Poröse, amorphe Si02-Formkörper werden auf vielen technischen Gebieten benutzt. Als Beispiele seien Filtermaterialien, Wär- medämmmaterialien oder Hitzeschilder genannt.

Ferner können aus amorphen, porösen Si02-Formkörpern mittels Sinterung und/oder Schmelzen Quarzgüter aller Art hergestellt werden. Hochreine poröse SiO2-Formkörper können dabei z. B. als"preform"für Glasfasern oder Lichtleitfasern dienen.

Darüber hinaus können auf diesem Wege auch Tiegel für das Ziehen von Siliziumeinkristallen hergestellt werden.

Unabhängig von der Verwendung der porösen Formkörper ist man immer bestrebt, einen möglichst stabilen und endkonturnahen Formkörper herzustellen. Beides wird am einfachsten dadurch gewährleistet, wenn der poröse Formkörper einen möglichst ho- hen Füllgrad aufweist. Dadurch tritt im Laufe der Herstellung des Formkörpers nur sehr wenig bis überhaupt kein Schrumpf auf.

Sollen die porösen Si02-Formkörper einer anschließenden Wärme- behandlung, z. B. Sinterung unterzogen werden, um nichtporöse Si02-Formkörper zu erhalten, so ist eine möglichst hohe Dichte der Grünkörper mit möglichst kleinen Poren und möglichst en- ger Porenradienverteilung besonders wünschenswert, weil da- durch ein möglichst endmaß-und endkonturnaher nichtporöser Formkörper gefertigt werden kann. Ferner kann dadurch die notwendige Sintertemperatur erniedrigt werden.

Um bei einer Sinterung eine möglichst hohe Formstabilität zu gewährleisten, oder um nur eine partielle Sinterung eines Formkörpers zu erreichen, ist ferner ein gezielt einstellba-

rer Dichtegradient innerhalb eines porösen Formkörpers von Vorteil. Dadurch können bestimmte Bereiche bei niedrigerer Temperatur bereits gesintert werden (Korngrenzenverschmel- zung), während andere Bereiche noch Formstabilität aufweisen bzw. ungesintert sind. Ferner kann sich die durch einen ge- zielt eingestellten Dichtegradienten innerhalb eines porösen Formkörpers ergebende gerichtet voranschreitende Sinterfront vorteilhaft auf die Wärmeleiteigenschaften des Formkörpers auswirken. Dies führt dazu, daß während des Sinterverlaufes keine Poren und/oder Gasblasen im gesinterten Werkstoff ein- geschlossen werden. Dadurch läßt sich quasi ein stationäres in situ Zonensintern durchführen.

Aus DE 19943103 sind Dispersionen und Formkörper sowie deren Herstellung bekannt, die mehr als 80 Gew. % Füllgrad aufweisen und amorphe Si02-Partikel mit bimodaler Korngrößenverteilung enthalten. Dieses Verfahren eignet sich zwar zur Herstellung von sehr hohen Füllgraden, jedoch können damit keine geziel- ten Dichtegradienten innerhalb eines Formkörpers realisiert werden.

Ein nasschemisches Verfahren zur Formgebung von porösen SiO2- Formkörpern ist die elektrophoretische Abscheidung von Parti- keln wie z. B. in EP 200242 beschrieben. Unter der elektrophoretischen Abscheidung versteht man die Bewegung und Koagulation von elektrisch oberflächengeladenen Teilchen in einer Suspension unter einem anliegenden, statischen elektri- schen Feld. Die Abscheidung der Partikel findet dabei an ei- ner der beiden Elektroden statt. Zur Vermeidung von prozess- inhärenten Problemen bei der Abscheidung von amorphen Si02- Partikeln aus wässrigen Suspensionen, wie der Bildung von Blasen, kann die elektrophoretische Abscheidung auch durch Verwendung ionenpermeabler Membranen modifiziert werden, wie in EP 446999 beschrieben. Die Abscheidung und Formgebung des Grünkörpers findet dann an der für kolloidale Partikel un- durchlässigen Membran statt. Die bei diesen Verfahren er- reichen Feststoffgehalte der Grünkörper liegt bei bis zu 60 Gew. %.

Die elektrophoretische Abscheidung findet zur Beschichtung von elektrischen Bauteilen mit polymeren Filmen seit Jahren breite Anwendung. Im Bereich der keramischen Werkstoffe exis- tieren nur wenige Applikationen, die ebenfalls hauptsächlich auf die Beschichtung von elektrischen leitfähigen Oberflächen abzielen.

Aus US 6066364 ist ein elektrophoretisches Abscheideverfahren bekannt, mit dem dichte und fest anhaftende Schichten auf ei- ner Substratoberfläche hergestellt werden können. Dabei wer- den die Poren an der Substratoberfläche verschlossen und auf die dichte Randschicht zusätzliche Schichten abgeschieden.

In US 6012304 ist eine elektrophoretische Abscheidung von Si02-Pulver aus Wasser zur Herstellung von Formen aus Kiesel- glas beschrieben. Dabei werden Partikel mit einem Partikel- durchmesser im Bereich von 2-5 um verwendet, um eine hohe Po- rosität innerhalb des abgeschiedenen Formkörpers zu gewähr- leisten. Sind die abgeschiedenen Schichten hoch porös, so liegt mittels des Wassers in den Poren immer eine elektrische Leitfähigkeit vor, so daß das elektrische Feld nicht zusam- menbricht und man insgesamt dicke Schichten abscheiden kann.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es, ein einfa- ches, schnelles und billiges Verfahren bereit zu stellen, mit dem poröse Si02-Grünkörper mit extrem hoher Gründichte oder poröse SiO2-Grünkörper mit einem gezielt eingestellten Dichte- gradienten innerhalb des Grünkörpers hergestellt werden kön- nen.

Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß ein an sich bekannter poröser Grün- körper aus amorphem Si02 mittels einer elektrophoretischen Ab- scheidung von Si02 Partikeln in den Poren des Grünkörpers nachverdichtet wird.

Als poröser Grünkörper aus amorphem Si02 kann prinzipiell je- der aus dem Stand der Technik bekannter Grünkörper verwendet

werden. Bevorzugt wird ein Grünkörper verwendet, der nach dem in DE 19943103 beschriebenen Verfahren hergestellt wurde.

Zur elektrophoretischen Abscheidung der Si02-Partikel inner- halb der Poren eines porösen Si02-Grünkörpers wird der zu ver- dichtende Grünkörper zwischen 2 Elektroden gebracht. Der Raum zwischen Anode und Grünkörper wird mit einer Dispersion be- füllt, die die SiO2-Partikel, die in den Poren des Grünkörpers abgeschieden werden sollen und ein Dispersiosmittel enthält.

Zusätzlich kann der Grünkörper bereits vor dem Einbringen zwischen die 2 Elektroden mit dieser Dispersion getränkt wer- den.

Es werden bevorzugt massive oder netzförmige Elektroden aus einem elektrisch leitfähigen und chemisch beständigen Materi- al, das bei Anlegen eines elektrischen Feldes nicht in Lösung geht, benutzt.

Als Elektrodenmaterial besonders bevorzugt sind elektrisch leitfähige Kunststoffe, Graphit oder Edelmetalle. Ganz beson- ders bevorzugt ist Platin. Darüber hinaus können die Elektro- den aber auch aus Legierungen bestehen und/oder mit den oben genannten Stoffen beschichtet sein. Dadurch wird eine Konta- mination des verdichteten Grünkörpers durch Fremdionen ver- hindert.

In der Dispersion werden als Dispersionsmittel polare oder unpolare organische Lösungsmittel, wie z. B. Alkohole, Ether, Ester, organische Säuren, gesättigte oder ungesättigte Koh- lenwasserstoffe, oder Wasser oder deren Mischungen einge- setzt.

Vorzugsweise handelt es sich bei dem Dispersionsmittel um ei- nen Alkohol wie Methanol, Ethanol, Propanol, oder um Azeton oder um Wasser oder um deren Mischung. Besonders bevorzugt handelt es sich um Azeton oder um Wasser oder um deren Mi- schungen vor, ganz besonders bevorzugt handelt es sich um Wasser.

Besonders bevorzugt werden die Dispersionsmittel in hochrei- ner Form verwendet, wie sie z. B. nach literaturbekannten Ver- fahren erhalten werden können oder käuflich erhältlich sind.

Bei der Verwendung von Wasser wird vorzugsweise speziell ge- reinigtes Wasser verwendet, das einen Widerstand von 18 MQ cm aufweist.

Als zu dispergierende Si02-Partikel werden vorzugsweise amor- phe Si02-Partikel verwendet.

Die spezifische Dichte der Si02-Partikel liegt bevorzugt zwi- schen 1,0 und 2,2 g/cm3. Besonders bevorzugt haben die Parti- kel eine spezifische Dichte zwischen 1,8 und 2,2 g/cm3. Insbe- sondere bevorzugt haben die Partikel eine spezifische Dichte zwischen 2,0 und 2,2 g/cm3.

Die amorphen Si02-Partikel wie z. B. Fused oder Fumed Silica weisen vorzugsweise eine Korngröße auf, die maximal so groß wie die mittlere Porengröße der Grünkörper ist. Bevorzugt sind Partikel mit einer mittleren Korngröße zwischen 50 nm und 10 um. Besonders bevorzugt sind Partikel mit einer mitt- leren Korngröße, die mindestens den Faktor 10 bevorzugt min- destens den Faktor 100 kleiner ist, als die mittlere Poren- größe des Grünkörpers.

Bei einer solchen mittleren Korngröße lassen sich Poren von 100 nm bis 10 um, wie sie typischerweise bei der nasschemi- schen Herstellung von Grünkörpern aus amorphem Si02 (wie in DE 19943103 beschrieben) entstehen, penetrieren und verschlie- ßen.

Die amorphen Si02-Partikel weisen vorzugsweise eine BET- Oberfläche von 0,001 m2/g-400 m2/g, besonders bevorzugt von 10 m2/g-380 m2/g, und ganz besonders bevorzugt von 50 m2/g- 380 m2/g auf.

Die amorphen Si02-Partikel weisen vorzugsweise einen kristal-

linen Anteil von höchstens 1 % auf. Vorzugsweise zeigen sie ferner eine möglichst geringe Wechselwirkung mit dem Disper- sionsmittel.

Diese Eigenschaften haben bevorzugt amorphe hochdisperse Kie- selsäuren (Fumed Silica, hergestellt über Flammenpyrolyse).

Sie sind käuflich erhältlich, z. B. unter der Bezeichnung HDK (Wacker-Chemie), Cabo-Sil (Cabot Corp.) oder Aerosil (Degus- sa).

