtung, mit einer Prozesskammer, insbesondere zu einer Durchführung eines

Bearbeitungsschrittes unter Vakuum, und mit zumindest einer Transportkammer, insbesondere einem Vakuumtransportbehältnis, vorzugsweise einer Mehrzahl an Transportkammern, insbesondere Vakuumtransportbehältnissen, vorgeschlagen. Dadurch kann vorteilhaft eine möglichst kontaminationsfreie Schleusung von Gegenständen und/oder Produktionsmaterialien aus Transportkammern, insbesondere Vakuumtransportbehältnissen, in Prozesskammern ermöglicht werden.

Zusätzlich wird vorgeschlagen, dass die Schleusenvorrichtung, insbesondere die Vakuumschleusenvorrichtung, fest mit der Prozesskammer verbunden ist und/oder zumindest teilweise innerhalb der Prozesskammer angeordnet ist.

Dadurch können insbesondere vorteilhafte Schleusungseigenschaften erhalten werden. Insbesondere kann dadurch vorteilhaft eine besonders hohe Dichtigkeit der Schleusenvorrichtung erreicht werden. Zudem kann vorteilhaft eine hohe Kompaktheit des Schleusensystems erreicht werden. Unter dem Ausdruck„fest verbunden“ soll insbesondere zerstörungsfrei untrennbar verstanden werden. Insbesondere bildet die Schleusenkammer einen integralen Bestandteil der Prozesskammer aus. Vorzugsweise bildet zumindest eine Wandung der

Schleusenkammer zugleich eine Wandung der Prozesskammer aus.

Außerdem wird eine Transportkammer, insbesondere ein

Vakuumtransportbehältnis, des Schleusensystems vorgeschlagen.

Des Weiteren wird ein Verfahren zu einem Betrieb einer Schleusenvorrichtung, insbesondere einer Vakuumschleusenvorrichtung, und/oder eines

Schleusensystems, insbesondere eines Vakuumschleusensystems,

vorgeschlagen. Dadurch können insbesondere vorteilhafte

Schleusungseigenschaften erhalten werden. Insbesondere kann dadurch vorteilhaft eine hohe Flexibilität der Schleusenvorrichtung und/oder eine

besonders hohe Dichtigkeit der Schleusenvorrichtung erreicht werden.

Ferner wird vorgeschlagen, dass in zumindest einer Folge von Verfahrensschritten des Verfahrens zu einem Betrieb einer Schleusenvorrichtung ein Inhalt einer Transportkammer mittels der Schleusenvorrichtung von der Transportkammer in eine Prozesskammer verbracht wird oder umgekehrt, wobei die Transportkammer nur dann, insbesondere zu der Schleusenkammer der Schleusenvorrichtung hin, geöffnet wird, wenn ein Druck in der Transportkammer einem Druck in einer Schleusenkammer der Schleusenvorrichtung zumindest im Wesentlichen entspricht. Dadurch kann vorteilhaft ein Gegenstand und/oder ein

Ausgangsmaterial für eine Produktion von OLEDs aus der Transportkammer in die Prozesskammer verbracht werden, ohne dabei Druckunterschieden und/oder Gasströmungen ausgesetzt zu sein, wodurch vorteilhaft eine Kontamination besonders gering gehalten werden kann und/oder wodurch vorteilhaft ideale Lagerbedingungen für den Gegenstand und/oder für das Ausgangsmaterial für die Produktion von OLEDs entlang einer Lieferkette sichergestellt werden können. Darunter, dass sich zwei Drücke„im Wesentlichen entsprechen“, soll

insbesondere verstanden werden, dass ein Druckunterschied der beiden Drücke geringer ist als 10 mbar, vorzugsweise geringer ist als 1 mbar, bevorzugt geringer ist als 10 ³ mbar und besonders bevorzugt geringer ist als 10 ⁶ mbar.

Die erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung, das erfindungsgemäße

Schleusensystem und das erfindungsgemäße Verfahren sollen hierbei nicht auf die oben beschriebene Anwendung und Ausführungsform beschränkt sein.

