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Patent Searching and Data


Title:
HEATER FOR PIPE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/081466
Kind Code:
A1
Abstract:
[PROBLEMS] To provide a heater for a pipe in which a pipe can be kept uniformly and at a desired constant temperature, while the working performance and reproducibility during its transportation and installation can be improved. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] This heater (1) for a pipe is so installed as to surround the outer peripheral wall (Pa) of the pipe (P) having its cross section (c) of circular shape and comprises shells (3, 13) which are connected to each other through hinges (2) so constituted as to form a polyhedron (R) along the pipe (P). Heat insulators (4, 14), molds (5, 15) so disposed on the inner walls (3a, 13a) of the shells (3, 13) as to come into contact with the outer peripheral wall (Pa) of the pipe (P) when installed, and heating elements (6) so disposed on the inner walls (3a, 13a) of the shells (3, 13) as to extend in the longitudinal direction of the pipe (P) in the space (7) between the outer peripheral wall (Pa) of the pipe (P) and the corner parts (Ra) of the formed polyhedron (R) when installed are provided on the entire surfaces of the inner walls (3a, 13a) of the shells (3, 13).

Inventors:
NOMOTO TSUGUHIRO (JP)
MURAYAMA HIROAKI (JP)
MIYAZAKI KAZUHISA (JP)
Application Number:
PCT/JP2007/074645
Publication Date:
July 02, 2009
Filing Date:
December 21, 2007
Export Citation:
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Assignee:
TOKYO TECHNOLOGICAL LABO CO LT (JP)
NOMOTO TSUGUHIRO (JP)
MURAYAMA HIROAKI (JP)
MIYAZAKI KAZUHISA (JP)
International Classes:
F16L53/38; H05B3/40
Foreign References:
JP2006144942A2006-06-08
JP2001041350A2001-02-13
JPS5934791Y21984-09-26
JPH10275676A1998-10-13
Attorney, Agent or Firm:
YANAGIDA, Masashi et al. (7F Shin-Yokohama KS Bldg.,3-18-3, Shin-Yokohama, Kohoku-ku,Yokohama-sh, Kanagawa 33, JP)
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Claims:
 ヒンジを介して連結され、断面円形の配管の外周壁に該配管を囲むように装着されて、該配管に沿った多面体を形成するように構成された複数のシェルと、
 該シェルの内壁の全面に配置された断熱材と、
 前記装着時に前記外周壁に当接するように、前記内壁に配置された複数のモールドと、
 前記装着時に前記外周壁と前記多面体の角部との間に形成された空間に、前記配管の長手方向に延びるように配置された複数の発熱体とを備えてなることを特徴とする配管用加熱ヒータ。
 前記モールドが、前記内壁の、前記装着時に前記外周壁と最も近接した位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の配管用加熱ヒータ。
 前記モールドが、前記発熱体と一体となって前記内壁の、前記装着時に前記角部の近傍位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の配管用加熱ヒータ。
 前記シェルは、隣接する該シェルの外壁同士が限界角度を持って外方に開き、隣接する該シェルの併せ面が当接して内方に閉じるように、前記ヒンジを介して連結されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
 さらに、前記シェルが、施錠により前記多面体の形状が維持されるパチン錠を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
 前記断熱材が、耐熱樹脂を含浸したものからなることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の配管用加熱ヒータ。
Description:
配管用加熱ヒータ

本発明は、半導体製造装置およびその他の 製造装置、または化学反応処理装置等におけ る配管用加熱ヒータに関するものである。

従来、半導体製造装置、化学処理装置、食 品製造装置およびその他の製造装置において は、処理前の気体または液体、および処理後 の気体または液体を移送する配管の内壁に、 これらの気体および液体が固化または堆積す ることを防ぐため配管用加熱ヒータが使用さ れている。

