以下、本発明の実施の形態を図面に基づい� ��詳細に説明する。
 図1及び図2は本発明の第1の実施形態に係る� ��テッピングモータ駆動型のカム式バルブ1を 示し、当該カム式バルブ1は、例えば半導体� �造装置等の二つのチャンバー(ツインチャン� ��ー)に夫々接続された分岐状の流体供給ライ ンに介設され、両チャンバーへTEOSやN ₂  等の流体を適宜の比率(例えば5対5~4対6)で供� �する分流制御用のバルブとして用いられる� �のであり、金属製のダイヤフラムを直接に� �座2dへ接当又は弁座2dから離間させて流体通� ��を開又は閉にするようにしたノーマルオー� ��ン型のダイヤフラムバルブに構成されてい� ��。

 即ち、前記カム式バルブ1は、図1及び図2に� ��す如く、流入通路2a、流出通路2b、弁室2c及� ��弁座2dを有するボディ2と、上方が開放され� ��弁室2cの気密を保持すると共に、中央部が� �下動して弁座2dへ直接に接当又は弁座2dから� ��間する金属製のダイヤフラム3と、ダイヤフ ラム3の外周縁部上面に配設した環状の押え� �ダプター4と、ダイヤフラム3の外周縁部を押 えアダプター4を介してボディ2との間で気密� ��に挾持する筒状のボンネット5と、ボンネッ ト5をボディ2に固定するボンネットナット6と 、ボディ2内に配設され、ボンネット5に昇降� ��在に支持されたステム7と、ステム7の下端� �に設けられ、ステム7の下降時にダイヤフラ� ��3に当接してダイヤフラム3の中央部を押し� �げるダイヤフラム押え8と、ステム7の上方位 置に配設され、ステム7を下降させるステッ� �ングモータ9及びカム機構10から成るアクチ� �エータと、ボンネット5に設けられ、アクチ� ��エータを昇降自在に支持する昇降支持機構1 1と、昇降支持機構11に設けられ、ステム7に� �するアクチュエータの高さ位置を微調整す� �高さ微調整機構12とから構成されており、ス テム7を駆動するアクチュエータの高さ位置� �高さ微調整機構12により上下に微調整して変 えることにより、バルブの零点調整を行える ようにしたものである。
 尚、このカム式バルブ1の昇降支持機構11、� ��クチュエータ及び高さ微調整機構12以外の� �構成は、従来公知のものと同様構造に構成� �れているため、ここではその詳細な説明を� �略する。

 前記昇降支持機構11は、ステム7を駆動する� ��クチュエータをステム7の上方位置で昇降自 在に支持するものであり、ボンネット5の外� �面に螺着されて止めネジ13によりボンネット 5に固定された筒状の内側部材14″及び内側部 材14″に嵌合固定された筒状の外側部材14′� �ら成るフランジ14a付の取付け台14と、取付け 台14の外側部材14′のフランジ14a上面にボル� �15により立設され、上半分が下半分よりも小 径に形成されてステム7と平行な段付きの左� �のガイド軸16と、両ガイド軸16の小径部分に� ��下方向へ摺動自在に支持され、アクチュエ� ��タが取り付けられる前面が開放された箱状� ��昇降台17と、左右のガイド軸16の小径部分に ボルト15″により取り付けられ、両ガイド軸1 6の小径部分、アクチュエータ及び昇降台17を 囲繞する収納ケース18と、両ガイド軸16の下� �部に架設され、アクチュエータのカム機構10 を構成するカム棒22の下端部を上下方向へ摺� ��自在に挿通支持する振れ止め板19等から構� �されている。
 又、昇降支持機構11の収納ケース18は、箱状 に組み立てられたカバープレート18aと、カバ ープレート18aの底部内面に昇降台17の下面に� ��向すべくビス20により固定され、カム機構10 のカム棒22の上端部を上下方向へ摺動自在に� ��通支持する底板18bと、カバープレート18aの� ��井部内面に昇降台17の上面に対向すべく固� �された天井板18cとから成る。

 前記アクチュエータは、ステッピングモ� ��タ9及びカム機構10から成り、ステッピング� ��ータ9の回転運動をカム機構10により上下方� ��の直線運動に変えてステム7に伝達するもの である。

