Title:
イオン源バッフル、イオンエッチング装置及びその使用方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023526406
Kind Code:
A
Abstract:
イオン源バッフル（１）、イオンエッチング装置及びその使用方法であって、該イオン源バッフル（１）は中空構造のバッフル本体（１１）を含み、バッフル本体（１１）の内壁には対称に設けられるバッフル（１２）が固定されており、バッフル（１２）はバッフル本体（１１）の中心に向かって延在しており、バッフル本体（１１）の内壁からバッフル本体（１１）中心への方向において、バッフル（１２）による遮断領域は小さくなり、イオンエッチング装置は放電室（２）と、反応室（３）と、イオン源バッフル（１）と、を含み、イオン源バッフル（１）は放電室（２）の内壁に係着され、プラズマはイオン源バッフル（１）及びイオン源Ｇｒｉｄモジュール（４）を順次通過する。前記イオンエッチング装置にイオン源バッフル（１）が増設されることによって、プラズマがイオン源バッフル（１）で遮断されると、放電室のエッジ領域から放電室の中心領域まで、プラズマの数が徐々に増加し、これによって、スクリーングリッド（４１）の外孔が内孔よりも大きいという構造の設計に対して補償を行い、プラズマがスクリーングリッド（４１）を透過してなるプラズマビームの均一性が確保される。【選択図】図４（ｂ）
Inventors:
Zhang Yao Yao
Hu winter and winter
Liu Ocean
Zhang Jun
Lee Na
How true
Zhu Harutomo
Huh Kaidong
Hu winter and winter
Liu Ocean
Zhang Jun
Lee Na
How true
Zhu Harutomo
Huh Kaidong
Application Number:
JP2022570370A
Publication Date:
June 21, 2023
Filing Date:
May 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
JIANGSU LEUVEN INSTRUMENTS CO. LTD
International Classes:
H01L21/3065; H01J27/16; H01J37/08; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Cosmos International Patent and Trademark Office