流体控制装置及用于流体控制装置之接头

【发明所属技术领域】

本发明为有关一种流体控制装置及其接头 ， 尤指一种 可简 易拆解和组装 ， 以及弹性化模组与 高密封性的流体控 制装置 。

【先前技术】

流体控制装置为半导体产业 中 常使用 的一种装置 ， 其 目 的在于供给半导体制造过程中 ， 包括扩散 、 蚀刻 、 溅射 等过程所需的气体 。 目 前流体控制装置主要包括复数种设 备 ， 譬如减压阀 、 压力计 、 质量流量控制器 、 气体过滤器 、 手动阀 、 第一截止阀 、 第二截止阀等 ， 并包括用于连接该 些流体控制设备之各式接头 ， 以构成通路使流体得以顺利 流通 。

即便流体控制装置已广泛地应用于半导体产业 ， 然仍 有缺陷待改善 。 举例来说 ， 由于流体控制装置中 包括多种 设备 ， 故在流体控制装置的拆卸及组装难易度即为一 待改 善之议题 ， 目 前已提出 的解决方案包括减少流体控制装置 中所使用 的元件数量 ， 进而达到组装容易的效果 。

譬如 ， 美国专利公开号 US20 1 5075660 的流体控制装置 亦提出 组装问题的改善方法 。 其装置中 包括将复数个流体 控制机器 串列配置成一列的上层以及用 来连接上层之复数 个流体控制机器的通路块的下层 ， 该些相邻的通路块之间 彼此藉由倒 U 字型配管连接 ， 不仅容易并用 复数列用通路 块及单列用通路块 ， 也容易进行行列数的增减 。

除此之外 ， 流经流体控制装置的流体之中有些带有腐 蚀性 ， 是以 ， 除了 需改善流体控制装置之元件抗腐蚀性外 、 亦得考量清洁维护之难易 。 再者 ， 流体在流体控制装置中 流动时也常出现泄漏的问题 ， 特别 当流动的气体带有危险 或人体危害的时候 ， 更是需要仔细避免流体外泄问题 。

有鉴于此 ， 亟需开发出一种可改善上述缺陷的新颖性 流体控制装置 ， 以满足产业之需求 。

【发明内容】

本发明主要 目 的 ， 在于解决 习 知流体控制装置不 易拆 解或组装的问题 。

本发明另一 目 的 ， 在于改善 习 知用于流体控制装置的 接头中 ， 气体通道容易有颗粒残留且清洗不易的缺点 。

本发明又一 目 的 ， 在于降低气体在流体控制装置流动 的过程中泄漏的风险 。

为 了达到上述目 的 ， 本发明一实施例 中提供一种包括 至少两个流体流通孔之用于流体控制装置之接 头 ，其包括 ： 一第一单元 ’ 具有一上表面 、 一与该上表面相对之下表面 、 一设置于该上表面之第一流体流通孔 、 一设置于该上表面 之第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通 孔与该第二 流体流通孔且贯穿于设置该第一单元之中的第 一通道 ； 以 及一第二单元 ， 设置于该第一单元之下 ， 包括一 自 该第一 单元的该下表面之一部分突出 的定位块以及一相邻于该下 表面之另一部分与该定位块的第一凹陷部 。 为 了达到上述目 的 ， 本发明另一实施例中提供一种包 括至少三个流体流通孔之用于流体控制装置之 接头 ， 其包 括 ： 一第一单元 ， 具有一上表面 、 一与该上表面相对之下 表面 、 一设置于该上表面之第一流体流通孔 、 一设置于该 上表面之第二流体流通孔 、 以及一设置于该上表面之第四 流体流通孔 ， 该第一流体流通孔与该第四流体流通孔之间 设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与 该第四流体 流通孔 ； 一延伸单元 ， 该延伸单元系 自 该第一单元的一侧 端朝外突出 ， 该延伸单元包括一第三流体流通孔 ， 且该第 三流体流通孔和该第二流体流通孔之间设置有 一第二通道 以连通该第二流体流通孔与该第三流体流通孔 ； 以及一第 二单元 ， 设置于该第一单元之下 ， 包括一 自 该第一单元的 该下表面之一部分突出 的定位块以及一相邻于该下表面之 另一部分与该定位块的第一凹陷部 。

本发明又一实施例提供一种至少 包括四个流体流通孔 之接头 ， 包括 ： 一第一单元 ， 具有一上表面 、 一与该上表 面相对之下表面 、 一设置于该上表面之第一流体流通孔 、 一设置于该上表面之第二流体流通孔 、 一设置于该上表面 之第四流体流通孔 、 一设置于该上表面之第五流体流通孔 以及一设置于该上表面之第六流体流通孔 ， 其中 ， 该第一 流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一 第一通道以 连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔 ， 该第二流体 流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二 通道以连通 该第二流体流通孔与该第六流体流通孔 ； 一延伸单元 ， 该 延伸单元系 自 该第一单元的一侧端朝外突出 ， 该延伸单元 包括一第三流体流通孔 ， 且该第三流体流通孔与该第四流 体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三 流体流通孔 与该第四流体流通孔 ； 以及 一第二单元 ， 设置于该第一 单元之下 ， 包括一 自 该第一单元的该下表面之一部分突出 的定位块以及一相邻于该下表面之另一部分与 该定位块的 第一凹陷部 。

本发明再一实施例提供一种至少 包括六个流体流通孔 之接头 ， 包括 ： 一第一单元 ， 具有一上表面 、 一与该上表 面相对之下表面 、 一设置于该上表面之第一流体流通孔 、 一设置于该上表面之第二流体流通孔 、 一设置于该上表面 之第四流体流通孔 、 一设置于该上表面之第五流体流通孔 以及一设置于该上表面之第六流体流通孔 ， 其中 ， 该第一 流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一 第一通道以 连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔 ， 该第二流体 流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二 通道以连通 该第二流体流通孔与该第六流体流通孔 ； 一延伸单元 ， 该 延伸单元系 自 该第一单元的一侧端朝外突出 ， 该延伸单元 包括一第三流体流通孔 ， 且该第三流体流通孔与该第四流 体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三 流体流通孔 与该第四流体流通孔 ； 以及 一第二单元 ， 设置于该第一 单元之下 ， 包括一 自 该第一单元的该下表面之一部分突出 的定位块以及一相邻于该下表面之另一部分与 该定位块的 第一凹陷部 。 本发明还提供一种用于流体控制装置之接头模 组 ， 包 括 ： 复数个连接块 ， 该连接块系沿一轴向排列 ， 该连接块 各包括一上半部以及一下半部 ， 该上半部包括至少一流体 入口 、 至少一流体出 口 、 以及至少一连通该流体入口和该 流体出 口之间且朝一水平方向延伸的连接通道 ， 该下半部 具有一凹陷部及一远离该凹陷部并沿该轴向延 伸突出 的舌 部 ， 其中 ， 该连接通道系 高于该舌部的一上表面 ； 其中 ， 相邻的该连接块系透过该舌部容设于该凹陷部 内 而彼此连 接 。

本发明还提供一种用于流体控制装置之接头模 组 ， 包 括 ： 复数个连接块 ， 该连接块系沿一轴向排列 ， 该连接块 各包括至少一流体入口 、 至少一流体出 口 、 以及至少一连 通该流体入口和该流体出 口之间且朝一水平方向延伸而和 该连接块之一底面相距一高度的连接通道 ， 其中 ， 该连接 块的一端形成一突出 的第一舌部 ， 另一端形成一凹陷部 ， 相邻的该连接块系透过该第一舌部容设于该凹 陷部内 而彼 此连接 。

本发明还提供一种流体控制装置 ， 包括 ：

一基座 ；

—设置于该基座上之接头模组 ， 并包括 ：

一第一接头 ， 包括 ：

一第一单元 ’ 具有一第一上表面 、 一与该第一上表面 相对之第一下表面 、 一设置于该第一上表面之第一流体流 通孔 、 一设置于该第一上表面之第二流体流通孔以及 一连 通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯 穿于该第一 单元之中的第一通道 ； 以及

一第二单元 ， 设置于该第一单元之下 ， 包括一 自 该第 一单元的该第一下表面之一部分突出 的第一定位块以及一 相邻于该第一下表面之另一部分与该第一定位 块的第一凹 陷部 ； 以及