配管用加熱ヒータとしては、被加熱体であ る配管に発熱体を直接的に接触させて加熱す る接触加熱型の配管用加熱ヒータが知られて おり、具体的に、断熱材とガラス布等に発熱 体を埋設し、配管に巻き付けるジャケット・ ヒータや、また、特許文献1に提案されてい 、シリコン樹脂等に発熱体を埋設し、配管 巻き付けるシリコンラバーヒータがある。

また、配管に直接発熱体を接触させず、配管 と発熱体との間に所望の空間を設け、発熱体 からの輻射熱と、この空間内の空気の熱伝動 により加熱する非接触加熱型の配管用加熱ヒ ータも知られており、具体的に、特許文献2 は面状ヒータを外側面に被着した金属板で 管より大きい空間を形成し、配管を囲う配 用加熱ヒータが提案されている。

特開平10-134947号公報

特開平9-17555号公報

しかしながら、ジャケット・ヒータや特許 文献1の配管用加熱ヒータにおいては、発熱 の配置位置、配管への、巻き位置、巻きム 、密着度ムラにより、配管に温度ムラが発 する虞がある。これは、ヒータを現場で配 する作業の熟練度によって配管への加熱の 一性が左右される原因になる。

また、ジャケット・ヒータにおいては、ガ ラス布等の発塵による使用環境のクリーン度 への影響や、特許文献1の配管用加熱ヒータ おいては、シリコン樹脂等の使用により発 するシロキサンが、配管の金属部分の腐食 せる虞もあり、使用環境への配慮が必要と れている。

特許文献2の配管用加熱ヒータにおいては 面状ヒータが、配管に直接的に接触するこ がなく、配管は、面状ヒータにより加熱さ た金属板と配管との間の空間にある空気の 伝導により加熱されるため、面状ヒータの 置位置による配管の温度ムラは低減される しかし、金属板と配管との間に大きな空間 確保する構造であり、各部品が大型化し、 搬時や装着時の作業性に影響する虞がある

また、配管のメンテナンスにおいて、再装 着時の配管用加熱ヒータの加熱性能を再現す ることが難しくなる可能性がある。

本発明の目的は、上記事情に鑑み、運搬時 および装着時の作業性と装着時の再現性を向 上させつつ、配管を所望の一定温度に均一に 加熱できる配管用加熱ヒータを提供すること にある。

以上の課題を解決するために、本発明によ る配管用加熱ヒータは、ヒンジを介して連結 されて、断面円形の配管の外周壁に、この配 管を囲むように装着されて、この配管に沿っ た多面体を形成するように構成された複数の シェルと、このシェルの内壁の全面に配置さ れた断熱材と、装着時に外周壁に当接するよ うに、内壁に配置された複数のモールドと、 装着時に外周壁と多面体の角部との間に形成 された空間に、配管の長手方向に延びるよう に配置された複数の発熱体とを備えることを 特徴とするものである。

ここで「断面」とは、配管の長手方向に垂 直な面を意味するものである。上記「円形」 とは、数学的に厳密な円である必要はなく、 楕円等をも含むものである。上記「多面体」 とは、複数の面で囲まれた、断面が多角形の 立体であり、すべての面が長方形あるいは正 方形で構成されるものを意味する。上記「内 壁」とは、配管の外周壁と対面するシェルの 内面を意味するものである。上記「全面」と は、内壁の略全面を意味するものであるが、 厳密に内壁の全部を意味するものではない。 上記「断熱材」とは、ジャケット・ヒータ系 、シリコン系、マイカ系、および耐熱樹脂を 含浸させたクリーン・ブロック系の断熱材を 含むが、特に半導体装置のようにクリーンな 環境が要求されるものに適用されるものの場 合には、クリーン・ブロック系が好ましい。 上記「角部」とは、装着時に隣接する内壁の 交差部分およびその近傍を意味するものであ る。