Insbesondere können die erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung, das erfindungsgemäße Schleusensystem und das erfindungsgemäße Verfahren zu einer Erfüllung einer hierin beschriebenen Funktionsweise eine von einer hierin genannten Anzahl von einzelnen Elementen, Bauteilen und Einheiten

abweichende Anzahl aufweisen. Zeichnungen

Weitere Vorteile ergeben sich aus der folgenden Zeichnungsbeschreibung. In den Zeichnungen sind drei Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Die

Zeichnungen, die Beschreibung und die Ansprüche enthalten zahlreiche Merkmale in Kombination. Der Fachmann wird die Merkmale zweckmäßigerweise auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfassen.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht eines Schleusensystems mit einer Schleusenvorrichtung und einer Transportkammer in einem abgedockten Zustand,

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht des Schleusensystems mit der

Transportkammer in einem angedockten Zustand und mit einer geschlossenen Schleusenvorrichtung,

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht des Schleusensystems mit der

Transportkammer in einem angedockten Zustand und mit einer geöffneten Schleusenvorrichtung,

Fig. 4 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zu einem Betrieb der

Schleusenvorrichtung,

Fig. 5 ein alternatives Schleusensystem mit einer alternativen

Schleusenvorrichtung und

Fig. 6 ein zweites alternatives Schleusensystem mit einer zweiten

alternativen Schleusenvorrichtung.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Fig. 1 zeigt ein Schleusensystem 66. Das Schleusensystem 66 ist als ein

Vakuumschleusensystem ausgebildet. Das Schleusensystem 66 weist eine Schleusenvorrichtung 68 auf. Die Schleusenvorrichtung 68 ist als eine

Vakuumschleusenvorrichtung ausgebildet. Das Schleusensystem 66 weist eine Prozesskammer 26 auf. Die Prozesskammer 26 ist zu einer Durchführung eines Bearbeitungsschrittes an einem Gegenstand unter Vakuum vorgesehen. Das Schleusensystem 66 weist eine Transportkammer 28 auf. Die Transportkammer 28 ist als ein Vakuumtransportbehältnis ausgebildet. Die Transportkammer 28 ist zu einem Transport eines Artikels 70 unter Vakuum vorgesehen. Das

Schleusensystem 66 ist dazu vorgesehen, den Artikel 70 zwischen der

Transportkammer 28 und der Prozesskammer 26 hin- und herzutransportieren.

Die Transportkammer 28 weist ein Öffnungselement 22 auf. Das Öffnungselement 22 der Transportkammer 28 ist dazu vorgesehen, ein Inneres 80 der

Transportkammer 28 vakuumdicht abzuschließen. Das Öffnungselement 22 ist dazu vorgesehen, zumindest eine Öffnung 88 der mit einer Schleusenkammer 10 koppelbaren Transportkammer 28 und/oder zumindest eine Öffnung 16 der Schleusenkammer 10 vakuumdicht zu verschließen. Das Schleusensystem 66 umfasst die Schleusenkammer 10. Die Schleusenkammer 10 ist fest mit der Prozesskammer 26 verbunden. Die Schleusenkammer 10 ist vakuumdicht verschließbar. Die Schleusenkammer 10 ist vakuumdicht mit der Prozesskammer 26 verbunden. Die Schleusenkammer 10 ist hart dichtend mit der Prozesskammer 26 verbunden. Die Schleusenvorrichtung 68 weist die Schleusenkammer 10 auf. Die Schleusenvorrichtung 68 ist fest mit der Prozesskammer 26 verbunden.

Die Schleusenkammer 10 weist eine Öffnung 14 auf. Die Öffnung 14 bildet eine erste Öffnung aus. Die Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 ist dazu vorgesehen, eine Verbindung zwischen einem Inneren 74 der Schleusenkammer 10 und einem Inneren 76 der Prozesskammer 26 herzustellen. Zu dem vakuumdichten

Verschließen ist die Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 mit einem

Öffnungselement 20 verschließbar. Das Öffnungselement 20 ist als ein

Schleusenöffnungselement der Schleusenkammer 10 ausgebildet. Das

Schleusenöffnungselement ist dazu vorgesehen, zumindest die Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 und/oder zumindest eine Öffnung 24 der mit der

Schleusenkammer 10 fest verbundenen Prozesskammer 26 vakuumdicht zu verschließen. Die Schleusenkammer 10 umfasst ein Dichtelement 78. Das

Dichtelement 78 der Schleusenkammer 10 ist dazu vorgesehen, eine Vakuumdichtigkeit des Öffnungselements 20, insbesondere des

Schleusenöffnungselements, zu gewährleisten. Das Dichtelement 78 der

Schleusenkammer 10 ist als ein O-Ring ausgebildet. Die Schleusenkammer 10 ist vakuumdicht mit der T ransportkammer 28 verbindbar. Die Schleusenkammer 10 weist eine zweite Öffnung 16 auf. Die zweite Öffnung 16 der Schleusenkammer 10 ist dazu vorgesehen eine Verbindung zwischen dem Inneren 74 der

Schleusenkammer 10 mit dem Inneren 80 der Transportkammer 28 herzustellen.