一第二接头 ， 包括 ：

一第三单元 ， 具有一第二上表面 、 一与该第二上表面 相对之第二下表面 、 一设置于该第二上表面之第三流体流 通孔 、 一设置于该第二上表面之第四流体流通孔以及 一连 通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔且贯 穿于该第三 单元之中的第二通道 ； 以及

一第四单元 ， 设置于该第三单元之下 ， 包括一 自 该第 三单元的该第二下表面之一部分突出 的第二定位块 、 一相 邻于该第二下表面之另一部分与该二定位块的 第二凹陷部 以及一远离该第二凹陷部延伸的舌部 ， 其中 ， 该第一接头 藉由该第二单元的该第一凹陷部容设该第四单 元的该舌部 而和该第二接头彼此相邻靠接 ； 以及

一流体控制件 ， 系透过该接头模组而 紧固于该基座之 上 ， 且该流体控制件跨接于该第一接头和该第二接 头 。

本发明还提供一种流体控制装置 ， 包括 ：

一沿一轴向延伸的基座 ；

一设置于该基座上方的流体控制件 ， 该流体控制件具 有一出 口以及一入口 ； 一设置于该流体控制件和该基座之间的接头模 组 ， 包 括 ：

复数个连接块 ， 该连接块系沿该轴向排列 ， 该连接块 各包括 ：

一流体通道 ， 包括设置于该连接块的一上表面的一流 体入口及一流体出 口 、 以及一连通该流体入口和该流体出 口的 U形连接通道 ；

一上舌部 ， 系 突出形成于该连接块的一端 ， 该上舌部 具有一贯穿该上舌部的一底面的第一固定孔 ； 以及

一下舌部 ， 系 突出形成于该连接块的另一端 ， 该下舌 部具有一贯穿该下舌部的一顶面的第二固定孔 ； 以及

一固定件 ， 穿设于该连接块的该上舌部的该第一固定 孔以及相邻的该连接块的该下舌部的该第二固 定孔 ；

其中 ， 该流体控制件跨接于两相邻的该连接块 ， 且该 流体控制件的该出 口 与其中一连接块的该流体入口连接 ， 该流体控制件的该入口 与另一连接块的该流体出 口连接 。

本发明还提供一种流体控制装置 ， 包括 ：

一沿一轴向延伸的基座 ；

一设置于该基座上方的流体控制件 ， 该流体控制件具 有一出 口以及一入口 ；

一设置于该流体控制件和该基座之间的接头模 组 ， 包 括 ：

复数个连接块 ， 该连接块系沿该轴向排列 ， 该连接块 各包括 ： 一流体通道 ， 包括设置于该连接块的一上表面的一流 体入口及一流体出 口 、 以及一连通该流体入口和该流体出 口的 U形连接通道 ；

一上舌部 ， 系 突出形成于该连接块的一端 ， 该上舌部 具有一贯穿该上舌部的一底面的第一固定孔 ； 以及

一下舌部 ， 系 突出形成于该连接块的另一端 ， 该下舌 部具有一贯穿该下舌部的一顶面的第二固定孔 以及一贯穿 该下舌部的一底面的第三固定孔 ； 以及

一上固定件 ， 穿设于该连接块的该上舌部的该第一固 定孔以及相邻的该连接块的该下舌部的该第二 固定孔 ； 以 及

一下固定件 ， 穿设于该连接块的该下舌部的该第三固 定孔以及该基座 ；

其中 ， 该流体控制件跨接于两相邻的该连接块 ， 且该 流体控制件的该出 口 与其中一连接块的该流体入口连接 ， 该流体控制件的该入口 与另一连接块的该流体出 口连接 。

是以 ， 本发明相较于 习 知技术所能达到的功效在于 ：

( 1 ) 本发明的流体控制装置透过具有特定形状之接 头 连结 ， 该接头可简单地与相邻接头彼此迭合而具有简 易拆 卸或组装的优点 ， 进而解决 习 知流体控制装置不 易拆解或 组装的问题 ； 且基于上述接头 ， 可以让该流体控制装置的 组态具有模组化的优点 ， 利用不 同接头的排列组合 ， 弹性 地和众多流体控制件的组合 。

( 2 ) 本发明的接头设计 ， 系使得当流体从一流体控制 件经过该接头流动至相邻的流体控制件时 ， 该流体仅经过 单一的接头中的流体通道 ， 而非复数个次通道彼此相接所 组成的流体通道 ； 换言之 ， 相邻接头之间的组装 ， 并无设 计流体通道的接合 ， 据此降低流体通道的介面 ， 减少流体 外泄的可能而拥有 良好的密封性 。

( 3 ) 本发明之流体流通孔及 /或该些流体流通孔之间 的通道具有一镜面之表面 ， 可有效改善流体流经时颗粒残 留问题 。

【实施方式】

有关本发明的详细说明及技术内容 ， 现就配合图式说 明如下 ：

本发明的流体控制装置中 包括有复数个排成一列的流 体控制件 、 以及复数个对应该些流体控制件之接头 ， 且每 一流体控制件与其接头连接使流体得以在连通 的该流体控 制件及在接头之间流动 。

本发明之流体控制装置所包括的流体控制件并 无特别 之限制 ， 可视需求任意选用 。 于一具体实施例中 ， 该流体 控制件系选自 由减压阀 、 压力计 、 质量流量控制器 、 过滤 器 、 手动阀 、 2 埠截止阀 、 3 埠截止阀 、 高洁净调压阀 、 压 力传感器及其组合所组成之群组 。 更具体地 ， 可包括 ： 手 动阀 、 2 埠截止阀 、 3 埠截止阀 、 高洁净调压阀 、 压力传感 器 、 过滤器 、 2 埠截止阀 、 质量流量控制器 、 3 埠截止阀 、 以及 2 埠截止阀 。

而关于用于本发明流体控制装置的接头 ， 依据其所具 有的气路流通口数量可分为 2 埠接头 、 3 埠接头 、 4 埠以上 接头 、 以及连接件 ， 下文中将就该些接头进行说明 。 此外 ， 在这些接头中 ， 系 包括有复数个单元 ， 该单元各包括有上 表面 、 下表面 、 第一侧表面 、 第二侧表面 、 第三侧表面 、 及第四侧表面等 ， 为叙述上之方便 ， 系将同一方位的表面 以相同名称描述 ， 但冠以不同的标号 ， 藉此区隔 。

2 璋接头

本发明之 2 埠接头系指一接头上有两个流体流通孔 ， 其中一为流体入口 ， 另一为流体出 口 。

『 图 1A』至『图 1F』系本发明 2埠接头之第一态样 la。 参 『 图 1A』 与 『 图 1B』 所示 ， 该 2埠接头 la具有一第一 单元 11 以及一第二单元 12 , 该第一单元 11 设置于该第二 单元 12 上 。

该第一单元 11 包括一第一定位块 11a以及一第一舌部 11c，且该第一单元 11 还具有一上表面 111 、一与该上表面 111 相对之下表面 112 、以及分别与该上表面 111 及该下表 面 112 连接之一第一侧表面 113 、 一第二侧表面 114 、 一第 三侧表面 115 、及一第四侧表面 116 ， 该第一侧表面 113 与 该第三侧表面 115 对应设置 ， 而该第二侧表面 114 与该第 四侧表面 116 对应设置 。该第二单元 12 包括一第二定位块 12a以及一第二凹陷部 12b，该第二定位块 12a 自 该第一单 元 11 的该下表面 112 之一部分突出 ， 该第一单元 11 的该 下表面 112 之另一部分则因该第二定位块 12a的设置而 内 凹成该第二凹陷部 12b，该第二凹陷部 12b相邻于该下表面 112 之另一部分与该第二定位块 12a之间 ， 如 『 图 1E』 所 示 。其中该第二单元 12 具有一下表面 122 以及分别连接该 下表面 122 之一第一侧表面 123 、 一第二侧表面 124 、 一第 三侧表面 125 、及一第四侧表面 126 ， 该第一侧表面 123 与 该第三侧表面 125 对应设置 ， 而该第二侧表面 124 与该第 四侧表面 126 对应设置 。