 即ち、ステッピングモータ9は、収納ケー ス18内に水平姿勢で収納されており、その出� ��軸9aがステム7と直交する姿勢になるように� ��降台17に固定されている。この実施形態に� �いては、ステッピングモータ9には、基本ス� ��ップ角が0.9度で、励磁方法が1-2相励磁のと� ��にステップ角が0.45度になる2相型のステッ� �ングモータ9が使用されている。

 一方、カム機構10は、ステッピングモータ9� ��出力軸9aに止めネジ13により固定され、外周 面がカム面21aに形成された円盤状のカム板21� ��、収納ケース18の底板18b及び振れ止め板19に 筒状のメタル37を介して上下方向へ摺動自在� ��挿通支持され、下端面がステム7の上端面に 当接するカム棒22と、カム棒22の二股状に形� �した上端部にピン23を介して回転自在に支持 され、カム板21のカム面21aに当接するカムロ� ��ラ24(ベアリング)とから成り、カム板21がス� ��ッピングモータ9により回転駆動されると、 カム板21のカム面21aがカムローラ24を押圧し� �カム棒22及びこれに当接するステム7を下降� �せるようになっている。
 又、カム板21のカム面21aは、0度~200度の範囲 では最小半径からその半径が漸増して最大半 径になり、200度~360度の範囲では最大半径の� �まになっている。
 更に、カム板21は、360度回転しないように23 0度の付近にストッパー(図示省略)が取り付け られており、原点(0度)~200度の間で正逆回転� �るようになっている。

 尚、図1及び図2に於いて、25は昇降台17に� ��ラケット26を介して取り付けた全開位置検� �用のフォトセンサー、27はカム板21に取り付� ��られ、フォトセンサーにより位置検出され� ��センサープレートである。

 前記高さ微調整機構12は、アクチュエータ� �高さ位置を微調整してバルブの零点調整を� �うものであり、収納ケース18の底板18bに上下 方向へ移動調整自在に螺挿され、上端面が昇 降台17の下面に当接して昇降台17を支持する� �本の調整ネジ12aと、昇降台17の上面と収納ケ ース18の天井板18cとの間に介設され、昇降台1 7を下方へ押圧附勢して調整ネジ12aの上端面� �常時当接させる弾性体12b(圧縮コイルスプリ� ��グ)とから成る。
 この高さ微調整機構12によれば、カム板21の 最小半径部分がカムローラ24に当接している� ��態で二つの調整ネジ12aの締め込み量を調整� ��てアクチュエータが取り付けられた昇降台1 7の位置を上下方向に微調整し、アクチュエ� �タの高さ位置を変えてカム機構10のカム棒22� ��下端面を最上位の位置にあるステム7の上端 面へ当接させることにより、バルブの零点調 整を行うことができる。即ち、バルブを全開 位置へ調整することができる。

 而して、零点調整を行ったカム式バルブ1に 於いては、カム板21の最小半径部分がカムロ� ��ラ24に当接しているときには、ダイヤフラ� �3の弾性力やボディ2内の流体圧によりステム 7等が最も上昇した状態となり、ダイヤフラ� �3の中央部と弁座2dとが最も離間した全開位� �となっている。
 この状態でステッピングモータ9へ所定数の パルス入力信号が加えられると、ステッピン グモータ9が入力パルス数に応じたステッピ� �グ回転を行い、これによりカム板21が所定の 角度だけ回転する。
 カム板21が回転すると、カムローラ24が下方 へ押圧され、これによりカム棒22及びステム7 がダイヤフラム3の弾性力及びボディ2内の流� ��圧に抗して漸次下降すると共に、ダイヤフ� ��ム3の中央部がダイヤフラム押え8を介して� �方へ徐々に押し下げられる。その結果、ダ� �ヤフラム3と弁座2dとの間隔が狭くなり、流� �の流量が制御されることになる。

