Fluidsteuereinrichtung

Die Erfindung betrifft eine Fluidsteuereinrichtung mit einer Ventilanordnung, die ein Zuluftventil zur Bereitstellung eines Arbeitsfluids an einen Arbeitsanschluss eines Fluidver- brauchers und mit ein Abluftventil zur Abfuhr von Arbeits- fluid von einem Arbeitsanschluss eines Fluidverbrauchers sowie ein Steuermittel umfasst, wobei das Steuermittel elektrisch mit dem Zuluftventil und mit dem Abluftventil verbunden ist und für eine Ansteuerung des Zuluftventils und des Ab- luftventils ausgebildet ist, einen Sensoreingang zur Verarbeitung eines Sensorsignals umfasst und mit einem Sensor verbunden ist, der zur Ermittlung eines Funktionszustands des Fluidverbrauchers und zur Bereitstellung eines Sensorsignals an das Steuermittel ausgebildet ist.

Die EP 1 717 500 AI offenbart einen Piezo-Biegewandler , der ein Biegewandlerelement und eine daran fixierte Flexschaltung mit einem flexiblen Träger und einer darauf verlaufenden elektrischen Leiterstruktur aufweist, wobei ein Teil der Leiterstruktur der Flexschaltung im Bereich des durch piezoelektrische Aktivierung auslenkbaren Arbeitsabschnittes des Biegewandlerelementes so gestaltet, dass sie unmittelbar selbst mindestens einen Sensor bildet. Eine Ansteuerung des gegebenenfalls als Stelleinrichtung für ein Fluidventil einsetzbaren Piezo-Biegewandlers erfolgt mit einer Steuerein- richtung, die eine elektrische Steuerspannung an den Piezo- Biegewandler bereitstellt. Die Bereitstellung dieser Steuerspannung kann auf Basis einer vorausgegangenen Kalibrierung erfolgen, bei der ein Kennfeld erstellt wird, das eine Beziehung zwischen der Steuerspannung und der Auslenkung des Pie- zo-Biegewandlers beschreibt.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Fluidsteuerein- richtung und Verfahren zum Betreiben einer Fluidsteuerein- richtung, die eine Kalibrierung im laufenden Betrieb ermöglichen .

Diese Aufgabe wird für eine Fluidsteuereinrichtung der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst . Hierbei ist vorgesehen, dass das Steuermittel derart für eine Durchführung eines Ventildiagnoseverfahrens ausgebildet ist, dass ein erstes Ansteuersignal für das Zuluftventil und ein zweites Ansteuersignal für das Abluftventil unter Beibehaltung eines vorgebbaren Sensorsignalpegels eines vom Sensor bereitgestellten Sensorsignals jeweils zwischen einer unteren Intervallgrenze und einer oberen Intervallgrenze variiert werden und dass das Steuermittel für eine Aufzeichnung von Wertepaaren für das erste und zweite Ansteuersignal ausgebildet ist.

Vorzugsweise ist das Steuermittel mit einem Mikroprozessor ausgestattet, der für eine Durchführung von vorgebbaren, in einer Speichereinrichtung gespeicherten Programmabläufen vorgesehen ist. Im Rahmen der Durchführung solcher Programmabläufe ist das Steuermittel dazu ausgebildet, individuelle An- steuersignale für das Zuluftventil und für das Abluftventil zur Verfügung zu stellen, um an einem Arbeitsanschluss eines Fluidverbrauchers , der fluidisch sowohl mit dem Zuluftventil als auch mit dem Abluftventil verbunden ist, ein vorgebbares Arbeitsdruckniveau zur Verfügung zu stellen und damit eine Steuerung oder Regelung für eine Funktion des Fluidverbrau- chers zu ermöglichen. Da es Aufgrund von Alterungserscheinungen und Verschleißerscheinungen des Zuluftventils und/oder des Abluftventils zu einer unerwünschten Veränderung des Steuer- oder Regelverhaltens der Fluidsteuereinrichtung kommen kann, ist das Steuermittel dazu ausgebildet, in regelmäßigen oder unregelmäßigen zeitlichen Abständen oder nach Eintreten eines vorgebbaren Betriebszustands für die Fluidsteuereinrichtung, insbesondere nach einer Neuinbetriebnahme, ein Ventildiagnoseverfahren durchzuführen, um eine Anpassung der Ansteuersignale für das Zuluftventil und das Abluftventil in Abhängigkeit von deren fluidischem Verhalten zu ermöglichen.