また、本発明においてモールドは、装着時 に配管の外周壁に最も近接する位置、すなわ ち多面体の側面を構成する各シェルの内壁の 幅方向の中央近傍に配置されてもよい。

また、本発明においてモールドは、発熱体 と一体となって、装着時に多面体の角部の近 傍となるように、内壁に配置されてもよい。

ここで、「発熱体と一体」とは、発熱体の 全部とモールドが一体となっている必要はな く、実用上は発熱体の一部とモールドが一体 となっていればよい。

また、本発明においてシェルは、隣接する シェルの外壁同士が限界角度を持って外方に 開き、隣接するシェルの併せ面が当接して内 方に閉じるように、ヒンジを介して連結され てもよい。

ここで、「隣接するシェル」とは、ヒンジ を介して連結されている隣のシェルを意味す るものである。上記「外壁」とは、シェルの 内壁と反対側の表面を意味するものである。 上記「外方」とは、隣接するシェルの外壁同 士が近接する方向を意味するものである。上 記「限界角度」とは、隣接するシェルの外壁 同士が衝突しない程度に、外壁同士が外方に 形成する角度のことを意味するものであり、 望ましくは、隣接シェルの外壁同士のなす角 度が、60度から180度の範囲であることがよい 上記「併せ面が当接」とは、隣接するシェ の端部同士が接触する程度に近接すること 意味するものであり、厳密な接触を意味す ものではない。上記「内方」とは、隣接す シェルの内壁同士が近接する方向を意味す ものである。

さらに、本発明においてシェルは、施錠に より多面体の形状が維持されるパチン錠を備 えてもよい。

本発明によれば、配管用加熱ヒータが装着 時に断面円形の配管の外周壁を、この配管に 沿った多面体を形成するようにヒンジを介し て連結された複数のシェルと、このシェルの 内壁の全面に配置された断熱材と、装着時に 外周壁に当接するように内壁に配置された複 数のモールドと、装着時に外周壁と多面体の 角部との間に形成された空間に、配管の長手 方向に延びるように配置される複数の発熱体 とを備えている。

このため、配管用加熱ヒータの全ての構成 部品は、ヒンジによって結合されたシェルに よって全体として多面体を形成するように構 成されており、運搬時および装着時において 作業性が向上し、また、装着時には、シェル の内壁に配置されたモールドが配管の外周壁 と当接して配管を囲む構造であるため、配管 への装着安定性が向上して、ヒータを現場で 配管に装着する作業の熟練度によって配管へ の加熱の均一性が左右されることがなく、常 に安定して良好な加熱を実現することができ る。また、多面体の角部と配管の外周壁との 間の空間が均一に、かつ再現性を有して形成 されるため、この空間内に配置される複数の 発熱体からの輻射熱と、発熱体により加熱さ れた空間内の空気の対流による配管への加熱 も均一に行われる。

さらに、本発明によれば、断熱材により、 周囲の熱変動を低減できると共に、「クリー ン・ブロック」と呼ばれる耐熱樹脂を含浸し た断熱材の場合には、発塵を低減することも できる。

以下、本発明の実施形態について、図面を 参照しながら説明する。

本発明による配管用加熱ヒータの第1の実 形態を、図1および図2を参照して説明する。 図1は、本発明の第1の実施形態における装着 の断面を示す図である。

図1に示すように、第1の実施形態は、ヒン 2を介して連結されたL字状の断面形状を有 る4つのシェル3を有しており、この4つのシ ル3は、装着時に配管Pの外周壁Paを、この配 Pに沿った直方体Rを形成するように構成さ ている。また、ヒンジ2は、外方に限界角度L a(図示の例では略90度)を持って開くようにな ており、内方にはシェル2の厚みにより、隣 接するシェル2の端面同士が180度をなす位置 なわち後述の併せ面3cで当接し合う位置(図2B 参照)より内方へは閉じないようになってい 。