 そして、ダイヤフラム3の中央部が完全に押 し下げられてダイヤフラム3の中央部が弁座2d に当座したら、バルブが全閉状態になって流 体の流通が完全に遮断される。
 この状態でカム板21が反対方向に回転し、� �ム板21の最小半径部分がカムローラ24に対向� ��ると、ダイヤフラム3がその弾性力やボディ 2内の流体圧により元の形状に復元すると共� �、ステム7及びカム棒22を上方へ押し上げる� �その結果、カム式バルブ1は、ダイヤフラム3 と弁座2dとが最も離間した全開位置となる。

 このカム式バルブ1に於いては、ステム7を� �動するアクチュエータを昇降支持機構11によ りステム7に対して昇降自在に支持し、前記� �持機構11に昇降台17を支持する調整ネジ12aと� ��降台17を下方へ押圧附勢する弾性体12bとか� �成る高さ微調整機構12を設けているため、ダ イヤフラム3が弁座2dへ当座した後は、アクチ ュエータを取り付けた昇降台17全体が上昇し� ��弾性体12bを圧縮することになる。その結果� ��このカム式バルブ1に於いては、ダイヤフラ ム3が弁座2dへ過度に押し付けられると云うこ とがなく、ダイヤフラム3や弁座2d等の損傷を 防止することができると共に、バルブの全閉 時に於ける流体の漏洩を確実に防止すること ができる。然も、バルブの各構成部品の加工 精度や組立精度を高めなくても、バルブの全 開時(又は全閉時)にダイヤフラム3やステム7� �が零点位置(全開位置又は全閉位置)に正確に 位置するように調整することができる。
 又、このカム式バルブ1に於いては、バルブ のボンネット5に設けた取付け台14にガイド軸 16を立設し、このガイド軸16の上端部にアク� �ュエータが取り付けられる昇降台17を昇降自 在に支持する構成としているため、アクチュ エータがボディ2から離間した位置に配置さ� �ることになる。然も、このカム式バルブ1は� ��アクチュエータ及び昇降台17を収納ケース18 で囲繞する構成としている。その結果、この カム式バルブ1を高温の流体を取り扱う流体� �給ラインに介設しても、アクチュエータが� �温の流体の悪影響を受け難くなり、アクチ� �エータの延命化等を図れることになる。

 図3及び図4は本発明の第2の実施形態に係� ��ステッピングモータ駆動型のカム式バルブ1 を示し、当該カム式バルブ1は、例えば半導� �や液晶等の製造装置の冷却、加熱に使用す� �チラーユニットの冷媒循環回路の高い温度� �流体(ハイドロフルオロエーテル等の冷媒)が 流れる個所及び冷媒循環回路の低い温度の流 体(冷媒)が流れる個所に夫々介設され、冷媒� ��環回路内を流れる流体の流量制御を行う冷� ��制御用のバルブとして用いられるものであ� ��、ステム7の下端部に設けた弁体30を弁座2d� �接当又は弁座2dから離間させて流体通路を開 又は閉にすると共に、金属製のベローズ31に� ��り流体の漏洩を防止するようにしたノーマ� ��オープン型のベローズバルブに構成されて� ��る。

 即ち、前記カム式バルブ1は、図3及び図4に� ��す如く、流入通路2a、流出通路2b、弁室2c及� ��弁座2dを有するボディ2と、弁室2c内の上方� �置にシール材28を介して配設されたベローズ フランジ29と、ベローズフランジ29の外周縁� �をボディ2との間で気密状に挾持する筒状の� ��ンネット5と、ボンネット5をボディ2に固定� ��るボンネットナット6と、ボディ2内に配設� �れ、ベローズフランジ29の中央部に摺動自在 に挿通されたステム7と、ステム7の下端部に� ��けられ、弁座2dに接当又は弁座2dから離間座 する弁体30と、上端部がベローズフランジ29� �溶接により気密状に固着されていると共に� �下端部がステム7の下端部に溶接により気密� ��に固着された金属製のベローズ31と、ステ� �7の上端部にピン23″を介して取り付けられ� �ボンネット5内に摺動自在に収納されてステ� ��7の上端部をボンネット5内で保持するホル� �ー32と、ベローズフランジ29とホルダー32と� �間に介設され、ホルダー32を介してステム7� �上方へ附勢保持する開弁用の圧縮コイルス� �リング33と、ホルダー32の上端部に螺着され� ��カム機構10のカム棒22の下端部が当接する押 えボルト34と、ステム7の上方位置に配設され 、ステム7を下降させるステッピングモータ9� ��びカム機構10から成るアクチュエータと、� �ンネット5に設けられ、アクチュエータを昇� ��自在に支持する昇降支持機構11と、昇降支� �機構11に設けられ、ステム7に対するアクチ� �エータの高さ位置を微調整する高さ微調整� �構12とから構成されており、ステム7を駆動� �るアクチュエータの高さ位置を高さ微調整� �構12により上下に微調整して変えることによ り、バルブの零点調整を行えるようにしたも のである。
 尚、カム式バルブ1の昇降支持機構11、アク� ��ュエータ及び高さ微調整機構12以外の構成� �、従来公知のものと同様構造に構成されて� �るため、ここではその詳細な説明を省略す� �。

