HEIM ULF (DE)
WURMUS HELMUT (DE)
HEIM ULF (DE)
WURMUS HELMUT (DE)
| EP0459585A1 | 1991-12-04 | |||
| US5170278A | 1992-12-08 | |||
| DE3312595C1 | 1992-04-09 | |||
| US5042887A | 1991-08-27 |
| 1. | Vorrichtung zur Ablenkung optischer Strahlen, vorzugsweise zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit an einem antreibbaren Rotationskörper (2) angeordne¬ ten Spiegelflächen(2.2), dadurch gekennzeichnet, daß der Rotationskörper (2) aus einkristallinem Material besteht, wobei die Spiegelflächen (2.2) durch die Kristallebenen gebildet werden und rotationssymme trisch angeordnet sind. |
| 2. | Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß der Rotationskörper (2) als scheiben¬ förmiger Körper ausgebildet ist, der eine zentri sehe Vertiefung(2.1) aufweist, in der sich die Spie¬ gelflächen (2.2)befinden. |
| 3. | Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Vertiefung (2.1) einen poly gonförmigen Querschnitt aufweist und die Spiegel¬ flächen(2.2)unter dem Winkel definierter Kristalle¬ benenscharen geneigt sind. |
| 4. | Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß der Rotationskörper(2) aus einkrital linem Material besteht, an dem zentrisch eine poly gonförmige Mesastruktur angeordnet ist, an der sich die Spiegelflächen(2.2) befinden. |
| 5. | Vorrichtung zur Ablenkung optischer Strahlen, vorzugsweise zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit an einem Rotationskörper(2)angeordneten Spiegelflä chen(2.2) dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel¬ flächen 2.2 an einem magnetisch gelagerten Rotati¬ onskörper (2) angeordnet sind. |
| 6. | Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Rotationskörper(2)in einem Grundkörper(1) mit einer Aussparung(1.1)befindet, am Rotationskörper (2) Segmente aus hartmagneti¬ schem Material ringförmig angeordnet sind, oberhalb des Rotationskörpers (2) sich ein Ring¬ magnet (4) befindet, unterhalb des Rotationskörpers (2) sich ein Ge¬ genpolmagnet (5) befindet und oberhalb des Gegenpolmagneten (5) Spulenpaare (3.1) mit Flußleitstücken(3.2)angeordnet sind. |
| 7. | Vorrichtung nach .Anspruch 6, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß der Grundkörper (2) mit einer Platte hermetisch verschlossen ist. |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ablen¬ kung optischer Strahlen, vorzugsweise zur Ablenkung von Laserstrahlen, mit an einem antreibbaren Rota¬ tionskörper angeordneten Spiegelflächen.
Im Stand der Technik ist es bekannt, zur Realisie¬ rung der Ablenkung von Laserstrahlen, die eine kon¬ tinuierliche Strahlenablenkung für größere Winkel und hohe Ablenkgeschwindigkeit erfordern, rotato- risch angetriebene Polygonspiegel zu verwenden. Nachteilig ist dabei, daß der extreme Fertigungs- aufwand dieser Spiegel zu außerordentlich hohen Ko¬ sten führt. Außerdem kann bei den bekannten Poly¬ gonspiegeln die Verkippungsfreiheit der einzelnen Spiegelsegmente bezüglich der Drehachse nicht ge- währleistet werden.
Aus dem Gebiet der Mikrotechnik sind weiterhin Ablenkspiegelanordnungen für optische Strahlen be-
kannt, bei denen an Torsionsbändern aufgehängte Spiegelflächen um eine Drehachse kippen können oder bei denen die Spiegelflächen am Ende von bewegli¬ chen Zungenstrukturen angeordnet sind. Für derar- tige Systeme werden elektrostatische, piezzoelek- trische oder elektrother ische Antriebe eingesetzt, die generell mit der Mechanik funktionsintegriert sind. Mit derartigen Anordnungen sind zwar Strahlablen- kungen von +- 10° realisierbar, die zugehörigen Spiegelflächen sind jedoch nur im Bereich zwischen 50 x 50 μm 2 bis 500 x 500 μm 2 herstellbar. Als sehr problematisch erweist sich bei den bisher bekannten Systemen das dynamische Verhalten. Bei hohen Fre- quenzen nimmt der erreichbare Ablenkwinkel dra¬ stisch ab, da die zur beschleunigten Bewegung der Spiegelfläche notwendigen Kräfte durch die gewähl¬ ten Antriebsprinzipien nicht mehr aufgebracht wer¬ den können. Es treten außerdem Schwingungsmodi auf, die zur Verwölbung der Spiegelflächen führen. Um eine sichere Bewegung der Spiegelflächen auch bei höheren Frequenzen zu ermöglichen, muß deren Masse drastisch reduziert werden, was bei gegebener Spie¬ gelfläche nur durch eine Verringerung der Dicke möglich ist. Dies führt jedoch zu einer verstärkten Ausbildung von Schwingungen auf der Spiegeloberflä¬ che und damit zu Funktionsstörungen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Strahlenablenksystem anzugeben, das eine hohe Ab¬ lenkfrequenz bei großen Ablenkwinkeln und für große Spiegelflächen ermöglicht, eine Verkippungsfreiheit
der Einzelsegmente bezüglich der Drehachse gewähr¬ leistet und kostengünstig hergestellt werden kann.
Erfindungsgemäß gelingt die Lösung der Aufgabe durch Vorrichtungen, die die in den Ansprüchen 1 bis 7 angegebenen Merkmale aufweisen.
Die erfindungsgemäße Anordnung zeichnet sich insbe- sondere durch folgende Vorteile aus:
- Verwirklichung hoher Ablenkfrequenzen auch für relativ große Lichtstrahldurchmesser,
- Herstellen der Spiegeloberflächen mit hoher Prä¬ zision, - kostengünstige Herstellung in der Massenproduk¬ tion, da in der Mikromechanik die vorteilhaften Technologien der batch-Prozesse der Mikroelektronik genutzt werden können,
- Verkippungsfreiheit der Segmente zueinander, - hohes Reflexionsvermögen der Spiegelflächen durch die vorgesehenen Materialien.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In der zuge¬ hörigen Zeichnung zeigen:
die Figuren 1 und 2 eine erfindungsgemäße Vor- richtung, bei der sich die Spiegelflächen am
Rotationskörper in einer Vertiefung befinden,
und
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die Figuren 3 und 4 eine erfindungsgemäße Vor¬ richtung, bei der sich die Spiegelflächen an einer auf dem Rotationskörper angebrachten Me¬ sastruktur befinden.
Bei der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Anord¬ nung enthält der Grundkörper 1 eine Aussparung 1.1, die in ihren Abmessungen größer als der scheiben- förmige Rotationskörper 2 ist. Der Rotationskörper 2 besteht aus einem einkristallinen Material, vor¬ zugsweise aus Silizium, und enthält eine zentrisch angeordnete polygonförmige Vertiefung 2.1. Die Ver¬ tiefung 2.1 wird durch Kristallebenen des Rotati- onskörpers 2 seitlich begrenzt, welche die Spiegel¬ flächen 2.2 darstellen. Auf der Oberseite des Rota¬ tionskörpers 2 befindet sich eine ringförmige, seg- mentierte hartmagnetische Schicht 2.3, deren Zen¬ trum die Drehachse des Rotationskörpers 2 definie- ren. Der Grundkörper 1, in dessen Aussparung 1.1 sich der Rotationskörper 2 befindet, wird an der Oberseite durch eine Deckplatte 3 aus Glas herme¬ tisch abgeschlossen. Auf dieser Deckplatte befindet sich ein Ringmagnet 4 und eine Anzahl von Spulen- paaren 3.1 mit integrierten Flußleitstücken 3.2. An der Unterseite des Grundkörpers ist ein Gegenpolma¬ gnet 5 angeordnet.
Eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigen die Figuren 3 und 4. Hierbei ist auf dem scheibenförmigen Rotationskörper 2 eine po- lyedrische Mesastruktur 2.4 zentrisch angeordnet. Die Mesastruktur 2.4 wird durch Kristallebenen des
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Rotationskörpers 2 seitlich begrenzt, welche die Spiegelflächen 2.2 darstellen. Auf der Oberseite des Rotationskörpers 2 befinden sich ringförmig an¬ geordnete Hartmagnete 2.3, deren Zentrum die Drehachse des Rotationskörpers definieren. Der Grundkörper 1, in dessen Aussparung 1.1 sich der Rotationskörper 2 befindet, ist an seiner Oberseite wiederum durch eine Deckplatte 3 hermetisch abge¬ schlossen.
In beiden Ausführungen wird der Rotationskörper 2 durch die Segmente des hartmagnetischen Materials auf seiner Oberseite, durch die Kraft des Ringma¬ gneten 4, des Gegenpolmagneten 5 sowie durch das Magnetfeld der Spulen 3.1 in der Aussparung des Grundkörpers 1 schwebend gehalten. Die ringförmige Ausbildung der Magnete erzwingt die Zentrierung des Rotationskörers 2 . Durch geeignete Ansteuerung der auf dem Grundkörper 1 angeordneten Spulenpaare 3.1 wird über die Flußleitschichten 3.2 ein magneti¬ sches Feld erzeugt, das im Zusammenwirken mit den hartmagnetischen Segmenten auf dem Rotationskör¬ per 2 ein Drehmoment bewirkt. Der Rotationskörper 2 kann dadurch bei einer Mehrpolanordnung in eine taumelfreie Rotationsbewegung versetzt werden.
Ein auf eine Spiegelfläche 2.2 des Rotationskör¬ pers 2 fallender Lichtstrahl kann durch die Drehbe¬ wegung der Spiegelfläche um eine Drehachse bis zu einem Winkel von ca. 60° abgelenkt werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung erlaubt sehr hohe Drehzahlen, weil durch das selbstzentrierende Magnetlager Reibungseffekte fast vollständig ver¬ hindert sowie Unwuchten minimiert werden können.