Wenn obige Kriterien erfüllt werden, können auch Partikel an- derer Herkunft verwendet werden, wie z. B. Naturquarz, Quarz- glassand, glasige Kieselsäure, zermahlene Quarzgläser bzw. gemahlener Quarzglasabfall, nachgesinterte Kieselsäure (Fused Silica) sowie jede Art von amorphem gesinterten oder kompak- tiertem Si02, sowie chemisch hergestelltes Kieselglas, wie z. B. gefällte Kieselsäure, Xerogele, oder Aerogele.

Selbstverständlich können auch Mischungen unterschiedlicher Si02-Partikel dispergiert werden.

In einer besonderen Ausführungsform des Verfahrens liegen die SiO2-Partikel in hochreiner Form vor, d. h. mit einem Fremd- atomanteil insbesondere an Metallen von zu 300 ppmw (parts per million per weight), bevorzugt < 100 ppmw, besonders bevor- zugt < 10 ppmw und ganz besonders bevorzugt < 1 ppmw.

Die Si02-Partikel werden in dem Dispersionsmittel in an sich bekannter Art uns Weise dispergiert. Dazu können alle dem Fachmann bekannten Methoden verwendet werden. Es können be- liebige Füllgrade eingestellt werden. Bevorzugt werden jedoch Füllgrade von 5 bis 60 Gew. % SiO2-Partikel, besonders bevor- zugt Füllgrade zwischen 5 und 30 Gew. % Si02-Partikel einge- stellt.

Auf Grund der geringen Füllgrade lassen sich die Si02-Parti- kel besser dispergieren und eine eventuell auftretende Thi- xotropie spielt keine nennenswerte Rolle.

Die Viskosität der Dispersion liegt bevorzugt zwischen 1 und 1000 mPa s, besonders bevorzugt zwischen 1 und 100 mPa s.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch dahingehend variiert werden, daß unterschiedliche Dispersionen nacheinander einge- setzt werden.

Die Dispersion kann zusätzlich Metallpartikel, Metallverbin- dungen oder Metallsalze enthalten. Diese vermitteln den je- weiligen Grünkörpern die dem erfindungsgemäßen Verfahren aus- gesetzt werden zusätzliche Eigenschaften. Die Metallpartikel, Metallverbindungen oder Metallsalze können während und/oder nach der Herstellung der Dispersion zugesetzt werden.

Dem Dispersionsmittel können auch mineralische Basen zuge- setzt werden. Bevorzugt sind leicht flüchtige Substanzen, wie z. B. Ammoniumverbindungen, besonders bevorzugt NH3, Tetra- methylammoniumhydroxid (TMAH) oder NaOH, oder auch deren Mi- schungen.

Bevorzugt wird im Dispersionsmittel ein pH-Wert zwischen 7 und 12, besonders bevorzugt zwischen 9 und 12 eingestellt.

Bevorzugt wird im Dispersionsmittel ein Zeta-Potential zwi- schen-10 und-70 mV, bevorzugt zwischen-30 und-70 mV ein- gestellt. Dadurch kommt es zu einer Stabilisierung der Teil- chen innerhalb der Dispersion, wodurch die Dispersion flüssi- ger und leichter verarbeitbar ist. Darüber hinaus erhöht sich die Triebkraft auf die Teilchen bei der elektrophoretischen Abscheidung.

Alternativ kann auch gänzlich auf die Zugabe von Zusätzen zu Wasser verzichtetet werden, um den Grad der Verunreinigung durch Zusatzstoffe zu minimieren.

Für die elektrophoretische Abscheidung wird zwischen den E- lektroden eine elektrische Gleichspannungen von 5 bis 100 V bzw. eine elektrische Feldstärke von 0,1 bis 20 V/cm ange- legt. Dadurch werden die dispergierten Si02-Partikel mit un- terschiedlichen Geschwindigkeiten in die Poren des porösen Grünkörpers transportiert und dort abgeschieden.

Die Abscheidedauer beträgt in der Regel zwischen 5 Sekunden und 30 Minuten, je nach gewünschter Eindringtiefe und/oder Wandstärke und/oder Porengrößen des Grünkörpers.

Die elektrophoretische Nachverdichtung eines Grünkörpers ver- läuft vorzugsweise mit einer Abscheiderate zwischen 0,01- 0,1 g/min cm.

Das erfindungsgemäße Verfahren führt durch die Ablagerung der SiO2-Partikel in den Poren des Grünkörpers zu einer Verdich- tung des Grünkörpers. Abhängig von den Prozessparametern, wie z. B. elektrisches Feld, Füllgrad der Dispersion, Teil- chendurchmesser, Zetapotential u. a., sowie den Eigenschaften des Grünkörpers, wie Porenradienverteilung und Gründichte, variieren die imprägnierte bzw. nachverdichtete Tiefe und der Anstieg der Gründichte.

Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens können sowohl plana- re Geometrien als auch Hohlkörper, vorzugsweise zylindersym- metrische Geometrien, insbesondere tiegelförmige Grünkörper, elektrophoretisch imprägniert werden.

Zusätzlich können zur Stabilisierung der Abscheidebedingun- gen, insbesondere der Strömungsverhälnisse, zur Unterstützung der zu imprägnierenden Geometrien sowie zur erleichterten Entformung verschiedene Folien zwischen Grünkörper und Elekt- rode eingesetzt werden, insbesondere auch solche, die für Io- nen durchlässig sind, nicht aber für kolloidale Si02-Partikel.

