次に、本発明の実施形態について、図面を� ��照しつつ説明する。
 (第1実施形態)
 まず、第1実施形態の構成について説明する 。
 図1には、搬送装置10の断面図を示す。また� ��図2には、搬送装置10に備える搬送用コンベ� ��20の平面図を示す。
 搬送装置10には、加熱炉13と、搬送用コンベ ア20と、ハロゲンヒータ30が備えられている� �
 加熱炉13は主に、炉本体であるチャンバ14と 加熱装置であるハロゲンヒータ30とで構成さ� ��る。チャンバ14内は、石英ガラス板11により 2分割され、石英ガラス板11の上方が加熱室16� ��下方が減圧室15となる。この減圧室15側にハ ロゲンヒータ30が固定されて設けられる。
 加熱室16の内部は、図示しないシャッター� �外部と遮蔽された後、例えば窒素などの不� �性ガス雰囲気とされる。

 ハロゲンヒータ30は、石英ガラス管の中に� �ロゲンガスを充満し内部にタングステンフ� �ラメントを用いた一般的なもので、赤外線� �放射することでワークを加熱することがで� �る。加熱炉13で加熱されるワークはインバー タ部品50であり、加熱することでインバータ� ��品50のハンダ付けを行うことができる。
 ハロゲンヒータ30は、前述の通り加熱炉13の 下部に備えられる石英ガラス板11に隔離され� ��減圧室15に固定されている。搬送用コンベ� �20と隔離されることで、ゴミなどがハロゲン ヒータ30に入り込むことを防止することがで� ��る。また、減圧室15には例えば窒素などの� �活性ガスを充填し、ハロゲンヒータ30が劣化 しにくいように配慮することが望ましい。

 図3には、搬送装置10の一部を拡大した断面� ��を示す。搬送用コンベア20の断面図である� �また、図4には、搬送用コンベア20を拡大し� �斜視図を示す。
 加熱炉13の内部に設けられる搬送用コンベ� �20は、いわゆるローラコンベアであり、複数 用意された搬送用ローラ21を回転させること� ��、搬送用ローラ21に接触して支持されるキ� �リアパレット40を、搬送用ローラ21の回転方� ��に前進させることができる。具体的にはキ� ��リアパレット40の両側縁部(段差部)が、搬送 用ローラ21上に載置され、搬送用ローラ21に� �支持されている。キャリアパレット40及びイ ンバータ部品50の重量によって、一定の力が� ��送用ローラ21に加わっているので、搬送用� �ーラ21が回転すれば摩擦によって、回転方向 にキャリアパレット40を搬送可能となる。

 このキャリアパレット40は、インバータ部� �50を固定して搬送が可能なパレットであり、 加熱炉13内の温度に耐えられるように、アル� ��ニウム合金等の金属で形成されている。キ� ��リアパレット40の中央部、すなわちインバ� �タ部品50を載せる部分には、貫通穴が空けら れており、減圧室15に備えられたハロゲンヒ� ��タ30がインバータ部品50に赤外線を照射可能 に構成されている。
 加熱炉13のチャンバ14は、インバータ部品50� ��搬送方向上流側にキャリアパレット40の搬� �口を、インバータ部品50の搬送方向下流側に キャリアパレット40の搬出口を備える。チャ� ��バ14の加熱室16における下部には、キャリア パレット40の搬入口からキャリアパレット40� �搬出口にわたり、インバータ部品50の搬送方 向に沿って左右対称に1列ずつ搬送用コンベ� �20が設けられている。搬送用コンベア20に備� ��られる搬送用ローラ21の位置は、図1又は図3 に示されるように、石英ガラス板11から離れ� ��位置に配置されている。

 搬送用ローラ21は、回転軸23の一端に固定さ れ、回転軸23の中間部周りには、駆動用プー� ��ー22が取り付けられている。回転軸23は隔壁 24と支持壁27に設けられたベアリングによっ� �回転可能に保持されている。
 回転軸23に取り付けられた駆動用プーリー22 は、搬送用ローラ21よりも外側に配置されて� ��る。これは、駆動用プーリー22にかけられ� �ベルト26が樹脂製であり、耐熱性に劣るため である。加熱炉13の内部は加熱効率も考えて� ��ンパクトであることが望ましいが、駆動用� ��ーリー22及びベルト26は、可能な限り外側に 配置されることが望ましい。
 駆動用プーリー22は、ベルト26によって伝え られる加熱炉13の外部に取り付けられたモー� ��12の回転を、回転軸23に伝えている。したが って、駆動用プーリー22の回転によって、回� ��軸23に固定される搬送用ローラ21も回転する 。