Die Schleusenkammer 10 weist eine Andockeinrichtung 60 auf. Die

Andockeinrichtung 60 ist dazu vorgesehen, ein vakuumdichtes Andocken der Transportkammer 28 an die Schleusenkammer 10 zu ermöglichen. Die

Schleusenkammer 10 ist dazu vorgesehen, vakuumdicht mit einer Mehrzahl an, insbesondere verschieden ausgebildeten, Transportkammern 28 zu koppeln. Die Andockeinrichtung 60 weist zumindest ein Befestigungselement 62 auf. Das Befestigungselement 62 ist zu einer kraft- und/oder formschlüssigen Halterung zumindest der T ransportkammer 28 relativ zu der Schleusenkammer 10 vorgesehen. Das Befestigungselement 62 ist als ein Klemmelement ausgebildet. Alternativ kann das Befestigungselement 62 als ein Schraubelement, als ein Magnetelement, als eine pneumatische Ansaugvorrichtung oder dergleichen ausgebildet sein. Die Transportkammer 28 weist ein Dichtelement 72 auf. Das Dichtelement 72 der Transportkammer 28 ist als ein O-Ring ausgebildet. Das Dichtelement 72 der Transportkammer 28 ist dazu vorgesehen, eine

Vakuumdichtigkeit einer angedockten Transportkammer 28 gegenüber der das Schleusensystem 66 umgebenden Atmosphäre zu gewährleisten.

In einem Betriebszustand der Schleusenvorrichtung 68, in dem die

Transportkammer 28 an der Schleusenkammer 10 angedockt ist, verschließt das zweite Öffnungselement 22 die zweite Öffnung 16 der Schleusenkammer 10. Die durch das Öffnungselement 20 verschließbare Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 und die zweite Öffnung 16 der Schleusenkammer 10, welche durch das zweite Öffnungselement 22 verschließbar ist, sind auf gegenüberliegenden Seiten 84, 86 der Schleusenkammer 10 angeordnet. Die erste Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 ist auf einer der Prozesskammer 26 zugewandten Seite 84 der Schleusenkammer 10 angeordnet. Die zweite Öffnung 16 der

Schleusenkammer 10 ist auf einer der Prozesskammer 26 abgewandten Seite 86 der Schleusenkammer 10 angeordnet. Die Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 und die gegenüberliegende zweite Öffnung 16 der Schleusenkammer 10 überlappen in einer Blickrichtung senkrecht zu einer Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 vollständig.

Die Transportkammer 28 weist ein zusätzliches Dichtelement 82 auf. Das zusätzliche Dichtelement 82 der Transportkammer 28 ist als ein O-Ring

ausgebildet. Das zusätzliche Dichtelement 82 der Transportkammer 28 ist dazu vorgesehen, eine Vakuumdichtigkeit der verschlossenen Transportkammer 28 gegenüber einer die Transportkammer 28 umgebenden Atmosphäre zu

gewährleisten. Die Dichtelemente 72, 78, 82 können alternativ auch als beliebige von einem O-Ring verschiedene Dichtungen ausgebildet sein.

Die Schleusenvorrichtung 68 weist eine Evakuationsvorrichtung 64 auf. Die Evakuationsvorrichtung 64 ist dazu vorgesehen, einen Innendruck zumindest in der Schleusenkammer 10 einzustellen, vorzugsweise abzusenken. Die

Evakuationsvorrichtung 64 umfasst einen Druckanschluss 32. Der Druckanschluss 32 ist als eine Bohrung durch eine Wandung der Schleusenkammer 10

ausgebildet. Die Evakuationsvorrichtung 64 umfasst eine Vakuumpumpe 34. Die Vakuumpumpe 34 und der Druckanschluss 32 sind mittels einer Druckleitung 90 verbunden. Die Druckleitung 90 umfasst ein Ventil 92. Das Ventil 92 ist dazu vorgesehen, einen Druck in der Schleusenkammer 10 einzustellen, insbesondere zu erhöhen. Die Schleusenvorrichtung 68 umfasst eine Steuer- und/oder