Zu diesem Zweck stellt das Steuermittel, insbesondere zeitgleich, ein erstes Ansteuersignal für das Zuluftventil und ein zweites Ansteuersignal für das Abluftventil an die jeweiligen Ventile zur Verfügung. Ferner ist das Steuermittel dazu ausgebildet, einen vorgebbaren Sensorsignalpegel für ein vom Sensor bereitgestelltes Sensorsignal durch geeignete Beeinflussung der beiden Ansteuersignale innerhalb eines vorgebbaren, vorzugsweise eng begrenzten, Sensorsignalintervalls zu halten. Um möglichst umfassende Erkenntnisse über das fluidische Verhalten des Zuluftventils und des Abluftventils in Abhängigkeit von den jeweiligen Ansteuersignalen zu erhalten, ist vorgesehen, sowohl das erste Ansteuersignal für das Zuluftventil als auch das zweite Ansteuersignal für das Abluftventil zwischen einer unteren Intervallgrenze und einer oberen Intervallgrenze eines jeweiligen Ansteuersignalintervalls zu variieren. Bei dieser Variation der Ansteuersignale für das Zuluftventil und das Abluftventil stellen sich unterschiedliche Fluid-Durchflüsse zwischen dem Zuluft- ventil und dem Abluftventil ein, wobei vorgesehen ist, dass am Arbeitsanschluss unabhängig von dem jeweils aktuellen Fluid-Durchflüsse zwischen dem Zuluftventil und dem Abluftventil ein konstanter Fluiddruck anliegt. Durch diese Maßnah me kann ermittelt werden, welcher Öffnungsgrad des Zuluftven tils mit welchem Öffnungsgrad des Abluftventils verknüpft ist, wenn am Arbeitsanschluss ein konstantes Druckniveau gehalten werden soll. Dabei wird das Druckniveau am Arbeitsanschluss mit Hilfe des Sensors auf unmittelbarem oder mittelbarem Wege ermittelt. Die im Zuge dieses Ventildiagnoseverfahrens ermittelten Wertepaare, die unter Zugrundelegung eines konstanten Fluiddrucks am Arbeitsanschluss ermittelt wur den, werden im Steuermittel aufgezeichnet, insbesondere in einem Speicher gespeichert und können nachfolgend für eine vorteilhafte, alterungs- und/oder verschleißkompensierte An- steuerung des Zuluftventils und/oder des Abluftventils heran gezogen werden.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche .

Zweckmäßig ist es, wenn der Sensor als Positionssensor zur Erfassung einer Position einer Fluidverbraucherkomponente längs eines, vorzugsweise geradlinigen, Bewegungswegs ausgebildet ist. Vorzugsweise umfasst der Fluidverbraucher ein Ge häuse, an oder in dem eine bewegliche Fluidverbraucherkomponente aufgenommen ist. Beispielhaft ist die Fluidverbraucher komponente drehbeweglich oder schiebebeweglich am Gehäuse aufgenommen und nimmt in Abhängigkeit von einem am Arbeitsan schluss des Fluidverbrauchers bereitgestellten Fluiddruck ei ne Position längs eines Bewegungswegs ein. Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass der Fluidverbraucherkomponente ein Federmittel zugeordnet ist, das die Fluidverbraucherkomponen te bei Abwesenheit eines entsprechenden Fluiddrucks am Ar- beitsanschluss in eine vorgebbare Ruhestellung bewegt. Aus der mit Hilfe des Sensors ermittelten Position der Fluidver- braucherkomponente kann somit ein Rückschluss auf den am Ar- beitsanschluss vorliegenden fluiddruck gezogen werden.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Sensor als Drucksensor ausgebildet ist, der dem Arbeitsanschluss des Fluidverbrauchers zugeordnet ist. Mit Hilfe des Sensors kann somit in unmittelbarer Weise der Fluiddruck am Arbeitsanschluss ermittelt werden.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Fluidsteuereinrichtung einen als vorgesteuertes Fluidven- til ausgebildeten Fluidverbraucher umfasst, der einen Arbeitsanschluss aufweist, der mit dem Zuluftventil und mit dem Abluftventil verbunden ist. Somit dienen das Zuluftventil und das Abluftventil als Vorsteuerventile für eine fluidische Beeinflussung einer Ventilstellung des Fluidverbrauchers. Vorzugsweise wirkt der Fluiddruck am Arbeitsanschluss auf einen Stellkolben, der in einem Ventilgehäuse aufgenommen ist und der mittels einer Koppelstange mit einem Ventilkörper verbunden ist, der seinerseits zur Beeinflussung eines freien Querschnitts eines Fluidkanals vorgesehen ist, der in einem Ventilgehäuse ausgebildet ist. In Abhängigkeit von der Position des Stellkolbens längs des vorzugsweise geradlinigen Bewegungswegs gibt der Ventilkörper einen Bruchteil des freien Querschnitts des Fluidkanals oder den gesamten Fluidkanal frei oder blockiert diesen vollständig. Besonders vorteilhaft ist es, wenn zwischen dem Arbeitsanschluss und dem Stellkolben eine flexible Membran angeordnet ist, die für eine Trennung des Arbeitsfluids , wie es vom Zuluftventil an den Ar- beitsanschluss zur Verfügung gestellt wird, und einem Fluid, das den Fluidkanal durchströmt, vorgesehen ist.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass der Fluidverbraucher ein beweglich in einem Ventilgehäuse aufgenommenes Ventilglied zur Beeinflussung eines freien Querschnitts eines im Ventilgehäuse ausgebildeten Fluidkanals umfasst, der einen Ventilsitz für eine abdichtende Anlage eines am Ventilglied ausgebildeten elastischen Dichtmittels aufweist, und dass das Steuermittel derart für eine Durchführung eines Ventildiagnoseverfahrens ausgebildet ist, dass die abdichtende Anlage des am Ventilglied ausgebildeten elastischen Dichtmittels während der Durchführung des Ventildiagnoseverfahrens beibehalten bleibt. Bei einer derartigen Ausgestaltung des Steuermittels ist vorteilhaft, dass das Ventildiagnoseverfahren ohne eine merkbare Einflussnahme auf das Verhalten des als Fluidventil ausgebildeten Fluidverbrauchers durchgeführt werden kann. Vielmehr werden bei der Durchführung des Verfahrens die Elastizitätseigenschaften des Dichtmittels ausgenutzt, indem das Ventilglied durch geeignete Druckbeaufschlagung des Arbeitsanschlusses aus der Ruhestellung in die Diagnosestellung gebracht wird, in der sowohl ein geringfügiger Anstieg als auch ein geringfügiger Abfall des Fluiddrucks zu einer messbaren Positionsänderung für das Ventilglied führen, ohne dass hierbei die abdichtende Anlage des Dichtmittels am Ventilsitz in Frage gestellt wird.