Darüber hinaus kann bei hohen Abscheideraten, um die e- lektrophoretische Abscheidung einer Schicht auf der Oberflä-

che des zu imprägnierenden Grünkörpers zu verhindern, das an- gelegte elektrische Feld kurzzeitig umgepolt werden. Vorzugs- weise wird das angelegte elektrische Feld im Laufe des Ver- fahrens mehrfach Kurzzeitig umgepolt. Die Umpolung erfolgt dabei vorzugsweise für bis zu einem Drittel der Abscheidezeit seit der letzten Umpolung. Durch die kurzzeitige Umpolung kann eine auf der Oberfläche des Grünkörpers gebildete Schicht wieder entfernt werden, während gleichzeitig die in den Porenkanälen des Grünkörpers abgeschiedenen Teilchen auf Grund von Kapillarkräften im Innern verbleiben.

Bevorzugt lassen sich SiO2-Grünkörper mit Poren eines mittle- ren Durchmessers zwischen 50 nm und 10 um vollständig oder teilweise nachverdichten. Die imprägnierte Tiefe liegt im er- findungsgemäß hergestellten Si02-Grünkörper zwischen 1 um und 10 mm bei einem gleichzeitigen Anstieg der Gründichte in den verdichteten Bereichen von bis zu 30 % im Vergleich zum un- verdichteten Ausgangsgrünkörper.

Die vorliegenden Erfindung betrifft daher auch poröse Si02- Formkörper mit extrem hoher Gründichte. Unter extrem hoher Gründichte sind Formkörper mit einer Gründichte größer 95%, bevorzugt größer 97% besonders bevorzugt größer 99% zu ver- stehen.

Die mittels elektrophoretischer Abscheidung herstellbaren SiO2-Grünkörper sind dadurch gekennzeichnet, dass sie im elektrophoretisch nachverdichteten Bereich zu mindestens 75 Vol. %, bevorzugt zu mindestens 80 Vol. % aus Si02-Partikeln bestehen. Falls der Grünkörper eine Restporosität aufweist, so ist im elektrophoretisch nachverdichteten Bereich ein Po- renvolumen (bestimmt mittels Quecksilberporosimetrie) von 1 ml/g bis 0,01 ml/g, vorzugsweise 0,8 ml/g bis 0,1 ml/g und besonders bevorzugt von 0,2 ml/g bis 0,1 ml/g aufweisen, so- wie Poren mit einem Porendurchmesser von 5 nm bis 200 um, vorzugsweise 5 nm bis 50 nm aufweisen.

Die Dichte im elektrophoretisch nachverdichteten Bereich des erfindungsgemäßen Grünkörpers liegt vorzugsweise zwischen 1,7 g/cm3 und 2,0 g/cm3.

Insgesamt lassen sich also sowohl Dichte-als auch Poren-als auch Porenvolumengradienten innerhalb eines SiO2-Grünkörpers mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens erzeugen (siehe Fig. 1).

In einer Ausführungsform ist ein erfindungsgemäßer Grünkörper mit gegebener Wandstärke auf der einen Seite der Wand nach- verdichtet, während er auf der anderen Seite der Wand gar nicht oder nur wenig nachverdichtet ist.

In einer weiteren Ausführungsform ist ein erfindungsgemäßer Grünkörper mit gegebener Wandstärke auf beiden Wandseiten nachverdichtet und nur in der Mitte wenig bis nicht nachver- dichtet. Ein solcher Grünkörper weist in der Wand eine Sand- wichstruktur auf. Ein solcher Grünkörper läßt sich dadurch herstellen, daß das erfindungsgemäße Verfahren zweimal durch- geführt wird, wobei die elektrophoretische Nachverdichtung nacheinander für beide Seiten der Wand durchgeführt wird.

Ein erfindungsgemäßer Grünkörper kann aufgrund seiner beson- deren Eigenschaften vielfältig verwendet werden, z. B. als Filtermaterialien, Wärmedämmmaterialien, Hitzeschilder, Kata- lysatorträgermaterialien sowie als"preform"für Glasfasern, Lichtleitfasern, optischen Gläsern oder Quarzgüter aller Art.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind die po- rösen Grünkörper mit unterschiedlichsten Molekülen, Stoffen und Substanzen ganz oder teilweise versetzt. Bevorzugt sind Moleküle, Stoffe und Substanzen, die katalytisch aktiv sind.

Dabei können alle dem Fachmann bekannten Methoden angewendet werden, wie sie z. B. in US 5655046 beschrieben sind.

Die erfindungsgemäßen Grünkörper können einer Sinterung un- terzogen werden. Dabei können alle dem Fachmann bekannten Me-

thoden, wie z. B. Vakuumsintern, Zonensintern, Sintern im Lichtbogen, Sintern mittels Plasma oder Laser, induktives Sintern oder Sintern in einer Gasatmosphäre bzw. Gasstrom verwendet werden. Bevorzugt ist eine Sinterung im Vakuum oder einem Gasstrom. Besonders bevorzugt ist eine Sinterung im Va- kuum mit Drücken zwischen 10-5 mbar und 10-3 mbar. Vorteilhaft- erweise zeigen erfindungsgemäße porenfreie Grünkörper keine Sinterschwindung.