该第一单元 11 与该第二单元 12 具有相同之宽度 W，该 第一单元 11 之长度 L1 则大于该第二单元 12 之长度 L2 ，该 第一单元 11 与该第二单元 12 为一体成形之结构 ， 该第一 单元 11 的该第三侧表面 115 与该第二单元 12 的该第三侧 表面 125 切齐且成为一体成形之一面 。 同样地 ， 该第一单 元 11 的该第二侧表面 114 与该第二单元 12 的该第二侧表 面 124 为一体成形之一面 、该第一单元 11 的该第四侧表面 116 与该第二单元 12 的该第四侧表面 126 亦为一体成形之 一面

请续参考 『 图 1C』、『 图 1D』 与 『 图 1F』 ， 该第一单元 11 包括一第一定位销孔 1111a、一第二定位销孔 1111b ' - 第一流体流通孔 1112a、 一第二流体流通孔 1112b、 一第一 螺纹孔 1113a、一第二螺纹孔 1113b、一第三螺纹孔 1113c ' 一第四螺纹孔 1113d、 一第一下螺纹孔 1121a、 一第二下螺 纹孔 1121b、一第一螺栓孔 1114a以及一第二螺栓孔 1114b。 其中 ， 该第一定位销孔 1111a及该第二定位销孔 1111b设 置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ， 且为一 贯穿该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 。 该第一流体流通孔 1112a及该第二流体流通孔 1112b 则分别设置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 以及该 第三侧表面 115 之一侧 ， 其中 ， 该第一流体流通孔 1112a 系设置于该第一定位销孔 1111a及第二定位销孔 1111b之 间 、 该第二流体流通孔 1112b则设置在第三螺纹孔 1113c 及第四螺纹孔 1113d之间 。请参 『 图 1E』 ， 于该第一流体流 通孔 1112a及第二流体流通孔 1112b之间设置有一第一通 道 1115a以连通该第一流体流通孔 1112a及第二流体流通 孔 1112b，本实施例中 ，该第一通道 1115a系 自 该第一单元 11 靠近该第二定位块 12a的一端延伸至该第一单元 11 靠近 该第二凹陷部 12b的一端 ， 亦可视为 自 该第一单元 11 靠近 该第三侧表面 115的一端延伸至该第一单元 11 靠近该第一 侧表面 113 的一端 。 为 了避免流体流经该第一通道 1115a 时残存其中 ， 可对该第一通道 1115a进行处理使之具有一 镜面表面 。 上述之 「处理」 ， 举例来说 ， 可先在该第一侧表 面 113 上设置一连通该第一通道 1115a之开 口并对该第一 通道 1115a进行一抛光处理使之具有一镜面表面之后 ， 再 以焊接方式将该开口封堵起来 。

该第一螺纹孔 1113a、 该第二螺纹孔 1113b、 该第三螺 纹孔 1113c、该第四螺纹孔 1113d、该第一下螺纹孔 1121a、 以及该第二下螺纹孔 1121b均为具有螺纹之盲孔 ， 即非贯 穿 的孔洞 ， 其 中 ， 该第 一螺纹孔 1113a及该第 二螺纹孔 1113b设置在该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ， 该第一螺纹孔 1113a邻近该第一定位销孔 1111 a，该第二螺 纹孔 1113b邻近该第二定位销孔 1111b ; 而该第三螺纹孔 1113c及该第四螺纹孔 1113d设置在该上表面 111 靠近该第 三侧表面 115 之一侧 ， 且该第三螺纹孔 1113c 靠近该第二 侧表面 114 、 该第四螺纹孔 1113d靠近该第四侧表面 116 ; 该第一下螺纹孔 1121a及该第二下螺纹孔 1121b设置在该 下表面 112 ，且靠近该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b。

请参阅 『 图 1E』 ， 本发明之一实施例中 ，该第二流体流 通孔 1112b 包括一扩大部 11121 、一台阶面 11122 以及一通 道部 11123 ， 该扩大部 11121 的内怪大于该通道部 11123 ， 该 台 阶面 11122 连接于该扩大部 11121 和该通道部 11123 之间并为一抛光镜面 ， 藉此使该第二流体流通孔 1112b 与 其他流体控制件连通时 ， 可以达到密封的效果 。 其余实施 例与态样中的流体流通孔 ， 结构同上 ， 以下将不赘述 。

该第一螺栓孔 1114a 以及该第二螺栓孔 1114b则分别 设置于该上表面 111 靠近该第二侧表面 114 之一侧以及靠 近该 第 四侧表面 116 之一侧 。 更具体地 ， 该第 一螺栓孔 1114a 设置在靠近该 第 一螺纹孔 1113a 与 该 第 三螺纹孔 1113c之间 ；而该第二螺栓孔 1114b设置在靠近该第二螺纹 孔 1113b及该第四螺纹孔 1113d之间 。该第一螺栓孔 1114a 以及该第二螺栓孔 1114b均为一贯通该上表面 111 以及该 下表面 112 之贯孔 ， 且该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺 栓孔 1114b之该贯孔中均设有一凸 出部 ， 使该第一螺栓孔 1114a 以及该第二螺栓孔 1114b之该贯孔具有不 同之直怪 R1 及 R2 ， 其中 ， 靠近该上表面 111 之直怪为 R1 、而靠近该 下表面 112之直怪为 R2 ,且 R1 大于 R2 ,如 『图 1F』 所示 。

本发明 2 埠接头之 ， 如 『 图 2』 所示 ， 该 2 埠接头 lb 除了其第三螺纹孔 1113c与第四螺纹孔 1113d之间的距离 ， 相较第 一 态样 la 中 第 三螺纹孔 1113c 以及第 四螺纹孔 1113d之间的距离更短以外 ，其余配置和结构与上述之第一 态样 1 a相同 。

『 图 3A』至『图 3E』为本发明 2埠接头之第三态样 lc。 该 2 埠接头 lc具有一第一单元 11 以及一第二单元 12 , 该 第一单元 11 包括一第一定位块 11a、 一第一凹陷部 lib以 及一第一舌部 11c，且该第一单元 11 还具有一上表面 111 、 一与该上表面 111 相对之下表面 112 、以及分别与该上表面 111 及该下表面 112连接之一第一侧表面 113、一第二侧表 面 114、 一第三侧表面 115、 及一第四侧表面 116 ， 该第一 侧表面 113 与该第三侧表面 115对应设置 ， 而该第二侧表 面 114 与该第四侧表面 116对应设置 ；而该第二单元 12 包 括一第二定位块 12a ' 一第二凹陷部 12b以及一第二舌部 12c ， 该第二定位块 12a 自 该第一单元 11 的该下表面 112 之一部分突出 ，该第一单元 11 的该下表面 112 之另一部分 则因该第二定位块 12a的设置而内凹成该第二凹陷部 12b， 该第二凹陷部 12b相邻于该下表面 112 之另一部分与该第 二定位块 12a之间 ， 如 『 图 3E』 所示 。 而该第二舌部 12c 自 该第二定位块 12a朝远离该第二凹陷部 12b的一侧延伸 且突出于该第一单元 11 ，该第二单元 12具有一上表面 121 、 一与该上表面 121 相对之下表面 122 、以及分别与该上表面 121 及该下表面 122 连接之一第一侧表面 123 、一第二侧表 面 124 、 一第三侧表面 125 、 及一第四侧表面 126 ， 该第一 侧表面 123 与该第三侧表面 125 对应设置 ， 而该第二侧表 面 124 与该第四侧表面 126 对应设置 。

本实施例 中 ， 该第一单元 11 与该第二单元 12 为一体 成形之结构 。 详细来说 ， 该第一单元 11 与该第二单元 12 具有相同之宽度 W， 该第一单元 11 的该第二侧表面 114 与 该第二单元 12 的该第二侧表面 124 切齐形成一 Z形平面 、 该第一单元 11 的该第四侧表面 116 与该第二单元 12 的该 第四侧表面 126 亦切齐形成一 Z形平面 。

请参 『 图 3C』、『 图 3D』 ， 该第一单元 11 还包括一第一 定位销孔 1111a、 一第二定位销孔 1111b、 一第一流体流通 孔 1112a、一第二流体流通孔 1112b、一第一螺纹孔 1113a ' 一第二螺纹孔 1113b、 一第三螺纹孔 1113c、 一第四螺纹孔 1113d、 一第一下螺纹孔 1121a、 一第二下螺纹孔 1121b、 一第一螺栓孔 1114a以及一第二螺栓孔 1114b。

该第一定位销孔 1111a和该第二定位销孔 1111b均为 贯穿该上表面 111 与该下表面 112 的贯孔 ， 该第一定位销 孔 1111 a介于该第一螺纹孔 1113a与该第一侧表面 113 之 间 ， 该第二定位销孔 1111b介于该第二螺纹孔 1113b与该 第一侧表面 113 之间 。 该第一流体流通孔 1112a及该第二 流体流通孔 1112b分别设置于该上表面 111 靠近该第一侧 表面 113 以及该第三侧表面 115 之一侧 。 该第一流体流通 孔 1112a及该第二流体流通孔 1112b之间设置有一第一通 道 1115 a连通该第一流体流通孔 1112 a及该第二流体流通 孔 1112b，本实施例中 ，该第一通道 1115a系 自 该第一单元 11 靠近该第二定位块 12a的一端延伸至该第一单元 11 靠近 该第二凹陷部 12b的一端 。 为 了避免流体流经该第一通道 1115a时残存其中 ，可如前文所述地对该通道进行抛光处理 而使其具有一镜面表面 。

该第一螺纹孔 1113a、 该第二螺纹孔 1113b、 该第三螺 纹孔 1113c、该第四螺纹孔 1113d、该第一下螺纹孔 1121a、 以及该第二下螺纹孔 1121b均为具有螺纹之盲孔 ， 其中 ， 该第一螺纹孔 1113a及该第二螺纹孔 1113b设置在该第一 单元 11 之该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ；该 第三螺纹孔 1113c设置在该上表面 111 靠近该第二侧表面 114 之一侧 ， 而该第四螺纹孔 1113d则靠近该第四侧表面 116 ，本态样中 ，该第一螺纹孔 1113a、该第二螺纹孔 1113b、 以及该第二流体流通孔 1112b之排列略呈一等腰三角形之 顶点 ； 该第一下螺纹孔 1121a及该第二下螺纹孔 1121b设 置在该下表面 112 ，且靠近该第一螺栓孔 1114a以及该第二 螺栓孔 1114b。

该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b均为贯 通该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 ， 该贯孔中均设 有一 凸 出 部 ， 使该 第 一螺栓孔 1114a 以及该第 二螺栓孔 1114b之该贯孔具有不同之直怪 R1及 R2 :靠近该上表面 111 之直怪为 R1 、 而靠近该下表面 112 之直怪为 R2 ， 且 R1 大 于 R2（该螺栓孔之结构请参考 『 图 1H』 ） 。 本态样中 ， 该第 一螺栓孔 1114a 系设置于该第一螺纹孔 1113a及该第三螺 纹孔 1113c之间 ， 该第二螺栓孔 1114b则设置于该第二螺 纹孔 1113b及该第四螺纹孔 1113d之间 。

该第二单元 12 还包括一第一定位销孔 1211a、 一第二 定位销孔 1211b、 一第一贯孔 1216a、 一第二贯孔 1216b、 一第五螺纹孔 1213e以及一第六螺纹孔 1213f 。

该第一定位销孔 1211a及该第二定位销孔 1211b设置 于该第二单元 12 之该上表面 121 靠近该第一单元 11 之一 侧 ， 且均为贯穿该上表面 121 以及该下表面 122 之贯孔 。 该第五螺纹孔 1213e以及第六螺纹孔 1213f 则是设置在该 第二单元 12 之该上表面 121 远离该第一单元 11 之一侧 ， 本态样中 ， 该第五螺纹孔 1213e以及第六螺纹孔 1213f 为 贯穿该上表面 121 以及该下表面 122 之贯孔 ， 该第一贯孔 1216a及该第二贯孔 1216b则分别设置于该第一定位销孔 1211a与该第五螺纹孔 1213e之间 、 以及该第二定位销孔 1211b与该第六螺纹孔 1213f 之间 。

本发明 2 埠接头之第四态样 Id， 如 『 图 4』 所示 。 该 2 埠接头 Id和该 2 埠接头 lc之间的差异为 ， 该 2 埠接头 Id 不具有该第一定位销孔 1111a、 该第二定位销孔 1111b、 该 第一下螺纹孔 1121a以及该第二下螺纹孔 1121b，且该第一 螺纹孔 1113a及该第三螺纹孔 1113b彼此较靠近 ， 且相对 于该第一流体流通孔 1112a相互对称设置 ， 此外 ， 该第一 螺纹孔 1113a、该第三螺纹孔 1113b以及该第一流体流通孔 1112a排列于一虚拟直线上 。其余配置和结构与上述之第三 态样 1 c相同 。

3 璋接头

本发明之 3 埠接头系指一接头上有三个可作为流体入 口 或流体出 口之流通孔 ， 举例来说 ， 实际使用时可为一流 体入口及两流体出 口 、 两流体入口及一流体出 口 、 或者仅 使用其中两个流通孔作为一流体入口及一流体 出 口 。

『 图 5A』至『图 5G』为本发明 3 埠接头之第一态样 2a， 该 3 埠接头 2a具有一第一单元 11 、 一第二单元 12 以及一 延伸单元 13 , 该第一单元 11 包括一第一定位块 11a、 一第 一凹陷部 lib以及一第一舌部 11c ， 该第一单元 11 具有一 上表面 111 、 一与该上表面 111 相对之下表面 112 、 以及分 别 与该上表面 111 及该下表面 112 连接之一 第 一侧表面 113 、 一第二侧表面 114 、 一第三侧表面 115 、 及一第四侧 表面 116 ，该第一侧表面 113与该第三侧表面 115对应设置 ， 而该第二侧表面 114 与该第四侧表面 116 对应设置 。

该第二单元 12 包括一第二定位块 12a ' 一第二凹陷部 12b以及一第二舌部 12c ，该第二定位块 12a 自 该第一单元 11 的该下表面 112 之一部分突出 ，该第一单元 11 的该下表 面 112 之另一部分则因该第二定位块 12a的设置而 内 凹成 该第二凹陷部 12b，该第二凹陷部 12b相邻于该下表面 112 之另一部分与该第二定位块 12a之间 ， 如 『 图 5B』 所示 ， 该第二舌部 12c 自 该第二定位块 12a朝远离该第二凹陷部 12b的一侧延伸而突出该第一单元 11 ，该第二单元 12 亦具 有一上表面 121 、 一与该上表面 121 相对之下表面 122 、 以 及分别与该上表面 121 及该下表面 122 连接之一第一侧表 面 123、 一第二侧表面 124、 一第三侧表面 125、 及一第四 侧表面 126，该第一侧表面 123与该第三侧表面 125对应设 置 ， 而该第二侧表面 124与该第四侧表面 126对应设置 。

该延伸单元 13系 自 该第一单元 11和该第二单元 12靠 近该第二侧表面 114、 124的一端朝外突出 ，该延伸单元 13 包括一上表面 131、 一与该上表面 131相对之下表面 132、 以及分别与该上表面 131及该下表面 132连接之一第一侧 表面 133、一第二侧表面 134及一第三侧表面 135， 该第一 侧表面 133与该第三侧表面 135对应设置 ， 该延伸单元 13 还包括一平行于该第二舌部 12c延伸突出 的挡墙 137， 如 『 图 5A』所示 。该延伸单元 13的该第一侧表面 133和第一 单元 11 的该第二侧表面 114之间形成一弧状的第一凹部 21 ; 该延伸单元 13的该第三侧表面 135和该第二单元 12 的该第二侧表面 124之间亦形成一弧状的第二凹部 22， 该 挡墙 137和该第三侧表面 115之间形成一弧状的第三凹部 23 _°

本实施例中 ，该第一单元 11 、该第二单元 12 与该延伸 单元 13为一体成形之结构 ， 即 ， 该第一单元 11 与该第二 单元 12具有相同之宽度 W。

该第一单元 11还包括一第一定位销孔 1111a ' 一第二 定位销孔 1111b、 一第一流体流通孔 1112a、 一第二流体流 通孔 1112b ' 一第一螺纹孔 1113a ' 一第二螺纹孔 1113b ' 一第三螺纹孔 1113c、 一第四螺纹孔 1113d、 一第一下螺纹 孔 1121a、 一第二下螺纹孔 1121b、 一第一螺栓孔 1114a以 及一第二螺栓孔 1114b。 该延伸单元 13 还包括一第三流体 流通孔 1312 、 一 第 五螺纹孔 1313a 以及一 第 六螺纹孔 1313b。

