Title:
真空吸着装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017518464
Kind Code:
A
Abstract:
真空吸着装置が開示される。本発明の一側面に係る真空吸着装置は、内部に形成された真空チャンバーによって被着面に真空吸着される吸着部材と、吸着部材と結合して真空チャンバーが形成されるようにする調整部材と、を含み、吸着部材は、調整部材が結合し、調整部材によってその位置が上昇できる第１の硬質部と、第１の硬質部の端部に一端部が連結され、形状変形が可能な変形部と、変形部の他端部に連結されて変形部を支持し、第１の硬質部の外側に位置する第２の硬質部と、を含む。【選択図】図３
More Like This:
Inventors:
Ku
Application Number:
JP2016542757A
Publication Date:
July 06, 2017
Filing Date:
January 08, 2015
Export Citation:
Assignee:
Ku
International Classes:
F16B47/00; B25J15/06
Domestic Patent References:
| JPH0320719U | 1991-02-28 |
Foreign References:
| KR20090000877U | 2009-01-30 | |||
| WO2008123692A1 | 2008-10-16 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Minami