Title:
真空プロセスシステムとそのスマートバルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3239559
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】不良率の増加を抑え、異常現象の発生を即時に検出し、方策を即時に決めることができる真空プロセスシステムとそのスマートバルブを提供する。【解決手段】真空プロセスシステムは、スマートバルブ４０、周辺ユニット及びプロセスルームを含む。周辺ユニットとスマートバルブとは、操作パラメーターに基づいて、それに対応する操作環境および移動モードを提供する。スマートバルブは、検出データを学習トレーニングモデルに入力して、エッジコンピューティング（Ｅｄｇｅ Ｃｏｍｐｕｔｉｎｇ）を行い、方策を決めることにより、それに対応して周辺ユニットとスマートバルブとの操作パラメーターをオンラインでリアルタイムに更新して、プロセスルームで真空プロセスを行う。【選択図】図３
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Inventors:
Torayoshi
Wu Kun
Toshiki Xu
Sekibonmine
Hayashi Xuanyu
Fumiyu Ha
Chen Chang Ying
Chen Jian
Wu Kun
Toshiki Xu
Sekibonmine
Hayashi Xuanyu
Fumiyu Ha
Chen Chang Ying
Chen Jian
Application Number:
JP2022002813U
Publication Date:
October 21, 2022
Filing Date:
August 25, 2022
Export Citation:
Assignee:
Nitatsu Technology Co., Ltd.
International Classes:
F16K17/36; F16K37/00; F16K51/02
Attorney, Agent or Firm:
Sakuo Yamaguchi
Nobuyuki Oshima
Shinjiro Yamaguchi
Tadahiro Matsumoto
Nobuyuki Oshima
Shinjiro Yamaguchi
Tadahiro Matsumoto