Die zur Sinterung notwendigen Temperaturen liegen zwischen 1300°C und 1700°C, bevorzugt zwischen 1400°C und 1600°C.

Der Grünkörper kann dabei wie im Stand der Technik bekannt, frei stehend, liegend oder hängend sowie mit jeder dem Fach- mann bekannten Methode abgestützt gesintert werden. Ferner ist auch eine Sinterung in einer sinterstabilen Form möglich.

Bevorzugt sind hierbei Formen aus Materialien, die nicht zu einer nachträglichen Verunreinigung des Sintergutes führen.

Besonders bevorzugt sind Formen aus Graphit und/oder Silici- umcarbid und/oder Siliciumnitrid. Handelt es sich bei den zu sinternden Grünkörpern um Tiegel, so ist auch eine Sinterung auf einem Dorn, bestehend z. B. aus Graphit möglich, wie z. B. in der DE 2218766 beschrieben.

Ferner können die Grünkörper, wie im Stand der Technik be- kannt, auch in einer speziellen Atmosphäre wie z. B. He, SiF4 gesintert werden, um eine Nachreinigung und/oder eine Anrei- cherung bestimmter Atome und Moleküle im Sintergut zu errei- chen. Dabei können alle dem Fachmann bekannten Methoden, wie z. B. in US 4979971 beschrieben, verwendet werden. Ferner kön- nen zur Nachreinigung auch Methoden verwendet werden, wie sie z. B. in EP 199787 beschrieben sind.

Bevorzugte Substanzen zur Nachreinigung sind dabei solche, die mit den Verunreinigungen leicht flüchtige Verbindungen, wie z. B. Metallhalogenide bilden. Bevorzugte Substanzen sind reaktive Gase, wie z. B. C12 oder HC1, sowie leicht zersetzbare Stoffe wie z. B. Thionylchlorid. Besonders bevorzugt ist der

Einsatz von Thionylchlorid oberhalb der Zersetzungstempera- tur.

Auf diese Weise läßt sich ein 100% amorpher (kein Cristoba- lit), transparenter, gasundurchlässiger gesinterter Kiesel- glasformkörper mit einer Dichte von mindestes 2,15 g/cm3, vorzugsweise 2,2 g/cm3 herstellen.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren bei dem ein er- findungsgemäß nachverdichteter Grünkörper einer Sinterung un- terzogen werden, dadurch gekennzeichnet, das die Sintertempe- ratur so gewählt wird, daß aufgrund unterschiedlicher Parti- kelgrößenverteilung und Dichteunterschieden einige Bereiche der Grünkörper bereits vollständig dicht sintern, während an- dere Bereiche noch eine Porosität aufweisen.

Durch dieses Verfahren wird ein Kieselglasformkörper bereit- gestellt, der sowohl offenporige als auch geschlossenporig dichtgesinterte Bereiche aufweist.

Durch die nachträgliche Verdichtung eines Bereiches der Grün- körpers mittels kleinerer Partikel verringert sich im impräg- nierten Bereich die Porosität, d. h. die Größe der Poren nimmt ab. Kleinere und dichter gepackte Partikel sintern bei niedrigeren Temperaturen und weisen eine höhere Sinteraktivi- tät auf. Dadurch beginnt die Sinterung im nachverdichteten Bereich bereits bei niedrigeren Temperaturen verglichen zu anderen Bereichen des ursprünglichen Grünkörpers.

Darüber hinaus wird durch dieses Verfahren der Einschluß von Poren beim Sintern verhindert. Entsprechend einem Zonensin- tern, wie z. B. in"Preparation of high-purity silica glasses by sintering of colloidal paticles", Glastech. Ber. 60 (1987) 125-132, beschrieben, werden die Poren in Richtung der fort- schreitenden Sinterung, d. h. von der verdichteten zur unver- dichteten Region'hin, aus dem Grünkörper hinausgetrieben, d. h. es findet bei einer isotropen Temperaturverteilung im Sintergut ein in situ Zonensintern statt.

Zur Sinterung können alle dem Fachmann bekannten Methoden, wie z. B. Vakuumsintern, Zonensintern, Sintern im Lichtbogen, Sintern mittels Plasma oder Laser, induktives Sintern oder Sintern in einer Gasatmosphäre bzw. Gasstrom verwendet wer- den. Bevorzugt ist eine Sinterung im Vakuum oder einem Gas- strom., Besonders bevorzugt ist eine Sinterung im Vakuum mit Drücken zwischen 10-5 mbar und 10-3 mbar.

Die zur Sinterung notwendigen Temperaturen liegen zwischen 1300°C und 1600°C, bevorzugt zwischen 1300°C und 1500°C. Das Sinterverhalten ist dabei abhängig von der Tiefe des elektrophoretisch nachverdichteten Bereiches, seiner Dichte sowie den eingebrachten Partikelgrößen.

Der Grünkörper kann wie im Stand der Technik bekannt und be- reits in der Anmeldung beschreiben gesintert und ggf. nachge- reinigt werden.

Auf diese Weise läßt sich ein 100% amorpher (kein Cristoba- lit), gesinterter Kieselglasformkörper mit einem Dichtegra- dienten herstellen.

In einer Ausführungsform ist der 100% amorphe gesinterte Kie- selglasformkörper teilweise dichtgesintert (transparent, gasundurchlässig), und teilweise porenhaltig.

