この発明の第1実施形態を図1ないし図10と共 に説明する。
 図1に示すように、この第1実施形態に係る� �受装置は、ハウジング1に軸2を複数の軸受3� �回転自在に支持したものである。この軸受� �置は、例えば、工作機械のスピンドル装置� �応用され、その場合、軸2はスピンドル装置� ��主軸2となる。

 主軸2には、軸方向に離隔した複数の軸受 3を締まり嵌め状態で嵌合し、内輪3i,3i間に内 輪間座4を、外輪3g,3g間に外輪間座5を介在さ� �ている。軸受3は、内輪3iと外輪3gの間に複数 の転動体Tを介在させた転がり軸受であり、� �れら転動体Tは保持器Rtで保持されている。� �受3は、軸方向の予圧を付与することが可能� ��軸受であり、アンギュラ玉軸受、深溝玉軸� ��、またはテーパころ軸受等が用いられる。� ��示の例ではアンギュラ玉軸受が用いられ、2 個の軸受3,3が背面組合わせで設置されている 。

 図1、図2に示すように、外輪間座5はリン� ��状の間座本体6と起歪部材7とを有し、前記� �座本体6は、第1の分割間座本体6aと、第2の分 割間座本体6bと、荷重負荷用間座6cとを有す� �。軸方向一方に設けられる第1の分割間座本� ��6aと、軸方向他方に設けられる第2の分割間� ��本体6bとの間に、リング部材からなる起歪� �材7と、この起歪部材7に荷重を印加する荷重 負荷用間座6cとを挟み込んでいる。図1に示す ように、これら第1,第2の分割間座本体6a,6b、� ��重負荷用間座6cおよび起歪部材7の幅寸法、� ��まり外輪間座5の幅寸法(軸方向長さ)H1は、� �輪間座4の幅寸法H2と異なっており、一方の� �受3の内輪端面に筒状部材8を介して当接する ナット9を締め付けることにより、これら外� �間座5、内輪間座4の幅寸法差に応じて軸受に 予圧が付与される。

 図2に示すように、前記間座本体6のうち、� �側の第1の分割間座本体6aは、この軸方向右� �部が前記一方の軸受3の外輪背面3gaに当接し� ��軸方向左端部が荷重負荷用間座6cに当接す� �。この第1の分割間座本体6aの軸方向右端部� �、外径側に外輪背面3gaに当接する当接面6aa� �、この当接面6aaに段部6abを介して内径側に� �なる軸受3に当接しない非当接面6acとを有す� ��。
 第1の分割間座本体6aの軸方向左端部は、い� ��ゆるラジアル平面に沿った平坦状に形成さ� ��ている。この軸方向左端部のうち内径側部� ��を除く残余の部分6adが、荷重負荷用間座6c� �右端面全体に当接する。

 第2の分割間座本体6bは、図1に示すように 、この軸方向左端部が他方の軸受3の外輪背� �3gaに当接し、軸方向右端部がラジアル平面� �成して起歪部材7に当接する。この第2の分割 間座本体6bの軸方向左端部は、外径側に外輪� ��面3gaに当接する当接面6baと、この当接面6ba� ��段部6bcを介して内径側に連なる軸受3に当接 しない非当接面6bbとを有する。

 起歪部材7について説明する。
 起歪部材7は、外輪間座5の両端間に作用す� �軸方向力によって歪を生じるリング状の部� �である。起歪部材7は、図2、図3に示すよう� �、この半径方向外周部分に厚肉部10と、この 厚肉部10から、段差部11を介して内径側に一� �に連なる薄肉部12とを有する。薄肉部12は厚� ��部10よりも薄肉であり、この起歪部材7をア� ��シアル平面で切断して視た断面(図2)が、前� ��薄肉部12を自由端とする形状を成す。この� �肉部12に複数の起歪部12aを設けている。すな わち、起歪部材7は、図2~図5、特に図3に示す� ��うに、円周方向複数箇所、この例では6箇所 に、この起歪部材7の他の箇所よりも弾性変� �を生じ易い起歪部12aを設けている。これら� �歪部12aを、図3、図5に示すように、円周方向 一定間隔おきに、換言すれば角度α(α=60度)間 隔おきに設けている。