シェル3の内壁3aには、全面に複数の断熱材 4が配置され、また装着時に外周壁Paと当接し 、かつ外周壁Paと最も近接する位置となるよ に、内壁3aに配管Pの長手方向に複数のモー ド5が配置される。さらに装着時にシェル3 より形成される直方体Rの角部Raと外周壁Paと 間の空間7内に位置するように、4本の発熱体6 が内壁3aに配置される。なお、発熱体6は、全 ての角部Raと外周壁Paとの間の空間7内に位置 る必要はなく、配管Pの径やコストに応じて 、発熱体6の本数を減らすことは可能である

図中上側のシェル3の外壁3bには、パチン錠 8が配設され、これを施錠することにより隣 した図中上側のシェル3同士が固定され、配 用加熱ヒータ1は配管Pの外周壁Paに装着され る。施錠した状態では、モールド5が配管Pの 周壁Paに与圧を加えながら装着されている め、隣接するシェル3の各併せ面3cの隙間は0. 5mm程度以下となる。

次に、本発明の第1の実施形態における未 着時の状態について説明する。図2は、本発 の第1の実施形態における未装着時の断面を 示す図である。図2Aは、未装着時においてパ ン錠8を解錠した状態の断面を示す図、図2B 、未装着時においてパチン錠8を施錠した状 態の断面を示す図である。

図2Aに示すように、第1の実施形態において は、パチン錠8を解錠した状態であっても、 管用加熱ヒータ1は、すべての部品が一体と って構成されている。また、ヒンジ2は、開 閉面2aがシェル3の外壁3bに面するように配設 れるため、解錠時には、隣接する各シェル3 同士が所定の限界角度La以上には開かない構 となっている。具体的には、図2Aに示すよ に、隣接するシェル3の外壁3b同士の角度が90 度程度に制限される。

また、図2Bに示すように、第1の実施形態に おいては、パチン錠8が隣接するシェル3との せ面3cを越えて、外壁3bに配置されているた め、配管Pの未装着時にパチン錠8を施錠して 、直方体Rの形状が維持される構造となって いる。

次に本発明による配管用加熱ヒータの第2 実施形態について説明する。図3は、本発明 第2の実施形態を示す図である。図3Aは、第2 の実施形態の装着時の断面を示す図、図3Bは 第2の実施形態の図3AのA-A断面での右側面を す図、図3Cは、第2の実施形態の未装着時に いてパチン錠前8を解錠した状態を示す図で ある。なお、第1の実施形態と同一の構成を する部位には同一の符号を付して説明する

図3Aに示すように、第2の実施形態は、ヒン ジ2を介して連結された平板状の4つのシェル1 3を有しており、この4つのシェル13は、第1の 施形態と同様に、装着時に配管Pの外周壁Pa 、この配管Pに沿った直方体Rを形成するよ に構成されている。

このシェル13の内壁13aの全面には、第1の実 施形態と同様に、複数の断熱材14が配置され また装着時に外周壁Paと当接し、かつ形成 れた直方体Rの角部Raの近傍位置となるよう 、図3Cに示すようなシェル13の内壁13aの両端 、内壁13aに断熱材14のみが配置されたシェ 13を挟んで、内壁13aと約45度で傾斜し、かつ 向して延出したモールド15が2つのシェル13 内壁13aに配置される。

図中右側のシェル13の外壁13bに配置された ンジ2の端には、パチン錠8の端が溶接によ 固定され、パチン錠8の端が溶接されている ンジ2の、溶接側の開閉面2aはシェル13の13b 固定されていない。パチン錠前8を解錠する 、このヒンジ2(図中左上側)が配置されてい シェル13と隣接するシェル13との間の併せ面 13cから開く構造になっている。この第2の実 形態では、隣接するシェル13同士が直方体R 角に相当する位置でヒンジ2により連結され いるため、ヒンジ2は隣接するシェル13同士 45度傾いた併せ面13cで当接するまで、内方 90度まで閉じるようになっている。