In einer anderen Ausführungsform besitzt der 100% amorphe ge- sinterte Kieselglasformkörper eine Wandung mit einer Sand- wichstruktur, d. h. der im Querschnitt mittlere Bereich der Wand weist eine hohe Porosität auf und die im Querschnitt äußeren Bereiche der Wand sind dichtgesintert und weisen kei- ne Porosität auf. Ein solcher Formkörper läßt sich durch die Sinterung eines Grünkörpers der beidseitig nachverdichtet wurde erhalten.

In einer besonderen Ausführungsform weist der gesinterte Kie- selglasformkörper keine Gaseinschlüsse und eine OH-Gruppen- Konzentration von <1 ppm auf.

In einer besonderen Ausführungsform, bei der in allen Schrit- ten mit hochreinen Materialien gearbeitet wird, weist der ge- sinterte Formkörper einen Fremdatomanteil insbesondere an Me- tallen von : 300 ppmw, bevorzugt <100 ppmw, besonders bevor- zugt <10 ppmw und ganz besonders bevorzugt < 1 ppmw auf.

Ein so hergestellter Kieselglasformkörper eignet sich prinzi- piell für alle Anwendungen, in denen Kieselglas verwendet wird. Bevorzugte Anwendungsfelder sind Quarzgüter aller Art, Glasfasern, Lichtleitfasern und optische Gläser.

Ein besonders bevorzugtes Anwendungsgebiet sind hochreine Kieselglastiegel für das Ziehen von Siliziumeinkristallen.

Ein derartiger Kieselglastiegel weist eine innenseitige gasundurchlässige Verglasung und eine außenseitige Porosität auf, was bezüglich der Wärmeleiteigenschaften eine einge- schränkt Infrarotrückstrahlung bewirkt.

Die Poren auf der Außenseite sind dabei vorzugsweise im Mittel nicht größer als 30 um, besonders bevorzugt nicht grö- ßer als 10 m.

In einer anderen Ausführungsform weist ein derartiger Kiesel- glastiegel eine innenseitige, gasundurchlässige Verglasung und eine außenseitige, gasundurchlässige Verglasung auf.

Die gesinterten Kieselglaskörper können mit Molekülen, Stof- fen und Substanzen versetzt sein, die den jeweiligen Formkör- pern zusätzliche Eigenschaften vermitteln.

Zum Beispiel verändert eine Beimischung von Siliciumpartikeln und/oder Aluminiumoxid und/oder Titanoxid wie in US 4033780 und US 4047966 beschrieben, die optischen Eigenschaften der

gesinterten Formkörper durch Reduzierung der SiOH Gruppen so- wie des Wassergehaltes. Ferner wird durch die Siliciumparti- kel der Sauerstoffgehalt im gesinterten Formkörper reduziert.

Darüber hinaus kann die Formstabilität während der Sinterung bzw. bei thermischer Belastung des gesinterten Formkörpers erhöht bzw. beeinflußt werden.

Die im erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzte Dispersion und/oder der poröse Grünkörper können ganz oder teilweise mit Verbindungen versetzt werden, die eine Cristobalitbildung fördern oder bewirken. Dabei können alle dem Fachmann bekann- ten Verbindungen verwendet werden, die eine Cristobalitbil- dung fördern und/oder bewirken, wie z. B. in EP 0753605 US 5053359 oder GB 1428788 beschrieben. Bevorzugt sind hier- bei BaOH und/oder Aluminumverbindungen.

Ferner kann, wie in US 4018615 beschrieben, eine Cristobalit- bildung ganz oder teilweise erreicht werden, wenn kristalline SiO2 Partikel der Dispersion und/oder dem porösen Grünkörper zugesetzt werden. Die kristallinen Partikel sollten dabei die Partikelgrößen aufweisen, wie sie für die amorphen Si02- Partikel beschrieben wurden.

Nach dem Sintern eines solchen Grünkörpers erhält man Form- körper, die eine Cristobalitschicht innen und/oder außen be- sitzen oder ganz aus Cristobalit bestehen. Handelt es sich bei den gesinterten Formkörpern insbesondere um Tiegel zum Kristallziehen von Si-Einkristallen, eignen sich diese beson- ders zum Kristallziehen, da sie temperaturstabiler sind und z. B. eine Siliziumschmelze weniger stark verunreinigen. Da- durch kann eine höhere Ausbeute beim Kristallziehen erreicht werden.

Eine Reduzierung der Migration von Verunreinigungen während des Einkristallziehens kann auch durch die Anwesenheit von Aluminium oder Aluminium enthaltenden Stoffen im Ziehtiegel, wie in DE 19710672 beschrieben, erreicht werden. Dies kann

durch Zugabe von entsprechenden Partikeln oder gelösten Sub- stanzen zu der Dispersion und/oder dem porösen Grünkörper er- reicht werden.

Die folgenden Beispiele und Vergleichsbeispiele dienen der weiteren Erläuterung der Erfindung.

Beispiel 1 : a) Herstellung von Grünkörpern nach DE 19943103.

In einem 600 ml Kunststoffbecher wurden 300 g bidestilliertes HzO vorgelegt. Mit einem handelsüblichen Dissolver wurden 1464,7 g Fused Silica (ExcelicaX SE-30 der Firma Tokoyama, mittlere Teilchengröße 30 um) mittels einer Dosierwaage bei konstantem Drehmoment unter Unterdruck (0,1 bar) in wenigen Minuten dispergiert. Die so hergestellte Dispersion hatte dementsprechend einen Feststoffgehalt von 83,0 Gew. %.