 各起歪部12aは、図3、図5、図10に示すよう に、主に、凹形状部13と貫通孔14とによって� �現される。すなわち凹形状部13は、第2の分� �間座本体6bに臨む起歪部材7の一表面部7aを、 60度間隔おきに凹形状に座ぐり形成してなる� ��この各凹形状部13は、例えば、半径方向中� �付近から半径方向内方に開放されている。� �凹形状部13の底面部分を成す板厚t1は、他の� ��所つまり起歪部12aではない箇所の板厚t2よ� �も薄肉に形成されている。また、前記貫通� �14は、各凹形状部13が形成される周方向位置� ��半径方向外方に、矩形孔形状に形成されて� ��る。ただし、貫通孔14は、必ずしも矩形孔� �状に限定されるものではない。

 各凹形状部13の底面部分は、図10に示すよ うに、架設された橋形状を成す。前記凹形状 部13および貫通孔14によって、起歪部12aは、� �歪部材7の他の箇所よりも剛性が相対的に小� ��くなるように構成されている。これにより� ��歪部12aは、前記他の箇所よりも弾性変形を� ��じ易く、したがって、後述する歪の検出感� ��を大きくし得る。

 前記荷重負荷用間座6cは、図6~図9に示す� �うに、複数(この例では3つ)の凸部15と複数(� �の例では3つ)の凹部16とを有する。ただし、� ��部15、凹部16は、3つに限定されるものでは� �い。図6に示すように、これら凸部15は、荷� �負荷用間座6cにおける軸方向端部の円周方向 三箇所に、軸方向にやや突出し、図9に示す� �起歪部12aに荷重を印加する。各凸部15は、図 6に示すように、軸方向から見て円弧状に形� �され、この荷重負荷用間座6cの半径方向内周 付近において、対応する起歪部12aの所定の貫 通孔14付近からこの貫通孔14の周方向隣りの� �通孔14付近に至る円弧状である。図6に示す� �うに、3つの凸部15は円周等配位置に設けら� �、3つの凹部16も円周等配位置に設けられる� �

 起歪部材7と荷重負荷用間座6cとを、図8、 図9に示すように、3つの接触部17で接触させ� �いる。この接触により、起歪部材7には、荷� ��負荷用間座6cによって押される箇所と、押� �れない箇所とが生じる。前記3つの接触部17� �、3つの凸部15の円周方向位置に対応する円� �方向等配位置となる。各接触部17は、起歪部 12aの所定の貫通孔14付近からこの貫通孔14の� �方向隣りの貫通孔14付近に至る角度60度未満� ��円弧状の接触部である。これら3つの接触部 17は、図8に示すように、120度等配の円周等配 位置に形成される。

 図9に示すように、起歪部材7は、荷重負� �用間座6cの凸部15によって押された箇所が軸� ��向に変位し、押されない箇所は軸方向に殆� ��ど変位しない。このように起歪部材7は、各 起歪部12aの円周方向中間付近を境界として、 凸部15による押圧箇所と非押圧箇所とが存在� ��る。このため、図10に示すように、起歪部12 aには、同一端面上において、圧縮ひずみを� �じる圧縮部18と、引張ひずみを生じる引張部 19の両方が生じる。このように、起歪部材7は 、凸部15と凹部16とを有する荷重負荷用間座6c からの荷重Fにより、各起歪部12aの同一端面� �に圧縮ひずみと引張ひずみの両方を生じる� �うになっている。

 歪センサ20について説明する。
 図2、図5に示すように、各起歪部12aの右端� �に、各起歪部12aの歪を検出する2つの歪セン� ��20,20を設けている。検出手段としての各歪� �ンサ20は、歪ゲージ等で構成される。図5に� �すように、各起歪部12aにおける2つの歪セン� ��20,20は、この各起歪部12aの円周方向中心位� �と起歪部材7の軸中心とを通る仮想線L1に対� �、対称位置で所定小距離離隔して配置され� �。2つの歪センサ20,20のうち、一方の歪セン� �20により圧縮ひずみを検出し、他方の歪セン サ20により引張りひずみを検出し得る。換言� ��れば、2つの歪センサ20,20を各起歪部12aの同� ��端面(前記右端面)に設置し、これら2つの歪� ��ンサ20,20により、各起歪部12aに生じた圧縮� �ずみおよび引張りひずみを検出可能として� �る。本実施形態では、図2、図5に示すように 、各起歪部12aの右端面に座ぐり部12aaを形成� �、この座ぐり部12aaに2つの歪センサ20,20を設� ��ている。ただし、座ぐり部12aaを形成するこ となく、2つの歪センサ20,20を設けても良い。 この場合であっても、本実施形態と同様の作 用、効果を奏する。

 図1に示すように、各歪センサ20の出力部� ��ある配線20aは、ハウジング1に設けられた図 示外の孔を介してハウジング1外に引き出さ� �、転がり軸受の予圧を検出する予圧検出手� �21に電気的に接続されている。予圧検出手段 21は、前記配線20aを介して入力される電気信� ��に比例する予圧量を算出する電子回路等か� ��なる。この予圧検出手段21は、上記電気信� �と予圧量との関係を演算式またはテーブル� �で設定した図示外の関係設定手段を有し、� �出した歪に基づく電気信号を前記関係設定� �段に照らし予圧量を算出する。

 この関係設定手段は演算手段21aを含み、こ� ��演算手段21aは、検出された各起歪部12aにお� ��る圧縮ひずみと引張りひずみの絶対値を合� ��する。
 図1に示す演算手段21aとしてブリッジ回路に よる検出方法について、図11、図12と共に説� �する。周方向に隣り合う2つの起歪部12a,12aを 一対とし、そこに接着した4つの歪ゲージ20A� �より図11に示すようなブリッジ回路を構成す る。本実施形態では、図5に示すように、円� �方向6箇所に起歪部12aを設けているので、3つ のブリッジ回路が構成される。各ブリッジ回 路は、図12に示すように、増幅回路21aaを介し て加算回路21abに電気的に接続されている。� �たがって、各ブリッジ回路からの出力電圧� �、増幅回路21aaにより増幅された後、加算回� ��21abにより加算される。その後センサ出力さ れる。
 また、図1に示す予圧検出手段21は、例えば� ��ピークホールド処理により前記電気信号の� ��ーク電圧を測定し、このピーク電圧が所定� ��閾値外となったとき、軸受予圧が所望の予� ��ではないと判定するようにしても良い。予� ��検出手段21は、独立して設けられた電子回� �であっても、スピンドル装置を制御する制� �装置の一部であっても良い。また、前記演� �手段21aを予圧検出手段21と独立に設け、電気 的に接続しても良い。

 上記構成の作用、効果を説明する。
 図1に示すスピンドル装置の図示外の駆動源 により主軸2が回転し、軸受3の温度が上昇し� ��内輪3iが膨張し、予圧が初期設定値よりも� �きくなると、外輪間座5の両端間に加わる軸� ��向力が増加する。この外輪間座5のうち各起 歪部12aに、荷重負荷用間座6cの凸部15から軸� �向力が加わると、図10に示すように、各起歪 部12aにおける前記接触部17に近い部分に、圧� ��応力が作用する。これと共に、前記各起歪� ��12aにおける前記接触部17から離隔した部分� �、引張り応力が作用する。各起歪部12aの同� �端面上に設けた2つの歪センサ20,20のうち、� �記接触部17に近い部分に配置した一方の歪セ ンサ20(図10のP1)により、圧縮ひずみを検出す� ��。前記接触部17から離隔して配置した他方� �歪センサ20(同図P2)により、引張りひずみを� �出する。

 予圧検出手段21は、検出した歪に基づく電� �信号を前記関係設定手段に照らし予圧量を� �出する。したがって、起歪部12aに印加され� �荷重と電気信号との関係を予め調べておけ� �、軸受装置に組み込まれた軸受3の初期予圧� ��よび運転時に増加した予圧を知ることがで� ��る。
 特に、外輪間座5の軸方向の一部に設けたリ ング状の起歪部材7が、この間座の両端間に� �用する軸方向力により歪を生じる。この起� �部材7の円周方向複数箇所に設けた起歪部12a� ��、他の箇所よりも弾性変形を生じ易いため� ��歪の検出感度を、従来技術のものに比べて� ��きくすることができる。したがって、軸受� ��かかる予圧を感度良く測定することができ� ��。

