Title:
高清浄高温弁
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009093608
Kind Code:
A1
Abstract:
弁装置としての使用環境に対する汎用性を向上することができる高清浄高温弁を提供する。弁軸１２を摺動可能に支持するボンネット２０に弁駆動部３０と弁箱４０とが連結され、上蓋３２及び下蓋３３に両端が閉成された周壁３１の内部に一端が位置し且つ下蓋３３を貫通した他端で弁軸１２の一端を支持した軸部３４を備え、軸部３４の一端は第１ベローズ３５に支持され、軸部３４の他端は下蓋３３の軸貫通穴３３ａを密閉する第２ベローズ３６に支持され、第１ベローズ３５によって隔絶された第１空間３７に第１配管３２ａが連通され、第１ベローズ３５によって隔絶された第２空間３８に第２配管３１ａが連通され、第１，第２空間内３７，３８の流体量を相互的に増減することで第１，第２ベローズ３５，３６に浮遊状態で支持された軸部３４が駆動する。
Inventors:
Yasuhiro Chiba
Kohei Yamamoto
Hiroshi Takada
Kota Koizumi
Yagi Yasushi
Shingo Watanabe
Yuji Ono
Yuko Kaneko
Kosuke Hasegawa
Kohei Yamamoto
Hiroshi Takada
Kota Koizumi
Yagi Yasushi
Shingo Watanabe
Yuji Ono
Yuko Kaneko
Kosuke Hasegawa
Application Number:
JP2009550533A
Publication Date:
May 26, 2011
Filing Date:
January 21, 2009
Export Citation:
Assignee:
株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
東京エレクトロン株式会社
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
F16K31/126; F16K1/32; F16K41/10; F16K49/00; F16K51/02
Domestic Patent References:
| JPH05187572A | 1993-07-27 | |||
| JP2005155676A | 2005-06-16 | |||
| JPS57154578A | 1982-09-24 | |||
| JPS6394383U | 1988-06-17 | |||
| JPH09257152A | 1997-09-30 | |||
| JPS62190873U | 1987-12-04 | |||
| JP2006189117A | 2006-07-20 | |||
| JPS4934628A | 1974-03-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Hisao Fukumori