其 中 ， 该 第 一定位销孔 111 la 以及该 第 二定位销孔 1111b均设置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一 侧 ， 且为一贯穿该上表面 111 以及该下表面 122 之贯孔 。

该 第 一 流体流通孔 1112 a 以及该 第 二流体流通孔 1112b分别设置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113以及 该第三侧表面 115 之一侧 ，该第三流体流通孔 1312 设置于 该上表面 131 靠近该第二侧表面 134 之一侧 。 于该第一流 体流通孔 1112a及该第二流体流通孔 1112b之间设置有一 第一通道 1115a以令该第一流体流通孔 1112a及该第二流 体流通孔 1112b之间得以连通 ； 并且 ， 于该第二流体流通 孔 1112b与该第三流体流通孔 1312之间还设置有一第二通 道 1115b以令该第二流体流通孔 1112b及该第三流体流通 孔 1312 之间得以连通 ， 其中 ， 该第一通道 1115a与该第二 通道 1115b彼此相接连通且延伸之方向彼此垂直 。换言之 ， 该第一流体流通孔 1112a透过该第一通道 1115a与该第二 通道 1115b而和该第二流体流通孔 1112b与该第三流体流 通孔 1312 连通 。 为 了避免流体流经该些通道时残存其中 ， 于本态样中 ， 该些通道均经处理而具有一镜面表面 。

该第一螺纹孔 1113a、 该第二螺纹孔 1113b、 该第三螺 纹孔 1113c、 该第四螺纹孔 1113d、 该第五螺纹孔 1313a、 该第六螺纹孔 1313b、该第一下螺纹孔 1121a及该第二下螺 纹孔 1121b均为具有螺纹之盲孔 。 其 中 ， 该第 一螺纹孔 1113a及该第二螺纹孔 1113b设置在该第一单元 11 之该上 表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ， 且该第一定位销 孔 1111 a以及该第二定位销孔 1111 b亦设置在该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ； 该第三螺纹孔 1113c设置 在该上表面 111 靠近该第二侧表面 114 之一侧 ， 而该第四 螺纹孔 1113d则设置在该上表面 111 靠近该第四侧表面 116 之一侧 ； 该第五螺纹孔 1313a及该第六螺纹孔 1313b设置 在该延伸单元 13 的该上表面 131 上靠近该第二侧表面 134 之一侧 ， 且该第三流体流通孔 1312 设置在该第五螺纹孔 1313a及该第六螺纹孔 1313b之间 。该第一下螺纹孔 1121a 及该第二下螺纹孔 1121b设置在该下表面 112 ，且靠近该第 一螺栓孔 1114a以及一第二螺栓孔 1114b。

该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b均为贯 通该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 。 与前述之该螺 栓孔结构相同（请搭配参考 『 图 1 H』 ） ， 该贯孔中均设有一 凸 出部 ， 使该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b 之该贯孔具有不同之直怪 R1 及 R2 :靠近该上表面 111 之直 怪为 R1 、而靠近该下表面 112 之直怪为 R2 ，且 R1 大于 R2 。 本态样中 ， 该第一螺栓孔 1114a之设置系设置于该第一螺 纹孔 1113a及该第三螺纹孔 1113c 之间 ， 该 第二螺栓孔 1114b则设置于该第二螺纹孔 1113b及该第四螺纹孔 1113d 之间 。

该第二单元 12 还包括一第三定位销孔 1211c ' 一第四 定位销孔 121 Id、 一第一贯孔 1216a、 一第二贯孔 1216b、 一第七螺纹孔 1213g以及一第八螺纹孔 1213h。

该第三定位销孔 1211c及该第四定位销孔 121 Id设置 于该第二单元 12 之该上表面 121 靠近该第一单元 11 之一 侧 ， 且均为贯穿该上表面 121 以及该下表面 122 之贯孔 。 该第七螺纹孔 1213g以及该第八螺纹孔 1213h则是设置在 该第二单元 12之该上表面 121 远离该第一单元 11 之一侧 ， 本态样中 ， 该第七螺纹孔 1213g以及该第八螺纹孔 1213h 亦为贯穿该上表面 121 以及该下表面 122 之贯孔 。 而该第 一贯孔 1216a及该第二贯孔 1216b则分别设置于靠近该第 三定位销孔 1211c与该第七螺纹孔 1213g、以及靠近该第四 定位销孔 1211d与该第八螺纹孔 1213h。

本发明 3 埠接头之第二态样 2b， 如 『 图 6』 所示 。 该 3 埠接头 2b，除了该第一单元 11 的该上表面 111 与第一态样 不同之外 ， 其余配置和结构均相同 。 于该 3 埠接头 2b 中 ， 其第 一 单元 11 之该上表面 111 不 包括该 第 一 定位销孔 1111a以及该第二定位销孔 1111b， 且该第一螺纹孔 1113a 及该第二螺纹孔 1113b的位置移动使两者和该第一流体流 通孔 1112a排列于一虚拟直线上 。

4 埠及 4 埠以上接头

本发明所称之「 4 埠及 4 埠以上接头」 系指一接头上有 四个或四个以上的流体流通孔 ，作为流体入口或流体出 口 ， 然并无特定之方向 。

『 图 7A』 至 『图 7C』 为本发明 4埠以上接头之第一态 样 3a，除了该第一单元 11 更包括一第四流体流通孔 1112c 之外 ， 其余结构与前述之该 3 埠接头 2a相同 ， 故下文中仅 针对其流体流通孔之结构进行说明 而不再多 赘述其他结 构 。

该 4埠以上接头 3 a的该第一流体流通孔 1112 a以及该 第二流体流通孔 1112b分别设置于该上表面 111 靠近该第 一侧表面 113 以及该第三侧表面 115 之一侧 ， 该第四流体 流通孔 1112c则设置于该第一流体流通孔 1112a与该第二 流体流通孔 1112b之间并靠近该第二流体流通孔 1112b，于 一实施例中 ，该第一流体流通孔 1112a、该第二流体流通孔 1112b、以及该第四流体流通孔 1112c于该上表面 111 排列 在一虚拟直线上 。该第三流体流通孔 1312 设置于该延伸单 元 13 的该上表面 131 上靠近该第二侧表面 134之一侧 ，且 该第三流体流通孔 1312设置在该第五螺纹孔 1313a及该第 六螺纹孔 1313b之间 。

该第一流体流通孔 1112a及该第四流体流通孔 1112c 之间设置有一 第 一通道 1115a 以连通该第 一流体流通孔 1112a及该第 四流体流通孔 1112c。 于该第二流体流通孔

1112b与该第三流体流通孔 1312 之间亦设置有一第二通道 1115b以连通该第二流体流通孔 1112b及该第三流体流通 孔 1312 。 不同于 3 埠接头之通道设计 ， 本态样中 ， 该第一 通道 1115a与该第二通道 1115b彼此不连通 ， 故形成 4 埠 的结构 ， 此外 ， 该第一通道 1115a与该第二通道 1115b延 伸之方向彼此垂直 。 为 了避免流体流经该些通道时残存其 中 ， 于本态样中 ， 该些通道均经处理而具有一镜面表面 。

本发明 4埠以上接头之第二态样 3b， 如 『 图 8』 所示 。 在该 4埠以上接头 3b 中 ， 除了该第一单元 11 的该上表面 111 与第一态样不同之外 ，其余配置和结构均相同 。于第二 态样中 ，在其第一单元 11 之该上表面 111 不设置该第一定 位销孔 1111a以及该第二定位销孔 1111b，且该第一螺纹孔 1113a及该第二螺纹孔 1113b的位置移动使两者和该第一 流体流通孔 1112a排列于一虚拟直线上 。

