Title:
制御装置、基板処理システム及び真空バルブ装置の制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024014564
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】真空バルブ装置のオープン動作時に動作異常が発生することを低減する制御装置、基板処理システム及び真空バルブ装置の制御方法を提供する。【解決手段】第１室と第２室とを連通する搬送路を開閉する弁体と、前記弁体に設けられるシール部材と、モータを有し前記弁体を駆動する弁体駆動部と、を有する真空バルブ装置を制御する制御装置であって、第１引き剥がし速度で前記モータを制御する第１動作パターンと、前記第１引き剥がし速度よりも遅い第２引き剥がし速度で前記モータを制御する第２動作パターンと、を切り替え可能に構成される、制御装置。【選択図】図４
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Inventors:
Takuya Yamamoto
Takashi Sugimoto
Takashi Sugimoto
Application Number:
JP2022117477A
Publication Date:
February 01, 2024
Filing Date:
July 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
F16K31/04; F16K51/02; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Tadahiko Ito