Title:
真空装置用のバルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023517653
Kind Code:
A
Abstract:
第１のハウジング要素と、第１のハウジング要素と結合された第２のハウジング要素とを備える、真空装置用のバルブであって、外側チャンバが、第１のハウジング要素と第２のハウジング要素１４）とによって画定される。第１ハウジング要素は、第１の開口を有し、第２ハウジング要素は、外側チャンバを介して第１の開口と流体連通する第２の開口を有する。内側チャンバが、第１のハウジング要素及び第２のハウジング要素によって画定され、膜が、内側チャンバ内に配置されて内側チャンバを第１の内側チャンバ及び第２の内側チャンバに分離するようになっている。密封要素が、膜に結合され、密封要素は、第１の位置から第２の位置まで移動可能であり、第１の位置において、密封要素は、第１の開口を漏れない様式で閉鎖し、第２の位置において、密封要素は、第１の開口を開放してガス状媒質がバルブを通過するのを可能にする。【選択図】 図１
Inventors:
Arts Johann Fustaf Karel
Cools Ronnie Antoine Jay
Van Hof Nils
Cools Ronnie Antoine Jay
Van Hof Nils
Application Number:
JP2022554694A
Publication Date:
April 26, 2023
Filing Date:
March 09, 2021
Export Citation:
Assignee:
ATLAS COPCO AIRPOWER,naamloze vennootschap
International Classes:
F16K1/12; F16K31/126; F16K51/02
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Masahiro Uegataguchi
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Masahiro Uegataguchi
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