本发明 4埠以上接头之第三态样 3c，如『 图 9A』至『 图 9F』 所示 。于该 4埠以上接头 3c 中具有一第一单元 11 、一 第二单元 12 以及一延伸单元 13。 该第一单元 11 具有一上 表面 111 、 一与该上表面 111 相对之下表面 112 、 以及分别 与该上表面 111 及该下表面 112连接之一第一侧表面 113、 一第二侧表面 114 、 一第三侧表面 115 、 及一第四侧表面 116 ， 该第一侧表面 113 与该第三侧表面 115对应设置 ， 而 该第二侧表面 114 与该第四侧表面 116 对应设置 。 本态样 中 ，该第二单元 12 包括一第二定位块 12a以及一第二凹陷 部 12b，该第二定位块 12a 自 该第一单元 11 的该下表面 112 之一部分突出 ，该第一单元 11 的该下表面 112 之另一部分 则因该第二定位块 12a的设置而内凹成该第二凹陷部 12b， 该第二凹陷部 12b相邻于该下表面 112 之另一部分与该第 二定位块 12a之间 ， 如 『 图 9E』 所示 ， 其中该第二单元 12 具有一下表面 1 22 、以及与该下表面 1 22 连接之一第一侧表 面 123、 一第二侧表面 124、 一第三侧表面 125、 及一第四 侧表面 126 ，该第一侧表面 123 与该第三侧表面 125 对应设 置 ， 而该第二侧表面 124 与该第四侧表面 126 对应设置 。

该延伸单元 13 系 自 该第一单元 1 1 和该第二单元 12 靠 近该第二侧表面 1 14、 124 的一侧端朝外突出 ， 于本实施例 中 ， 该侧端系和该第一定位块 1 1 a该第二定位块 1 2a 突出 的端部相异 ， 该延伸单元 13 包括一上表面 131 、 一与该上 表面 131 相对之下表面 132、以及分别与该上表面 131 及该 下表面 132 连接之一第一侧表面 133 、 一第二侧表面 134 及一第三侧表面 135 ， 该第一侧表面 133 与该第三侧表面 135 对应设置 。 该延伸单元 13 的该第一侧表面 133和该第 一单元 1 1 的该第二侧表面 1 14之间形成一弧状的第一凹部 21 ； 该延伸单元 13 的该第三侧表面 135 和该第一单元 1 1 的该 第二侧表面 1 14 之间形成亦形成一弧状的 第二凹部 22 ，该第三侧表面 135和该第二单元 12的该第二侧表面 124 之间形成一弧状的第三凹部 23。

本实施例中 ，该第一单元 1 1 、该第二单元 1 2 与该延伸 单元 13 为一体成形之结构 。 本实施例 中 ， 该第二单元 12 之面积小于该第一单元 1 1 ，使该第一单元 1 1 的该第三侧表 面 1 1 5 与该第二单元 12 的该第三侧表面 125切齐成为一平 坦面 。

该第一单元 1 1 还包括一第一定位销孔 1 1 1 1 a ' 一第二 定位销孔 1 1 1 1 b 、 一第一流体流通孔 1 1 1 2a 、 一第二流体流 通孔 1112b、 一第四流体流通孔 1112c、 一第五流体流通孔 1112d、 一第六流体流通孔 1112e、 一第一螺纹孔 1113a ' 一第二螺纹孔 1113b、 一第三螺纹孔 1113c、 一第四螺纹孔 1113d ' 一第七螺纹孔 1113e、 一第八螺纹孔 1113f 、 一第 九螺纹孔 1113g、 一第十螺纹孔 1113h、 一第一下螺纹孔 1121a、 一第二下螺纹孔 1121b、 一第一螺栓孔 1114a以及 一第二螺栓孔 1114b。 该延伸单元 13 还包括一第三流体流 通孔 1312 、一第五螺纹孔 1313a以及一第六螺纹孔 1313b。 其中 ， 该第一定位销孔 1111 a 以及该第二定位销孔 1111b 均设置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ， 且 为一贯穿该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 。

该第 一流体流通孔 1112a ' 该第二流体流通孔 1112b 分别设置于该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 以及该第 三侧表面之一侧 ，该第三流体流通孔 1312 设置在该延伸单 元 13 的该上表面 131 上靠近该第二侧表面 134之一侧 ，该 第四流体流通孔 1112c则设置于该第一流体流通孔 1112a 与该第二流体流通孔 1112b之间 ，该第五流体流通孔 1112d 则设置于该第 一流体流通孔 1112 a 与该第 四流体流通孔 1112c之间 ，该第六流体流通孔 1112e则设置于该第四流体 流通孔 1112c 与该第二流体流通孔 1112b之间 ， 使得该第 一流体流通孔 1112a、 该第二流体流通孔 1112b、 该第四流 体流通孔 1112c、该第五流体流通孔 1112d、 以及该第六流 体流通孔 1112e排列在一虚拟直线上 。

于该第一流体流通孔 1112a及第五流体流通孔 1112d 之间设置有一 第 一通道 1115a 以连通该第 一流体流通孔 1112a及该第五流体流通孔 1112d ; 于该第二流体流通孔 1112b 与该第六流体流通孔 1112e之间设置有一第二通道 1115b 以连通该第二流体流通孔 1112b及该第六流体流通 孔 1112e ; 此外 ， 该第三流体流通孔 1312 与该第四流体流 通孔 1112c之间设置有一第三通道 1115c 以连通该第三流 体流通孔 1312 及该第四流体流通孔 1112c。 本态样中 ， 该 第一通道 1115a、该第二通道 1115b、以及该第三通道 1115c 彼此不连通 ， 故形成 6 埠的结构 ， 此外 ， 该第一通道 1115a 与该第二通道 1115b延伸之方向彼此平行 ， 而该第一通道 1115a 与该第三通道 1115c延伸之方向彼此垂直 。且为 了避 免流体流经该些通道时残存其中 ， 于本态样中 ， 该些通道 均经处理而具有一镜面表面 。

该第一螺纹孔 1113a、 该第二螺纹孔 1113b、 该第三螺 纹孔 1113c、 该第四螺纹孔 1113d、 该第五螺纹孔 1313a、 该第六螺纹孔 1313b、 该第七螺纹孔 1113e、 该第八螺纹孔 1113f 、 该第九螺纹孔 1113g、 该第十螺纹孔 1113h、 该第 一下螺纹孔 1121a及该第二下螺纹孔 1121b 均为具有螺纹 之盲孔 。

其中 ， 该第一螺纹孔 1113a及该第二螺纹孔 1113b设 置在该第一单元 11 之该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧 ， 且该第一螺纹孔 1113a及该第二螺纹孔 1113b 与 该上表面 111 靠近该第一侧表面 113 之一侧之间分别设置 该第一定位销孔 1111a以及该第二定位销孔 1111b。 该第三螺纹孔 1113c以及该第九螺纹孔 1113g均设置 在该上表面 111 靠近该第二侧表面 114 之一侧 ， 该第五螺 纹孔 1313a及该第六螺纹孔 1313b设置在该延伸单元 13 的 该上表面 131 上靠近该第二侧表面 134 之处 。 更具体地 ， 该第三螺纹孔 1113c设置在靠近该第一凹部 21 、 该第九螺 纹孔 1113g则是设置靠近该第二凹部 22 。 且该第三流体流 通孔 1312 设置在该 第 五螺纹孔 1313a及该 第 六螺纹孔 1313b之间 。

该第七螺纹孔 1113e以及该第八螺纹孔 1113f 设置在 该第一单元 11 靠近该第三侧表面 115 之一侧 ，使该第二流 体流通孔 1112b设置于该第七螺纹孔 1113e以及该第八螺 纹孔 1113f 之间 。

而该第四螺纹孔 1113d以及该第十螺纹孔 1113h则靠 近该第四侧表面 116 ，且设置于该第二螺纹孔 1113b以及该 第八螺纹孔 1113f 之间 ， 其中 ， 该第四螺纹孔 1113d靠近 该第二螺纹孔 1113b设置 ， 而该第十螺纹孔 1113h靠近该 第八螺纹孔 1113f 设置 。 该第一下螺纹孔 1121a及该第二 下螺纹孔 1121b设置在该下表面 112 ，且靠近该第一螺栓孔 1114a以及一第二螺栓孔 1114b。