Vorteilhaft ist es, wenn das Zuluftventil und das Abluftventil jeweils einen Piezoaktor aufweisen, der als Stellmittel für einen Ventilkörper ausgebildet ist. Der Piezoaktor ist vorzugsweise als Piezobieger ausgebildet, der in Abhängigkeit von einer elektrischen Steuerspannung eine einstellbare Krümmung einnimmt und der mit einem frei beweglichen Endbereich auf einen Ventilkörper einwirkt, um diesen zwischen einer Freigabestellung und einer Blockierstellung gegenüber einem Ventilsitz zu bewegen. Ein solches Zuluftventil bzw. Abluftventil zeichnet sich durch eine kompakte Bauweise und eine hohe Schaltgeschwindigkeit aus, unterliegt jedoch gewissen Alterungs- und Verschleißerscheinungen, die mit Hilfe des Steuermittels zumindest über einen gewissen Zeitraum kompensiert werden können.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Verfahren zum Betreiben einer Fluidsteuereinrichtung gelöst, wie es im Anspruch 7 angegeben ist. Dieses Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines ersten, variablen Ansteuersignais an ein Zuluftventil für eine Zufuhr eines Arbeitsfluidstroms an einen Arbeitsanschluss eines Fluidverbrauchers und Bereitstellen eines zweiten, variablen Ansteuersignais an ein Abluftventil für eine Abfuhr eines Arbeitsfluidstroms vom Arbeitsanschluss des Fluidverbrauchers, wobei das erste und das zweite Ansteuersignal ein Wertepaar bilden und eine Speicherung des Wertepaars erfolgt, sofern eine Funktionsstellung des Fluidverbrauchers, die anhand eines Sensorsignals eines dem Fluidverbraucher zugeordneten Sensors ermittelt wird, innerhalb eines vorgebbaren Stellungsinterveralls liegt, wobei die beiden Ansteuersignale jeweils zwischen einer unteren Intervallgrenze und einer oberen Intervallgrenze variiert werden. Bei der Verfahrensdurchführung ist somit vorgesehen, sowohl das Zuluftventil als auch das Abluftventil durch Bereitstellung des ersten und zweiten Ansteuersignais derart anzusteuern, dass ein am Arbeitsanschluss des Fluidverbrauchers bereitgestellter Arbeitsdruck zu einer vorgebbaren Funktionsstellung des Fluidverbrauchers führt. Vorzugsweise handelt es sich sowohl beim Zuluftventil als auch beim Abluftventil um Proportionalventile, so dass sowohl ein Zustrom von Arbeits- fluid an den Arbeitsanschluss als auch ein Abstrom von Ar- beitsfluid vom Arbeitsanschluss innerhalb gewisser Grenzen frei eingestellt werden kann und der Arbeitsdruck am Arbeitsanschluss aus der Bilanz zwischen zugeführtem und abströmenden Arbeitsfluid resultiert. Dabei kann ein vorgebbarer Arbeitsdruck mit einer Vielzahl unterschiedlicher Stellungen des Zuluftventils und einer korrespondierenden Vielzahl unterschiedlicher Stellungen des Abluftventils eingestellt werden, wobei jede mögliche Stellung der beiden Ventile, die zu dem gewünschten Arbeitsdruck führt, als Wertepaar gespeichert wird .

In weiterer Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, dass der Fluidverbraucher für die Durchführung des Ventildiagnoseverfahrens durch Einstellung eines fluidischen Gleichgewichts zwischen der Bereitstellung und der Abfuhr von Arbeitsfluid an dem zugeordneten Arbeitsanschluss aus einer Ruhestellung in eine Diagnosestellung gebracht wird und dass die variablen Ansteuersignale für das Zuluftventil und das Abluftventil innerhalb der jeweiligen Intervallgrenzen in Abhängigkeit vom Sensorsignal geregelt werden. Vorzugsweise ist die Diagnosestellung derart gewählt, dass der Fluidverbraucher geregelt betrieben werden kann, sodass sowohl eine Erhöhung als auch eine Reduzierung des Arbeitsdrucks am Arbeitsanschluss zu einer messbaren Veränderung des vom Sensor gemessenen Sensorsignals führt und damit die gesuchte Vielzahl von Wertepaaren für die Ansteuersignale des Zuluftventils und des Abluftventils gespeichert werden kann.

In weiterer Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, dass der Fluidverbraucher als vorgesteuertes Fluidventil mit einem Ventilglied, einem Ventilsitz und einem elastischen Dichtmittel ausgebildet ist, wobei das Ventilglied durch das bereit- gestellte Arbeitsfluid während der Durchführung des Ventildiagnoseverfahrens aus der Ruhestellung, in der das Ventilglied weiterhin abdichtend am Ventilsitz anliegt und in der eine hohe Flächenpressung zwischen Dichtmittel und Ventilsitz vorliegt, in die Diagnosestellung, in der eine mittlere Flächenpressung zwischen Dichtmittel und Ventilsitz vorliegt und in der das Ventilglied weiterhin abdichtend am Ventilsitz anliegt, gebracht wird und dass das Sensorsignal ein Positionssignal ist, das von einer Position des Ventilglieds relativ zum Ventilsitz abhängt.

In weiterer Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, dass aus den Wertepaaren eine Kalibrierungsfunktion berechnet wird, die für einen Betrieb der Fluidsteuereinrichtung eingesetzt wird. Vorzugsweise werden die Wertepaare zur Ermittlung einer Ansteuerkennlinie für das Zuluftventil und/oder für das Abluftventil herangezogen, mit der ein Ansteuerverhalten für wenigstens eines der beiden Ventile während eines regulären Betriebs der Fluidsteuereinrichtung beeinflusst werden kann. Durch das Ventildiagnoseverfahren können beispielsweise Alterungs- und Verschleißerscheinungen des Zuluftventils und/oder des Abluftventils zumindest teilweise kompensiert werden.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Dabei zeigt:

Figur 1 eine stark schematisierte Schnittdarstellung der

Fluidsteuereinrichtung mit einem Zuluftventil und einem Abluftventil und einem als vorgesteuertes Fluidventil ausgebildeten Fluidverbraucher , und

Figur 2 ein schematisches Schaubild zur Darstellung der im

Zuge des Ventildiagnoseverfahrens ermittelten Wertepaare . Eine in der Figur 1 dargestellte Fluidsteuereinrichtung 1 ist zur fluidischen Ansteuerung eines Fluidverbrauchers 2 vorgesehen, bei dem es sich rein exemplarisch um ein fluidisch vorgesteuertes Fluidventil 3 handelt.

Die Fluidsteuereinrichtung 1 umfasst eine Ventilanordnung 4 mit einem Zuluftventil 5 zur Bereitstellung eines Arbeits- fluids von einer Fluidquelle 31 an einen Arbeitsanschluss 40 des Fluidverbrauchers 2 und mit einem Abluftventil 6 zur Abfuhr von Arbeitsfluid vom Arbeitsanschluss 40 des Fluidverbrauchers 2. Rein exemplarisch sind sowohl das Zuluftventil 5 als auch das Abluftventil 6 als nachstehend näher beschriebene Piezoventile ausgebildet.

Die Fluidsteuereinrichtung 1 umfasst ein rein schematisch dargestelltes Steuermittel 9, das beispielhaft einen Mikroprozessor 10 und eine zugeordnete Speichereinrichtung 10 umfasst, wobei der Mikroprozessor für eine Verarbeitung eines in der Speichereinrichtung 10 gespeicherten Programms unter Einbeziehung von Werten, die ebenfalls in der Speichereinrichtung 10 abgelegt sind, ausgebildet ist. Die Speichereinrichtung 10 ist ferner zur Speicherung von Wertepaaren von Ansteuersignalen ausgebildet, wie nachstehend näher beschrieben wird.

Das Steuermittel 9 ist elektrisch mit dem Zuluftventil 5 und mit dem Abluftventil 6 verbunden und stellt jeweils Ansteuer- signale für eine Ansteuerung des Zuluftventils 5 und des Ab- luftventils 6 zur Verfügung. Ferner ist dem Steuermittel 9 ein Sensoreingang 11 zugeordnet, der für eine elektrische An- kopplung einer Sensorleitung 14 eines Sensors 12 vorgesehen ist. Bei dem Sensor 12, der zur Ermittlung einer Funktionsposition eines Ventilglieds 41 des Fluidventils 3 ausgebildet ist, handelt es sich beispielhaft um einen Hall-Sensor, der zur Erfassung einer Flussdichte eines am Ventilglied 41 angeordneten Permanentmagneten 16 ausgebildet ist. Bei einer Veränderung des Abstands zwischen dem Sensor 12 und dem Permanentmagneten 16 aufgrund einer Bewegung des Ventilglieds 41 verändert sich die vom Sensor 12 erfassbare Flussdichte, wodurch eine Veränderung des vom Sensor 12 aus der ermittelten Flussdichte erzeugten Sensorsignal eintritt, das über eine Sensorleitung an das Steuermittel 9 bereitgestellt wird.

Exemplarisch ist vorgesehen, dass das Zuluftventil 5 und das Abluftventil 6 jeweils baugleich ausgebildet sind, so dass die nachfolgende Beschreibung für den Aufbau und die Funktion des Zuluftventils 5 in gleicher Weise auch für das Abluftventil 6 zutrifft. Das Zuluftventil 5 umfasst ein exemplarisch kastenförmig ausgebildetes Ventilgehäuse 20 mit einem Ein- gangsanschluss 21, einem Ausgangsanschluss 22, einem zwischen dem Eingangsanschluss 21 und dem Ausgangsanschluss 22 erstreckten Fluidkanal 23 und einem im Fluidkanal 23, exemplarisch im Bereich des Ausgangsanschlusses 22 ausgebildeten Ventilsitz 24. Exemplarisch weist der Fluidkanal 23 in einer senkrecht zur Darstellungsebene der Figur 1 ausgerichteten, nicht dargestellten Querschnittsebene einen rechteckigen Querschnitt auf und dient zur Aufnahme eines Piezobiegers 25, der den Aktor für das Zuluftventil 5 darstellt. Der Piegzo- bieger 25 ist seinerseits plattenförmig ausgebildet und erstreckt sich jeweils über den Eingangsanschluss 21 und den Ausgangsanschluss 22 hinaus. An einem dem Ventilsitz 24 zugewandten Endbereich ist der Piezobieger 25 mit einem Dichtelement 30 versehen, das beispielhaft aus einem gummielastischen Material hergestellt sein kann und das für eine zeitweilig abdichtende Anlage am Ventilsitz 24 ausgebildet ist. Rein exemplarisch sind sowohl das Zuluftventil 5 als auch das Ab- luftventil 6 als normal geschlossene Ventile ausgebildet, bei denen in Abwesenheit einer ausreichend hohen Ansteuerspannung für den jeweiligen Piezobieger 25 eine abdichtende Anlage des Dichtelements 30 am jeweiligen Ventilsitz 24 vorgesehen ist. Ferner ist der Piezobieger 25 mit Hilfe von Federn 28, 29 gegen schneidenförmige Auflager 26, 27 angepresst. Bei Anlegen einer ausreichend hohen Ansteuerspannung an den Piezobieger 25 erfolgt eine in der Darstellungsebene der Figur 1 verlaufende Krümmung des Piezobiegers 25 in derartiger Weise, dass das Dichtelement 30 vom Ventilsitz 24 abgehoben wird und somit eine fluidische Verbindung zwischen dem Eingangsanschluss 21 und dem Ausgangsanschluss 22 freigegeben wird. In Abhängigkeit von der Ansteuerspannung für den Piezobieger 45 stellt sich eine schwächere oder stärkere Krümmung des Piezobiegers 45 ein, so dass ein Abstand zwischen dem Ventilsitz 24 und dem Dichtelement 30 kleiner oder größer sein kann und somit ein kleinerer oder größerer Querschnitt des Fluidkanals 23 für eine Fluidströmung zur Verfügung gestellt wird. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Piezobieger 45 durch ein Ansteuersignal des Steuermittels 9 in eine Vielzahl von unterschiedlichen KrümmungsStellungen gebracht werden kann, so dass das Zuluftventil 5 und in gleicher Weise das Abluftventil 6 eine Vielzahl von Öffnungsstellungen aufweist und in der Art eines Proportionalventils betrieben werden kann.

Beispielhaft ist vorgesehen, dass der Eingangsanschluss 21 des Zuluftventils 5 mit einer Fluidquelle 31 verbunden ist, während der Eingangsanschluss 21 des Abluftventils 6 mit einer Fluidsenke 32, die beispielsweise als Schalldämpfer ausgebildet sein kann, fluidisch gekoppelt ist. Ferner sind der Ausgangsanschluss 22 des Zuluftventils 5 und der Ausgangsanschluss 22 des Abluftventils 6 mit einem Arbeitsanschluss 40 des als Fluidverbraucher dienenden Fluidventils 3 verbunden. Das Fluidventil 3 umfasst ein exemplarisch längs eines Bewegungswegs 43 linearbeweglich in einem Ventilgehäuse 41 aufgenommenes Ventilglied 42, das exemplarisch rotationssymmetrisch zu einer Längsachse 44, die parallel zum Bewegungsweg 43 ausgerichtet ist, ausgebildet ist. Beispielhaft umfasst das Ventilglied 42 einen stangenförmigen Grundkörper 45, an dem endseitig ein tellerförmiger Arbeitskolben 46 ausgebildet ist. Ferner ist an dem Grundkörper 45 ein zirkulär umlaufender, ringförmiger Bund 47 vorgesehen, der eine als Dichtmittel 48 dienende, ringförmige Dichtungsscheibe trägt. Um eine bewegliche Anordnung des Ventilglieds 42 im Ventilgehäuse 41 zu ermöglichen, ist es vorgesehen, dass das Ventilgehäuse 41 eine Ventilausnehmung 49 aufweist, die einen Stellabschnitt 50 zur Aufnahme des Arbeitskolbens 46 und einen Arbeitsabschnitt 51 zur Aufnahme des Bunds 47 mit dem Dichtmittel 48 aufweist. Rein exemplarisch ist vorgesehen, dass die Ventil- ausnehmung 49 zwischen dem Stellabschnitt 50 und dem Arbeits - abschnitt 51 sowie an einem dem Arbeitskolben 46 abgewandten Endbereich jeweils Führungsabschnitte 52, 53 aufweist, die an einer Innenoberfläche jeweils einen Dichtring 54, 55 tragen, die jeweils abdichtend an einer kreiszylindrischen Außenoberfläche 56 des Grundkörpers 45 anliegen und damit eine fluidische Trennung zwischen dem Stellabschnitt 50 und dem Arbeitsabschnitt 51 sowie zwischen dem Arbeitsabschnitt 51 und einem Federabschnitt 58 gewährleisten. Der Federabschnitt 57 ist exemplarisch als kreiszylindrisches Sackloch ausgebildet, in dem eine Rückstellfeder 58 aufgenommen ist, die zur Ausübung einer Rückstellkraft auf das Ventilglied 42 ausgebildet ist. Mit Hilfe der Rückstellfeder 58 wird das Dichtmittel 48 des Ventilglieds 42 gegen einen im Ventilgehäuse 41 vorgesehenen, beispielhaft konusringförmig ausgebildeten Ventilsitz 59 ge- presst. Hierdurch handelt es sich bei dem Fluidventil 3 rein exemplarisch um ein normal geschlossenes Ventil, wobei in der Schließstellung oder Ruhestellung, wie sie in der Figur 1 dargestellt ist, eine fluidisch kommunizierende Verbindung zwischen einem Eingangsanschluss 60 und einem Ausgangsan- schluss 61 der Ventilausnehmung 49 unterbrochen ist. Findet hingegen eine Druckbeaufschlagung des Stellabschnitts 50 statt, was durch Bereitstellung eines druckbeaufschlagten Ar- beitsfluids am Arbeitsanschluss 40 erfolgen kann, so wirkt dieser Fluiddruck auf eine flexibel Dichtmembran 62, die randseitig abdichtend im Ventilgehäuse 41 festgelegt ist, und somit auf eine der Rückstellfeder 58 abgewandte Arbeitsfläche 63 des Arbeitskolbens 46. Durch diese Kraftwirkung kann die Rückstellfeder 58 elastisch deformiert werden, wodurch eine Bewegung des Ventilglieds 42 längs des Bewegungswegs 43 erfolgen kann, wodurch das Dichtmittel 48 vom Ventilsitz 59 abgehoben werden kann und somit die fluidisch kommunizierende Verbindung zwischen dem Eingangsanschluss 60 und dem Aus- gangsanschluss 61 der Ventilausnehmung 49 freigegeben wird.

In der Ruhestellung wird das elastische Dichtmittel 49 in Abhängigkeit von der Rückstellkraft der Rückstellfeder 58 komprimiert, so dass die gewünschte abdichtende Anlage des

Dichtmittels 49 am Ventilsitz 59 gewährleistet wird.

Zur Durchführung des Ventildiagnoseverfahrens wird eine geringe Kraft auf das Ventilglied 42 eingeleitet, was durch Bereitstellung eines geringen Arbeitsdrucks am Arbeitsanschluss 40 erreicht werden kann. Hierbei findet eine geringfügige Verlagerung des Ventilglieds 42 längs des Bewegungswegs 43 aus der in Figur 1 dargestellten Ruhestellung in eine Diagnosestellung statt, wobei diese Verlagerung derart gewählt wird, dass aufgrund der elastischen Rückverformung des Dichtmittels 48 keine Freigabe der fluidisch kommunizierenden Verbindung zwischen dem Eingangsanschluss 60 und dem Ausgangsan- schluss 61 der Ven ilausnehmung 49 erfolgt. Dabei kann der geringe Arbeitsdruck am Arbeitsanschluss 40 durch unterschiedliche Öffnungsstellungen des Zuluftventils 5 und des Abluftventils 6 bereitgestellt werden. Beispielhaft ist vorgesehen, dass für die Durchführung des Ventildiagnoseverfahrens in dem Steuermittel 9 eine Positionsregelung für das Ventilglied 42 anhand des Signals des Sensors 12 durchgeführt wird, wobei das Ventilglied 42 in der Diagnosestellung gehalten werden soll und wobei die Öffnungsstellungen für das Zu- luftventil 5 und das Abluftventil 6 jeweils in möglichst weiten Intervallen variiert werden sollen. Hierbei wird zu jeder Öffnungsstellung für das Zuluftventil 5 eine korrespondierende Öffnungsstellung des Abluftventils 6 gesucht und die jeweiligen Ansteuersignale , die zum Erreichen der jeweiligen Öffnungsstellung erforderlich sind, werden in der Speichereinrichtung 10 als Wertepaar gespeichert.