Regeleinheit 30. Die Steuer- und/oder Regeleinheit 30 ist zumindest zu einer Regelung des Innendrucks in der Schleusenkammer 10 vorgesehen. Die Steuer- und/oder Regeleinheit 30 ist zu einer Steuerung des Ventils 92 vorgesehen. Die Steuer- und/oder Regeleinheit 30 ist zu einer Steuerung der Vakuumpumpe 34 vorgesehen. Die Evakuationsvorrichtung 64 umfasst einen Drucksensor 100. Der Drucksensor 100 ist zu einer Bestimmung eines Innendrucks in dem Inneren 74 der Schleusenkammer 10 vorgesehen.

Die Schleusenvorrichtung 68 weist ein Schleusenbetätigungselement 12 auf. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist als eine Art Schieber ausgebildet. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, einen Öffnungszustand zumindest einer der Öffnungen 14, 16 der Schleusenkammer 10 einzustellen. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, Öffnungszustände von zumindest zwei Öffnungen 14, 16 der Schleusenkammer 10 einzustellen. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist beweglich gelagert. Die

Schleusenvorrichtung 68 weist eine Lagereinheit 18 auf. Die Lagereinheit 18 ist dazu vorgesehen, zumindest das Schleusenbetätigungselement 12 beweglich zu lagern. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist zumindest dazu vorgesehen, zumindest teilautomatisiert eine betriebsmäßig lösbare kraft- und/oder

formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement 12 und zumindest einem Öffnungselement 20 herzustellen. Die Lage des

Schleusenbetätigungselements 12 ist innerhalb der Schleusenkammer 10 veränderbar. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist mittels der Lagereinheit 18 translatorisch verschiebbar. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist von der Lagereinheit 18 in einer Ebene, welche parallel zu der Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 verläuft, bewegbar. Die Steuer- und/oder Regeleinheit 30 ist dazu vorgesehen, die Bewegung des

Schleusenbetätigungselements 12 zumindest teilautomatisiert zu steuern.

Das Schleusenbetätigungselement 12 ist zumindest dazu vorgesehen, zumindest teilautomatisiert eine kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement 12 und zumindest dem von dem Öffnungselement 20 verschiedenen zweiten Öffnungselement 22 herzustellen. Das

Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, in zumindest einem Betriebszustand gleichzeitig kraft- und/oder formschlüssig mit zwei

Öffnungselementen 20, 22 gekoppelt zu sein. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, in zumindest einem Betriebszustand gleichzeitig kraft- und/oder formschlüssig mit dem Öffnungselement 20 und mit dem von dem Öffnungselement 20 verschiedenen zweiten Öffnungselement 22 gekoppelt zu sein.

Das Schleusenbetätigungselement 12 ist zu einer magnetischen Kopplung mit den Öffnungselementen 20, 22 vorgesehen. Das Schleusenbetätigungselement 12 weist Magnete 56, 94 auf. Die Magnete 56, 94 sind dazu vorgesehen, mittels eines Magnetfelds zumindest zu einem Teil die kraftschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement 12 und den Öffnungselementen 20, 22 zu erzeugen. Die Magnete 56, 94 sind als Elektromagnete ausgebildet. Die

Öffnungselemente 20, 22 sind zumindest teilweise aus einem ferromagnetischen Material, beispielweise einem Eisen, ausgebildet. Die Steuer- und/oder

Regeleinheit 30 ist dazu vorgesehen, das Magnetfeld der Elektromagnete zu steuern. Die Öffnungselemente 20, 22 werden von den Magneten 56, 94 angezogen. Die Öffnungselemente 20, 22 haften durch die magnetische

Anziehungskraft an dem Schleusenbetätigungselement 12. Alternativ oder zusätzlich sind die Magnete 56, 94 als Permanentmagnete ausgebildet. In diesem Fall umfasst das Schleusenbetätigungselement 12 zumindest einen

Elektromagnet zu einer Erzeugung eines Gegenmagnetfelds. Das

Gegenmagnetfeld ist dazu vorgesehen, eine anziehende Kraftwirkung der

Permanentmagneten des Schleusenbetätigungselements 12 auf die

Öffnungselemente 20, 22 zumindest temporär aufzuheben.