 前記昇降支持機構11は、ステム7を駆動する� ��クチュエータをステム7の上方位置で昇降自 在に支持するものであり、ボンネット5の外� �面に嵌合固定されたフランジ14a付きの筒状� �取付け台14と、取付け台14のフランジ14a上面� ��ボルト15により立設され、上半分が下半分� �りも小径に形成されてステム7と平行な段付� ��の左右のガイド軸16と、両ガイド軸16の小径 部分に上下方向へ摺動自在に支持され、アク チュエータが取り付けられる前面が開放され た箱状の昇降台17と、左右のガイド軸16の小� �部分にボルト15″により取り付けられ、両ガ イド軸16の小径部分、アクチュエータ及び昇� ��台17を囲繞する収納ケース18と、ガイド軸16� ��下端部に架設され、アクチュエータのカム� ��構10を構成するカム棒22の下端部を上下方向 へ摺動自在に挿通支持する振れ止め板19等か� ��構成されている。
 又、昇降支持機構11の収納ケース18は、箱状 に組み立てられたカバープレート18aと、カバ ープレート18aの底部内面に昇降台17の下面に� ��向すべくビス20により固定され、カム機構10 のカム棒22の上端部を上下方向へ摺動自在に� ��通支持する底板18bと、カバープレート18aの� ��井部内面に昇降台17の上面に対向すべく固� �された天井板18cとから成る。

 前記アクチュエータは、ステッピングモ� ��タ9及びカム機構10から成り、ステッピング� ��ータ9の回転運動をカム機構10により上下方� ��の直線運動に変えてステム7に伝達するもの である。

 即ち、ステッピングモータ9は、収納ケー ス18内に水平姿勢で収納されており、その出� ��軸9aがステム7と直交する姿勢になるように� ��降台17に固定されている。この実施形態に� �いては、ステッピングモータ9には、基本ス� ��ップ角が0.25度で、励磁方法が1-2相励磁のと きにステップ角が0.125度になる2相型のステッ ピングモータ9が使用されている。

 一方、カム機構10は、外周面がカム面21aに� �成され、一側面に突設形成した支持軸21bが� �降台17の底部上面に固定した軸受台35にベア� ��ング35aを介して回転自在に支持されている� ��共に、他側面に突設形成した支持軸21bがカ� ��プリング36を介してステッピングモータ9の� ��力軸9aに連結された円盤状のカム板21と、収 納ケース18の底板18b及び振れ止め板19に筒状� �メタル37を介して上下方向へ摺動自在に挿通 支持され、下端面が押えボルト34の頭部上面� ��当接するカム棒22と、カム棒22の二股状に形 成した上端部にピン23を介して回転自在に支� ��され、カム板21のカム面21aに当接するカム� �ーラ24(ベアリング)とから成り、カム板21が� �テッピングモータ9により回転駆動されると� ��カム板21のカム面21aがカムローラ24を押圧し てカム棒22、押えボルト34、ホルダー32及びス テム7を下降させるようになっている。
 又、カム板21のカム面21aは、0度~200度の範囲 では最小半径からその半径が漸増して最大半 径になり、200度~360度の範囲では最大半径の� �まになっている。
 更に、カム板21は、360度回転しないように23 0度の付近にストッパー(図示省略)が取り付け られており、原点(0度)~200度の間で正逆回転� �るようになっている。