Ein Teil der Dispersion wurde in drei oben offene, rechtecki- ge Formen aus PTFE (6 cm*6 cm*l cm) gegossen. Nach 4 Stunden wurden die Formkörper durch Zerlegen der Form entformt.

Zwei Grünkörper wurden in einem Trockenschrank bei 200°C ge- trocknet. Die getrockneten Grünkörper hatten eine Dichte von 1,67 g/cm3.

Mittels Quecksilberporosimetrie wurde an einem Grünkörper die Porenradienverteilung bestimmt. Der Grünkörper besaß eine mo- nomodale Porenradienverteilung mit einem ausgeprägten Maximum zwischen 2 und 5 um und einem mittleren Porenradius von 2,68 um.

Der zweite getrocknete Grünkörper wurde unter Hochvakuum (10-5 mbar) gesintert, indem er für 15 Minuten auf 1550 °C mit einer Aufheizrate von 5°C/min erhitzt wurde.

Der so erhaltene gesinterte Formkörper hatte eine Dichte von 2,06 g/cm3 auf. Auf Grund der vorhandenen Restporosität wies der Formkörper keine Transparenz auf und war noch gasdurch- lässig. b) elektrophoretische Nachverdichtung In einem 600 ml Kunststoffbecher wurden erneut 400 g bi- destilliertes H20 vorgelegt. Mit Hilfe eines handelsüblichen Dissolvers wurden 22 g Fumed Silica (Aerosil@ OX 50 der Firma Degussa, BET Oberfläche 50 m2/g) in 5 min bei konstanten Dreh- moment dispergiert. Die so hergestellte Dispersion hatte dem- entsprechend einen Feststoffgehalt von 5 Gew. %. Der herge- stellten Dispersion wurden 0,11 g Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) zur Einstellung des Zetapotentials der Teilchen zuge- geben, was einem Gehalt von 0,5 Gew. % bezogen auf die Masse des dispergierten OX 50 entspricht. Die Viskosität der so hergestellten Dispersion lag bei 10 mPa s, der pH-Wert bei 9,4 und die spezifische elektrische Leitfähigkeit betrug 96 uS/cm.

Die so hergestellte Dispersion wurde in die anodenseitige Kammer einer Elektrophoresezelle eingefüllt. Die Kathodenkam- mer wurde mit bidestilliertem Wasser, versetzt mit 0,5 Gew. % TMAH, befüllt. Zwischen Anoden-und Kathodenkammer wurde der zuvor hergestellte feuchte Grünkörper eingespannt. Der Ab- stand zwischen Kathode und Anode betrug insgesamt 5 cm. An die Elektroden der Elektrophoresekammer wurde dann eine elektrische Gleichspannung von 10 V für die Dauer von 3 Minu- ten angelegt. Nach jeweils einer Minute Abscheidedauer wurde für 20 Sekunden das elektrische Feld umgepolt, um eine mögli- cherweise auf der Oberfläche des Grünkörpers abgeschiedene Schicht, die die Porenkanäle verstopft, wieder zu entfernen.

Somit betrug die Gesamtdauer des Verdichtungsprozesses 4 Minuten.

Nach der elektrophoretischen Verdichtung wurde der Grünkörper bei 200°C in einem Trockenschrank getrocknet.

Der so hergestellte Grünkörper wies eine graduelle Dichte- derung von der imprägnierten zur gegenüberliegenden Oberflä- che auf. Dies läßt sich anhand von REM-Aufnahmen zeigen (sie- he Abbildung 1).

Der verdichtete Bereich erstreckte sich über eine Tiefe von 5 mm.

Im verdichteten Bereich ließ sich ein mittlerer Anstieg der Dichte von 1,67 g/cm3 auf 1,78 g/cm3 feststellen. Mittels Quecksilberporosimetrie wurde die Porenradienverteilung des elektrophoretisch verdichteten Grünkörpers ermittelt. Es zeigte sich zusätzlich zu den bereits im ursprünglichen Grün- körper vorhandenen Poren von ca. 3 um eine bimodale Porenver- teilung mit einem Anteil an Poren im Bereich von 40 nm. Der Anteil der Poren im Mikrometerbereich nahm dementsprechend im Vergleich zum nicht imprägnierten Grünkörper ab. Anhand von REM-Aufnahmen ließ sich erkennen, daß im imprägnierten Be- reich nahezu ausschließlich Poren im Nanometerbereich auftra- ten, mit wachsendem Porenradius bei zunehmendem Abstand von der imprägnierten Oberfläche (siehe Abbildung 2).

Der so hergestellte und getrocknete Grünkörper wurde unter Hochvakuum (10 5 mbar) gesintert, indem er für 15 Minuten auf 1550 °C mit einer Aufheizrate von 5 °C/min erhitzt wurde.

Der so hergestellte Formkörper wies ebenfalls einen Dichte- gradienten auf. Von der verdichteten Oberfläche ausgehend, bis zu einer Dicke von 5 mm, bestand der Formkörper aus 100 % amorphem, transparenten und gasundurchlässigen Kieselglas ohne Gaseinschlüsse, mit einer Dichte von 2,20 g/cm3. Zur ge- genüberliegenden Oberfläche nahm die Dichte geringfügig ab (2,08 g/cm3). Daraus resultierend war der gesinterte Formkör- per dort nicht transparent.