 図5に、搬送用ローラ21の断面図を示す。ま� ��、図6に、搬送用ローラ21がキャリアパレッ� ��40を搬送する様子を示す。
 搬送用ローラ21は、キャリアパレット40と接 する外周部21aと、回転軸23に接続する内周部2 1bと、外周部21aと内周部21bとを接続するリブ� ��21cとからなる。外周部21aと内周部21bとは、3 カ所に空間21dを形成することで、リブ部21cに よって支えられる状態となっている。
 搬送用ローラ21の材料にはステンレス鋼、� �えばSUS304が用いられている。SUS304に限らず� �他の材料を用いて搬送用ローラ21を形成して も良い。ただし、加熱炉13内は高温になるた� ��、酸化されにくく、水素脆性による劣化を� ��けるために内部に炭素を含まない材質が好� ��しい。
 また、リブ部21cと空間21dとの割合について� ��搬送用ローラ21がキャリアパレット40を搬送 するにあたって支障が無い程度に空間21dを広 くすることが望ましい。

 図7に、ローラ冷却部材25の斜視図を示す。� ��た、図8にローラ冷却部材25の分解斜視図を� ��す。
 ローラ冷却部材25は、図4に示すように、隣� ��合う搬送用ローラ21同士の間を埋め、搬送� �ローラ21の外周の大部分を覆うように設けら れている。
 ローラ冷却部材25は、冷却板部材25aと、冷� �用パイプ25bと、間隔板部材25cと、からなる� �いずれの部品も、材料には無酸素銅、例え� �C1020を用いて形成している。材料については 必ずしも無酸素銅である必要はないが、熱伝 導率の高いものを選定することが望ましい。
 冷却板部材25aは、搬送用ローラ21の外形に� �った円弧状の開口穴25dを備える板材である� �この開口穴25dの開口部が、ローラ冷却部材25 の開口部25eを形成する。図6に示すように搬� �用ローラ21と冷却板部材25aを組み合わせて配 置した場合、搬送用ローラ21のローラ面の一� ��がローラ冷却部材25の開口部25eから突出さ� �る。例えば、搬送用ローラ21が開口部25eから 1mm程度突出するように配置される。開口部25e から突出する搬送用ローラ21のローラ面に、� ��ャリアパレット40が載置される。また、搬� �用ローラ21の外径に対して1mm程度オフセット した寸法としている。

 間隔板部材25cは、隣り合う冷却板部材25aの� ��にスペーサとして挟まれる部材であり、隣� ��合う搬送用ローラ21の間に配置される。
 冷却板部材25aと冷却板部材25aの間には、冷� ��用パイプ25bが挟んで固定される。冷却用パ� ��プ25bはパイプ材であり、その内部を冷媒が� ��環する。冷却用パイプ25bは図8に示されるよ うに、蛇行して湾曲するように形成されてい る。この湾曲部分は搬送用ローラ21の外周に� ��って曲げられている。
 冷却用パイプ25bの形状は、具体的にはロー� ��冷却部材25として組み立てられる間隔板部� �25cがくる位置が山側になり、冷却機構とし� �搬送用コンベア20に組み付けられた際に搬送 用ローラ21がくる位置が谷側となるように、� ��曲して形成される。
 そして、冷却板部材25aは、図4に示すように 冷媒冷却循環手段45に接続されている。この� ��媒冷却循環手段45は、熱交換器を用いて冷� �を冷却する機能を有しており、例えばチラ� �ユニットなどを用いることが考えられる。

 第1実施形態は上記のような構成を備えるの で、以下に説明するような作用を示す。
 加熱炉13に備えられた搬送用コンベア20は、 加熱炉13の外部に備えられる図示しない搬送� ��ンベアから、キャリアパレット40に乗せら� �たインバータ部品50を、加熱炉13内部に搬送� ��、加熱されたインバータ部品50を搬出する� �
 ワークは車載用のインバータ部品50であり� �インバータ部品50に実装する電子部品のハン ダ付けを行う必要がある。このため、加熱炉 13の前工程でインバータ部品50の上面にハン� �箔が乗せられ、その上に電子部品が配置さ� �る。
 キャリアパレット40は、回転する搬送用ロ� �ラ21にて支持され、搬送される。したがって 、キャリアパレット40に乗せられたインバー� ��部品50は、加熱炉13の内部に搬送される。

 図9に、加熱炉13のハロゲンヒータ30による� �の放射を模式的に表した図を示す。また、� �10に、キャリアパレット40から搬送用ローラ2 1への熱の伝わり方を表す図を示す。黒い矢� �が加熱を示し、白抜きの矢印が冷却を示す� �
 加熱室16の内部の所定の位置に位置決めさ� �たインバータ部品50は、ハロゲンヒータ30に� ��って赤外線が照射されることで加熱される� ��ハンダの融点は220℃程度であるため、イン� ��ータ部品50は300℃程度にまで温められる。
 その結果、インバータ部品50に接触してい� �キャリアパレット40もハロゲンヒータ30から� ��放射を受けて加熱されると共に、インバー� ��部品50から熱伝達されてインバータ部品50の 温度に近い温度まで上昇する。
 このため、キャリアパレット40に接してい� �搬送用ローラ21も、キャリアパレット40との� ��触部分から熱が伝達される。

 そこで、この搬送用ローラ21を冷却する目� �で、ローラ冷却部材25が設けられ、ローラ冷 却部材25の冷却用パイプ25bの内部には冷媒が� ��される。
 搬送用ローラ21は、ローラ冷却部材25に一定 の隙間を空けて外周を囲まれている。この隙 間は1mm程度であり、ローラ冷却部材25の冷却� ��パイプ25bには冷媒が流されて、低い温度に� ��たれているので、図10に示すように搬送用� �ーラ21とローラ冷却部材25の間で温度勾配が� ��じ、搬送用ローラ21の熱はローラ冷却部材25 により、N2等の不活性ガスを介して間接的に� ��が奪われることになる。

 また、搬送用ローラ21の外周の大部分がロ� �ラ冷却部材25に囲まれている点も、搬送用ロ ーラ21の過熱を防止する効果がある。
 ハロゲンヒータ30による加熱は、赤外線の� �射によるものであるため、赤外線が照射さ� �ると対象物の温度が上がりやすい。搬送用� �ーラ21の外周の大部分をローラ冷却部材25で� ��むことで、搬送用ローラ21の外周面からの� �熱は、キャリアパレット40との接触部分と、 加熱された雰囲気ガスと搬送用ローラ21との� ��触部分(ローラ側面)とに絞ることが可能で� �るので、熱が入力されるルートを最小限に� �えることが可能である。

 また、搬送用ローラ21は、外周部21aと内周� �21bがリブ部21cで接続されている図5及び図6に 示すような構造となっており、外周部21aに伝 わった熱は、リブ部21cを通って内周部21bに伝 えられることになる。
 リブ部21cの部分が細くなるように空間21dを� ��きく形成していれば、リブ部21cの熱伝達効� ��は低下し、外周部21aに熱が留まりやすくな� ��ため、より効率的にローラ冷却部材25での� �却が行える。
 また、空間21dを設けることで、搬送用ロー� ��21の表面積を増やすことができ、この点も� �送用ローラ21の冷却に寄与している。

 ローラ冷却部材25の構造については、内部� �冷却用パイプ25bを数本通すことで、より冷� �効率を狙った構造となっている。冷却用パ� �プ25bは、搬送用ローラ21の外形に合わせて曲 げられている。このように曲げることで、接 触面積が広くなり、冷却効率を向上させるこ とができる。また、材料に熱伝導率の高い部 材を用いていることで、冷却効率を向上させ ている。
 こうして、ローラ冷却部材25によって、不� �性ガスを介して間接的に(非接触で)搬送用ロ ーラ21を冷却し、搬送用ローラ21の温度上昇� �抑えている。
 加熱炉13内は、温度を上昇させるために、� �熱炉13に備えられる図示しないシャッターを 下ろすので、搬送用コンベア20も加熱されや� ��くなるが、ローラ冷却部材25の冷却用パイ� �25bに冷媒を通すことによって、十分に冷却� �ることができる。

 加熱炉13で加熱されたインバータ部品50は 、キャリアパレット40に乗せられて、搬送用� ��ンベア20の働きによって、加熱炉13内から搬 出される。そして、図示しない搬送装置10の� ��工程のコンベア上で冷却されて、加熱炉13� �で加熱されて溶融したハンダ箔が凝固して� �インバータ部品50に電子部品がハンダ付され る。