 尚、図3及び図4に於いて、25は昇降台17に� ��ラケット26を介して取り付けた全開位置検� �用のフォトセンサー、27はカム板21に取り付� ��られ、フォトセンサーにより位置検出され� ��センサープレートである。

 前記高さ微調整機構12は、アクチュエータ� �高さ位置を微調整してバルブの零点調整を� �うものであり、収納ケース18の底板18bに上下 方向へ移動調整自在に螺挿され、上端面が昇 降台17の下面に当接して昇降台17を支持する� �本の調整ネジ12aと、昇降台17の上面と収納ケ ース18の天井板18cとの間に介設され、昇降台1 7を下方へ押圧附勢して調整ネジ12aの上端面� �常時当接させる弾性体12b(圧縮コイルスプリ� ��グ)とから成る。
 この高さ微調整機構12によれば、カム板21の 最小半径部分がカムローラ24に当接している� ��態で二つの調整ネジ12aの締め込み量を調整� ��てアクチュエータが取り付けられた昇降台1 7の位置を上下方向に微調整し、アクチュエ� �タの高さ位置を変えてカム機構10のカム棒22� ��下端面を最上位の位置にある押えボルト34� �頭部上面へ当接させることにより、バルブ� �零点調整を行うことができる。即ち、バル� �を全開位置へ調整することができる。

 而して、零点調整を行ったカム式バルブ1に 於いては、カム板21の最小半径部分がカムロ� ��ラ24に当接しているときには、開弁用の圧� �コイルスプリング33の弾性力によりステム7� �びカム棒22等が最も上昇した状態となり、ス テム7の下端部に設けた弁体30と弁座2dとが最� ��離間した全開位置となっている。
 この状態でステッピングモータ9へ所定数の パルス入力信号が加えられると、ステッピン グモータ9が入力パルス数に応じたステッピ� �グ回転を行い、これによりカム板21が所定の 角度だけ回転する。
 カム板21が回転すると、カムローラ24が下方 へ押圧され、これによりカム棒22、押えボル� ��34、ホルダー32及びステム7が開弁用の圧縮� �イルスプリング33の弾性力に抗して漸次下降 する。その結果、ステム7の下端部に設けた� �体30と弁座2dとの間隔が狭くなり、流体の流� ��が制御されることになる。

 そして、ステム7が最下位の位置へ下降して ステム7の下端部に設けた弁体30が弁座2dに当� ��したら、バルブが全閉状態になって流体の� ��通が完全に遮断される。
 この状態でカム板21が反対方向に回転し、� �ム板21の最小半径部分がカムローラ24に対向� ��ると、開弁用の圧縮コイルスプリング33の� �性力によりステム7及びカム棒22等を上方へ� �し上げる。その結果、カム式バルブ1は、ス� ��ム7の下端部に設けた弁体30と弁座2dとが最� �離間した全開位置となる。

 このカム式バルブ1に於いては、ステム7を� �動するアクチュエータを昇降支持機構11によ りステム7に対して昇降自在に支持し、前記� �持機構11に昇降台17を支持する調整ネジ12aと� ��降台17を下方へ押圧附勢する弾性体12bとか� �成る高さ微調整機構12を設けているため、ダ イヤフラム3が弁座2dへ当座した後は、アクチ ュエータを取り付けた昇降台17全体が上昇し� ��弾性体12bを圧縮することになる。その結果� ��このカム式バルブ1に於いては、ダイヤフラ ム3が弁座2dへ過度に押し付けられると云うこ とがなく、弁体30や弁座2d等の損傷を防止す� �ことができると共に、バルブの全閉時に於� �る流体の漏洩を確実に防止することができ� �。然も、バルブの各構成部品の加工精度や� �立精度を高めなくても、バルブの全開時(全� ��時)に弁体30及びステム7等が零点位置(全開� �置又は全閉位置)に正確に位置するように調� ��することができる。
 又、このカム式バルブ1に於いては、バルブ のボンネット5に設けた取付け台14にガイド軸 16を立設し、このガイド軸16の上端部にアク� �ュエータが取り付けられる昇降台17を昇降自 在に支持する構成としているため、アクチュ エータがボディ2から離間した位置に配置さ� �ることになる。然も、このカム式バルブ1は� ��アクチュエータ及び昇降台17を収納ケース18 で囲繞する構成としている。その結果、この カム式バルブ1を冷媒を取り扱う冷媒循環回� �に介設しても、アクチュエータが冷媒の悪� �響を受け難くなり、アクチュエータの延命� �等を図れることになる。