该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b均为贯 通该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 ， 该贯孔中均设 有一 凸 出 部 ， 使该 第 一螺栓孔 1114a 以及该第 二螺栓孔 1114b之该贯孔具有不同之直怪 R1及 R2 :靠近该上表面 111 之直怪为 R1 、 而靠近该下表面 112 之直怪为 R2 ， 且 R1 大 于 R2（请参考图 1H）。 本态样中 ， 该第一螺栓孔 1114a之设 置系设置于该第一螺纹孔 1113a及该第三螺纹孔 1113c之 间 ， 该第二螺栓孔 1114b则设置于该第二螺纹孔 1113b及 该第四螺纹孔 1113d之间 。

连接件

连接件作为连接上述 2埠 、3埠及 4埠以上接头接头以 及管体之用途 ， 于本发明 中 ， 系以以下两种态样举例说明 。

请搭配 『 图 10A』 至 『 图 10C』 ， 系为本发明连接件之 第一态样 4a， 该连接件 4a具有一第一单元以及一第二单 元 。

该第一单元具有一上表面 111 、一与该上表面 111 相对 之下表面（图未示） 、 以及分别与该上表面 111 及该下表面 连接之一第一侧表面 113、 一第二侧表面 114、 一第三侧表 面 115、及一第四侧表面（图未示） ，该第一侧表面 113与该 第三侧表面 115对应设置 ， 而该第二侧表面 114与该第四 侧表面（图未示）对应设置 。

该第一单元之该上表面 111 包括一第一贯孔 1116a、一 第二贯孔 1116b ' 以及一第一流体流通孔 1112a， 其中 ， 该 第一流体流通孔 1112a设置于该第一贯孔 1116a与该第二 贯孔 1116b之间 。

本态样中 ， 该第一贯孔 1116a以及该第二贯孔 1116b 分别贯穿该上表面 111 以及该下表面（图未示） ， 而该第一 流体流通孔 1112a则是具有一位于该第二侧表面 114之开 口端 1141。 该第二单元则为一具中 空管状结构之元件 ， 包括一内 表面 127 以及一外表面 128 ，且该第二单元之一端连通该第 一流体流通孔 1112a之该开口端 1141 。

本发明连接件之第二态样 4b，如『 图 11A』至『图 11B』 所示 。 该连接件 4b 中仅包括一第一单元 ， 该第一单元具有 一上表面 111 、 一与该上表面 111 相对之下表面 112 。 于该 第一单元 11 之该上表面 111 包括一第一贯孔 1116a ' 一第 二贯孔 1116b、 以及一凹槽 1117 ， 该凹槽 1117 设置于该第 一贯孔 1116a与该第二贯孔 1116b之间 。

本态样中 ， 该第一贯孔 1116a以及该第二贯孔 1116b 分别为贯穿该上表面 111 以及该下表面 112 之贯孔 ， 而该 凹槽 1117 则具有一凸 出使该凹槽 1117 具有不 同之直怪 ： 靠近该上表面 111 之直怪大于靠近该下表面 112 之直怪 。

流体控制装置

以本发明来说 ， 该流体控制装置主要包括一基座 、 复 数个连接块以及复数个流体控制件 ，该连接块系 自 前述之 2 埠接头 、 3 埠接头 、 4 埠以上接头至少选择两者彼此邻接 。 接下来 ， 将透过具体实施例说明如何将该些接头与设备 结 合而组成本发明的流体控制装置 。惟先说明的是 ，前述之 2 璋接头 、 3 璋接头 、 4 璋以上接头 、 以及连接件彼此之间的 组合并没有特定的顺序 ， 本领域人士可依照实际需求从中 选用适当的组合 。

举例来说 ， 欲将一过滤器经由该些接头组装于本发明 之流体控制装置时 ， 可将该过滤器与 两种相 同或不 同态样 的 2 埠接头连接 、亦可选择使该过滤器与一 2 埠接头及一 3 埠接头连接 ； 另一实施例 中 ， 如欲将一 2 埠截止阀经由该 些接头组装于本发明之流体控制装置时 ， 则两接头的其中 一者可选用该 2 埠接头 、 另一者可为 2 埠接头 、 3 埠接头 、 4 埠以上接头 、 或者是连接件 ； 又一实施例中 ， 如欲将一 3 埠截止阀经由该些接头组装于本发明之流体控 制装置时 ， 则两接头的其中一者可选用该 3 埠接头 、 另一者可为 2 埠 接头 、 3 埠接头 、 4 埠以上接头 、 或者是连接件 。 或于一实 施例中 ，该 2 埠接头之第四态样 Id 系适合用在复数个接头 中的端部 ， 即该 2 埠接头之第四态样 Id的一侧与另一个接 头连接 ， 但另一侧则无 。

请参阅 『 图 12A』 至 『 图 12C』 ， 系本发明的流体控制 装置一实施例 ， 该流体控制装置包括一基座 20 、 复数个连 接块以及复数个流体控制件 ，该连接块包括一 2 埠接头 Id、 一 2 埠接头 1 c以及一 4 埠以上接头 3a，该流体控制件包括 一进气件 103 、一手动阀 104 以及一第一 2 埠截止阀 105a， 该连接块设置于该基座 20上 ，该连接块彼此迭接横向组装 ， 而该流体控制件设置于该连接块上 ， 此外 ， 该流体控制装 置还包括复数个密封板 30 ，该密封板 30 放置于该流体控制 件和该连接块之间 ， 该密封板 30 具有 复数个流体通过孔 31 、 复数个定位孔 32 以及设置于该流体通过孔 31 的垫片 33 °

该基座 20 之材质可为金属 ， 包括复数个定位槽 21 。有 关该连接块的组装 ， 请参阅 『 图 12C』 ， 并以该 2 埠接头 lc 和该 2 埠接头 Id来说明 ， 该 2 埠接头 lc 的该第二单元 12 的该第二舌部 12c设置于 2 埠接头 Id的该第二单元 12 的 该第二凹陷部 12b，使将 2 埠接头 Id的该第二单元 12 的该 第三侧表面 125 抵顶于该 2 埠接头 lc 的该第二单元 12 的 该第一侧表面 123 。该 2埠接头 Id的该第一定位销孔 1211a、 该第二定位销孔 1211b 、 该第一贯孔 1216a 、 该第二贯孔 1216b、该第五螺纹孔 1213e以及该第六螺纹孔 1213f 分别 对准该 2 埠接头 1 c的该第一定位销孔 1111a ' 该第二定位 销孔 1111b 、 该 第 一 下螺纹孔 1121a 、 该 第 二下螺纹孔 1121b、 该第一螺栓孔 1114a以及该第二螺栓孔 1114b。

其中 ， 两第一固定件 40a 系分别贯穿该第一定位销孔 1211a和该第一定位销孔 1111a之间 ，以及该第二定位销孔 1211b和该第二定位销孔 1111b之间 ， 而使该 2 埠接头 Id 和该 2 埠接头 lc彼此定位 ； 两第二固定件 40b分别从该基 座 20 的该定位槽 21 ，而穿设于该第一贯孔 1216a和该第一 下螺纹孔 1121a之间 ， 以及该第二贯孔 1216b和该第二下 螺纹孔 1121b之间 ， 使该 2 埠接头 lc和该 2 埠接头 Id和 该基座 20 彼此固定 ； 两第三固定件 40c分别贯穿该第一螺 栓孔 1114a和该第五螺纹孔 1213e之间 ， 以及该第二螺栓 孔 1114b和该第六螺纹孔 1213f 之间 ，使该 2 埠接头 lc和 该 2 埠接头 Id彼此锁固 。四个第四固定件 40d 穿过该手动 阀 104 的穿孔 、 该密封板 30 的该定位孔 32 而锁固于该 2 埠接头 lc 的该第三螺纹孔 1113c、 该第四螺纹孔 1113d以 及该 2埠接头 Id的该第三螺纹孔 1113c以及该第四螺纹孔 1113d。 于本实施例中 ， 该第一固定件 40a 系一插销 ， 而该 第二固定件 40b、该第三固定件 40c、 该第四固定件 40d 系 一螺栓 。 此外 ， 复数个第五固定件 40e 穿过该进气件 103 的穿孔而锁固于该 2埠接头 Id的该第一螺纹孔 1113a以及 该第二螺纹孔 1113b。

请续参照 『 图 13』 ，为本发明一实施例之流体控制装置 示意图 。

该流体控制装置包括一基座 20 、 一接头模组 1 、 以及 一流体控制件模组 100 。该流体控制件模组 100 包括复数个 流体控制件 ， 本实施例 中欲设置于该流体控制装置之流体 控制件 ， 由一气体进入的方向往该气体离开的方向 ， 依序 为 ：一进气件 103 、一手动阀 104 、一第一 2 埠截止阀 105a、 一第一 3 埠截止阀 106a、 一高洁净调压阀 107 、 一压力传 感器 108 、一过滤器 109 、一第二 2 埠截止阀 105b、一质量 流量控制器 110 、 一第二 3 埠截止阀 106b、 以及一第三 2 埠截止阀 105c。

参 『 图 13』 ， 该接头模组 1 包括复数个连接块 ， 该连接 块系沿一轴向排列 ， 该连接块各包括一上半部 U以及一下 半部 L，该上半部 U 包括至少一流体入口 、至少一流体出 口 、 以及至少一连通该流体入口和该流体出 口之间且朝一水平 方向延伸的连接通道 C，该下半部 L具有一凹陷部及一远离 该凹陷部并沿该轴向延伸突出 的舌部 ， 本实施例 中 ， 该连 接通道 C 系 高于该舌部的一上表面 P，且该连接通道 C和该 连接块之一底面相距一高度 ， 相邻的该连接块系透过该舌 部容设于该凹陷部内 而彼此连接 。 该上半部 U具有一纵向 贯穿的上固定孔 ， 该下半部 L具有一纵向贯穿该舌部且和 该上固定孔对应的下固定孔 ， 相邻的该连接块透过至少一 固定件穿设于该上固定孔以及该下固定孔而彼 此固定 ， 例 如 『 图 1 2C』 中 ，该第三固定件 40c 分别贯穿该第一螺栓孔 1 1 1 4a和该第五螺纹孔 1 21 3e之间 。于本实施例中 ，该流体 入口 、 该流体出 口 以及该连接通道 C 系形成一贯设于单一 该连接块内的 U形通道 。

或者 ， 该接头模组 1 包括复数个连接块 ， 该连接块系 沿一轴向排列 ， 该连接块各包括至少一流体入口 、 至少一 流体出 口 、 以及至少一连通该流体入口和该流体出 口之间 且朝一水平方向延伸而和该连接块之一底面相 距一高度的 连接通道 ， 其中 ， 该连接块的一端形成一突出的第一舌部 ， 另一端形成一凹陷部 ， 相邻的该连接块系透过该第一舌部 容设于该凹陷部内 而彼此连接 ， 于本实施例 中 ， 该舌部的 突出 方向平行于该轴向 。 该第一舌部具有一纵向贯穿的第 一固定孔 ，该连接块的该另一端还形成一突出的第二舌 部 ， 且该第二舌部具有一纵向贯穿的第二固定孔 ， 相邻的该连 接块系透过一固定件穿设于该第一固定孔以及 该第二固定 孔而彼此固定 。 于本实施例 中 ， 该流体入口 、 该流体出 口 以及该连接通道 C 系形成一贯设于单一该连接块内的 U形 通道 。该流体控制件设置于该基座 20和该接头模组 1 上方 ， 该流体控制件具有一出 口 0 以及一入口 I ，该出 口 0 以及该 入口 I 分别连接至该连接块的该流体入口 以及相邻的该连 接块的该流体出 口 。

有关该固定孔 、 该固定件 、 该流体入口 、 该流体出 口 、 该凹陷部以及该舌部等结构特征 ，请参 『 图 1 A』 至 『图 9F』 所示 。

该接头模组 1 使该流体控制件得以 紧 固于该基座 20 上 ， 其包括复数个接头 。『 图 1 2』 所使用 的接头 ， 由一气体 进入的方向往该气体离开的方向 ，依序为 ：该 2 埠接头 I d 、 该 2 埠接头 l c 、 该 4 埠以上接头 3a 、 该 2 埠接头 I d 、 该 2 埠接头 1 d 、 该 2 埠接头 1 d 、 该 2 埠接头 1 d 、 该 2 埠接头 1 a 、 该 2 埠接头 1 a 、 该 4埠以上接头 3a 、 以及该 4 埠以上 接头 3b ， 于本发明 中 ， 该些接头透过其第一单元与相邻接 头之第二单元而彼此迭合 ， 达到简单组装及拆卸的 目 的 。 除此之外 ， 气体能够在该些接头及流体控制件之间流动 ， 从而降低气体外泄之风险 。

以上已将本发明做一详细说明 ， 惟以上所述者 ， 仅为 本发明的一较佳实施例而 已 ， 当不能限定本发明实施的范 围 。 即凡依本发明 申请范围所作的均等变化与修饰等 ， 皆 应仍属本发明的专利涵盖范围 内 。

【图式简单说明】 指定代表图为 ： 图 1 3 。

『 图 1 A』 ， 为本发明 2 埠接头之第一态样之立体图 。

『 图 1 B』 ， 为本发明 2 埠接头之第一态样之左侧视图 。

『 图 1 C』 ， 为本发明 2 埠接头之第一态样之仰视图 。

『 图 1 D』 ， 为本发明 2 埠接头之第一态样之俯视图 。

『 图 1 E』 ， 为 『 图 1 A』 之 A-A剖视图 。 『 图 I F』 ， 为 『 图 1 A』 之 B-B剖视图 。

『 图 2』 ， 为本发明 2 埠接头之第二态样之立体图 。

『 图 3A』 ， 为本发明 2 埠接头之第三态样之立体图 。 『 图 3B』 ， 为本发明 2 埠接头之第三态样之左侧视图 。 『 图 3C』 ， 为本发明 2 埠接头之第三态样之仰视图 。

『 图 3D』 ， 为本发明 2 埠接头之第三态样之俯视图 。 『 图 3E』 ， 为 『 图 3A』 之 C-C剖视图 。

『 图 4』 ， 为本发明 2 埠接头之第四态样之立体图 。

『 图 5A』 ， 为本发明 3 埠接头之第一态样之立体图 。 『 图 5B』 ，为本发明 3 埠接头之第一态样之另一视角立 体图 。

『 图 5C』 ， 本发明 3 埠接头之第一态样之左侧视图 。 『 图 5 D 』 ， 为本发明 3 埠接头之第一态样之仰视图 。 『 图 5E』 ， 为本发明 3 埠接头之第一态样之俯视图 。 『 图 5F』 ， 为 『 图 5A』 之 D-D剖视图 。

『 图 5G』 ， 为 『 图 5A』 之 E-E剖视图 。

『 图 6』 ， 为本发明 3 埠接头之第二态样之立体图 。

『 图 7A』 ， 为本发明 4 埠以上接头之第一态样之立体 图 。

『 图 7B』 ， 为 『 图 7A』 之 F-F 剖视图 。

『 图 7C』 ， 为 『 图 7A』 之 G-G剖视图 。

『 图 8』 ，为本发明 4埠以上接头之第二态样之立体图 。 『 图 9A』 ， 为本发明 4 埠以上接头之第三态样之立体 图 。 『 图 9B』 ，为本发明 4埠以上接头之第三态样之左侧视 图 。

『 图 9C』 ， 为本发明 4 埠以上接头之第三态样之仰视 图 。

『 图 9D』 ， 为本发明 4 埠以上接头之第三态样之俯视 图 。

『 图 9E』 ， 为 『 图 9A』 之 H-H剖视图 。

『 图 9F』 ， 为 『 图 9A』 之 I - 1 剖视图 。

『 图 10A』 ， 为本发明连接件之第一态样之立体图 。 『 图 10B』 ， 为 『 图 10A』 之 J-J剖面图 。

『 图 10C』 ， 为 『 图 10A』 之 K-K剖面图 。

『 图 11A』 ， 为本发明连接件之第二态样之立体图 。

『 图 11B』 ， 为 『 图 11A』 之 L-L剖面图 。

『 图 12 A』 ， 为本发明一实施例之流体控制装置之立体 图 。

『 图 12B』 ， 为本发明一实施例之流体控制装置另一视 角之立体图 。

『 图 12C』 ， 为本发明一实施例之流体控制装置之分解 图 。

『 图 13』 ， 为本发明另 一实施例之流体控制装置示意 图 。