Das Schleusenbetätigungselement 12 ist zu einer betriebsmäßig lösbaren kraft- und/oder formschlüssigen mechanischen Kopplung mit den Öffnungselementen 20, 22 vorgesehen. Das Schleusenbetätigungselement 12 umfasst einen

Rastmechanismus (nicht gezeigt). Der Rastmechanismus ist betriebsmäßig lösbar ausgebildet.

Das Schleusenbetätigungselement 12 weist ein Kopplungselement 36 auf. Das Schleusenbetätigungselement 12 weist ein Trägerelement 48 auf. Das

Trägerelement 48 trägt das Kopplungselement 36. Das Trägerelement 48 ist einstückig mit dem Schleusenbetätigungselement 12 ausgebildet. Das

Kopplungselement 36 ist auf einer in zumindest einem Betriebszustand der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 zugewandten Seite 46 des Trägerelements 48 angeordnet. Das Trägerelement 48 ist mittels der Lagereinheit 18 bewegbar ausgebildet. Das Trägerelement 48 ist in der Ebene, welche parallel zu der Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 verläuft, bewegbar. Das Kopplungselement 36 ist mittels der Lagereinheit 18 entlang zwei

voneinander verschiedenen Bewegungsbahnen 38, 40 bewegbar gelagert. Das Kopplungselement 36 ist entlang der ersten Bewegungsbahn 38 mit dem

Schleusenbetätigungselement 12 in der Ebene, welche parallel zu der

Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 verläuft,

mitbewegbar. Die erste Bewegungsbahn 38 verläuft linear. Zudem ist das

Kopplungselement 36 von der Lagereinheit 18 relativ zu dem bewegbar

gelagerten Trägerelement 48 bewegbar gelagert. Das Kopplungselement 36 ist mittels der Lagereinheit 18 entlang der zweiten Bewegungsbahn 40 in zwei gegenläufige Bewegungsrichtungen 52, 54 bewegbar. Die zweite Bewegungsbahn 40 verläuft senkrecht zu der Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 der

Schleusenkammer 10. Die zweite Bewegungsbahn 40 verläuft linear. Die erste Bewegungsbahn 38 und die zweite Bewegungsbahn 40 kreuzen sich senkrecht. Das Kopplungselement 36 ist aus dem Trägerelement 48 ausfahrbar ausgebildet. Das Kopplungselement 36 ist teilweise in das Trägerelement 48 versenkbar ausgebildet.

Das Kopplungselement 36 ist dazu vorgesehen, eine kraft- und/oder

formschlüssige Kopplung mit dem Öffnungselement 20 einzugehen. Das

Kopplungselement 36 ist dazu vorgesehen, durch Annäherung an das

Öffnungselement 20 die kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement 12 und dem Öffnungselement 20 herzustellen. Das Kopplungselement 36 ist dazu vorgesehen, das Öffnungselement 20

aufzunehmen. Das Kopplungselement 36 bildet ein erstes Kopplungselement aus. Das Kopplungselement 36 weist den Magnet 56 auf. Der Magnet 56 ist mit dem Kopplungselement 36 mitbewegt. Der Magnet 56 ist in das Kopplungselement 36 integriert ausgebildet.

Das Schleusenbetätigungselement 12 weist zumindest ein zweites

Kopplungselement 42 auf. Das Trägerelement 48 trägt das zweite

Kopplungselement 42. Das zweite Kopplungselement 42 ist im Wesentlichen identisch zu dem Kopplungselement 36 ausgebildet. Das Kopplungselement 36 und das zweite Kopplungselement 42 sind auf gegenüberliegenden Seiten 44, 46 des Schleusenbetätigungselements 12 angeordnet. Das zweite Kopplungselement 42 ist auf einer in zumindest einem Betriebszustand der Öffnung 14 der

Schleusenkammer 10 abgewandten Seite 44 des Trägerelements 48 angeordnet. Das zweite Kopplungselement 42 ist mittels der Lagereinheit 18 entlang zwei voneinander verschiedenen Bewegungsbahnen 38, 40 bewegbar gelagert. Das zweite Kopplungselement 42 ist entlang der ersten Bewegungsbahn 38 mit dem Schleusenbetätigungselement 12 in der Ebene, welche parallel zu der

Öffnungsebene 50 der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 verläuft,

mitbewegbar. Zudem ist das zweite Kopplungselement 42 von der Lagereinheit 18 relativ zu dem bewegbar gelagerten Trägerelement 48 bewegbar gelagert. Das zweite Kopplungselement 42 ist mittels der Lagereinheit 18 entlang der zweiten Bewegungsbahn 40 in die zwei gegenläufigen Bewegungsrichtungen 52, 54 bewegbar. Das zweite Kopplungselement 42 ist aus dem Trägerelement 48 ausfahrbar ausgebildet. Das zweite Kopplungselement 42 ist teilweise in das Trägerelement 48 versenkbar ausgebildet.

