Title:
電気機械システムデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015531891
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、１つまたは複数の蓄積キャパシタを含む電気機械システムデバイスのためのシステム、方法および装置を提供する。一態様では、デバイスは、基板構造と、基板構造に対して移動するように構成された可動要素と、少なくとも１つのスイッチとを含む。可動要素は、蓄積キャパシタを形成する第１の導電層と第２の導電層とを含む。スイッチは、ソースと蓄積キャパシタとの間の電荷の流れを制御するように構成される。
Inventors:
Chan, Edward K.
Wen, bin
Kim, Jung Hong
Hong, John H.
Wen, bin
Kim, Jung Hong
Hong, John H.
Application Number:
JP2015529828A
Publication Date:
November 05, 2015
Filing Date:
August 08, 2013
Export Citation:
Assignee:
QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
International Classes:
G02B26/00; B81B3/00; B81C1/00
Attorney, Agent or Firm:
Kurata Masatoshi
Yoshihiro Fukuhara
Morisezo Iseki
Okumura Motohiro
Yoshihiro Fukuhara
Morisezo Iseki
Okumura Motohiro