 第1実施形態は、上記構成及び作用を示すの で、以下に説明する効果を奏する。
 第1の効果として、搬送用ローラ21を効率的� ��冷却することが可能である点が挙げられる� ��
 インバータ部品50を搬送する搬送用コンベ� �20と、搬送用コンベア20の一部を覆いインバ� ��タ部品50の加熱を行う加熱炉13と、搬送用コ ンベア20を冷却する冷却機構と、を備え、搬� ��用コンベア20を冷却機構によって冷却する� �送部冷却方法において、インバータ部品50を 搬送する搬送用コンベア20に、インバータ部� ��50に接触してインバータ部品50の搬送を行う 搬送用ローラ21が備えられ、冷却機構として� ��送用ローラ21の外周を囲い、搬送用ローラ21 の外周の一部を突出させる開口部25eを有する ローラ冷却部材25が備えられ、加熱炉13の熱� �よって加熱した搬送用ローラ21を、ローラ冷 却部材25で冷却するものである。
 また、ローラ冷却部材25の内部には、搬送� �ローラ21の円弧に沿って形成される冷却用パ イプ25bが保持され、内部に冷媒が循環されて いる。

 搬送用ローラ21の冷却は、ローラ冷却部材25 に備える冷却用パイプ25bの内部に冷媒を流す ことで行われる。
 上述したように、冷却用パイプ25bは、搬送� ��ローラ21の外形に沿って曲げられており、� �り多くの面積の冷却板部材25aに触れさせ、� �位体積あたりの水量を増やすことで、より� �却効率を向上することができる。
 出願人の調査では、インバータ部品50を300� �まで加熱する場合、冷却無しでは搬送用ロ� �ラ21の温度が150℃程度まで達するのに対して 、ローラ冷却部材25で冷却することで搬送用� ��ーラ21の温度を80℃以下に抑えることができ ることを確認している。

 課題で記載した通り、搬送用ローラ21から� �回転軸23及び駆動用プーリー22に熱が伝わっ� ��場合、潤滑系や駆動系に悪影響を及ぼす虞� ��ある。
 回転軸23を保持しているベアリングは、潤� �剤として潤滑油又はグリースを用いている� �、潤滑剤は高温になるほど劣化しやすい。� �たがって、極力低温に保つことが望ましい� �もちろん、高温になれば潤滑剤又はグリー� �どころかベアリングそのものも変形し、転� �り抵抗が増大してしまう虞がある。
 また、駆動用プーリー22にかけられている� �ルト26は樹脂製であり、耐熱性の高い素材で も伸びたり変形したりするなどの悪影響が出 る虞がある。

 また、搬送用ローラ21自身が熱膨張するこ� �で、キャリアパレット40の蛇行が懸念される 。搬送用ローラ21の全てが均等に膨張すれば� ��題ないが、片側の搬送用ローラ21だけ熱膨� �するなどして、左右に備える搬送用ローラ21 の径が変化したりすると、キャリアパレット 40が蛇行する虞がある。蛇行することで、加� ��炉13の内部でキャリアパレット40が詰まって しまうなどライン停止に陥ると、生産性が低 下するため搬送用ローラ21自身の温度上昇も� ��けることが望ましい。
 しかし、このような問題も第1実施形態によ れば、搬送用ローラ21をローラ冷却部材25に� �って冷却することで、搬送用ローラ21を効率 的に冷却することが可能であり、潤滑系及び 駆動系の潤滑剤の劣化や、ベアリングや回転 軸23の膨張による転がり抵抗の増大を防ぎ、� ��送用ローラ21の膨張によるキャリアパレッ� �40の蛇行を抑えることが可能となる。

 また、第2の効果として、冷却板部材25aを重 ねて冷却用パイプ25bを挟み込む方式を用いる ことで、ローラ冷却部材25を容易に形成する� ��とが可能になる。
 ローラ冷却部材25が複数枚の冷却板部材25a� �構成され、冷却板部材25aは、冷却用パイプ25 bを挟んでキャリアパレット40の搬送方向と平 行に配置され、重ねられるので、冷却用パイ プ25bを内部に備えるローラ冷却部材25を容易� ��形成可能である。
 冷却用パイプ25bは、搬送用ローラ21を効果� �に冷却するために、搬送用ローラ21の外周に 合わせて蛇行するように曲げて形成されてい る。このような流路をローラ冷却部材25内に� ��工することは非常に困難である。
 したがって、ローラ冷却部材25内に複数の� �曲部を持つ流路を形成するために、管材を� �め所定の形状に曲げて冷却用パイプ25bを形� �し、冷却板部材25aで挟むような構造をとる� �とで、容易にローラ冷却部材25を形成できる ようになる。
 また、メンテナンス等に関しても冷却用パ� ��プ25bがセパレートできるような構造である� ��が、交換等が可能となるため望ましい。