 外輪間座5は、起歪部材7に荷重を印加す� �荷重負荷用間座6cを有し、この荷重負荷用間 座6cの軸方向端部の円周方向複数箇所に、軸� ��向に突出し各起歪部12aに荷重を印加する凸� ��15を設けている。この円周方向複数箇所に� �けられた凸部15が、各起歪部12aに荷重を印加 して弾性変形させ得る。前記凸部15は、従来� ��術のような環状凸形の部材ではなく、円周� ��向複数箇所に設けられた凸部であり、これ� ��複数の凸部15を、起歪部材7における各起歪� ��12aの所定の円周方向位置に対応させて、各� ��歪部12aを弾性変形させることが可能となる� ��

 荷重負荷用間座6cの軸方向端部に、前記� �部15と、起歪部12aに荷重を印加しない凹部16� ��を円周上に沿って設けたため、起歪部材7に は、荷重負荷用間座6cによって押される箇所� ��押されない箇所とが生じる。これにより、� ��歪部12a付近を軸方向により変位させ、起歪� ��12aの歪の軸方向の検出感度をより大きくす� ��ことができる。

 図10に示すように、起歪部材7は、図6に示 す凸部15と凹部16とを有する荷重負荷用間座6c からの荷重Fにより、各起歪部12aの同一端面� �に圧縮ひずみと引張りひずみの両方を生じ� �ものとしている。これら圧縮ひずみと引張� �ひずみとを歪みセンサ20,20で検出することが できる。この場合、起歪体7の裏表つまり一� �面および他端面に、歪センサを設ける必要� �ないため、軸受装置に歪センサ20を構成し易 くすることができる。各起歪部12aの同一端面 上に歪センサ20を設ける場合、両端面に歪セ� ��サを設けるよりも、組立工数の低減を図る� ��とができる。したがって、設計の自由度を� ��めると共に、製造コストの低減を図ること� ��できる。

 図1に示すように、歪センサ20により検出さ� ��る起歪部12aからの歪から、転がり軸受の予� ��を検出する予圧検出手段21を設けたため、� �の検出される予圧によって、主軸2を所望の� ��転精度に維持するとともに、この主軸2の剛 性を適度に管理することが可能となる。
 また、検出された各起歪部12aにおける圧縮� ��ずみと引張ひずみの絶対値を合計する演算� ��段21aを設けたため、歪の検出感度を確実に� ��きくすることが可能となる。この場合、主� ��2の回転精度を、より精度良く維持すること ができる。

 次に、この発明の第2実施形態を図13~図17と� ��に説明する。
 以下の説明において、第1実施形態で説明し ている事項に対応している部分には同一の参 照符号を付し、重複する説明を省略する場合 がある。構成の一部のみを説明している場合 、構成の他の部分は、先行して説明している 形態と同様とする。実施の各形態で具体的に 説明している部分の組合せばかりではなく、 特に組合せに支障が生じなければ、実施の形 態同士を部分的に組合せることも可能である 。

 軸方向一方から見た正面図である図13に� �すように、第2実施形態における起歪部材7A� �、厚肉部10と薄肉部12との段差部11に、複数� �この例では3箇所の溝22を形成している。こ� �ら溝22は、起歪部12aの軸方向変位を大きくす るための溝である。これら3箇所の溝22は、図 6に示す前記荷重負荷用間座6cに設けた3つの� �部15の円周方向位置に対応する円周方向等配 位置となる。つまり、3箇所の溝22が3つの凸� �15の円周方向位置に対応するように、起歪部 材7Aと荷重負荷用間座6cとの相対的な周方向� �置が規定される。各溝22は、所定の貫通孔14� ��らこの貫通孔14の周方向隣りの貫通孔14に至 る角度α(α=約60度)の円弧溝である。また、各 溝22は、第2の分割間座本体6bに臨む貫通しな� ��溝である。その他の構成は、第1実施形態と 同様の構成となっている。