 尚、上述した第1及び第2の実施形態に係る� �テッピングモータ駆動型のカム式バルブ1(ノ ーマルオープン型のダイヤフラムバルブ及び ノーマルオープン型のベローズバルブ)に於� �ては、何れもカム式バルブ1の開閉動作に伴� ��て、カム棒22の二股状の上端部内面とカム� �ーラ24の回転部側面(ベアリングの回転部側� �)とが擦れ合い、磨耗粉が発生することがあ� ��。この磨耗粉は、カム式バルブ1の開閉回数 が多くなる程、発生し易くなる。
 又、前記両カム式バルブ1に於いては、カム 板21の軸心とカムローラ24の軸心が平行でな� �場合、カム板1の荷重がカムローラ24に均一� �掛からず、カム板21の回転に伴ってカム棒22� ��回転する虞がある。

 図5に示すステッピングモータ駆動型のカ ム式バルブ1は、上述した第2の実施形態に係� ��ステッピングモータ駆動型のカム式バルブ1 (ノーマルオープン型のベローズバルブ)に改� ��を加え、磨耗粉の発生とカム棒22の回転を� �止できるようにしたものである。

 即ち、前記カム式バルブ1に於いては、図5� �示す如く、カム棒22の二股状の上端部内面と カムローラ24の両側面との間にワッシャー38� �挿入できる隙間を形成し、当該隙間にワッ� �ャー38を挿入してこれをピン23に取り付けて� ��る。その結果、このカム式バルブ1は、カム 棒22の二股状の上端部内面とカムローラ24の� �転部側面(ベアリングの回転部側面)との擦れ 合いが無くなり、カム式バルブ1の開閉に伴� �磨耗粉の発生を防止することができる。
 又、前記カム式バルブ1に於いては、図5に� �す如く、カム棒22にカム板21及びカムローラ2 4の軸心と平行な縦長のピン用貫通穴22aを形� �すると共に、収納ケース18の底板18bにピン用 貫通穴22aに対向するピン用嵌合穴18b″を形成 し、前記ピン用貫通穴22aに回転防止用ピン39� ��挿通してその両端部を底板18bのピン用嵌合� ��18b″に嵌め込むと共に、ピン用嵌合穴18b″� ��プラグ40を螺着して回転防止用ピン39を抜け 止めしている。その結果、このカム式バルブ 1は、回転防止用ピン39によりカム棒22が回転� ��るのを防止することができる。尚、回転防� ��用ピン39の外径及びピン用貫通穴22aの幅は� �カム式バルブ1の開閉時にカム棒22が回転す� �ことなく昇降動できるように設定されてい� �ことは勿論である。
 更に、前記カム式バルブ1に於いては、図5� �示す如く、カム棒22の二股状の上端部上面が カムローラ24の外周面の上面と面一になるよ� ��に形成されており、カム板21とカム棒22との 接触防止を図っている。

 図5に示すカム式バルブ1は、上述した第1� ��び第2の実施形態に係るステッピングモータ 駆動型のカム式バルブ1(ノーマルオープン型� ��ダイヤフラムバルブ及びノーマルオープン� ��のベローズバルブ)と同様の作用効果を奏す ることができる。然も、このカム式バルブ1� �、磨耗粉の発生を防止できると共に、カム� �22の回転を防止することができる。

 尚、上記実施形態に於いては、第2の実施 形態に係るステッピングモータ駆動型のカム 式バルブ1(ノーマルオープン型のベローズバ� ��ブ)に改良を加えて磨耗粉の発生とカム棒22� ��回転を防止するようにしたが、他の実施形� ��に於いては、図示していないが、上述した� ��1の実施形態に係るステッピングモータ駆動 型のカム式バルブ1(ノーマルオープン型のダ� ��ヤフラムバルブ)に図5に示すカム式バルブ1� ��同様の改良を加え、磨耗粉の発生とカム棒2 2の回転を防止するようにしても良い。