Title:
真空チャンバに積み降ろしするための真空バルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022546796
Kind Code:
A
Abstract:
真空チャンバ（２）に積み降ろしするための真空バルブ（１）が閉塞プレート（３）を備えている。閉塞プレート（３）が、閉位置においてバルブシート（４）に押し付けられて積降開口部（５）が閉塞され、開位置においてバルブシート（４）から離間して真空チャンバ（２）に積み降ろしするために積降開口部（５）を開放する。閉塞プレート（３）がガイド部材（７）によってプレートホルダ（８）により支持されている。閉塞プレート（３）が弾性付勢部材（９）の付勢力に抗してガイド部材（７）に沿ってプレートホルダ（８）に対して変位可能に構成されている。【選択図】 図８
Inventors:
Rene Breuter
Stephan Schoff
Philipp Voorwent
Stephan Schoff
Philipp Voorwent
Application Number:
JP2022503401A
Publication Date:
November 09, 2022
Filing Date:
August 06, 2020
Export Citation:
Assignee:
Bat holding arg
International Classes:
F16K51/02
Attorney, Agent or Firm:
Creation International Patent Office