 この第2実施形態によると、起歪部材7Aに� ��いて、厚肉部10と薄肉部12との段差部11に、3 つの凸部15の円周方向位置に対応するように� ��数箇所の溝22を形成したため、図17に示すよ うに、荷重負荷用間座6cの凸部15によって押� �れる箇所と押されない箇所との軸方向変位� �を、第1実施形態のものより大きくすること� ��できる。したがって、起歪部12aの歪の軸方� ��の検出感度をさらに大きくすることができ� ��。その他第1実施形態と同様の作用、効果を 奏する。

 次に、この発明の第3実施形態を図18、図19� �共に説明する。
 図18に示すように、この第3実施形態では、� ��重負荷用間座6cが第1の分割間座本体6Aaに一� ��に設けられ、第2の分割間座本体6bが省略さ� ��ている。外輪間座5Aは、荷重負荷用間座6cを 含む第1の分割間座本体6Aaと、起歪部材7Bとを 有する。起歪部材7Bの厚肉部10の軸方向左端� �が、軸受3の外輪背面3gaに直接当接する。図1 9は図18の要部の断面であり、起歪部12aや歪セ ンサ20その他の構成は、第1または第2実施形� �と同様の構成となっている。
 この第3実施形態によると、外輪間座5Aの部� ��点数を低減し、軸受装置の構造を簡単化す� ��ことができる。したがって、組立時間の短� ��を図ることができ、軸受装置全体の製造コ� ��トの低減を図ることができる。その他第1ま たは第2実施形態と同様の作用、効果を奏す� �。

 荷重負荷用間座6cは、図6に示すように、各� ��部15をこの間座6cの半径方向内周付近に設け ているが、必ずしもこの形態に限定されるも のではない。例えば、各凸部15をこの間座6c� �左端面における半径方向中間付近に設けて� �良い。この場合、各凸部15を鍛造等により簡 単に形成することが可能となる。
 図13等に示す第2実施形態における溝22を、� �歪部材7Aにおいて厚肉部10と薄肉部12との段� �部11以外に形成しても良い。また、図15に示� ��起歪部材7Aの右端面に、凸部の円周方向位� �に対応する位置で、且つこの凸部の当接位� �に干渉しない位置に円弧溝を形成しても良� �。この円弧溝を、図13の溝22の代替手段とし� ��も良い。このような円弧溝により、荷重負� ��用間座6cの凸部15によって押される箇所と押 されない箇所との軸方向変位量を、第1また� �第2実施形態のものより大きくすることがで� ��る。なお、複数の起歪部の箇所数は、6箇所 に限定されるものではない。起歪部材7Aの貫� ��孔14を非貫通孔にすることも可能である。

 つぎに、この発明の第4実施形態~第8実施� ��態について図面を参考にしながら説明する� ��これらの第4実施形態~第8実施形態は、起歪� ��材の起歪体部と、起歪部に荷重を印加する� ��重負荷体部とを一体形成した点で、前記第1 実施形態~第3実施形態と異なる。その他の構� ��は前記各実施形態と同様である。したがっ� ��、以下の第4実施形態~第8実施形態の説明に� ��いて、前記各実施形態で説明している事項� ��対応している部分には同一の参照符号を付� ��、重複する説明を省略する場合がある。構� ��の一部のみを説明している場合、構成の他� ��部分は、先行して説明している形態と同様� ��する。実施の各形態で具体的に説明してい� ��部分の組合せばかりではなく、特に組合せ� ��支障が生じなければ、実施の形態同士を部� ��的に組合せることも可能である。

 この発明の第4実施形態を図20ないし図27� �図11および図12と共に説明する。

 図20、図21に示すように、外輪間座5はリ� �グ状の間座本体6と、リング状の起歪部材7C� �を有する。前記間座本体6は、第1の分割間座 本体6aと、第2の分割間座本体6bとを有する。� ��方向一方に設けられる第1の分割間座本体6a� ��、軸方向他方に設けられる第2の分割間座本 体6bとの間に、前記リング状の起歪部材7Cを� �み込んでいる。

 図21に示すように、前記間座本体6のうち、� ��側の第1の分割間座本体6aは、この軸方向右� ��部が前記一方の軸受3の外輪背面3gaに当接し 、軸方向左端部が、前記起歪部材7Cのうちの� ��述する荷重負荷体部7Caに当接する。この第1 の分割間座本体6aの軸方向右端部は、外径側� ��外輪背面3gaに当接する当接面6aaと、この当� ��面6aaに段部6abを介して内径側に連なる軸受3 に当接しない非当接面6acとを有する。
 第1の分割間座本体6aの軸方向左端部は、い� ��ゆるラジアル平面に沿った平坦状に形成さ� ��ている。この軸方向左端部のうち内径側部� ��を除く残余の部分6adが、荷重負荷体部7Caの� ��端面全体に当接する。

 第2の分割間座本体6bは、前記各実施形態� ��同様、図20に示すように、この軸方向左端� �が他方の軸受3の外輪背面3gaに当接し、軸方� ��右端部がラジアル平面を成して、起歪部材7 Cのうちの起歪体部7Cbに当接する。この第2の� ��割間座本体6bの軸方向左端部は、外径側に� �輪背面3gaに当接する当接面6baと、この当接� �6baに段部6bcを介して内径側に連なる軸受3に� ��接しない非当接面6bbとを有する。

 起歪部材7Cについて説明する。
 起歪部材7Cは、この間座の両端間に作用す� �軸方向力によって歪を生じるリング状の部� �である。この起歪部材7Cは、起歪体部7Cbと、 荷重負荷体部7Caとを有する。この荷重負荷体 部7Caは、起歪体部7Cbの軸方向一端に一体に設 けている。
 起歪体部7Cbは、図21、図22に示すように、こ の半径方向外周部分に厚肉部10と、この厚肉� ��10から、段差部11を介して内径側に一体に連 なる薄肉部12とを有する。薄肉部12は厚肉部10 よりも薄肉であり、この起歪体部7Cbをアキシ アル平面で切断して視た断面が、前記薄肉部 12を自由端とする形状を成す。

 前記薄肉部12に複数の起歪部12aを設けて� �る。すなわち、起歪体部7Cbは、図21、図22、� ��24ないし図27に示すように、円周方向複数箇 所、この例では6箇所に、この起歪体部7Cbの� �の箇所よりも弾性変形を生じ易い起歪部12a� �設けている。これら起歪部12aを、図22に示す ように、円周方向一定間隔おきに、換言すれ ば角度α(α=60度)間隔おきに設けている。

 各起歪部12aは、図22、図24ないし図27に示� ��ように、主に、凹形状部13と貫通孔14とによ って実現される。すなわち、図22、図26に示� �ように、凹形状部13は、第2の分割間座本体6b に臨む起歪体部7Cbの一表面部7aを、60度間隔� �きに凹形状に座ぐり形成してなる。この各� �形状部13は、例えば、半径方向中間付近から 半径方向内方に開放されている。各凹形状部 13の底面部分を成す板厚は、他の箇所つまり� ��歪部12aではない箇所の板厚よりも薄肉に形� ��されている。また、前記貫通孔14は、各凹� �状部13が形成される周方向位置の半径方向外 方に、矩形孔形状に形成されている。ただし 、貫通孔14は、必ずしも矩形孔形状に限定さ� ��るものではない。

 各凹形状部13の底面部分は、架設された橋� �状を成す。前記凹形状部13および貫通孔14に� ��って、起歪部12aは、起歪体部7Cbの他の箇所� ��りも剛性が相対的に小さくなるように構成� ��れている。これにより起歪部12aは、前記他� ��箇所よりも弾性変形を生じ易く、したがっ� ��、後述する歪の検出感度を大きくし得る。
 また、図22に示すように、起歪体部7Cbのう� �、厚肉部10と薄肉部12との段差部11付近に、� �数、この例では3箇所の溝22を形成している� �これら溝22は、起歪部12aの軸方向変位を大き くするための溝である。これら3箇所の溝22は 、荷重負荷体部7Caの後述する3つの凸部15(図21 )の円周方向位置に対応する円周方向等配位� �となる。各溝22は、所定の貫通孔14からこの� ��通孔14の周方向隣りの貫通孔14に至る角度α( α=約60度)の円弧溝である。また、各溝22は、� ��2の分割間座本体6bに臨む貫通しない溝であ� ��。