Beispiel 2 : a) Herstellung von Grünkörpern nach DE 19943103.

In einem 600 ml Kunststoffbecher wurden 300 g bidestilliertes H2O vorgelegt. Mit einem handelsüblichen Dissolver wurden zu- nächst 87,9 g Fumed Silica (Aerosil@ OX 50 der Firma Degussa, BET-Oberfläche 50 m2/g) und anschließend 1376,8 g Fused Silica (Excelica SE-15 der Firma Tokoyama, mittlere Teilchengröße 15 um) mittels einer Dosierwaage bei konstantem Drehmoment unter Unterdruck (0,1 bar) in 30 Minuten dispergiert. Die so hergestellte Dispersion hatte einen Feststoffgehalt von 83,0 Gew. %.

Ein Teil der Dispersion wurde in drei oben offene, rechtecki- ge Formen aus PTFE (6 cm*6 cm* l cm) gegossen. Nach 4 Stunden wurden die Formkörper durch Zerlegen der Form entformt und zwei in einem Trockenschrank bei 200 °C getrocknet.

Die getrockneten Grünkörper hatten eine Dichte von 1,67 g/cm3.

Mittels Quecksilberporosimetrie wurde die Porenradienvertei- lung der getrockneten Grünkörpers bestimmt. Die Grünkörper besaßen eine bimodale Porenradienverteilung mit einem ausge- prägten Maximum zwischen 2 und 5 um und einem zweiten Maximum zwischen 90 und 120 nm. b) elektrophoretische Nachverdichtung In einem 600 ml Kunststoffbecher wurden erneut 400 g bi- destilliertes HsO vorgelegt. Mit Hilfe eines handelsüblichen Dissolvers wurden zunächst 22 g Fumed Silica (Aerosil@ OX 50 der Firma Degussa, BET Oberfläche 50 m2/g) und anschließend 22 g Fumed Silica (Aerosil@ A380 der Firma Degussa, BET Ober- fläche 380 m2/g) in 10 min bei konstanten Drehmoment disper- giert. Dies entspricht einem Feststoffgehalt von 10 Gew. %.

Die Viskosität der so hergestellten Dispersion lag bei

22 mPa s, der pH-Wert bei 3,9 und die spezifische elektrische Leitfähigkeit betrug 26 pS/cm.

Die so hergestellte Dispersion wurde in die anodenseitige Kammer der Elektrophoresezelle eingefüllt. Die Kathodenkammer wurde mit bidestilliertem Wasser befüllt. Zwischen Anoden- und Kathodenkammer wurde der zuvor hergestellte und getrock- nete Grünkörper eingespannt. Danach wurde wie im Beispiel 1 beschrieben verfahren.

Der zweite, nicht im Trockenschrank getrocknete Grünkörper wurde ebenfalls in die Elektrophoresezelle eingespannt und mit den beschriebenen Prozeßparametern elektrophoretisch im- prägniert.

Danach wurden die beiden elektrophoretisch nachverdichteten Grünkörper bei 200 °C in einem Trockenschrank getrocknet.

Die so hergestellten Grünkörper wiesen beide eine graduelle Dichteänderung von der imprägnierten zur gegenüberliegenden Oberfläche auf. Ein Unterschied in der Gründichte und Poren- radienverteilung der beiden Grünkörpern untereinander ließ sich nicht feststellen. Der verdichtete Bereich erstreckte sich jeweils über eine Tiefe von 5 mm.

Im verdichteten Bereich ließ sich ein mittlerer Anstieg der Dichte von 1,67 g/cm3 auf 1,78 g/cm3 feststellen. Mittels Quecksilberporosimetrie wurden die Porenradienverteilungen der elektrophoretisch verdichteten Grünkörper ermittelt. Es zeigte sich zusätzlich zu den bereits im ursprünglichen Grün- körper vorhandenen Poren von ca. 3 um eine bimodale Porenver- teilung mit einem Anteil an Poren im Bereich von 40 nm. Der Anteil der Poren im Mikrometerbereich nimmt im Vergleich zum nicht verdichteten Grünkörper dementsprechend ab. Anhand von REM-Aufnahmen ließ sich erkennen, daß im imprägnierten Be- reich nahezu ausschließlich Poren im Nanometerbereich auftra- ten, wobei der Porenradius mit wachsendem Abstand von der im- prägnierten Oberfläche zunahm.

Die so hergestellten und getrockneten Grünkörper wurden unter Hochvakuum (10-5 mbar) gesintert, indem sie für 15 Minuten auf 1550 °C mit einer Aufheizrate von 5 °C/min erhitzt wurden.

Die so hergestellten Formkörper wiesen ebenfalls einen Dich- tegradienten auf. Von der verdichteten Oberfläche ausgehend, bis zu einer Dicke von 5 mm, bestanden die Formkörper aus 100 % amorphem, transparenten und gasundurchlässigen Kiesel- glas ohne Gaseinschlüsse, mit einer Dichte von 2,20 g/cm3.

Zur gegenüberliegenden Oberfläche nahm die Dichte geringfügig ab (2,06 g/cm3). Daraus resultierend waren die gesinterten Formkörper dort nicht transparent.