以下、本発明を実施するための最良の実� ��形態を図面に基づいて説明する。なお、各� ��において共通する部分には同一の符号を付� ��、重複した説明を省略する。

 図2及び図3は本発明の第1実施形態を示す� ��図2はフォイル軸受の側面断面図、図3は図2� ��A-A断面図である。

 図2及び図3において、本発明のフォイル� �受1Aは、図示しない駆動手段によって高速で 回転される回転軸2と、この回転軸2の外周に� ��置されたフォイル4と、このフォイル外周に 設けられた中空円筒形の外輪5とを備え、回� �軸2を支持する。

 回転軸2は、円柱状の回転軸本体2aと、回� ��軸本体2aを囲むように回転軸本体2aに嵌合さ れて回転軸本体2aとともに回転する中空円筒� ��の内輪3と、を有する。内輪3は、回転軸2の� ��周に圧入されることで回転軸本体2aに嵌合� �れてよい。また、内輪3は、トップフォイル4 a(即ち、フォイル4の内周側)が当接する外周� �3aを有する。

 フォイル4は、薄膜状のトップフォイル4aと� ��薄膜からなるバックフォイル4bとからなる� �薄膜状のトップフォイル4aは、内輪3の外面� �囲み周方向一端が外輪5の内面またはバック� ��ォイル4bに固定されている。薄膜からなる� �ックフォイル4bは、トップフォイル4aと外輪5 の内面の間に挟持され、トップフォイル4aを� ��性的に支持する。バックフォイル4bの周方� �一端を、外輪5の内面に固定してもよい。
 トップフォイル4aとバックフォイル4bは、金 属の薄膜で形成され、その構造には色々な種 類がある。フォイル4の具体例としては、波� �に近い形状に成形したフォイル4bの上に平ら なフォイル4aを重ね合わせたものや、1枚のフ ォイルを複数回軸に巻き付けるものなどがあ る。

 中空円筒形の外輪5は、所定の固定支持面 (図示せず)で支持され、内輪3を一定の間隔を 隔てて囲む。なお、固定支持面は、回転軸2� �有する回転機械のハウジングの内周面など� �あってよい。例えば、外輪5は、回転軸2に対 して固定側であるハウジング(図示せず)に、� ��えば、すきまばめされ、且つ、図示しない� ��ン等によって回転しないように支持されて� ��る。また、外輪5は、円筒状であり、図2、� �3の例では、その内周面にバックフォイル4b� �当接されている。

 第1実施形態によると、フォイル4と対向� �る回転軸2の対向部分は、図2に示すように、 軸方向両端部が中央部より細い凸形状に形成 されている。また、この第1実施形態では、� �輪3が前記対向部分であり、内輪3の外面の軸 方向断面形状が凸形状となっている。さらに 第1実施形態では、前記対向部分の外面の軸� �向断面形状(即ち、図2に示す断面形状)は、� �方向全体において円弧形状となっている。� �お、本出願において、軸方向とは回転軸2の� ��方向を意味する。

 上述した本発明の第1実施形態によるフォイ ル軸受1Aでは、フォイル4と対向する回転軸2� �対向部分は、軸方向両端部が中央部より細� �凸形状に形成されているので、外乱等によ� �て回転軸2が傾斜しても、回転軸2に設けた凸 形状部により、回転軸2とトップフォイル4aと が接触しなくなり、回転軸表面を傷付けず、 フォイル軸受1Aの焼き付きも防止できる。
 また、回転軸2は、円柱状の回転軸本体2aと� ��回転軸本体2aに嵌合されて回転軸本体2aとと もに回転する中空円筒形の内輪3とを有し、� �輪3の外面の軸方向断面形状が凸形状となっ� ��いるので、凸形状にする加工を、回転軸本� ��に対してではなく前記内輪に対して行うこ� ��ができる。従って、凸形状加工の作業性が� ��くなる。
 さらに、第1実施形態では、フォイル4は内� �3に接触するが、回転軸本体2aには全く接触� �ないため、フォイル4との干渉によって回転� ��本体2aが損傷を受けることがない。従って� �フォイル4との干渉によって損傷を受ける部� ��は内輪3であり、内輪3の交換は回転軸2を交� ��する場合に較べて交換作業性が良く、交換� ��ストも安価で済む。

 図4は、フォイル軸受1Aの第2実施形態を示 す。第2実施形態では、図4のように、フォイ� ��4と対向する回転軸2の対向部分は、回転軸2( 内輪3)における対向部分の外面の軸方向断面� ��状は、軸方向中央部において軸と平行な直� ��形状であり、軸方向両端部において円弧形� ��となっている。第2実施形態の他の構成は第 1実施形態と同じであってよい。

 図5は、フォイル軸受1Aの第3実施形態を示 す。第3実施形態では、図5のように、フォイ� ��4と対向する回転軸2(内輪3)における対向部� �の外面の軸方向断面形状は、軸方向中央部� �おいて軸と平行な直線形状であり、軸方向� �端部において軸方向に対して傾斜した直線� �状となっている。第3実施形態の他の構成は� ��1実施形態と同じであってよい。

 図6は、フォイル軸受1Aの第4実施形態を示 す。第4実施形態では、内輪3を設けずに、上� ��した凸形状を一体構造の回転軸2に形成して いる。図6では、フォイル4と対向する回転軸2 の対向部分の外面の軸方向断面形状は、軸方 向全体において円弧形状となっている。第4� �施形態では、内輪3を設けないので、部品点� ��削減により部品コストが安価で済む。第4実 施形態の他の構成は第1実施形態と同じであ� �てよい。

 図7は、フォイル軸受1Aの第5実施形態を示 す。第5実施形態では、内輪3を設けずに、上� ��の凸形状を一体構造の回転軸2に形成してい る。図7では、フォイル4と対向する回転軸2の 対向部分の外面の軸方向断面形状は、軸方向 中央部において軸と平行な直線形状であり、 軸方向両端部において円弧形状となっている 。第5実施形態では、内輪3を設けないので、� ��品点数削減により部品コストが安価で済む� ��第5実施形態の他の構成は第1実施形態と同� �であってよい。

 図8は、フォイル軸受1Aの第6実施形態を示 す。第6実施形態では、内輪3を設けずに、上� ��の凸形状を回転軸2に形成している。図8で� �、フォイル4と対向する回転軸2の対向部分の 外面の軸方向断面形状は、軸方向中央部にお いて軸と平行な直線形状であり、軸方向両端 部において軸方向に対して傾斜した直線形状 となっている。第6実施形態では、内輪3を設� ��ないので、部品点数削減により部品コスト� ��安価で済む。第5実施形態の他の構成は第1� �施形態と同じであってよい。

 本発明は上述した実施の形態に限定され� ��、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変� ��を加え得ることは勿論である。

 例えば、前述したようにフォイル4には色 々な種類がある。つまり、帯状に長い部材を 多重に巻き付けた多重巻きフォイル、トップ フォイル及びバンプフォイルからなるバンプ フォイル、多数のフォイル片からなるリーフ フォイル等があり、本発明のフォイル軸受は どのフォイルを用いたものであってもよい。

 なお、上記において、本発明の実施形態� ��ついて説明を行ったが、上記に開示された� ��発明の実施の形態は、あくまで例示であっ� ��、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態� ��限定されない。本発明の範囲は、特許請求� ��範囲の記載によって示され、さらに特許請� ��の範囲の記載と均等の意味および範囲内で� ��すべての変更を含むものである。