Das zweite Kopplungselement 42 ist dazu vorgesehen, eine kraft- und/oder formschlüssige Kopplung mit dem von dem Öffnungselement 20 verschiedenen zweiten Öffnungselement 22 einzugehen. Das zweite Kopplungselement 42 ist dazu vorgesehen, durch Annäherung an das zweite Öffnungselement 22 die kraft- und/oder formschlüssige Kopplung zwischen dem Schleusenbetätigungselement 12 und dem zweiten Öffnungselement 22 herzustellen. Das zweite

Kopplungselement 42 ist dazu vorgesehen, das zweite Öffnungselement 22 aufzunehmen. Das Kopplungselement 36 und das zweite Kopplungselement 42 sind zu einer Kopplung mit den Öffnungselementen 20, 22 in zueinander diametral entgegengesetzte Bewegungsrichtungen 52, 54 bewegbar. Das

Kopplungselement 36 und das zweite Kopplungselement 42 sind in zueinander diametral entgegengesetzte Bewegungsrichtungen 52, 54 aus dem Trägerelement 48 des Schleusenbetätigungselements 12 ausfahrbar (vgl. auch Fig. 2). Das zweite Kopplungselement 42 weist den zweiten Magnet 94 auf. Der zweite Magnet 94 ist mit dem zweiten Kopplungselement 42 mitbewegt. Der zweite Magnet 94 ist in das zweite Kopplungselement 42 integriert ausgebildet. Der Magnet 56 und der zweite Magnet 94 sind in die zueinander diametral entgegengesetzten

Bewegungsrichtungen 52, 54 bewegbar. Der Magnet 56 und der zweite Magnet 94 sind in den zueinander diametral entgegengesetzten Bewegungsrichtungen 52, 54 zumindest teilweise aus dem Trägerelement 48 des

Schleusenbetätigungselements 12 ausfahrbar. Zu einer kraftschlüssigen Kopplung der Kopplungselemente 36, 42 mit den Öffnungselementen 20, 22 werden die Magnete 56, 94 jeweils in einen Nahbereich der Öffnungselemente 20, 22 verbracht und aktiviert. Bei der magnetischen Kopplung entsteht eine magnetische Anziehungskraft zwischen den Magneten 56, 94 der Kopplungselemente 36, 42 und den ferromagnetischen Bestandteilen der Öffnungselemente 20, 22.

Das Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, die

Schleusenvorrichtung 68 zu öffnen und zu schließen. In Fig. 3 ist die

Schleusenvorrichtung 68 in einem geöffneten Zustand gezeigt. In dem geöffneten Zustand ist eine Schleusung, d.h. ein Transport, des Artikels 70 zwischen der Prozesskammer 26 und der Transportkammer 28 durch die Schleusenkammer 10 möglich. Das Schleusenbetätigungselement 12 ist dazu vorgesehen, die

Öffnungselemente 20, 22 zur Ermöglichung einer Schleusung des Artikels 70 durch die Schleusenvorrichtung 68 in eine Lagerposition 58 zu verbringen. In der in Fig. 3 gezeigten Darstellung befindet sich das Schleusenbetätigungselement 12 in der Lagerposition 58. Das Schleusenbetätigungselement 12 und die mit dem Schleusenbetätigungselement 12 kraft- und/oder formschlüssig gekoppelten Öffnungselemente 20, 22 sind in der Lagerposition 58 des Schleusenbetätigungselements 12 überdeckungsfrei mit den Öffnungen 14, 16,

24, 88 deren Öffnungszustand durch das Schleusenbetätigungselement 12 einstellbar ist (vgl. Fig. 3).

Fig. 4 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zu einem Betrieb einer

Schleusenvorrichtung 68. In zumindest einem Verfahrensschritt 96 wird die Transportkammer 28 auf die Schleusenkammer 10 zubewegt. Die Öffnung 14 der Schleusenkammer 10 ist in dem Verfahrensschritt 96 vakuumdicht verschlossen. Die zweite Öffnung 16 der Schleusenkammer 10 ist in dem Verfahrensschritt 96 unverschlossen. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 98 wird die T ransportkammer 28 an der Schleusenkammer 10 mittels der Andockeinrichtung 60 angedockt. In dem Verfahrensschritt 98 wird die zweite Öffnung 16 der

Schleusenkammer 10 durch die Transportkammer 28, insbesondere durch das zweite Öffnungselement 22, vakuumdicht verschlossen. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 102 wird mittels der Evakuationsvorrichtung 64 der Innendruck in dem Inneren 74 der Schleusenkammer 10 an einen Innendruck in dem Inneren 76 der Prozesskammer 26 angeglichen. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 104 wird das Schleusenbetätigungselement 12 in einem

Nahbereich des Öffnungselements 20 positioniert. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 106 wird das Kopplungselement 36 mittels der Lagereinheit 18 aus dem Trägerelement 48 des Schleusenbetätigungselements 12 derart ausgefahren, dass es das Öffnungselement 20 berührt. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 108 wird der Magnet 56 des Kopplungselements 36 aktiviert, so dass das Öffnungselement 20 magnetisch von dem

Kopplungselement 36 angezogen wird. In zumindest einem weiteren

Verfahrensschritt 1 10 wird das mit dem Öffnungselement 20 gekoppelte

Kopplungselement 36 in das Trägerelement 48 des

Schleusenbetätigungselements 12 eingefahren. In dem Verfahrensschritt 1 10 wird das Öffnungselement 20 von der Öffnung 14 der Schleusenkammer 10

abgenommen. In dem Verfahrensschritt 1 10 wird die Schleusenkammer 10 zu der Prozesskammer 26 hin geöffnet. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 112 wird der Innendruck in dem Inneren 74 der Schleusenkammer 10 und in dem Inneren 80 der Transportkammer 28 an einen Innendruck in dem Inneren 76 der Prozesskammer 26 angepasst. Alternativ wird in zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 1 12‘ der Innendruck in dem Inneren 74 der Schleusenkammer 10 und in dem Inneren 76 der Prozesskammer 26 an einen Innendruck in dem Inneren 80 der Transportkammer 28 angepasst. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 1 14 wird das zweite Kopplungselement 42 mittels der

Lagereinheit 18 aus dem Trägerelement 48 des Schleusenbetätigungselements 12 derart ausgefahren, dass es das zweite Öffnungselement 22 berührt. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 1 16 wird der zweite Magnet 94 des zweiten Kopplungselements 42 aktiviert, so dass das zweite Öffnungselement 22 magnetisch von dem zweiten Kopplungselement 42 angezogen wird. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 118 wird das mit dem zweiten Öffnungselement 22 gekoppelte zweite Kopplungselement 42 in das Trägerelement 48 des

Schleusenbetätigungselements 12 eingefahren. In dem Verfahrensschritt 1 18 wird das zweite Öffnungselement 22 von der zweiten Öffnung 16 der

Schleusenkammer 10 abgenommen. In dem Verfahrensschritt 1 18 wird die Schleusenkammer 10 zu der Transportkammer 28 hin geöffnet. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 120 werden das Schleusenbetätigungselement 12 und die mit dem Schleusenbetätigungselement 12 gekoppelten

Öffnungselemente 20, 22 in die Lagerposition 58 verbracht. In dem

Verfahrensschritt 1 18 wird ein Pfad für eine Schleusung von Artikeln 70 innerhalb einer vollständig druckausgeglichenen Vakuumumgebung aus der

Transportkammer 28 in die Prozesskammer 26 oder umgekehrt freigegeben. In zumindest einem weiteren Verfahrensschritt 120 wird der Artikel 70 durch die Schleusenkammer 10 transportiert. Zu einem anschließenden Schließen des Schleusensystems 66 werden die oben beschriebenen Verfahrensschritte 96, 98, 102-120 im Wesentlichen in umgekehrter Reihenfolge durchlaufen.