図3Bに示すように、モールド15は、発熱体6 一部を支持して内壁13aに固定される。この め装着時に発熱体6は、角部Raと外周壁Paと 間に位置すると共に、発熱体6のモールド15 より支持されていない部分と外周壁Paとの間 には空間7が存在する。本実施形態では、各 熱体6を2つのモールド15で支持して説明する 、これに限定されるものではない。

第2の実施形態においては、第1の実施形態 比較して、モールド15と発熱体6との距離が いため、モールド15が当接した位置の外壁Pa の熱伝動による温度低下が抑制される。なお 、未装着時の施錠した状態および解錠した状 態の作用については、第1の実施形態と同様 あり、説明を省略する。

また、第1の実施形態および第2の実施形態 おいては、多面体を直方体Rをとして説明し たが、特にこれに限定されるものではない。 配管Pの径に応じて、その断面が三角形、六 形、八角形等の多面体とすることも可能で る。

次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の発熱 への配線にいて説明する。図4は、本発明の 管用加熱ヒータ1の斜視図である。図4に示 ように、シェル3から給電ケーブル9が導出し 、その先端には2本の丸端子10が圧着されてい る。

また、この給電ケーブル9は、シェル3内を ンサート成型され、図示しない状態で各発 体6に配線されている。なお、給電ケーブル 9のシェル3内の配線は各発熱体6の必要容量に 応じて、直列配線または並列配線とすること が可能であるし、必要に応じて未使用とする 発熱体への配線を省略することも可能である 。

また、本発明の配管用加熱ヒータ1の両側 には、接合面となる仕切板11が配設されてい る。なお、給電ケーブル9および仕切板11につ いては、第1の実施形態および第2の実施形態 おいて共通である。

次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の配管P の装着作業について説明する。図5は、本発 明の配管用加熱ヒータ1の配管Pへの装着作業 示す図である。図5(a)乃至(f)は、本発明の第 1の実施形態の配管用加熱ヒータ1を使用して 配管Pへ装着する作業の推移を示している。

図5に示すように、配管Pの所望の加熱位置 おいて、パチン錠8を解錠した状態で外周壁 Paを覆い、パチン錠8を施錠することで、配管 Pへの装着が完了する。したがって、装着作 において作業者の熟練度も要求されず、短 間の作業が可能となる。さらに、作業場所 では、図2Bに示す状態で配管用加熱ヒータ1 運搬することが可能であり、運搬時の作業 が向上する。

次に、本発明の配管用加熱ヒータの連結装 着について説明する。図6は、本発明の配管 加熱ヒータ1の連結装着を示す図である。図6 (a)乃至(d)は、エルボ部Pcを有する配管Pへ本発 明の配管用加熱ヒータ1を連結して装着させ 推移を示す図である。

図6(a)に示すようなエルボ部Pcを有する配管 Pに、本発明の配管用加熱ヒータ1を装着する 合、図6(b)に示すようなエルボ部Pcに対応す 配管用加熱ヒータ1を用意する。また、図6(c )および6(d)に示すように、配管Pの配管長に応 じて、配管用加熱ヒータ1の配管Pの長手方向 長さのバリエーションを用意する。具体的 は、配管長が300mm(図中右側)と200mm(図中左側 )に対応するものが製作可能であるが、これ 限定されるものではない。図6(d)に示すよう 、これらの配管用加熱ヒータ1を連結するこ とにより、エルボ部Pcを有する配管Pを所望の 範囲で加熱することが可能となる。なお、配 管Pが図示しないバルブ等の突起物を有する 合であっても、この突起物を回避するよう 回避孔をシェル3等に設けることも可能であ 。

次に、本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱 能について説明する。図7は、本発明の配管 加熱ヒータ1の加熱性能を計測する際の計測 ポイントを示す図である。図7Aは、配管用加 ヒータ1の軸方向の計測ポイントを示す図、 図7Bは、配管用加熱ヒータ1の円周方向の計測 ポイントを示す図である。

図7Aに示すように、加熱性能の計測の際に 、配管Pに対して、配管長300mmに対応する配 用加熱ヒータ1(図中左)と配管長200mmに対応 る配管用加熱ヒータ1(図中右)を連結させ、30 0mm対応の配管用加熱ヒータ1(図中左)の接合面 A4から軸方向に位置A1(150mm)、A2(85mm)、A3(20mm)お よび接合面A4を軸方向の計測ポイントとする

図7Bに示すように、加熱性能の計測の際に 、配管Pの内周壁Pbの図中最下部を基準とし 22.5度の等間隔に、周方向時計回りに位置R1( 0deg)、R2(22.5deg)、R3(45deg)、R4(67.5deg)、R5(90deg)、 R6(112.5deg)、R7(135deg)、R8(157.5deg)およびR9(180deg) 周方向の計測ポイントとする。

次に、上記計測ポイントでの本発明の配管 用加熱ヒータ1の加熱性能について説明する 図8は、本発明の配管用加熱ヒータを使用し の計測データを示す図である。図8Aは、配 Pの外周壁Paの制御温度を150℃とした低温制 時の計測データ、図8Bは、配管Pの外周壁Paの 制御温度を190℃とした高温制御時の計測デー タを示す。

配管用加熱ヒータ1としては、上述したよ に、配管長300mmおよび200mmに対応した配管用 熱ヒータ1を接合し、被加熱体である配管P は、具体的に薄肉ステンレス管80A(t=3mm、SUS30 4)を使用した。また、温度計測用センサとし 、K熱電対(径1mmシースタイプ)と、PID制御機 として、TCMシリーズ(東京技術研究所社製) 、データロガーとして、GL450(グラフテック 製)とを使用し、計測した。

ここで、図8においては、配管用加熱ヒー 1の各測定ポイントの加熱性能を示す評価指 として、均一性(%)=(最高温度-最低温度)/(2× 均温度)×100を定義している。図8に示すよう に、配管Pを高温制御および低温制御したい れの場合も、軸方向および円周方向の各計 ポイントにおいて、均一性が2%程度以下に維 持されている。

これにより、本発明の配管用加熱ヒータ1 よれば、装着時においてモールド5が外周壁P aを与圧している状態となり、作業者の熟練 も要求せずに装着安定性が向上し、かつ隣 するシェル3の隙間が十分に小さくなる程度 再現性が得られる。また、未装着時におい は、施錠状態で直方体Rが維持されているた め、運搬時の作業性が向上し、解錠状態で各 シェル3の開く角度が制限されているため、 着時の作業性も向上する。さらに、配管Pは 角部Raと外周壁Paとの間の空間7に配置され 発熱体6からの輻射熱と、この空間7の空気の 対流により加熱されるため、発熱体6の空間7 おける配置誤差の影響が少なく、配管Pの温 度を十分な均一性を有して維持することがで きる。

本発明の第1の実施形態における装着時 の断面を示す図 本発明の第1の実施形態における未装 時の断面を示す図 本発明の第1の実施形態における未装 時の断面を示す図 本発明の第2の実施形態を示す図 本発明の第2の実施形態を示す図 本発明の第2の実施形態を示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の斜視図 本発明の配管用加熱ヒータ1の配管Pへ 装着作業を示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の連結装着 を示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性 を計測する際の計測ポイントを示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性 を計測する際の計測ポイントを示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性 の計測データを示す図 本発明の配管用加熱ヒータ1の加熱性 の計測データを示す図

符号の説明

C  円形
La 限界角度
P  配管
Pa 外周壁
R  直方体
Ra 角部
1 配管用加熱ヒータ
2 ヒンジ
3、13 シェル
3a、13a 内壁
4、14 断熱材
5、15 モールド
6 発熱体
7 空間
12 耐熱樹脂




 
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