 また、第3の効果として、搬送用ローラ21の� ��周部21aの熱が内周部21bに伝わりにくくなっ� ��いることで、より冷却効率を高められる点� ��挙げられる。
 搬送用ローラ21は、キャリアパレット40と接 触する外周部21aと、外周部21aと空間を挟んで 内側に設けられ、回転軸が取り付けられる内 周部21bと、外周部21aと内周部21bとを接続する リブ部21cと、からなるので、インバータ部品 50を乗せたキャリアパレット40と接触する外� �部21aからの熱はリブ部21cを通過して内周部21 bへ伝わることとなり、リブ部21cの断面積を� �さくすれば、伝熱量を少なくすることがで� �るので、回転軸23に設けられるベアリングや 駆動機構に熱がより伝わりにくくなる。

 ローラ冷却部材25の冷却効率を上げると共� �、搬送用ローラ21の外周部21aから内周部21bへ の熱伝達効率を下げることで、回転軸23を支� ��るベアリングの潤滑剤や、駆動用プーリー2 2にかけられているベルト26の劣化を防ぐ効果 をより高めることが可能となる。
 なお、搬送用コンベア20には、隔壁24が用意 されており、ベアリングを備えて回転軸23を� ��持すると同時に、ハロゲンヒータ30からの� �外線の照射を防ぐ働きをするので、ベルト26 に直接赤外線が当たることを防ぐ効果がある 。

 (第2実施形態)
 図11に、第2実施形態の搬送装置10の模式断� �図を示す。
 第2実施形態と第1実施形態は、ほぼ同じ構� �であるが、駆動機構の構成が若干異なる。� �2実施形態では、搬送用コンベア20の駆動に� �動用プーリー22ではなく、スプロケット35と� ��ェーン36を用いている。そして、ローラ冷� �部材25の上部に防塵壁28を用意している。な� ��、防塵壁28は、隔壁24の上部であっても良い 。また、隔壁24を延長することで、防塵壁28� �しても良い。
 すなわち、駆動力を伝達する方法として、� ��1実施形態では駆動用プーリー22とベルト26� �用いているが、第2実施形態はこれに代えて� ��プロケット35とチェーン36を備え、防塵壁28� ��用意している。

 一般的に、駆動用プーリー22とベルト26の組 み合わせの方が、スプロケット35とチェーン3 6の組み合わせよりも低発塵な機構が期待で� �る。しかしながら、スプロケット35とチェー ン36を用いた構成の方が、コストダウンが期� ��できるほか、熱に強く、長寿命化が期待で� ��る。
 そして、スプロケット35とチェーン36の問題 点である発塵についても、防塵壁28を設ける� ��とで、インバータ部品50側へ塵が行きにく� �ように構成することが可能である。
 第2実施形態の効果は、第1実施形態とほぼ� �じである。ただし、上述したようにコスト� �ウンやメンテナンス面でのメリットは期待� �きる。

 (第3実施形態)
 第3実施形態は第1実施形態の構成とほぼ同� �である。ただし、ローラ冷却部材25の構成が 若干異なる。
 図12に、第3実施形態のローラ冷却部材25の� �視図を示す。
 第3実施例のローラ冷却部材25は、冷却板部� ��25aに機械加工で冷却水路用溝25gを形成し、� ��う一枚の冷却板部材25aを重ねて冷却水路用� ��25gを塞ぎ、これらの構成を適宜複数重ねる� ��とで、冷却水路用溝25gを第1実施形態に示し た冷却用パイプ25bの代わりとしている。また 、重ね合わせるもう一枚の冷却板部材25aにも 冷却水路用溝25gを形成するようにしても良い 。
 シール性の確保が容易ではないと言う課題� ��あるものの、ローラ冷却部材25の熱容量を� �きくできるメリットがある。

 以上、本実施形態に則して発明を説明した� ��、この発明は前記実施形態に限定されるも� ��ではなく、発明の趣旨を逸脱することのな� ��範囲で構成の一部を適宜変更することによ� ��実施することもできる。
 例えば、第1実施形態及び第2実施形態では� �ンバータ部品50のハンダ付けに加熱炉13を用� ��、搬送用コンベア20を冷却しているが、異� �るワークに適用することを妨げない。また� �加熱炉13の内部だけでなく、搬送装置10の下� ��程での冷却に用いることを妨げない。
 また、本実施形態に示している材料につい� ��も、特にこれに限定されるものではない。