 前記起歪体部7Cbの右端に一体に設けられ� ��荷重負荷体部7Caは、図21、図23ないし図25に� ��すように、複数(この例では3つ)の凸部15と� �複数(この例では3つ)の凹部16とを有する。た だし、凸部15、凹部16は、3つに限定されるも� ��ではない。これら凸部15は、荷重負荷体部7C aにおける軸方向端部の円周方向三箇所に、� �方向にやや突出し、各起歪部12aに荷重を印� �する。各凸部15は、前述した図6に示すもの� �同様に、軸方向から見て円弧状に形成され� �この間座の半径方向内周付近において、対� �する起歪部12aの所定の貫通孔14付近からこの 貫通孔14の周方向隣りの貫通孔14付近に至る� �弧状である。3つの凸部15は円周等配位置に� �けられ、3つの凹部16も円周方向等配位置に� �けられる。したがって、図23に示すように、 起歪体部7Cbと荷重負荷体部7Caとは、3つの凸� �15の円周方向位置に対応する3つの接触部17で 接合されている。

 各接触部17は、起歪部12aの所定の貫通孔14付 近からこの貫通孔14の周方向隣りの貫通孔14� �近に至る角度60度未満の円弧状の接触部であ る。これら3つの接触部17は、120度等配の円周 等配位置に形成される。
 起歪体部7Cbは、荷重負荷体部7Caの凸部15に� �って押された箇所が軸方向に変位し、押さ� �ない箇所は軸方向に殆んど変位しない。こ� �ように起歪体部7Cbは、各起歪部12aの円周方� �中間付近を境界として、凸部15による押圧箇 所と非押圧箇所とが存在する。このため、起 歪部12aには、図25に示すように、同一端面上� ��おいて、圧縮ひずみを生じる圧縮部18と、� �張りひずみを生じる引張部19の両方が生じる 。このように、起歪体部7Cbは、凸部15と凹部1 6とを有する荷重負荷体部7Caからの荷重によ� �、各起歪部12aの同一端面上に圧縮ひずみと� �張りひずみの両方を生じるようになってい� �。

 起歪体部7Cbと荷重負荷体部7Caを一体に設� ��た起歪部材7Cは、例えば、一つの素材から� �歪部材全体を切削加工して製作することが� �きる。また、一つの素材から起歪部材全体� �鋳造により製作可能である。これらの場合� �加工後の起歪部材7Cの剛性を高めつつ、起歪 部12aを弾性変形させ易くすることができる。

 歪センサ20についての説明も図21、図24、� ��27に示すように、前記第1実施形態の場合と� ��様であり、その詳しい説明は省略する。各� ��センサ20の出力部である配線20aの接続系統� �、予圧検出手段21、さらに、予圧検出手段21� ��おける関係設定手段および演算手段21aとし� ��ブリッジ回路による検出方法についても前� ��第1実施形態と同様であり、その詳しい説明 は省略する。

 上記構成の作用、効果も、前記第1実施形 態の場合と同様であり、詳しい説明を省略す る。

 この第4実施形態では、特に、前記起歪体 部7Cbおよび荷重負荷体部7Caを一体に設けたた め、これらの接触部17でのずれや、接触部17� �発生し得る摩擦等を未然に防止することが� �きる。したがって、歪センサ20により、起歪 部12aの歪を、前記接触部17でのずれ、摩擦等� ��影響されることなく、正確に検出すること� ��できる。したがって、軸受にかかる予圧を� ��度良く且つ正確に測定することができる。

 前記荷重負荷体部7Caのうち、起歪体部7Cb� ��軸方向一端に臨む軸方向端部に、軸方向に� ��出して各起歪部12aに荷重を印加する凸部15� �設けたため、円周方向複数箇所に設けられ� �凸部15が、各起歪部12aに荷重を印加して弾性 変形させ得る。また、荷重負荷体部7Caの軸方 向端部に、凸部15と、起歪部12aに荷重を印加� ��ない凹部16とを円周上に沿って設けたため� �起歪体部7Cbには、凸部15によって押される箇 所と、押されない箇所とが生じる。これによ り、起歪部12aの歪の軸方向の検出感度をより 大きくすることができる。また、起歪体部7Cb のうち、厚肉部10と薄肉部12との段差部11付近 に、複数の溝22を形成したため、前記凸部15� �よって押される箇所と、押されない箇所と� �軸方向変位量を、さらに大きくすることが� �きる。したがって、起歪部12aの歪の軸方向� �検出感度をさらに大きくすることができる� �

 起歪体部7Cbは、荷重負荷体部7Caからの荷� ��により、前記第1実施形態と同様、各起歪部 12aの同一端面上に圧縮ひずみと引張りひずみ の両方を生じるものとしている。これら圧縮 ひずみと引張りひずみとを検出することがで きる。

 次に、この発明の第5実施形態を図28ない� ��図31と共に説明する。

 前記第4実施形態では、図20に示すように� ��各起歪部12aの右端面に歪センサ20を設けた� �、第5実施形態に係る起歪部材7Dは、図28に示 すように、各起歪部12aの左端面に各起歪部12a の歪を検出する2つの歪センサ20,20を設けてい る。この場合、起歪体部7Dbの薄肉部12の肉厚� ��調整すると共に、貫通孔14を形成すること� �、起歪部12aを容易に形成することができる� �第5実施形態によると、例えば、図24に示す� �うな座ぐり部12aaを形成することなく、2つの 歪センサ20,20を簡単に設けることができる。� ��の場合、加工工数の低減を図ることができ� ��。その他第4実施形態と同様の構成となって おり、同様の作用、効果を奏する。

 図32ないし図34に示すこの発明の第6実施形� �では、荷重負荷体部7Eaを第4,第5実施形態の� �のより、薄肉で且つ小径化している。この� �合、荷重負荷体部7Eaの軽量化を図り、起歪� �材7E全体の軽量化を図ることができる。これ により、組立ての作業性を高めることができ る。それ故、図34に示すように、後述する別� ��で製作した起歪体部7Ebと荷重負荷体部7Eaを� ��接合する際の作業負荷を軽減することが可� ��となる。その他、第4,第5実施形態と同様の� ��成となっており、同様の作用、効果を奏す� ��。
 また、図35ないし図37に示すこの発明の第7� �施形態にかかる起歪部材7Fは、各起歪部12aの 左端面に各起歪部12aの歪を検出する2つの歪� �ンサ20,20を設けている。その他第6実施形態� �同様の構成となっており、同様の作用、効� �を奏する。

 この発明の第8実施形態として、図38に示� ��ように、別体でそれぞれ製作した起歪体部7 Gbと荷重負荷体部7Gaを、例えば、圧入、接着� ��溶接または螺子止め等により接合すること� ��より一体の起歪部材7Gを得ることも可能で� �る。この場合、一つの素材から起歪部材7G全 体を切削加工により一体に形成するよりも、 製作工数の低減を図ることが可能となる。ま た、起歪体部7Gbと荷重負荷体部7Gaを別体で製 作するため、間座幅の異なる種々の組合わせ に容易に対応することができる。換言すれば 、軸受に付与する予圧調整を容易化すること ができる。その他、前記各実施形態と同様の 作用、効果を奏する。

 上記各実施形態において、図22等に示す� �うな溝22を、起歪体部7Cb等における厚肉部10� ��薄肉部12との段差部11以外に形成しても良い 。なお、複数の起歪部12aの箇所数は、6箇所� �限定されるものではない。起歪部材7C等にお ける貫通孔14を非貫通孔にすることも可能で� ��る。

 以上説明した軸受装置を、スピンドル装� ��以外の装置、ロボット等に適用することも� ��能である。前記各実施形態では、2個の軸受 を背面組み合わせで設置したが、正面組み合 わせで設置する場合もあり得る。また、軸受 の個数は2個に必ずしも限定されるものでは� �い。前記各実施形態では、外輪間座の間座� �体の軸方向端部に起歪部を設けたが、前記� �ピンドル装置以外の装置において、例えば� �内輪間座の間座本体の軸方向端部に起歪部� �設けても良い。この場合、外輪回転となり� �起歪部の出力用の配線を、軸内部を通して� �受装置外に引き出すことが望ましい。

 以上のとおり、図面を参照しながら好適� ��実施形態を説明したが、当業者であれば、� ��件明細書を見て、自明な範囲内で種々の変� ��および修正を容易に想定するであろう。し� ��がって、そのような変更および修正は、添� ��のクレームから定まるこの発明の範囲内の� ��のと解釈される。