Zusammengefasst wird in der beschriebenen Folge von Verfahrensschritten 96, 98, 102-120 ein Inhalt der T ransportkammer 28 mittels der Schleusenvorrichtung 68 von der Transportkammer 28 in die Prozesskammer 26 verbracht oder umgekehrt, wobei die Transportkammer 28 nur dann geöffnet wird, wenn der Innendruck in der Transportkammer 28 dem Innendruck in der Schleusenkammer 10 zumindest im Wesentlichen entspricht.

In den Figuren 5 und 6 sind zwei weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung gezeigt. Die nachfolgenden Beschreibungen und die Zeichnungen beschränken sich im Wesentlichen auf die Unterschiede zwischen den Ausführungsbeispielen, wobei bezüglich gleich bezeichneter Bauteile, insbesondere in Bezug auf Bauteile mit gleichen Bezugszeichen, grundsätzlich auch auf die Zeichnungen und/oder die Beschreibung der anderen Ausführungsbeispiele, insbesondere der Figuren 1 bis 4, verwiesen werden kann. Zur Unterscheidung der Ausführungsbeispiele ist den Bezugszeichen des Ausführungsbeispiels in den Figuren 1 bis 4 kein Buchstabe nachgestellt. In den Ausführungsbeispielen der Figuren 5 und 6 ist den

Bezugszeichen der Buchstabe a oder der Buchstabe b nachgestellt.

Fig. 5 zeigt ein alternatives Schleusensystem 66a mit einer alternativen

Schleusenvorrichtung 68a. Das alternative Schleusensystem 66a umfasst eine Prozesskammer 26a, eine Transportkammer 28a und eine Schleusenkammer 10a. Die Schleusenkammer 10a ist zumindest teilweise innerhalb der

Prozesskammer 26a angeordnet.

Fig. 6 zeigt einen Ausschnitt eines zweiten alternativen Schleusensystems 66b mit einer zweiten alternativen Schleusenvorrichtung 68b. Die Schleusenvorrichtung 68b umfasst eine Schleusenkammer 10b. Die Schleusenvorrichtung 68b weist ein Schleusenbetätigungselement 12b auf. Das Schleusenbetätigungselement 12b weist ein Kopplungselement 36b auf. Das Schleusenbetätigungselement 12b weist ein weiteres Kopplungselement 42b auf. Das Schleusenbetätigungselement 12b umfasst ein Trägerelement 48b. Das Kopplungselement 36b ist von der

Lagereinheit 18b relativ zu dem bewegbar gelagerten Trägerelement 48b bewegbar gelagert. Das Kopplungselement 36b ist mittels der Lagereinheit 18b entlang einer zweiten Bewegungsbahn 40.1 b in zwei gegenläufige Bewegungsrichtungen 52b, 54b bewegbar. Das zweite Kopplungselement 42b ist mittels der Lagereinheit 18b entlang einer weiteren zweiten Bewegungsbahn 40.2b in zwei gegenläufige Bewegungsrichtungen 52b, 54b bewegbar. Die zweiten Bewegungsbahnen 40.1 b, 40.2b verlaufen zumindest im Wesentlichen

bogenförmig. Die zweiten Bewegungsbahnen 40.1 b, 40.2b bilden einen etwa viertelkreisförmigen Bogen aus. Das erste Kopplungselement 36b und das zweite Kopplungselement 42b sind relativ zu dem Trägerelement 48b schwenkbar und/oder klappbar ausgebildet.

Bezugszeichen

10 Schleusenkammer

12 Schleusenbetätigungselement

14 Öffnung

16 Öffnung

18 Lagereinheit

20 Öffnungselement

22 Öffnungselement

24 Öffnung

26 Prozesskammer

28 Transportkammer

30 Steuer- und/oder Regeleinheit

32 Druckanschluss

34 Vakuumpumpe

36 Kopplungselement

38 Bewegungsbahn

40 Bewegungsbahn

42 Zweites Kopplungselement

44 Seite

46 Seite

48 Trägerelement

50 Öffnungsebene

52 Bewegungsrichtung

54 Bewegungsrichtung

56 Magnet

58 Lagerposition

60 Andockeinrichtung

62 Befestigungselement

64 Evakuationsvorrichtung

66 Schleusensystem Schleusenvorrichtung

Artikel

Dichtelement

Inneres

Inneres

Dichtelement

Inneres

Dichtelement

Seite

Seite

Öffnung

Druckleitung

Ventil

Magnet

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Drucksensor

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt

Verfahrensschritt