Aus den gespeicherten Wertepaaren 69 bis 77 für einen Ansteuersignalpegel 66 für das Zuluftventil 5 und für einen Ansteuersignalpegel 67 für das Abluftventil 6, die rein schematisch in der Figur 2 dargestellt sind, kann in dem Steuermittel 9 durch geeignete Berechnungen ein Kompensationswert zur Ansteuerung des Zuluftventils 5 und des Abluftventils 6 ermittelt werden, mit dem nachfolgend eine Ansteuerung des jeweiligen Ventils 5, 6 während eines Normalbetriebs des Fluid- ventils 3 erfolgen kann. Dieser Kompensationswert dient dazu, Alterungs- und Verschleißerscheinungen am Zuluftventil 5 und am Abluftventil 6 zumindest teilweise ausgleichen zu können, so dass ein Betrieb des Fluidventils 3 über einen längeren Zeitraum ohne Einschränkungen hinsichtlich der Ventilfunktion gewährleistet werden kann. In dem Schaubild gemäß der Figur 2 sind drei unterschiedliche Kurven 66, 67, 68 dargestellt. Die Kurven 66 und 67 stellen jeweils einen Zusammenhang zwischen einem auf der Abszissenachse (horizontale Achse) aufgetragenen Spannungspegel U [V] für die Ansteuersignale, mit denen die beiden Piezobieger 25 des Zuluftventils 5 und des Abluftventils 6 beaufschlagt werden, und auf der Ordinate (vertikale Achse) einer prozentualen Öffnung für das Zuluftventil 5 - Z[%] bzw. für das Ab- luftventil 6 - A[%] her. Die Kurve 68 stellt die Bewegung des Ventilglieds 42 gegenüber dem Ventilgehäuse 41 dar, wobei die Kurve 68 aufgrund der Regelung der beiden Ventile 5, 6 über eine weite Strecke als Gerade ausgebildet ist. Jedes der Wertepaare 69 bis 77 umfasst einen prozentualen Öffnungswert für das Zuluftventil 5 und einen prozentualen Öffnungswert für das Abluftventil sowie eine aus diesen Öffnungswerten resultierende Position des Ventilglieds 42. Während bei geringen Ansteuersignalpegeln 66, 67 und daraus resultierenden geringen prozentualen Öffnungswerten zunächst keine Bewegung des Ventilglieds 42 auftritt, stellt sich bei bestimmten Ansteuersignalpegeln 66, 67 eine Bewegung des Ventilglieds 41 ein, die bei weiter ansteigenden Ansteuersignalpegeln 66, 67 zum Erreichen der Diagnosestellung 78 führt. Ab diesem Zeitpunkt erfolgt während der Durchführung des Ventildiagnosevorgangs eine Regelung der Ansteuersignalpegel 66, 67 durch das Steuermittel 9 in derartiger Weise, dass die Diagnosestellung 78 beibehalten wird und dass eine weitere Erhöhung der Ansteuersignalpegel 66, 67 erfolgt, bis ein weiteres Wertepaar 69 bis 77 gefunden ist. Die in der Figur 2 eingezeichneten Wertepaare 69 bis 77 sind rein exemplarisch, es können sich zwischen den einzelnen Wertepaaren 69 bis 77 noch eine Vielzahl weiterer Wertepaare befinden. Nach Erreichen des maximalen Öffnungswerts für zumindest eines der beiden Ventile 5, 6 wird die Ventildiagnose beendet und in dem Steuermittel 9 erfolgt nun eine Berechnung von Kompensationswerten für die Ansteuerung der Ventile 5, 6 in einem Normalbetrieb, wobei die Kompensationswerte anhand der Wertepaare 69 bis 77 und ggf. weiterer Wertepaare berechnet werden .