Title:
真空チャンバのための閉鎖又はロックデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019502064
Kind Code:
A
Abstract:
真空チャンバ（１２）のための閉鎖又はロックデバイスであって、真空チャンバ（１２）に配置することができ、真空チャンバ（１２）の開口部（１４）を包囲するカウンタプレート （１６）と、カウンタプレート（１６）に対して移動できるように支持され、かつ閉鎖カバー（１８）が移動可能に配置されているフレーム（１５）であって、カウンタプレート（１６）に対する閉鎖位置（２８）で密閉するように、閉鎖カバー（１８）が開口部（１４）を閉鎖する、フレーム（１５）と、カウンタプレート（１６）及び閉鎖カバー（１８）と係合する、カウンタプレート（１６）と閉鎖カバー（１８）との間で作用する閉鎖力（Ｃ）を発生させるための少なくとも１つの磁石デバイス （３０）とを含む、閉鎖又はロックデバイス。【選択図】図２
Inventors:
Oldendorf, Ulrich
Kresen, Christoph
Kresen, Christoph
Application Number:
JP2018527808A
Publication Date:
January 24, 2019
Filing Date:
December 02, 2016
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
F16J13/02
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation