Prioritäten

Diese Patentanmeldung nimmt die Prioritäten der deutschen Patentanmeldung

DE 10 2022 125574.3 vom 04.10.2022 und der deutschen Patentanmeldung DE 10 2023 126 115.0 vom 26.09.2023 und der deutschen Patentanmeldung DE 10 2023 125543.6 vom 20.09.2023 in Anspruch.

Feld der Erfindung

Die Erfindung richtet sich auf einen Mikrocontroller, der zumindest einen quantenprozessbasierenden Generator für echte Zufallszahlen (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) als Zufallszahlengenerator insbesondere für die Verschlüsselung umfasst. Die vorliegende Erfindung umfasst insbesondere einen Zufallszahlengenerator (RNG), insbesondere einen echten Zufallszahlengenerator (TRNG) einer verbesserten Art basierend auf Quantenprozessen und die Auswertung des Signals der Entropiequelle mittels Pseudozufallszahlengeneratoren (PRNG), die sich innerhalb der Entropieextraktion befinden.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich somit auf eine Datenverarbeitungsvorrichtung mit einem quantentechnologiebasierenden Zufallszahlengenerator.

Hintergrund der Erfindung

Die Automobilindustrie und andere Industrien sehen sich zunehmend verschiedensten

Piraterieangriffen ausgesetzt. Die Fälscher kopieren die Ersatzteile und Produkte der betroffenen industriellen Produzenten und nutzen in der Regel deren Markennamen. Ein weiterer Angriffspunkt ist die Datenübertragung innerhalb der Produkte und/oder die Datenübertragung zum Produkt und zurück.

Die Eigenschaften der Entropie gängiger Zufallszahlengeneratoren für solche Systeme sind typischerweise unzureichend. Aus dem Stand der Technik sind mit quantenprozessbasierenden Generatoren für echte Zufallszahlen (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) bekannt, die jedoch nur schwer integrierbar sind oder eine schlechte Quantenausbeute zeigen. Es ist bekannt, dass Zufallszahlengeneratoren derzeit in vielen Anwendungen eingesetzt werden, die von der Wissenschaft bis hin zur Kryptographie reichen.

Aus dem Stand der Technik ist insbesondere die technische Lehre der EP 3 529 694 Bl bekannt, bei der die zeitliche Dauer zwischen Pulsen einer Entropiequelle aus zwei SPAD-Dioden verwendet wird. Nachteil der technischen Lehre der EP 3 529 694 Bl ist die geringe Quanteneffizienz bei der Übertragung der Photonen von der als Silizium arbeitenden ersten SPAD-Diode auf die als Fotodiode arbeitende zweite SPAD-Diode. Das hier vorgelegte Dokument zitiert daher abschnittsweise Ausführungen der Autoren und Erfinder in der EP 3 529 694 Bl. Das hier vorgelegte Dokument nutzt die technische Lehre der EP 3 529 694 Bl und baut auf die technische Lehre der

WO 2023 072 956 Al, deren technische Lehre das hier vorgelegte Dokument im Zusammenhang mit der Lösung des Problems wiederholt.

„Ein typisches Beispiel für den ersten Fall ist die Computerwissenschaft, die die Erzeugung einer bestimmten Anzahl von zufälligen Anfangszuständen erfordert, die als Beschreibung des Anfangszustands der Simulation dienen.

Für diese Art von Anwendungen ist es im Allgemeinen erforderlich, dass die Anfangskonfigurationen nicht streng miteinander korreliert sind, sondern auf deterministische Weise reproduziert werden können, um zum Beispiel die Auswirkungen von Variationen auf die Codes, die die Simulationen durchführen, zu überprüfen. Aus diesem Grund werden diese Sequenzen korrekter als Pseudozufallszahlen (PRN) bezeichnet, da sie durch komplexe Algorithmen definiert werden, die von einem Ausgangswert ausgehen. Mit anderen Worten: Bei einer anfänglichen Zufallszahl, die im Fachjargon als "Seed" bezeichnet wird, wird eine noch so komplexe Formel immer dieselbe Folge von Zufallszahlen reproduzieren. Die entsprechenden Generatoren werden als Pseudo- Zufallszahlengeneratoren (PRNG) bezeichnet.

Im zweiten Fall hingegen, d.h. wenn Zufallszahlen in Kryptographietechniken zur Ausführung von z.B. Bankoperationen verwendet werden, scheint der oben beschriebene Ansatz schwach zu sein, da sichergestellt werden muss, dass die generierten Sequenzen absolut unvorhersehbar sind, um die Sicherheit hochsensibler Informationen gewährleisten zu können. In diesem Fall besteht der sicherste Ansatz in der Generierung von Zufallszahlen, die aus einem Generierungsprozess stammen, der wirklich ein Zufallsprozess sein muss und keine Vorhersage der generierten Sequenz zulassen darf. Diese Generatoren werden als True Random Number Generators (TRNG) bezeichnet.

Insbesondere Quantenmechanismen, wie z. B. die Erzeugung von Photonen durch eine Lichtquelle, gehören zu den am besten untersuchten Methoden zur Gewinnung der besagten Sequenzen echter Zufallszahlen und beruhen auf der Unbestimmtheit des gemessenen Ereignisses, die zu den Eigenschaften des Quantensystems selbst gehört.

Aus der Sicht der Informationstheorie kann der Grad der Unvorhersehbarkeit der mit den beiden oben genannten Techniken erzeugten Zufallszahlen durch den Parameter "Entropie" ausgedrückt werden, der als die in einer Zufallsvariable vorhandene Unsicherheit oder Information bekannt ist.

Darüber hinaus ist es wichtig zu betonen, dass das National Institute of Standards and Technology (NIST) in seiner Richtlinie NIST SP800-22 etwa fünfzehn statistische Tests festlegt, mit denen festgestellt werden kann, ob ein bestimmter Zufallszahlengenerator ein ausreichendes Maß an Entropie aufweist oder nicht.

Wie bereits erwähnt, ist die Verwendung von PRNGs für kryptografische Zwecke gefährlich, nicht nur, weil bestimmte Algorithmen Schwächen aufweisen, die möglicherweise erst einige Zeit nach ihrer Einführung zutage treten, sondern auch, weil eine böswillige Person, die den Seed, aus dem alle Zufallssequenzen generiert werden, wiederherstellen könnte, alle nachfolgenden Ausgaben auf der Grundlage desselben Seeds mit absoluter Sicherheit Vorhersagen könnte.

Eine Lösung, die sich auf physikalische Phänomene und insbesondere auf Quantenphänomene stützt, ist daher in Anbetracht der inhärenten Unvorhersehbarkeit dieser Ereignisse selbst für Personen, die die verwendeten Algorithmen genau kennen und über eine hohe Rechenkapazität verfügen, viel besser geeignet. Während jedoch die Algorithmen zur Erzeugung von Pseudozufallszahlen so gewählt werden können, dass sie Sequenzen mit bestimmten statistischen Eigenschaften erzeugen, die aufgrund ihres deterministischen Charakters mit absoluter Sicherheit bestimmt werden können, unterliegen die aus physikalischen Phänomenen gewonnenen Zufallszahlen praktischen Beschränkungen, die beispielsweise auf Schwankungen in der Produktionsqualität der Geräte, auf Schwankungen der Stromversorgung, auf Umweltfaktoren wie äußere Felder und Temperaturschwankungen zurückzuführen sind. Diese Abweichungen vom Idealfall bedingen im Allgemeinen eine Abweichung von einer statistischen Gleichverteilung, die unabhängig von den Ereignissen ist, die in einem Stichprobenraum gemessen werden können. Infolgedessen ist es möglich, sogar eine Verringerung der Entropie der genannten echten Zufallszahlengeneratoren zu beobachten.

Um diesen Nachteil zu vermeiden, benötigen die besagten Echten Zufallszahlengeneratoren einen weiteren Schritt, die so genannte Nachbearbeitung, die nach der Extraktion der Zufallscodefolge, ausgehend von dem spezifischen physikalischen Phänomen, durchgeführt wird. Dieser Nachbearbeitungsschritt ermöglicht es in der Tat, die Gleichmäßigkeit der Wahrscheinlichkeitsverteilung der Zufallscodefolge zu verbessern. Nachteilig ist jedoch, dass sich dieser Nachbearbeitungsschritt auf die Bitrate auswirkt, die der Generator garantieren kann.

Wie bereits erwähnt, ist auch bekannt, dass eines der physikalischen Phänomene, die für die Erzeugung echter Zufallszahlen am meisten genutzt werden, die Quantenphotonik ist. Aus diesem Grund werden diese Generatoren, die zur Makrokategorie der TRNGs gehören, auch mit dem Akronym QRNG (Quantum Random Number Generator) bezeichnet. In diesen Generatoren erzeugt eine abgeschwächte Lichtquelle einige wenige Photonen (niedriger Wert des detektierten Photonenflusses X), die von einem oder mehreren Einzelphotonendetektoren erfasst werden, von denen jeder unter dem Akronym SPAD (Single Photon Avalanche Diode) bekannt ist. Darüber hinaus umfasst das System entsprechende elektronische Schaltungen, die den oben genannten SPADs nachgeschaltet sind und aus Hilfsschaltungen und in der Regel aus einem oder mehreren TDCs (Time to Digital Converter) oder Zählern bestehen, die in der Lage sind, eine zufällige Bitfolge aus jedem der SPADs zu extrahieren, indem sie die Ankunftszeit der erfassten Photonen messen oder sie zählen.

Bei diesen Generatoren sind die Lichtquelle und der oder die Detektoren separate Geräte, die in geeigneter Weise gekoppelt und abgeschirmt werden müssen. Nachteilig ist jedoch, dass diese Ausführung natürlich nicht gegen den Einfluss unkontrollierter äußerer Umweltfaktoren gefeit ist. Darüber hinaus macht die Tatsache, dass die Lichtquelle und der/die Detektor(en) getrennte Vorrichtungen sind, die nacheinander miteinander gekoppelt werden, den gesamten Zufallszahlengenerator sehr anfällig für jede Art von Beeinflussung oder Manipulation.

Ein weiterer Nachteil ist, dass diese Implementierung hohe Kosten für das Gerät mit sich bringt, da die beiden Geräte optisch ausgerichtet werden müssen.

Nach den obigen Ausführungen sei darauf hingewiesen, dass auf dem Markt verschiedene Arten von Zufallszahlengeneratoren auf der Grundlage des QRNG-Konzepts erhältlich sind. Diese Generatoren decken ein breites Spektrum von Anwendungen ab, von tragbaren USB-Geräten, die nur einige hundert kbit/s liefern, bis zu großen elektronischen Systemen, die eine Bitrate von Hunderten von Mbit/s garantieren können. Darüber hinaus wurden in der vorhandenen Literatur zu diesem Thema mehrere Logiken und Architekturen vorgeschlagen, die für die Bestimmung von Sequenzen echter Zufallszahlen ausgehend von einem physikalischen Phänomen, insbesondere von der Photonendetektion, ausgelegt sind. Die meisten von ihnen erfassen die "Ankunftszeit" oder die Anzahl der Photonen, die auf die empfindliche Oberfläche des oder der SPAD-Detektoren auftreffen. Ein Beispiel für einen bekannten Quantenzufallszahlengenerator, der auf der Ankunftszeit basiert, findet sich in der internationalen Veröffentlichung WO 2016016741 Al. Insbesondere bei der Technik, die auf der so genannten Ankunftszeit basiert, wurde vorgeschlagen, die Zeit zu messen, die zwischen dem Zeitpunkt, zu dem ein Photon mit einem einzelnen SPAD in Kontakt kommt, und dem Zeitpunkt, zu dem das nachfolgende Photon mit demselben SPAD in Kontakt kommt, vergeht. Mit dieser Technik lässt sich zwar eine hohe Bitrate erzielen, sie weist jedoch eine erhebliche Verzerrung auf, da, wie bereits erläutert, die Photonenquelle dem Poisson- Prozess gehorcht.

Um diesen Nachteil zu überwinden, schlägt der Stand der Technik vor, direkt auf die Photonenquelle einzuwirken, um den Fluss der von dieser Quelle erzeugten Photonen zu steuern. Dieser Vorgang umfasst insbesondere die Veränderung des Pilotstroms der Photonenquelle, um ihre statistische Verteilung über die Zeit so gleichmäßig wie möglich zu gestalten.

Nachteilig bei diesem Ansatz ist jedoch, dass in den Zufallszahlengenerator eine spezielle elektronische Schaltung eingebaut werden muss, die, wie oben erläutert, die Photonenquelle steuern kann, was die Komplexität und die Größe des Generators selbst erhöht."

In vielen Bereichen von Wissenschaft und Technik spielen zufällige Ereignisse und die Bestimmung von Wahrscheinlichkeiten eine besonders herausragende Rolle. Beispielsweise basieren Monte- Carlo-Simulationen und sichere Verschlüsselungsverfahren in hohem Maße auf der Bereitstellung von Zufallszahlen. Man unterscheidet dabei im Allgemeinen zwischen den sogenannten Pseudo- Zufallszahlen und echten Zufallszahlen. Während erstere mittels deterministischer Formeln durch Pseudo-Zufallszahlengeneratoren (engl. „Pseudo Random Number Generators, PRNGs") erzeugt werden, also nicht absolut zufällig sind, basieren nicht-deterministische Zufallszahlengeneratoren zur Bereitstellung echter Zufallszahlen (engl. „True Random Number Generators, TRNGs") im Allgemeinen auf real unvorhersehbaren Prozessen wie einem thermischen oder atmosphärischen Rauschen und nicht auf künstlich generierten Mustern deterministischer Algorithmen. Allerdings können auch die Ergebnisse von solchen auf äußeren Parametern basierenden nichtdeterministischen Zufallszahlen-generatoren abhängig vom zugrundeliegenden Zufallselement aufgrund von schwachen Korrelationen beispielsweise noch immer geringfügig zu höheren oder zu geraden Zahlen tendieren und somit zumindest eine teilweise Vorhersagbarkeit der so generierten Zufallszahlen ermöglichen.

Die sogenannten Quanten-Zufallszahlengeneratoren (engl. „Quantum Random Number Generators, QRNGs") als spezielle Untergruppe der TRNGs hingegen basieren auf fundamentalen Quantenprozessen zur Zufallszahlenerzeugung und sind daher zumindest theoretisch nicht an andere die Statistik beeinflussende äußere Faktoren und Effekte gekoppelt. Quanten-Zufallsgeneratoren stellen somit die z. Z. beste verfügbare Quelle für echte Zufallszahlen dar. Aktuelle digitale QNRGs können dabei Entropieraten (d. h. eine Folge von Bitwerten mit maximaler Zufälligkeit bzw. Entropie) von bis zu einigen hundert Mbps liefern. Die erzeugten Zufallszahlen werden sowohl bei klassischen Verschlüsselungs-verfahren als auch bei einer Vielzahl von Verfahren der Quanteninformatik und Quantenkryptografie zur Gewährleistung eines sicheren Schlüsselaustauschs benötigt (engl. „Secure/Quantum Key Distribution, SKD/QKD"). Zur Generierung sicherer Schlüssel in der Kryptographie sind daher nicht-manipulierbare und schnelle QRNGs unbedingt erforderlich.

Eine Vielzahl von QRNGs wird aufgrund von deren besonders einfacher Realisierbarkeit mit Hilfe zufälliger Eigenschaften von Photonen als photonische QRNGs realisiert. Ein einfaches Konzept für die Erzeugung von Zufallszahlen ist dabei das Verhalten eines Photons, dass an einen semitransparenten Strahlteiler unabhängig von anderen Photonen entweder reflektiert oder transmittiert wird. Ein anderer Ansatz ist die Nutzung der zufälligen Ankunftszeiten von Photonen auf einem Einzelphotonendetektor. Dieser auf einer intrinsischen, prinzipiell nicht deterministisch berechenbaren Photonenstatistik der Photonen einer zugehörigen Photonen-quelle basierende Verteilungseffekt kann ebenfalls zur Bereitstellung echter Zufallszahlen genutzt werden. Die Ankunftszeiten von Photonen auf einem Einzelphotonendetektor weisen im Allgemeinen eine Exponential-Verteilung auf.

Typischerweise wird in einem Einzelphotonendetektor (engl. „Single Photon Detector, SPD") zunächst durch ein einzelnes einfallendes Photon ein Detektorimpuls erzeugt, welcher in einem Zeit- zu-Digital-Wandler (engl. „Time-to-Digital Converter, TDC") in eine mit einem Zeit-stempel versehende digitale Repräsentation des Detektionsereignisses umgewandelt und entsprechend weiterverarbeitet werden kann. Als Photonen- bzw. Entropiequelle in QRNGs werden dabei zumeist stark auf das Einzelphotonenniveau abgeschwächte Laserdioden (engl. „Laser Diodes, LD") oder einfache lichtemittierende Dioden (engl. „Light Emitting Diodes, LEDs") genutzt, deren emittierte Photonen anschließend über einen oder mehrere besonders empfindliche Einzelphotonen- Lawinendioden (engl. „Single Photon Avalanche Diodes, SPADs") als SPD zeitlich aufgelöst erfasst werden können. Solche zeitgleich nur einzelne oder nur einige wenige Photonen bereitstellende Photonenquellen werden im Rahmen dieser Anmeldung auch als Einzelphotonenquellen (engl. „Single Photon Source, SPS") bezeichnet. Es muss sich dabei jedoch nicht um echte Einzelphotonenemitter, beispielsweise auf Basis eines einzelnen isolierten Zweiniveausystems, handeln.

Bei SPADs handelt es sich um eine Art Photodetektor ähnlich den Photodioden (engl. „Photo Diodes, PDs") und Avalanche-Photodioden (engl. „Avalanche Photo Diodes, APDs"), jedoch mit einer demgegenüber deutlich erhöhten Sensitivität. Die SPADs können digital - auch innerhalb einer gemeinsamen integrierten Schaltung - ausgelesen und ausgewertet werden. Wird eine solche integrierte Detektorschaltung durch einzelne Photonen angeregt, so wird in dem sensorisch aktiven Bereich (Absorptionsgebiet) pro anregendem Photon primär jeweils nur ein Elektron-Loch-Paar generiert, wobei die angeregten Elektronen durch elektrische Felder zur Kathode und die angeregten Löcher zur Anode abgezogen werden. Dabei driften die Ladungsträger bei einer SPAD durch ein sogenanntes Lawinengebiet, innerhalb dessen durch eine verstärkte Stoßionisation eine Ladungslawine erzeugt wird. Es handelt sich somit um hochgradig sensitive Photonen-Empfänger- Elemente, welche bei Aktivierung eine hohe Ladungsmenge (ca. 105 - 106 Elektronen) mit hoher zeitlicher Auflösung bereitstellen können.

Eine SPAD wird typischerweise im Geiger-Modus oberhalb seiner Durchbruchspannung betrieben, wobei ein einzelnes Photon über die erzeugte Ladungslawine detektiert und anschließend als Einzelereignis registriert wird. Zur Verringerung der während der Registrierung auftretenden Totzeit kann unmittelbar nach dem Einsetzen der Lawinenausbildung eine aktive oder passive Unterdrückung bzw. Quenching der weiteren Ladungsträgerverstärkung erfolgen. Die integrierte Schaltung kann neben der SPAD auch ein sogenanntes Einzelphotonenzählwerk bzw. einen Einzelphotonenzähler (engl. „Single-Photon Counter, SPC") umfassen, hierbei erfolgt im Allgemeinen anstatt einer direkten Ausgabe eines einzelnen Detektorimpulses eine unmittelbare statistische Auswertung der zeitlichen Verteilung der einzelnen detektierten Einzelphotonenereignisse.

Eine parallel zur Zufallszahlenerzeugung erfolgende statistische Auswertung kann beispiels-weise zur weiteren Absicherung der Erzeugung gegenüber möglichen Angriffen auf den Prozess der Zufallszahlenerzeugung genutzt werden. Insbesondere bei aus Einzel-komponenten aufgebauten nicht-integrierten photonischen QRNGs bieten die erforderlichen Übertragungsstrecken innerhalb des Systems dazu vielfältige Angriffsmöglichkeiten. Daher werden solche Systeme zur Erhöhung der Sicherheit möglichst kompakt und isoliert von ihrer äußeren Umgebung realisiert. Neben der Vermeidung von potentiellen Angriffsszenarien ist ein weiterer Vorteil solcher kompakten QRNGs, dass die Zufallszahlenerzeugung eventuell von außerhalb des Systems beeinträchtigende natürliche Einflüsse ebenfalls weitestgehend minimiert werden können. Entsprechend kompakte, auf dem Photonenrauschen basierende QRNGs werden daher bisher üblicherweise als hybridisch integrierte Systeme bereitgestellt.

Aus der EP 3 529 694 Bl ist auch ein integrierter Quanten-Zufallszahlengenerator (engl. „integrated Quantum Random Number Generator, iQRNG") mit einer SPS und einer oder mehreren SPDs bekannt, bei dem die SPS und der oder die SPDs vollständig in CMOS-Technologie integriert in einem einzigen Halbleitersubstrat derart angeordnet sind, dass sie unmittelbar nebeneinanderliegen (siehe FIG. 1 mit zugehöriger Figurenbeschreibung). Die SPS wird dabei durch einen zweckmäßig dotierten p-n-Übergang bereitgestellt, so dass sie einen zu detektierenden Photonenstrom erzeugt, wenn die Photonenquelle in geeigneter Weise in Vorwärts- oder Rückwärtsrichtung vorgespannt ist. Bei den

SPDs soll es sich insbesondere um SPADs handeln, welche bevorzugt durch gemeinsame

Herstellungs-prozesse mit den SPSs erzeugt werden und die gleiche chemische Struktur aufweisen.

Die gemeinsame Integration bewirkt, dass der von der SPS erzeugte Photonenstrom durch optisches Übersprechen innerhalb ein und desselben Halbleitermaterials unmittelbar zu einer daneben angeordneten SPAD fließen kann und nicht wie bei anderen aus dem Stand der Technik bekannten hybridisch integrierten QRNGs zunächst einen eventuell leeren, die beiden Komponenten physikalisch voneinander trennenden Kopplungszwischenraum überwinden bzw. durchtunneln muss. Die integrierte „side-by-side"-Konfiguration macht den in der Druckschrift vorgestellten QRNG kompakter und strukturell weniger komplex als hybride QRNGs des gleichen funktionalen Typs. Darüber hinaus ist der Zufallszahlengenerator dank der Integration aller Komponenten deutlich robuster und immuner gegen externe Umwelteinflüsse sowie gegen Manipulationsversuche durch äußere Angreifer.

Allerdings besteht unter deutlich erhöhtem Aufwand hierbei prinzipiell auch weiterhin die Möglichkeit, während des laufenden Betriebs des QRNGs in den Erzeugungsprozess der Zufallszahlen störend, beeinflussend und/oder beobachtend einzugreifen. Da der in der Druckschrift offenbarte iQRNG im Wesentlichen eine planare Struktur aufweist, könnten einzelne Photonen nämlich durchaus von ober- oder unterhalb der Ebene des Substrats abgegriffen oder zusätzlich eingebracht werden.

Die horizontale Nebeneinanderanordnung der Strukturen ist zudem nicht ideal hinsichtlich der Effizienz und des benötigten Flächenverbrauchs. Die Effizienz wird dabei insbesondere durch den erforderlichen seitlichen Abstand zwischen der SPS und der SPAD und eine damit verbundene hohe Absorption der Photonen im Halbleitermaterial beschränkt. Die von der SPS emittierten Photonen werden ohne besondere Vorkehrungen zudem weitgehend ungerichtet in das die SPS umgebende Material ausgesendet, so dass auch dadurch nur ein Teil der erzeugten Photonen von einer zugehörigen SPAD detektiert werden kann. Zwar können mehrere SPADs um eine einzelne SPS herum angeordnet werden, so dass die Effizienz und somit die digitale Entropierate durch gemeinsame Auswertung der so verbundenen SPADs erhöht werden kann, dadurch nimmt jedoch der Flächenverbrauch eines solchen iQRNGs erheblich zu. Anderseits muss auch bei einem einzelnen Emitter-Detektor-Paar sichergestellt werden, dass die nicht detektierten Photonen sich nicht unkontrolliert innerhalb des Substrats ausbreiten und an anderer Stelle im Substrat zu Störungen führen können. Die damit verbundenen seitlichen Sperrbereiche führen daher ebenfalls zu einer Erhöhung des effektiven Flächenverbrauchs des iQRNGs. Ein ebenfalls in CMOS-Technologie (HV-CMOS) realisierter iQRNG mit einer entsprechenden Anordnung einer Photonenquelle und eines Einzelphotonendetektors nebeneinander ist auch aus Khanmohammadi et al. (Khanmohammadi, Abbas, et al. „A monolithic silicon quantum random number generator based on measurement of photon detection time." IEEE Photonics Journal 7.5 (2015): 1-13) bekannt. Eine in einer kreisförmig oberflächennahen n-Wanne zwischen einem zentralen n++-Gebiet als Kathode und mehreren ringförmig darum angeordneten p++-Gebieten als Anode ausgebildete Si-LED als Photonen-quelle wird dabei kreisringförmig von einer SPAD als Einzelphotonendetektor umschlossen (siehe FIG. 2 mit zugehöriger Figurenbeschreibung). Die von der SPS emittierten Photonen werden dadurch allseitig in der Ebene detektiert, wodurch gegenüber dem aus der EP 352694 Bl bekannten iQRNG bei verringerten Flächenverbrauch die Effizienz erhöht werden kann. Die SPS wird somit unmittelbar in die SPAD integriert. Einzelne Photonen können jedoch auch hierbei ins Substrat emittiert oder an dessen Oberfläche extrahiert werden. Ebenfalls möglich ist auf diesen Wegen auch die Injektion von entsprechenden Photonen eines Angreifers zur Beeinflussung der Statistik.

Von daher besteht zur weiteren Erhöhung der Sicherheit und zur Reduzierung des Flächenverbrauchs Bedarf für eine weitere Miniaturisierung von integrierten QRNGs gegenüber dem Stand der Technik. Der iQRNG sollte weitgehend gegenüber äußeren Angriffen geschützt sein und dabei eine möglichst hohe Effizienz und möglichst geringe Substratverluste aufweisen. Um dabei nicht durch herstellungstechnologische Beschränkungen beim Design von SoCs (engl. „System on Chip, SoC") limitiert zu sein, sollte dabei das zugrundeliegende Herstellungs-Verfahren möglichst technologieoffen ausgestaltet sein bzw. auf einer möglichst breit anwendbaren Technologieplattform zur Halbleiterstrukturierung basieren.

Aufgabe

Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, alle oben genannten Nachteile zu überwinden. Insbesondere ist es ein Ziel der Erfindung, einen Generator für echte Zufallszahlen bereitzustellen, der es ermöglicht, ein hohes Maß an Entropie zu garantieren, so dass er zumindest die vom NIST definierten statistischen Tests besteht.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen Generator für echte Zufallszahlen zur Verfügung zu stellen, der es ermöglicht, eine noch höhere Bitrate bei der Erzeugung von Zufallsfolgen von Bits zu erreichen und die Zufälligkeit des Messergebnisses auch bei Ausfall der Entropiequelle sicherzustellen.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen echten Zufallszahlengenerator bereitzustellen, der eine kompaktere, robustere und weniger komplexe Struktur aufweist als die im Stand der Technik bekannten Zufallszahlengeneratoren, sodass dieser Zufallszahlengenerator im Pad-Rand einer monolithisch integrierten Halbleiterschaltung untergebracht werden kann.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen echten Zufallszahlengenerator bereitzustellen, der ein hohes Maß an Sicherheit gegen jeden Versuch bietet, seine internen Komponenten gewaltsam zu verändern oder zu manipulieren.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen echten Zufallszahlengenerator bereitzustellen, der ein hohes Maß an Sicherheit bietet, jeden Versuch, seine internen Komponenten gewaltsam zu verändern oder zu manipulieren, zu detektieren und zu melden.

Ein weiteres, aber nicht weniger wichtiges Ziel der Erfindung ist es, einen echten Zufallszahlengenerator bereitzustellen, der im Vergleich zu den Generatoren des bekannten Standes der Technik wirtschaftlicher ist.

Die Vorrichtung des unabhängigen Anspruchs löst dieses Problem. Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die erfindungsgemäße Aufgabe eine kompakte Entropiequelle 411 bereitzustellen, die über den Stand der Technik hinausgeht, wird gelöst durch die Gegenstände unabhängiger Patentansprüche. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand weiterer Unteransprüche.

Lösung der Aufgabe

Die Automobilindustrie und andere Industrien sehen sich zunehmend verschiedensten Piraterieangriffen ausgesetzt. Die Fälscher kopieren die Ersatzteile und Produkte der betroffenen industriellen Produzenten und nutzen in der Regel deren Markennamen. Ein weiterer Angriffspunkt ist die Datenübertragung innerhalb der Produkte und/oder die Datenübertragung zum Produkt und zurück.

Die Eigenschaften der Entropie gängiger Zufallszahlengeneratoren für solche Systeme sind typischerweise unzureichend. Aus dem Stand der Technik sind mit quantenprozessbasierenden Generatoren für echte Zufallszahlen (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) bekannt, die jedoch nur schwer integrierbar sind oder eine schlechte Quantenausbeute zeigen.

Es ist aus dem Stand der Technik bekannt, einen integrierten Schaltkreis bereitzustellen, der neben anderen Merkmalen einen Prozessor enthält. Bei einigen Anwendungen muss sichergestellt werden, dass die verarbeiteten Daten, einschließlich des ausführbaren Codes, nicht von Unbefugten geändert werden können, die auf außerhalb des integrierten Schaltkreises gespeicherte Daten zugreifen, oder, falls ein solcher Zugriff erfolgt, dass er nicht unbemerkt erfolgen kann.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG Der erfindungsgemäße quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen weist in einer ersten Ausprägung eine Entropiequelle auf ist dazu eingerichtet, ein Signal der Entropiequelle mittels zumindest eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers auszuwerten und ein oder mehrere Zufallsbits in Abhängigkeit von dem ein Signal der Entropiequelle zu erzeugen.

Der erfindungsgemäße quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen ist in einer zweiten unabhängigen Ausprägung, für die unabhängiger Schutz beansprucht wird, einstückig auf einem Halbleitersubstrat mit einer Oberfläche ausgeführt und weist eine vertikale Entropiequelle mit zumindest einer Photonenquelle mit zumindest einem Photonendetektor auf. Dabei ist die Oberfläche des Halbleitersubstrats im Sinne des hier vorgelegten Dokuments als eine horizontale Ebene mit einer ersten Richtung in der Ebene (1. Ebenenvektor) und einer zweiten Richtung in der Ebene (2. Ebenenvektor), die von der ersten Richtung in der Ebene verschieden ist, definiert. Die Photonenquelle und der Photonendetektor sind dabei bezogen auf die erste und zweite Richtung in der horizontale Ebene der Oberfläche des Halbleitersubstrats in einer vertikalen Richtung zu der ersten und zweiten Richtung in der Ebene im Halbleitersubstrat angeordnet. Der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen ist in dieser weiten unabhängigen Ausprägung der Erfindung dazu eingerichtet ein oder mehrere Zufallsbits in Abhängigkeit von dem ein Signal der Entropiequelle zu erzeugen.

Der erfindungsgemäße quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen umfasst in einer dritten unabhängigen Ausprägung, für die unabhängiger Schutz beansprucht wird, eine Entropiequelle in einem Halbleitersubstrat mit einer Oberfläche und mit einer Rückseite, die der Oberfläche gegenüber auf der anderen Seite des Halbleitersubstrats liegt, und Mittel zur Detektion eines Angriffs auf die Entropiequelle mittels Photonen, wobei dieser Angriff insbesondere ein Angriff von einer Rückseite des Halbleitersubstrats her sein kann.

In einer Variante der dritten unabhängigen Ausprägung können diese Mittel zur Detektion eines Angriffs auf die Entropiequelle mittels Photonen eine Beobachtungsdiode umfassen.

In Varianten der drei unabhängigen Ausprägungen kann der quantenprozessbasierende Generator einen Watchdog umfassen.

In Varianten der drei unabhängigen Ausprägungen kann der quantenprozessbasierende Generator einen Spannungsmonitor (423) umfassen.

In Varianten der Erfindung können der Watchdog und/oder der Spannungsmonitor dazu eingerichtet sein, den quantenprozessbasierenden Generator mittels der besagten Mittel zur Detektion eines Angriffs auf die Entropiequelle mittels Photonen, insbesondere mittels der Beobachtungsdiode, auf einen Angriff oder eine Störung zu überwachen.

In Varianten der Erfindung können die mindestens zwei Vorrichtungsteile des quantenprozessbasierenden Generators für echte Zufallszahlen einstückig auf einem gemeinsamen Halbleitersubstrat als einstückiger quantenprozessbasierenden Generator ausgeführt sein.

In Varianten der Erfindung kann der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen, dazu eingerichtet sein, aus mehreren Zufallsbits wenigstens eine Zufallszahl zu erzeugen und die wenigstens eine Zufallszahl zur Verfügung zu stellen oder zu nutzen.

In Varianten der Erfindung hängen die logischen Werte in der zeitlichen Reihenfolge der Pseudozufallsbits eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRG), also die eigentliche Pseudozufallsbitfolge des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRG), des quantenprozessbasierenden Generators von einem oder mehreren Quantenzufallsbits und/oder einer oder mehrerer Quantenzufallszahlen ab, die typischerweise Betriebsparameter des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRG) sind.

In Varianten der Erfindung ist der Watchdog dazu eingerichtet, eine korrekte Funktion des quantenprozessbasierenden Generators für echte Zufallszahlen zu überwachen.

In Varianten der Erfindung ist der Watchdog dazu eingerichtet, die Zufälligkeit der erzeugten Quantenzufallsbits in Form eines oder mehrerer Messwerte zu messen und jeweils mit einem jeweiligen Toleranzintervall oder einem jeweiligen Schwellwert zu vergleichen, und auf einen jeweiligen Fehler bei einer jeweiligen Abweichung des jeweiligen Messwerts gegenüber dem jeweiligen Toleranzintervall oder dem jeweiligen Schwellwert zu schließen.

In Varianten der Erfindung ist der Watchdog dazu eingerichtet, eine korrekte Funktion des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRC) des zumindest einen Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlern (TPRG) des quantenprozessbasierenden Generators zu überwachen und/oder ein Verhalten in Form der zeitlichen Statistik der logischen Werte in der zeitlichen Reihenfolge der Pseudozufallsbits des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRC) zu überwachen und in Form von statistischen Messwerten zu erfassen und bei Abweichungen der statistischen Messwerte von dem erwarteten Verhalten in Form einer Verlassens erlaubter Messwertbereiche für diese Messwerte einen Fehler festzustellen und/oder zu signalisieren.

In Varianten der Erfindung ist der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen mit seinen mindestens zwei Vorrichtungsteilen einstückig als Teil eines integrierten Schaltkreises gefertigt ist. In Varianten der Erfindung ist der integrierte Schaltkreis mit dem quantenprozessbasierenden Generator für echte Zufallszahlen in einer BCD-Technologie gefertigt.

In Varianten der Erfindung umfasst der integrierte Schaltkreis mit dem quantenprozessbasierenden Generator für echte Zufallszahlen einen Spannungswandler zur Versorgung der Entropiequelle des quantenprozessbasierenden Generators für echte Zufallszahlen, wobei der Spannungswandler dann einen oder mehrere DMOS-Transistoren zur Erhöhung der Spannungsfestigkeit umfasst.

In Varianten der Erfindung umfasst der besagte integrierte Schaltkreis einen Schaltkreis, wie einen Mikrocontroller, einen Mikroprozessor, einen Speicher, ein DRAM, ein SRAM, ein RAM, einen flüchtigen Speicher, einen OTP-Speicher, ein EEPROM, einen Flash-Speicher, ein MRAM, ein FRAM, einen Sensor-Auswerteschaltkreis, einen Steuerschaltkreis für eine automobile Steuerschaltung, einen Grafik-Controller, einen Auswerteschaltkreis für einen biometrischen Sensor oder ein Eingabegerät, eine Steuerschaltung, eine Chip-Karten-Schaltung, ein RFID-Schaltkreis, einen Sachaltkreis eines Mobiltelefons oder eines Smartphones, einen Schaltkreis eines Zugangskontrollsystems, einen Schaltkreis mit einer kodierten Aufzeichnung von Betriebsparametern, einen Schaltkreis eines Zugriffskontrollsystems, einen Schaltkreis eines Sicherungssystems elektronischer Sicherungen, einen Funksystemschaltkreis, einen Kommunikationsschaltkreis, einen Schaltkreis eines Verschlüsselungs- und/oder Entschlüsselungssystems, einen Schaltkreis eines Individualisierungssystems, einen Schaltkreis einer Spielvorrichtung, einen Schaltkreis eines Simulationssystems, einen Schaltkreis eines Rechnersystems, einen Schaltkreis einer Rauschquelle, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung eines Spreizkodes, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zur Individualisierung des Schaltkreises, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zu Testzwecken, insbesondere zu Selbsttestzwecken und/oder zu insbesondere Zwecken der Prüfung einer Anwendungsschaltung, deren Teil der Schaltkreis ist. Das hier vorgelegte Dokument offenbart somit einen Mikrocontroller, einen Mikroprozessor, einen Speicher, ein DRAM, ein SRAM, ein RAM, einen flüchtigen Speicher, einen OTP-Speicher, ein EEPROM, einen Flash-Speicher, ein MRAM, ein FRAM, einen Sensor-Auswerteschaltkreis, einen Steuerschaltkreis für eine automobile Steuerschaltung, einen Grafik-Controller, einen Auswerteschaltkreis für einen biometrischen Sensor oder ein Eingabegerät, eine Steuerschaltung, eine Chip-Karten-Schaltung, ein RFID-Schaltkreis, einen Sachaltkreis eines Mobiltelefons oder eines Smartphones, einen Schaltkreis eines Zugangskontrollsystems, einen Schaltkreis mit einer kodierten Aufzeichnung von Betriebsparametern, einen Schaltkreis eines Zugriffskontrollsystems, einen Schaltkreis eines Sicherungssystems elektronischer Sicherungen, einen Funksystemschaltkreis, einen Kommunikationsschaltkreis, einen Schaltkreis eines Verschlüsselungs- und/oder Entschlüsselungssystems, einen Schaltkreis eines Individualisierungssystems, einen Schaltkreis einer Spielvorrichtung, einen Schaltkreis eines Simulationssystems, einen Schaltkreis eines Rechnersystems, einen Schaltkreis einer Rauschquelle, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung eines Spreizkodes, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zur Individualisierung des Schaltkreises, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zu Testzwecken, insbesondere zu Selbsttestzwecken und/oder zu insbesondere Zwecken der Prüfung einer Anwendungsschaltung, deren Teil der Schaltkreis ist, mit einem erfindungsgemäßen quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen und/oder die Verwendung von Zufallsbits und/oder Zufallszahlen des erfindungsgemäßen quantenprozessbasierenden Generators für echte Zufallszahlen in einen Mikrocontroller, einen Mikroprozessor, einen Speicher, ein DRAM, ein SRAM, ein RAM, einen flüchtigen Speicher, einen OTP-Speicher, ein EEPROM, einen Flash- Speicher, ein MRAM, ein FRAM, einen Sensor-Auswerteschaltkreis, einen Steuerschaltkreis für eine automobile Steuerschaltung, einen Grafik-Controller, einen Auswerteschaltkreis für einen biometrischen Sensor oder ein Eingabegerät, eine Steuerschaltung, eine Chip-Karten-Schaltung, ein RFID-Schaltkreis, einen Sachaltkreis eines Mobiltelefons oder eines Smartphones, einen Schaltkreis eines Zugangskontrollsystems, einen Schaltkreis mit einer kodierten Aufzeichnung von Betriebsparametern, einen Schaltkreis eines Zugriffskontrollsystems, einen Schaltkreis eines Sicherungssystems elektronischer Sicherungen, einen Funksystemschaltkreis, einen Kommunikationsschaltkreis, einen Schaltkreis eines Verschlüsselungs- und/oder

Entschlüsselungssystems, einen Schaltkreis eines Individualisierungssystems, einen Schaltkreis einer Spielvorrichtung, einen Schaltkreis eines Simulationssystems, einen Schaltkreis eines Rechnersystems, einen Schaltkreis einer Rauschquelle, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung eines Spreizkodes, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zur Individualisierung des Schaltkreises, einen Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung einer Zufallszahl zu Testzwecken, insbesondere zu Selbsttestzwecken und/oder zu insbesondere Zwecken der Prüfung einer Anwendungsschaltung, deren Teil der Schaltkreis ist.

In Varianten der Erfindung weist der integrierte Schaltkreis (interne Schnittstellen als spezielle Schaltkreise an einer kryptografischen Grenze zwischen einer Steuervorrichtung und anderen Teilen der integrierten mikroelektronischen Schaltung auf, die als nicht sicher oder weniger sicher eingestuft werden, und der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen innerhalb der kryptografischen Grenze zwischen der Steuervorrichtung und den anderen Teilen der integrierten mikroelektronischen Schaltung angeordnet ist. In Varianten der Erfindung umfasst Entropiequelle eine Photonenquelle und einen Photonendetektor, wobei die Photonenquelle dazu eingerichtet ist, bei Versorgung mit elektrischer Energie Photonen als Quantensignal zu emittieren, und wobei die Photonenquelle mit dem Photonendetektor optisch gekoppelt ist. In dieser Variante der Erfindung ist der Photonendetektor dazu eingerichtet, das Quantensignal der Photonenquelle zumindest teilweise zu empfangen und ein Ausgangssignal der Entropiequelle oder ein Vorläufersignal desselben zu erzeugen.

In einer Variante der Erfindung umfasst die Photonenquelle eine Silizium-LED, insbesondere eine Zener-avLED oder eine SPAD-Diode.

In Varianten der Erfindung ist der quantenprozessbasierende Generator ganz oder in Teilen in einem Pad-Rahmen zwischen Anschluss-Pads des integrierten Schaltkreises auf dem Die dieses integrierten Schaltkreises platziert, wobei zumindest die Entropiequelle im Pad-Rahmen zwischen den Anschluss- Pads des integrierten Schaltkreises auf dem Die dieses integrierten Schaltkreises platziert ist.

In Varianten der Erfindung ist die Entropiequelle des quantenprozessbasierenden Generators, insbesondere mittels Metallschichten und/oder Silizid-Schichten und Durchkontaktierungen, bis auf Signaldurchführungen durch diese Kapselung von zumindest einer Seite, besser zumindest von zwei Seiten, besser zumindest von drei Seiten, besser zumindest von vier Seiten, besser zumindest von fünf Seiten gekapselt.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung bereitgestellt, die Folgendes umfasst: einen vorzugsweise einstückigen, vorzugsweise monolithischen, mikrointegrierten Schaltkreis, der einen oder mehrere Prozessoren (10-1, 10-2) und einen oder mehrere nichtflüchtige Speicher umfasst, der vorzugsweise mindestens einen Sicherheitscode speichert; einen ersten vorzugsweise schreib/lesbaren Speicher außerhalb oder innerhalb des integrierten Schaltkreises, der Daten speichert, wobei die Daten vorzugsweise in einem ersten Format kryptographisch geschützt sind; und vorzugsweise einen zweiten schreib/lesbaren Speicher außerhalb oder innerhalb des integrierten Schaltkreises zum Speichern von Daten; wobei die Vorrichtung so angeordnet ist, dass sie Daten vom ersten Speicher über eine Vorrichtung des integrierten Schaltkreises zum zweiten Speicher überträgt, damit der Prozessor vom zweiten Speicher aus darauf zugreifen kann; die integrierte Schaltung angeordnet ist, um während der Übertragung die aus dem ersten Speicher gelesenen Daten unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes zu validieren und, wenn die Daten validiert sind, einen kryptographischen Schutz in einem zweiten Format auf die validierten Daten unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes anzuwenden und die in dem zweiten Format geschützten Daten in dem zweiten Speicher zu speichern. Dabei nutzt die vorgeschlagene Vorrichtung einen quantentechnologiebasierenden mikrointegrierten Zufallszahlengenerator (Q.RNG 28) zur

Verschlüsselung. Ein solcher Zufallszahlengenerator liefert eine echte Zufallszahl, da der Prozess der Zufallszahlenerzeugung auf einem nicht vorhersagbaren Quantenprozess beruht.

Durch die Übertragung von Daten über die Vorrichtungen des integrierten Schaltkreises und die Verwendung der Vorrichtungen des integrierten Schaltkreises zur Validierung von Daten und zum Schutz der übertragenen Daten wird die Sicherheit aufrechterhalten, da die Validierung innerhalb des integrierten Schaltkreises erfolgt und der Schutz angewendet wird.

Durch kryptografischen Schutz der Daten im ersten und im zweiten Speicher auf der Grundlage eines oder mehrerer Sicherheitscodes im nichtflüchtigen Speicher der integrierten Schaltung werden die Daten gesichert.

In einer Ausführungsform werden nur validierte Daten aus dem ersten Speicher verarbeitet, und wenn Daten vom Prozessor aus dem zweiten Speicher gelesen werden, werden nur validierte Daten aus dem zweiten Speicher verarbeitet.

In einer Ausführungsform ist der zweite Speicher ein Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) für den Prozessor, der es dem Prozessor ermöglicht, einzelne Wörter zu speichern und abzurufen, die individuell geschützt sind, im Gegensatz zum ersten Speicher, der ein Nur-Lese-Speicher (ROM) ist und der nur Lesezugriff auf einen Datensatz erlaubt.

Die Erfindung sieht auch eine Datenverarbeitungsvorrichtung vor, die Folgendes umfasst:

Eine integrierte Schaltung mit einem Prozessor, einem nichtflüchtigen Speicher, der mindestens einen Sicherheitscode speichert, einem Hash-Rechner und einer Schnittstelle an der Grenze der integrierten Schaltung; und einen Speicher innerhalb oder außerhalb der integrierten Schaltung zum Speichern von Daten zur Verwendung durch den Prozessor, wobei der Speicher, wenn er außerhalb der integrierten Schaltung liegt, vorzugsweise über eine Schnittstelle an der Grenze der integrierten Schaltung mit dem Prozessor gekoppelt ist, um Daten beispielsweise in Form von Datenwörtern vom Prozessor zu empfangen und Datenwörter an den Prozessor zu liefern. Der Prozessor und der Hash- Rechner sind so angeordnet, dass sie die Schritte a. Berechnen des Hashs mittels einer Hash-Funktion für jedes Datenwort in Abhängigkeit von einem in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscode und Speichern des Hashs in Verbindung mit dem Datenwort, b. Abrufen gespeicherter Datenwörter aus dem Speicher, Neuberechnen einer Hash-Funktion für jedes abgerufene Datenwort unter Verwendung des Sicherheitscodes und Vergleichen des neu berechneten Hash-Wertes mit dem gespeicherten Hash-Wert, und c. Zulassen des Verarbeitens des abgerufenen Datenworts durch die Datenverarbeitungsanlage nur dann, wenn die neu berechneten Hashes und die gespeicherten Hashes eine vorher festgelegte Beziehung aufweisen.

Ausführungsformen des Vorschlags werden nun beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.

Insbesondere umfasst der erfindungsgemäße Generator für echte Zufallszahlen (Quantenzufallszahlengenerator 28) eine Photonenquelle 54 mit einem Fluss detektierter Photonen horizontal in einem Lichtwellenleiter 44 transportierten Lichts 58 , einen oder mehrere Photonendetektoren 55, vorzugsweise Einzelphotonendetektoren (SPADs), und elektronische Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) die operativ mit dem einen oder den mehreren Photonendetektoren 55 verbunden sind, um eine Bitfolge von Quantenzufallsbits 411 (Zufallsbitfolge) auf der Grundlage der Anzahl der in den Photonendetektoren 55 detektierten Photonen zu erzeugen.

Der besagte Generator für echte Zufallszahlen, im Folgenden Quantenzufallszahlengenerator 28 (QRNG) genannt, ist insbesondere dadurch gekennzeichnet, dass die Photonenquelle 54 und der oder die Photonendetektoren 55 möglichst nahe beieinander und optisch direkt oder indirekt gekoppelt angeordnet und in einem einzigen Halbleitersubstrat 49 integriert sind. Vorzugsweise sind die Photonenquelle 54 und der oder die Photonendetektoren 55 in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 in einer CMOS-Technologie, bevorzugt einer BCD-Technologie gefertigt. Vorzugsweise umfasst die Photonenquelle 54 eine Silizium-LED und/oder einen Silizium-Laser. Beispielsweise kann die Photonenquelle 54 eine erste SPAD-Diode 54 umfassen. Beispielsweise kann der Photonendetektor 55 eine Fotodiode umfassen, Beispielsweise kann der Photonendetektor 55 eine zweite SPAD-Diode 55 umfassen.

Der erfindungsgemäße Quantenzufallszahlengenerator 28 umfasst bevorzugt eine Photonenquelle 54 mit einem detektierten Photonenfluss gleich A

Es ist nicht auszuschließen, dass der Quantenzufallszahlengenerator 28 in einer alternativen Ausführungsform mehr als eine Photonenquelle 54 umfasst. Dies hat jedoch den Nachteil eines größeren Chipflächenbedarfs.

Gemäß der bevorzugten Ausführungsform des Vorschlags umfasst der vorgeschlagene

Quantenzufallszahlengenerator 28 vorzugsweise außerdem eine Anordnung von einem oder mehr

Photonendetektoren 55. Vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise, ist jeder dieser Photonendetektoren 55 ein Einzelphotonendetektor 55. Bei der Realisierung eines oder mehrerer Photonendetektoren 55 als in Sperrrichtung betriebene PN-Dioden in einem Halbleitersubstrat 49 mit einer Vorspannung in der Nähe der Durchbruchspannung der betreffenden PN-Diode und einer Begrenzung des Durchbruchsstroms der betreffenden PN-Diode spricht man im Allgemeinen von Einzelphotonenlawinendioden (single photon avalanche photo diodes), die das hier vorgelegte Dokument auch mit dem Akronym SPAD bezeichnet.

Wie bereits erwähnt, ist ein einzelner Photonendetektor 55 in der Lage, Informationen über den Einfall eines einzelnen Photons in seinem empfindlichen Volumen und möglicherweise über die Ankunftszeit des letzteren innerhalb eines Beobachtungsfensters mit einer vorher festgelegten Dauer zu erfassen und als Ausgang zu liefern.

Zwischen zwei aufeinanderfolgenden Beobachtungsfenstern durchläuft jeder Photonendetektor 55 (jede zweite SPAD-Diode 55) eine Phase der Wiederherstellung der Ausgangsbedingungen, die das hier vorgelegte Dokument im Folgenden als Totzeit bezeichnet. Während der Totzeit einer zweiten SPAD-Diode 55 kann diese zweite SPAD 55 kein weiteres nachfolgendes Photon mehr sicher erkennen.

Typischerweise arbeiten in der Anordnung von Photonendetektoren 54 des SPAD-Typs jede jeweilige SPAD-Diode 55 unabhängig und parallel zu den anderen SPAD-Dioden 55. Typischerweise weist die Anordnung der SPAD-Dioden 55 einen einzigen gemeinsamen Ausgang zum Ablesen des jeweiligen Signals auf, das von der gleichen Anordnung von SPAD-Dioden 55 von außen erzeugt wird.

Der typische Vorteil einer Anordnung von dicht beieinanderliegender SPAD-Dioden 55 liegt typischerweise darin, dass der Raumwinkel der von der Photonenquelle 55 erzeugten Photonen 58 vergrößert wird und dass eventuelle Totzeiten reduziert werden, wodurch die Erzeugungsrate der Quantenzufallsbits 411 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und damit die Rate der Quantenzufallsdatenwörter 418 selbst erhöht wird. Dies ermöglicht wiederum die Verschlüsselung größerer Datenmengen.

Während die technische Lehre der EP 3 529694 Bl noch von einer Kopplung über das Halbleitersubstrat 49 ausgeht, schlägt die hier vorgestellte technische Lehre eine erste verbesserte Kopplung der Photonenquelle, also beispielsweise der ersten SPAD-Diode 54 und/oder der SiliziumLED, mit dem Photonendetektor 55, also hier beispielsweise mit der zweiten SPAD-Diode 55, über ein lichtoptisches System, beispielsweise einen Lichtwellenleiter 44, vor, dass eine wesentlich geringere Absorptionsrate als das gemeinsame Halbleitersubstrat 49 aufweisen sollte, in dem die Photonenquelle 54 und der Photonendetektor 55 gefertigt sind. Hierdurch steigt die Erzeugungsrate der Quantenzufallsbits 411 des Quantenzufallszahlengenerators 28 nochmals dramatisch gegenüber einer Vorrichtung gemäß der technischen Lehre der EP 3 529 694 Bl an.

Es kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, dass gemäß einer alternativen Ausführungsform des Vorschlags der Quantenzufallszahlengenerator 28 immer ein Array von zweiten SPAD-Dioden 55 als Array von Photonendetektoren 55 umfasst, wobei jedoch jede SPAD-Diode 55, bzw. jeder Photonendetektor 55 unabhängig von den anderen sind, was bedeutet, dass diese Vorrichtungsteile jeweils einzeln für sich nach außen ein jeweiliges Signal erzeugen können, das typischerweise jeweils unabhängig von den Signalen der anderen SPAD-Dioden 55 bzw. von den anderen Photonendetektoren 55 ist. Gemäß einer anderen Ausführungsform des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 kann die Anordnung in Untergruppen von SPAD-Dioden 55 bzw. Untergruppen von Photonendetektoren 55 unterteilt werden, wobei jede Untergruppe eine vorher festgelegte Anzahl von SPAD-Dioden 55 bzw. Photonendetektoren 55 umfasst, die vorzugsweise jeweils so parallel miteinander verbunden sind, dass sie jeweils ein einziges Signal nach außen bezogen auf die Entropiequelle 401 des Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugen.

Im letzteren Fall kann jede der Untergruppen von SPAD-Dioden 55 bzw. Photonendetektoren 55 unabhängig von den anderen Untergruppen der SPAD-Dioden bzw. Photonendetektoren mit der Außenwelt der Entropiequelle 401 des Quantenzufallszahlengenerators 28 verbunden werden.

Diese Unabhängigkeit hat den Vorteil, dass die Extraktion der binären Zufallsfolgen aus Quantenzufallsbits 411 aus dem Quantenzufallszahlengenerator 28 parallelisiert werden kann, wodurch sich die Bitrate des Quantenzufallszahlengenerators 28 nochmals durch Raummultiplex erhöht.

Gemäß einer anderen Ausführungsform kann der Quantenzufallszahlengenerator 28 des Vorschlags auch nur genau eine zweite SPAD-Diode 55 bzw. auch nur genau einen Photonendetektor 55 umfassen.

Wiederum kann eine weitere Ausführungsform des Quantenzufallszahlengenerator 28, wie bereits erwähnt, eine Vielzahl von Photonenquellen 54 bzw. Silizium-LEDs 54 bzw. ersten SPAD-Dioden 54 umfassen, die jeweils mit einem Array von Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 optisch über ein optisches System (44) außerhalb des Halbleitersubstrats 49 verbunden sind. Bevorzugt umfasst dieses optische System 44 mikrooptische Vorrichtungsteile. Bevorzugt umfassen diese mikrooptischen Vorrichtungsteile einen oder mehrere Lichtwellenleiter 44 und/oder ein oder mehrere spiegelnde Schichten 53 und/oder spiegelnde und/oder optisch brechende Strukturen 53. Vorzugsweise ist der Lichtwellenleiter 44 in dem Metallisierungsstapel auf dem Halbleitersubstrat 49 des mikroelektronischen Schaltkreises gefertigt, der typischerweise die Photonenquelle bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 und den Photonendetektor 55 bzw. die zweite SPAD- Diode 55 umfasst. Der das optische System - beispielsweise der Lichtwellenleiter 44 - die Photonenquellen 54 und die Photonendetektoren 55 sind daher vorzugsweise Teil des einstückigen Quantenzufallszahlengenerators 28.

Mit anderen Worten, wenn die Kombination einer Photonenquelle 55 bzw. einer Silizium-LED 54 bzw. einer SPAD-Diode 54 einerseits mit einem oder mehreren Photonendetektoren 55 bzw. einer oder mehrerer SPAD-Dioden 55 andererseits Pixel im Sinne des hier vorgelegten Dokuments definiert, kann die eine Ausführungsform der Entropiequelle 401 des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 beispielsweise als eine Pixelmatrix angesehen werden, die es ermöglicht, den Vorgang der Extraktion von Zufallszahlen zu parallelisieren.

Was die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 betrifft, so umfasst diese gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ebenfalls vorzugsweise eine oder mehrere SPAD-Dioden 54. In diesem Fall sind sowohl die Anordnung der Photonendetektoren 54 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 54, die als Empfänger dienen, als auch die Photonenquellen 54 bzw. die Silizium-LEDs 54, die vorzugsweise ein oder mehrere SPAD-Dioden 54 umfassen, so konfiguriert und polarisiert, dass sie im so genannten Geiger-Modus mit der gleichen Polarisationsspannung arbeiten.

Wie bereits oben erwähnt, umfasst der Quantenzufallszahlengenerator 28 des Vorschlags vorzugsweise auch elektronische Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) die vorzugsweise funktionell mit dem gemeinsamen Ausgang 417 verbunden sind, um das von der Anordnung der Photonendetektoren 54 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 54 erzeugte Signal 405 zu lesen.

Es ist denkbar, dass in einer anderen Ausführungsform stattdessen ein oder mehrere der jeweiligen elektronische Abtastmittel (2022, 402, 403, 404.2) für jeden jeweiligen Photonendetektor 54 bzw. jede jeweilige zweite SPAD-Diode 54 jeweils vorgesehen werden, die jeweils zu dem Array gehört, während jeweils einzelne elektronische Abtastmittel der elektronischen Abtastmittel (2022, 402, 403, 404.2) für den jeweiligen einzelnen Photonendetektor 54 bzw. für die jeweilige einzelne zweite SPAD-Diode 54 vorhanden sind. Schließlich können in einer Ausführungsform einige oder mehrere jeweiligen Abtastmittel der elektronischen Abtastmittel (2022, 402, 403, 404.2,) für jedes Pixel vorgesehen sein, deren Abtastsignale (407, 407) zu einem gemeinsamen Quantenzufallsbitdatenstrom 411 mittels einer elektronischen Nachverarbeitung zusammengefasst werden.

Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor, diese elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403,

404.2) zusammen oder zumindest in großen Teilen mit den Photonenquellen 54 bzw. Silizium-LEDs

54 bzw. ersten SPAD-Dioden 54 und zusammen mit den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD-Dioden 55 in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 als einstückigen mikrointegrierten Schaltkreis zu fertigen. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor, diese elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) zusammen mit den Photonenquellen 54 bzw. Silizium-LEDs 54 bzw. ersten SPAD-Dioden 54 und zusammen mit den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD- Dioden 55 über den Metallisierungsstapel des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 mittels metallischer elektrischer Leiter untereinander elektrisch zu verbinden. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor, diese Photonenquellen 54 bzw. Silizium-LEDs 54 bzw. ersten SPAD-Dioden 54 und mit den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD-Dioden 55 über den Metallisierungsstapel des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 mittels dielektrischer optischer Lichtwellenleiter 44 untereinander optisch zu verbinden. Der Metallisierungsstapel des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 umfasst typischerweise strukturierte Metallschichten, die die elektrischen Leiterbahnen (141, 142) typischerweise in verschiedenen Ebenen des Metallisierungsstapels ausformen. Der Metallisierungsstapel des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 umfasst typischerweise elektrische Insolationsschichten zwischen diesen strukturierten Metallisierungsschichten (141, 142), die die in den strukturierten Metallisierungsschichten ausgeformten elektrischen Leitungen (141, 142) zwischen verschiedenen Metallisierungsebenen untereinander elektrisch isolieren. Die elektrischen Insolationsschichten des Metallisierungsstapels des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats umfassen typischerweise elektrische Durchkontaktierungen 140 zwischen den elektrischen Leitungen (141, 142) der strukturierten Metallisierungsschichten, die die in den strukturierten Metallisierungsschichten ausgeformten elektrischen Leitungen (141, 142) zwischen diesen verschiedenen Metallisierungsebenen untereinander elektrisch verbinden (durchkontaktieren). Der Metallisierungsstapel des so gefertigten einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 umfasst typischerweise optisch transparente elektrische Insolationsschichten zwischen diesen strukturierten Metallisierungsschichten. Hierdurch können ein oder mehrere elektrische Isolationsschichten die Funktion eines optischen Lichtwellenleiters 44 für die Photonen der ersten SPAD-Diode 54 bzw. der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bei deren Transport zur zweiten SPAD-Diode 55 bzw. zum Photonendetektor 55 übernehmen. Bevorzugt sind hierzu die betreffenden Insolationsschichten strukturiert.

In jedem Fall sind die elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) eines solchen einstückigen mikroelektronischen Schaltkreises bevorzugt so konfiguriert, dass sie ein vordefiniertes logisches Verfahren oder einen computer- oder hardwareimplementierten Algorithmus zur Extraktion einer binären Sequenz von Quantenzufallsbits 411 auf der Grundlage der Ankunftszeiten der Photonen auf der Ebene der jeweiligen Photonendetektoren 55 bzw. SPAD-Dioden 55 umsetzen. Einige bevorzugte Beispiele für das logische Extraktionsverfahren beschreibt das hier vorgelegte Dokument im Folgenden ausführlich.

Vorschlagsgemäß sind in dem Quantenzufallszahlengenerator 28 die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 und das Array von Photonendetektoren 55 bzw. von zweiten SPAD-Dioden 55 oder der einzelne SPAD-Detektor 54 nebeneinander oder untereinander angeordnet und vorzugsweise dicht beieinander mit einer kurzen optischen Verbindung zur optischen Kopplung über einen möglichst kurzen optischen Pfad angeordnet und in ein einziges Halbleitersubstrat 49 als mikroelektrooptisches System integriert.

Dies führt dazu, dass der von der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD- Diode 54 erzeugte Photonenstrom beispielsweise durch den Lichtwellenleiter 44 im Metallisierungsstapel der mikroelektronischen Schaltung in Richtung der in der bevorzugt in der Nähe angeordneten Anordnung von Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 fließt (ein Phänomen, das eigentlich als "optisches Übersprechen" bekannt ist), anders als bei den bekannten Zufallszahlengeneratoren, bei denen dieselben Photonen durch den leeren Kopplungszwischenraum zwischen den beiden Komponenten fließen, die physikalisch voneinander getrennt sind, also typischerweise nicht einstückig mit den Abtastmitteln auf einem Halbleitersubstrat 49 gefertigt sind.

Vorteilhafterweise gestaltet diese integrierte Konfiguration den Quantenzufallszahlengenerator 28 des Vorschlags dieses Dokuments kompakter und strukturell weniger komplex als die Zufallszahlengeneratoren der bekannten Art.

Dank der einstückigen Integration aller Komponenten des Quantenzufallszahlengenerators 28 ist dieser außerdem robuster und immun gegen äußere Umwelteinflüsse und gegen jegliche Manipulationsversuche durch böswillige Personen.

Ein Metalldeckel 142 aus einem vorzugsweise weichmetallischen und/oder einem elektrisch gut leitenden Material, beispielsweise einer Gold-Schicht auf einer Eisenschicht, kann die Entropiequelle abschirmen. Vorzugsweise verbindet eine elektrische Verbindung, die auch Durchkontaktierungen (z.B. 140) umfassen kann, den Metalldeckel 142 mit einem definierten elektrischen Potenzial, beispielsweise einer Masseleitung oder einer Versorgungsspannungsleitung.

Diese integrierte Konfiguration und damit die direkte und/oder indirekte Kopplung zwischen der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 einerseits und dem oder den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD-Dioden 55 andererseits sind vorteilhaft gegenüber den Lösungen, bei denen beispielsweise diskrete Strahlteiler verwendet werden, da sie eine gleichmäßige Ausleuchtung der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 ermöglichen, ohne dass sichergestellt werden muss, dass der Strahlteiler ständig perfekt ausgerichtet ist.

Gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 und das Array der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 auf dem Halbleitersubstrat 49 in denselben Herstellungsschritten hergestellt, so dass die Elemente die gleiche chemisch-physikalische Struktur in Bezug auf die Dotierungsprofile aufweisen. Genauer gesagt kann, wie oben erwähnt, sogar die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 mit der gleichen chemisch-physikalischen Struktur wie ein anderer Photonendetektor 55 bzw. eine andere zweite SPAD-Diode 55 hergestellt werden. Die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 ist konstruktionsmäßig und realisierungsmäßig bis auf übliche Schwankungen von Bauteilen auf einem Wafer zu den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD-Detektoren 55, die zu dem Array gehören, in bestimmten Ausprägungen des Vorschlags völlig gleich.

Dies hat den Vorteil, dass die Herstellungskosten der verschiedenen Komponenten des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 drastisch gesenkt werden können, da es möglich ist, eine oder mehrere Photonenquellen 54 bzw. Silizium-LEDs 54 bzw. erste SPAD-Dioden 54 und/oder einen oder mehrere Photonendetektoren 55 bzw. SPAD-Dioden 55 auf demselben Halbleitersubstrat 49 herzustellen, ohne dass die Anzahl der Herstellungsschritte verändert, insbesondere erhöht werden muss. Damit bleiben die Herstellungskosten in etwa gleich.

Bei dem Halbleitersubstrat 49 handelt es sich gemäß der bevorzugten Ausführungsformen des Vorschlags um ein Siliziumsubstrat 49.

Es kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, dass in verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung das Halbleitersubstrat 49 aus einem anderen Halbleitermaterial als Silizium hergestellt wird, um die Effizienz der Emitter-Source-Kopplung zu erhöhen. Das hier vorgelegte Dokument erwähnt in diesem Zusammenhang besonders die Verwendung von direkten Halbleitern mit einem direkten Übergang für die Elektronen ohne Gitterstoß zur Impulsänderung.

Was die Anordnung der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 betrifft, so ist bekannt, dass vorzugsweise jeder von ihnen hauptsächlich einen günstig dotierten p-n-Übergang umfasst, so dass das in der Fachsprache als "Lawinenbildung" bekannte Phänomen eintreten kann, wenn derselbe Photonendetektor 55 bzw. SPAD-Diode 55, der günstig polarisiert ist, dem Auftreffen eines Photons in seinem photonenempfindlichen Volumen ausgesetzt wird. Die Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 ist ebenfalls durch einen zweckmäßig dotierten p-n-Übergang so definiert, dass der detektierte Photonenfluss erzeugt wird, wenn die Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 zweckmäßigerweise in Durchlassrichtung oder (besser) in Sperrrichtung vorgespannt ist. Bei einer Polung einer ersten SPAD- Diode 54 in Sperrrichtung ergibt sich nämlich ein gepulster Dunkelstrom des Dioden-Stroms, der sogenannte Dark-Current, der mit einer gepulsten Emission von Photonen verbunden ist, die der Photonendetektor 54 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 erfassen kann.

Insbesondere ist gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 so konfiguriert, dass ein Emissionsspektrum des erfassten Photonenstroms X erhalten wird, das hauptsächlich zwischen 800 nm und 1000 nm liegt. In diesem Spektrum kann der Wirkungsgrad jedes Photonendetektors 55 bzw. jeder zweiten SPAD- Diode 55 als nicht übermäßig hoch angesehen werden und liegt bei weniger als 10 %. Daher wird geschätzt, dass zur Erzielung einer Detektionsrate von beispielsweise etwa 500.000 Zählungen/Sek. eine nutzbare Photonenrate (Photonenstrom, der das empfindliche Volumen des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 oder der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 von der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 erreicht) von mehr als 5.000.000 ph/Sek. erforderlich ist.

Zurück zur Herstellung des Quantenzufallszahlengenerators 28: Die Tatsache, dass die Strukturen der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 beide einen p-n- Übergang als Hauptmerkmal haben, bestätigt den oben beschriebenen Vorteil, d.h. die Möglichkeit, die gleichen Herstellungsschritte für die Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 und der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 durchzuführen.

Vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise, haben gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 und die Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55, die durch die gleichen Herstellungsschritte erhalten werden, die gleiche chemisch-physikalische Struktur. Es kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, dass in verschiedenen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 die Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 und die Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 mit unterschiedlichen chemisch-physikalischen Strukturen, insbesondere mit unterschiedlichen Größen und/oder unterschiedlichen Dotierungsniveaus, hergestellt werden können, selbst wenn sie durch die gleichen Herstellungsschritte erhalten werden. Was die Technik zur Integration dieser Bauteile in das Halbleitersubstrat 49 betrifft, so handelt es sich gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung um die CMOS- oder CMOS-kompatible Technik der Mikrofabrikation mikrointegrierter Schaltungen. Ganz besonders bevorzugt sind für die Herstellung der vorgeschlagenen einstückigen mikroelektronischen Schaltung des Quantenzufallszahlengenerators 28 auch sogenannte BCD-Technologien.

BCT-Technologien sind Schlüsseltechnologie für integrierte Leistungsschaltungen. Eine BCD- technologie ist durch die Kombination von bipolaren elektronischen Bauelementen (z.B. Bipolartransistoren und/oder PN-Dioden) mit CMOS-Bauelementen (z.B. CMOS-Transistoren oder CCD-Arrays) mit DMOS-Bauelementen (z.B. einem DMOS-Transistor)

Der DMOS-Transistor umfasst dabei typischerweise eine Struktur mit Doppeldiffusion, bei der der p- Bereich und der n-Bereich als Leitungen dienen. Es handelt sich um eine Art DMOS- Leistungstransistor, der für Hochfrequenzanwendungen (RF) entwickelt wurde. Er kann mit relativ hohen Versorgungsspannungen von 50 bis 100 V betrieben werden und zeichnet sich durch hohe Zuverlässigkeit, Spitzenleistung und Robustheit aus. Ein DMOS-Transistor (Double-Diffused Metal- Oxide-Semiconductor Transistor) ist ein entscheidendes Element in integrierten mikroelektronischen Schaltungen. Im Gegensatz zu herkömmlichen CMOS-Transistoren zeichnet sich ein DMOS-Transistor durch spezifische Merkmale aus, die seine Funktion und Anwendungsbereiche definieren.

Ein DMOS-Transistor weist eine besondere Struktur auf. Bei dieser Struktur sind Dotierungsbereiche mit unterschiedlichen elektrischen Ladungsträgerkonzentrationen im Halbleitermaterial vorhanden. Diese Dotierungsbereiche ermöglichen es dem DMOS-Transistor, höhere Leistungen zu schalten und einen niedrigeren Durchlasswiderstand in Vergleich zu CMOS-Transistoren zu bieten. Diese Eigenschaften sind insbesondere in Hochleistungsanwendungen von Vorteil. In dem hiervorliegenden Fall eignen sich DMOS-Transistoren für die Verwendung in den Spannungswandlern 91 der monolithisch integrierten Schaltung. Gleichzeitig ermöglichen BCD-Technologien die kompakte Herstellung der ersten SPAD-Dioden für die Photonenquellen 54 und die zweiten SPAD-Dioden 55 die Photonendetektoren 55. Da die ersten SPAD-Dioden 54 bei der Verwendung als Photonenquellen 54 typischerweise eine höhere Versorgungsspannung erfordern, umfassen die Spannungswandler 91 sehr häufig eine Ladungspumpe oder dergleichen, um die ersten SPAD-Dioden 54 mit der erforderlichen hohen Versorgungsspannung zu versorgen. Für diese Ladungspumpen in den Spannungswandlern 91 des einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises des Quantenzufallszahlengenerators 28 eignen sich die besagten DMOS-Transistoren besonders. Daher ist eine Ko-Integration der Entropiequelle 401 mit zumindest einem DMOS-Transistor oder mehreren DMOS-Transistoren auf einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 besonders vorteilhaft. Bevorzugt umfasst daher ein Spannungswandler 91 eines einstückigen mikroelektronischen integrierten Schaltkreises eines Quantenzufallszahlengenerators 28 zumindest einen, besser mehrere DMOS- Transistoren. Bevorzugt befinden sich die DMOS-Transistoren eines betreffenden Spannungswandlers 91 eines einstückigen mikroelektronischen integrierten Schaltkreises eines Quantenzufallszahlengenerators 28 in einer Halbbrücke oder einer H-Brückenschaltung innerhalb dieses Spannungswandlers 91. Bevorzugt ist im Falle einer Halbbrücke ein Energiespeicher, beispielsweise ein Kondensator, mit einem Anschluss mit dem Ausgangsknoten dieser Halbbrücke verbunden und kann dann so durch diese Umgeladen werden. Bevorzugt ist im Falle einer H-Brücke ein Energiespeicher, beispielsweise ein Kondensator, mit einem ersten Anschluss mit dem Ausgangsknoten der ersten Halbbrücke der H-Brücke verbunden und mit einem zweiten Anschluss mit dem Ausgangsknoten der zweiten Halbbrücke der H-Brücke verbunden und kann dann so durch diese Umgeladen werden. Bevorzugt umfasst ein solcher Spannungswandler 91 dann einen elektronisch gesteuerten Transferschalter, der nach dem Hochschalten der Spannung an einem Anschluss des Kondensators den anderen Anschluss mit einer Photonenquelle 54 bzw. einer SiliziumLED 54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 verbinden kann. Diese Hochsetztechnik für die Versorgungsspannung kann auch mehrstufig sein, um größere Spannungshübe zu erzielen. Ein weiterer Spannungswandler 91 und ein Energiespeicher, beispielsweise ein weiterer Kondensator, können nachgeschaltet und der Entropiequelle 401 bzw. der Photonenquelle 54 bzw. der SiliziumLED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 vorgeschaltet sein, um die Versorgungsspannung der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 zu stabilisieren. Bevorzugt umfassen die Halbbrücke und/oder die H-Brücke und/oder die Transferschalter des Spannungswandlers 91 DMOS-Transistoren, um höhere Versorgungsspannungen bereitstellen zu können und so die Quantenzufallsbitdatenrate der Quantenzufallsbits 411 zu erhöhen, da die Erhöhung der Versorgungsspannung zu einer Erhöhung der Pulsdichte der Entropiequelle führt.

Ein weiteres charakteristisches Merkmal eines DMOS-Transistors ist nämlich seine Fähigkeit, höhere Spannungen zu bewältigen, was ihn ideal für solche Anwendungen mit hohen Spannungsbereichen macht. Dieser Aspekt unterscheidet ihn von CMOS-Transistoren, die in der Regel für niedrigere Spannungen ausgelegt sind.

Das Wort Die BCD-Technologie steht für Bipolar-CMOS-DMOS-Technologie. Die BCD-Technologie ist eine Familie von Siliziumprozessen, die jeweils die Stärken von drei verschiedenen Prozesstechnologien auf einem einzigen Chip vereinen und so kompakte einstückige Quantenzufallszahlengeneratoren in Form eins einzigen mikrointegrierten Schaltkreises 2 ermöglichen. Der Vorteil der CMOS-Mikrofabrikationstechnik, genauer der BCD-Mikrofabrikationstechnik, besteht darin, dass es möglich ist, in das Halbleitersubstrat 49 auch die Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) für die Ausgangssignale des Arrays der Photonendetektoren 55 bzw. der zweiten SPAD-Dioden 55 zu integrieren.

Ein Beispiel für einen möglichen Quantenzufallszahlengenerator 28 des Vorschlags, der durch die BCD-Mikrofabrikationstechnik erhalten wird, verwendet vorzugsweise ein dotiertes Substrat/epitaktische Struktur vom Typ p 100. Der Herstellungsprozess erzeugt in dem dotierten Substrat/der dotierten epitaktische Struktur vom Typ p 100 typischerweise eine tiefe n-Wanne und die Verbindungen, die die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 definieren, mit einem Implantat vom Typ p+ 102 hergestellt werden. Um elektrische Felder zu vermeiden, die an den Rändern des empfindlichen Bereichs höher sind als in der Mitte desselben, werden vorzugsweise "Schutzring"-Strukturen vorgesehen, die einen Ring mit p-Well um das p+- Implantat 47 bilden.

Es kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, dass in verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung die Technik, die zur Herstellung der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED bzw. der ersten SPAD-Diode 54, verwendet wird, eine Technik des kundenspezifischen Typs sein kann. Der Vorteil dieser letzten Lösung liegt darin, dass die Herstellungsschritte des erfindungsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 optimiert werden können, um die Photonenquelle 55 und/oder die Silizium-LED 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 zu erhalten.

Gemäß einem Beispiel für die Implementierung eines Quantenzufallszahlengenerators 28 mit einer kundenspezifischen Herstellungstechnik können die Photonendetektoren 55 bzw. die zweiten SPAD- Dioden 55 und die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 in eine dotierte Epitaxie-Struktur/ein Substrat vom Typ p integriert werden, wobei ein sogenanntes "flaches" Implantat und ein Anreicherungsimplantat in der Epitaxie-Struktur definiert sind, wobei das "flache" Implantat oberflächlicher, vom Typ n+ und konzentrisch zur epitaktischen Struktur ist, aber eine geringere Ausdehnung aufweist, und das Anreicherungsimplantat vom Typ p- ist und eine geringere Dotierung, aber auf jeden Fall eine höhere Dotierung als die der epitaktischen Struktur aufweist.

Auf diese Weise wird eine sogenannte Struktur mit "virtuellem Schutzring" geschaffen. Um Probleme im Zusammenhang mit dem "Ladungsübersprechen" oder der "Ladungsinjektion" zu vermeiden, die durch die gemeinsame epitaktische Struktur der beiden Implantate verursacht werden, ist es möglich, entweder die Photonenquelle 55 bzw. die Silizium-LED 55 bzw. die SPAD-Dioden 55 und den oder die Photonendetektoren 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Dioden 54 zu trennen, indem sie in geeigneten Abständen angeordnet werden, oder tiefe Gräben, sogenannte Trenches, zu schaffen, die sowohl den Bereich der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. ersten SPAD- Diode 54 als auch den Bereich des oder der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPADs 55 umgeben. Schließlich besteht die Möglichkeit, eine Hilfsverbindung zu schaffen, die bei geeigneter Vorspannung die überschüssige Ladung auffängt, die von der Photonenquelle 54 bzw. bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 auf den oder die Photonendetektoren 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 oder die zweiten SPAD-Dioden 55 übertragen werden kann. Die Schaffung von Gräben würde auch das optische Übersprechen reduzieren, was wiederum eine gewünschte Eigenschaft ist. Diese Verringerung übersteigt jedoch nicht einen Prozentsatz in der Größenordnung von 30-50 %, so dass sie akzeptabel ist, wenn sie den Vorteil mit sich bringt, das Problem vollständig zu beseitigen.

Wie bereits oben erläutert, ist der vorschlagsgemäße Quantenzufallszahlengenerator 28 so konfiguriert, dass die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 zur Erzeugung des detektierten Photonenflusses wahlweise in Vorwärtsrichtung oder in Rückwärtsrichtung vorgespannt werden kann.

Im Falle der Sperrvorspannung wird die Fotolumineszenz bei der Lawinenbildung in der Photonenquelle 54, hier der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54, genutzt, die kontrolliert, aber in quantenmechanisch zufälligen Zeitintervallen erfolgt.

Bei einer Vorwärtsspannung verhalten sich die erzeugten Photonen sehr ähnlich wie bei einer Rückwärtsspannung, und die Erzeugungseffizienz (Photonen pro durchgelassener elektrischer Ladung) ist relativ ähnlich oder höher, aber bei einer Vorwärtsspannung kann die Verlustleistung im Vergleich zu einer Rückwärtsspannung verringert werden, da eine niedrigere Spannung angelegt wird.

Um eine Größenordnung anzugeben, benötigt eine vorwärtsgerichtete Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. ersten SPAD-Diode 54 eine Spannung von einigen Volt, während eine rückwärtsgerichtete Photonenquelle eine Spannung von mehreren Dutzend Volt benötigt. Bei der Ausarbeitung der technischen Lehre dieses Dokuments wurde erkannt, dass für die Ko- Integrierbarkeit vorzugsweise aller relevanten Elektronikkomponeten eines Quantenzufallszahlengenerators 28, die Verwendung von DMOS-Transistoren besonders vorteilhaft ist. Solche DMOS-Transistoren ermöglichen die Zurverfügungstellung einer Spannung von mehreren Dutzend Volt zum Betrieb der rückwärtsgerichteten Photonenquellen 54, also hier der in Sperrrichtung betriebenen Silizium-LEDs 54 bzw. ersten SPAD-Dioden 54, durch einen Spannungswandler 91, der hier im Sinne des hier vorgelegten Dokuments jede Form von geeignetem Spannungswandler 91 Inhaltlich umfassen kann und der vorzugsweise in dem Halbleitersubstrats 49 der einstückigen mikroelektronischen integrierten Schaltung des hier dargelegten Quantenzufallszahlengenerators 28 ist. Bei der Ausarbeitung der technischen Lehre dieses Dokuments wurde somit erkannt, dass für die Ko-Integrierbarkeit dieser DMOS-Transistoren mit den anderen relevanten Elektronikkomponeten des hier vorgestellten Quantenzufallszahlengenerators 28, die Verwendung einer BCD-Halbleitertechnologie für die Herstellung des vorgestellten Quantenzufallszahlengenerators 28 besonders vorteilhaft ist. Das hier vorgestellte Dokument schlägt somit einen Quantenzufallszahlengenerator 28 vor, der einen Spannungswandler 91 mit einem oder mehreren DMOS-Transistoren und eine Entropiequelle 401 mit einer oder mehreren Photonenquellen 54 und/oder Silizium-LEDs 54 und/oder ersten SPAD-Dioden 54 und einen oder mehrere Photonendetektoren 55 und/oder zweite SPAD-Dioden 55 und vorzugsweise einen oder mehrere Prozessoren (10-1, 10-2) und/oder eine oder mehrere Datenbusschnittstellen 64 und/oder ein oder mehrere flüchtige und/oder nicht flüchtige Speicher (30, 6, 16, 8) und/oder eine Testschnittstelle 12 umfassen kann.

Eine in einer Vorrichtungsvariante in Vorwärtsrichtung vorgespannte Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 würde es daher vorteilhaft ermöglichen, auch den Raum zu reduzieren, der notwendig ist, um die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 selbst von der Anordnung der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 54 elektrisch zu isolieren. Infolgedessen ermöglicht die vorwärtsgerichtete Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 vorteilhafterweise eine kompaktere Bauweise des Quantenzufallszahlengenerators 28 und geringere Kosten aufgrund der geringeren Menge an Halbleitermaterial, die zur Herstellung des Generators selbst verwendet wird. Da jedoch die Struktur und die Herstellungstechnik der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 und der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 ähnlich oder sogar identisch sind, besteht der Vorteil der Sperrvorspannung darin, dass die gleiche Spannung zur Vorspannung beider Komponenten verwendet werden kann.

Insbesondere diese letzte Vorrichtungsvariante ermöglicht es, die Komplexität und die Gesamtabmessungen sowohl der Struktur als auch der potenziell noch notwendigen externen Schaltung zu reduzieren: Die Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 und die Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 können sich nämlich dasselbe Halbleitersubstrat 49 teilen, da sie einen gemeinsamen Anschluss haben. Hierdurch können sie nahe beieinander (übereinander und/oder nebeneinander) im Halbleitersubstrat 49 angeordnet werden, wodurch der belegte Raum reduziert und gleichzeitig ihre optische Kopplung verbessert wird. In jedem Fall spricht die geringe Effizienz des Fotolumineszenzprozesses bei der Erzeugung weniger Photonen für eine "Quantendetektion", da der oder die Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD- Dioden 55 definitionsgemäß für ein einzelnes Photon empfindlich ist/sind.

Wie bereits erwähnt, sind bei der bevorzugten Ausführungsform des Vorschlags auch die elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) zusammen mit der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 und der Anordnung von Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 in das Halbleitersubstrat 49 einstückig integriert.

In diesem Fall können die elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) nicht nur so konfiguriert werden, dass sie das oder die von der Anordnung der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 erzeugten Signale 405 lesen, sondern auch so, dass sie die Betriebsbedingungen einer oder mehrerer Photonenquellen 54 bzw. einer oder mehrerer SiliziumLEDs 54 bzw. einer oder mehrerer erstes SPAD-Diode 54 direkt und einfach steuern und etwaige Vorspannungsparameter mittels Parameteränderung eines der besagten Spannungswandler 91 zur Energieversorgung einer oder mehrerer Photonenquellen 54 bzw. einer oder mehrerer Silizium-LEDs 54 bzw. einer oder mehrerer erster SPAD-Dioden 54 korrigieren oder eine oder mehrere Photonenquellen 54 bzw. eine oder mehrere Silizium-LEDs 54 bzw. eine oder mehrere erste SPAD- Dioden 54 aktivieren oder deaktivieren, um den gewünschten Photonenfluss oder die gewünschte Zufallsbitrate der Quantenzufallsbits 411 zu erhalten.

In diesem Fall können die elektronischen Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2) so konfiguriert werden, dass sie die Betriebsbedingungen einer oder mehrerer Photonendetektoren 55 bzw. einer oder mehrerer zweiter SPAD-Dioden 54 direkt und einfach steuern und etwaige Vorspannungsparameter mittels Parameteränderung eines der besagten Spannungswandler 91 zur Energieversorgung einer oder mehrerer Photonendetektoren 55 bzw. einer oder mehrerer zweiter SPAD-Dioden 55 korrigieren oder eine oder mehrere Photonendetektoren 55 bzw. eine oder mehrere zweite SPAD-Dioden 55 aktivieren oder deaktivieren, um den gewünschten empfangbaren Anteil des Photonenflusses oder die gewünschte Zufallsbitrate der Quantenzufallsbits 411 zu erhalten.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Vorschlags des hier vorgelegten Dokuments ist der Quantenzufallszahlengenerator 28 auf der Höhe der Oberseite des Halbleitersubstrats 49 vorzugsweise mit einem Lichtschutzfilter oder einer Abdeckung, beispielsweise einer Metallschicht (53, 142) versehen. Insbesondere, vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise, umfasst der Lichtschutzfilter eine Metallisierungsschicht (53, 142), die direkt während des Produktionsprozesses, zum Beispiel durch den Ablauf der Verfahrensschritte einer BCD-Technologie, beispielsweise als letzte Metallisierungsebene hergestellt werden kann. Diese Metallschicht (53, 142) muss nicht unbedingt als letzte hergestellt werden. Es reicht typischerweise aus, wenn die relevanten Vorrichtungsteile der Entropiequelle 401 abgedeckt sind. Bevorzugt sind weitere Vorrichtungsteile des einstückigen, mikrointegrierten Schaltkreises des Quantenzufallszahlengenerators 28 mit diesem Metalldeckel (53, 142) bedeckt, sodass dieser auch diese Schaltungsteile vor Manipulation mittels elektromagnetischer Strahlung und/oder thermischer, lokaler Belastung und/oder mittels Magnetfeldern und/oder anderen Eingriffen durch die Beeinflussung physikalischer Parameter solcher, anderer Schaltungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 schützt. Dieser Schutz sollte bevorzugt insbesondere die Speicher (z.B. 404.9, 30, 6, 8 , 16, 22, 20) und/oder den Prozessor (10-1, 10-2) und/oder die Überwachungsvorrichtungen - wie beispielsweise Watchdog 404.5, ADC 403, den Spannungsmonitor 413, - den Verstärker 402, die Finite-State-Machine 404.8 Diese Lösung hat die Funktion, den oder die Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 bzw. die anderen Schaltungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 vom externen Licht und anderen physikalischen Störsignalen abzuschirmen. Diese Lösung hat somit auch die Funktion, den oder die Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 somit nur für die Photonen empfindlich zu machen, die aufgrund des Übersprechens von der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 durch das Halbleitersubstrat 49 zu den Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD- Dioden 55 gelangen. Darüber hinaus hat die Metallisierungsschicht (53, 142) auch die Funktion, die Kopplung der von dem Halbleitersubstrat 49, insbesondere dem Siliziumsubstrat, emittierten Photonen zu verbessern. Hierzu reflektiert die Metallisierungsschicht 53, die von derselben Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 erzeugte elektromagnetische Strahlung nach dem Austritt aus dem Halbleitermaterial des Halbleitersubstrats 49 in die Isolationsschichten des Metallisierungsstapels auf dem Halbleitersubstrat 49 zurück, sodass diese Photonen das mikrooptische System des einstückigen mikroelektronischen Schaltkreises des Quantenzufallszahlengenerators 28 nicht verlassen können. Dies erhöht die Anzahl der Photonen, die den oder die Photonendetektoren 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 bzw. die zweiten SPAD-Dioden 55 erreichen. Dies wiederum erhöht die Zufallsbitdatenrate der Quantenzufallsbits 411 des Quantenzufallszahlengenerators 28. Dies stärkt somit die optische Kopplung zwischen der Photonenquelle 54 bzw. Silizium-LED 54 bzw. erste SPAD-Diode 54 einerseits und dem Array der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 andererseits.

Darüber hinaus hat die Metallabdeckung 53 des Lichtwellenleiters 44 im Metallisierungsstapel des mikroelektronischen Schaltkreises auf dem Halbleitersubstrat 49 vorteilhafterweise auch die Funktion, den Quantenzufallszahlengenerator 28 vor jeglichen Beeinflussungsversuchen durch böswillige Personen in Bezug auf die Funktionalität des Systems der vorschlagsgemäßen Vorrichtung zu schützen. Folglich ermöglicht das Vorhandensein der Metallisierung in Form einer Metallabdeckung (53, 143), eine höhere Sicherheit und Zuverlässigkeit der von dem erfindungsgemäßen Quantenzufallszahlengenerator 28 erzeugten Zufallszahlen zu gewährleisten.

Schließlich kann der vorschlagsgemäße Quantenzufallszahlengenerator 28 optional auch elektronische Nachbearbeitungsmittel (404.3, 404.4, 404.8) umfassen, die so konfiguriert sind, dass sie als Eingang die von den elektronischen Abtastmitteln (403, 2022, 402, 403, 404.2) extrahierten binären Sequenzen empfangen, die ihrerseits mit dem Array der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55 verbunden sind.

Die besagten elektronischen Nachbearbeitungsmittel (404.3, 404.4, 404.8) sind vorzugsweise so konfiguriert, dass sie die besagten binären Sequenzen 409, 415 so bearbeiten, dass eine sogenannte "Whitening"-Operation durchgeführt wird. Dieses letzte Wort bezeichnet eine Vielzahl von Komprimierungsoperationen, die dazu dienen, die statistischen Eigenschaften der erzeugten binären Sequenzen (415, 409) zu verbessern. Infolgedessen ist es vorteilhaft, dass dieser weitere Nachbearbeitungsschritt es ermöglicht, das Entropieniveau des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 zu erhöhen.

Wie bereits oben erwähnt, sind die Abtastmittel (403, 2022, 402, 403, 404.2), die gemäß der bevorzugten Ausführungsform mit dem Array der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD- Dioden 55 oder alternativ mit einer Teilmenge der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD- Dioden 55 oder sogar mit einem einzelnen Pixel direkt oder indirekt verbunden sind, so konfiguriert, dass sie ein logisches Extraktionsverfahren implementieren, das dazu bestimmt ist, eine binäre Sequenz von Zufallsbits (409, 415) auf der Grundlage der Anzahl der in dem Array der Photonendetektoren 55 bzw. zweiten SPAD-Dioden 55, in der Teilmenge, in dem einzigen der Photonendetektor 55 bzw.in der einzigen zweiten SPAD-Diode 55 oder sogar in dem einzelnen Pixel erfassten Photonen zu extrahieren. Vorschlagsgemäß umfasst ein erstes logisches Extraktionsverfahren, das durch die Abtastmittel (2022, 402, 403, 404.2) des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 implementiert wird, die Unterteilung des Beobachtungsfensters jedes Photonendetektors 55 bzw. jeder zweiten SPAD-Diode 55 in eine Vielzahl von aufeinanderfolgenden Beobachtungsunterfenstern Tw mit typischerweise derselben Dauer. Sofern die Entropieextraktion einen Puls auf ihrer Ausgangsleitung 405 erzeugt, synchronisiert eine Einsynchronisationsstufe (403, 2022) den Puls mit dem Systemtakt 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28. Ein Beobachtungsunterfenstern Tw entspricht dabei typischerweise der zeitlichen Periodendauer des Systemtakts 2106. Gemäß der im Stand der Technik üblichen Methoden müssten nun die Nachbearbeitungsmittel typischerweise die Ankunftszeiten der Photonen bei den Photonendetektoren 55 bzw. den zweiten SPAD-Dioden 55 detektierten Photonen bezogen auf einen Referenzzeitpunkt als digitalen Zahlenwert mittels eines Zeitzählers ermitteln. Dies hat jedoch den Nachteil, dass ein Angreifer diesen Zeitpunkt vielleicht über einen sogenannten Side-Channel manipulieren kann, ohne dass hier eine Angabe gemacht werden kann, wie dies gehen könnte. Im Rahmen des hier vorgelegten Dokuments wird nun angenommen, dass es auf einer unbekannte Weise dem Angreifer gelingt, diese Manipulation durchzuführen. Der Angreifer wäre dann in der Lage, die vermeintlichen „Zufallsbits" zu manipulieren, wodurch sie einen deterministischen Charakter bekommen würden, der ggf. das Brechen von Verschlüsselungen und/oder Sperren ermöglichen würden. Dies verhindert der hier vorgelegte Vorschlag.

Der einstückige, integrierte mikroelektronische Schaltkreis des Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugt diese aufeinander folgenden Beobachtungsunterfenster Tw typischerweise ausgehend von dem Systemtakt 2106. Ein Beobachtungsfenster Tw im Sinne des hier vorgelegten Dokuments kann beispielsweise mit einer ersten Flanke des Systemtakts 2106 in einer ersten Flankenrichtung, die steigend oder fallend sein kann, beginnen und mit der nächsten direkt nachfolgenden Flanke des Systemtakts 2106 gleicher Flankenrichtung (steigend bzw. fallend) enden. Das Tastverhältnis dieses Systemtakts 2106 definiert typischerweise die Zeit, in der sich der Photonendetektoren 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 auf dem Niveau der Totzeit befindet (Systemtakt 2106 = H [=H igh-Pegel] ).

Das Besondere des hier vorgeschlagenen Verfahrens zur Entropieextraktion auf der Ebene jedes Unterfensters Tw ist die Erzeugung einer ersten Pseudozufallszahl, die der Ankunftszeit eines zweiten Photons der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 bei einem Photonendetektor 55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 bezogen auf die Ankunft Ankunftszeit eines vorzugsweise unmittelbar vorausgehenden ersten Photons der Photonenquelle 54 bzw. der SiliziumLED 54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 bei einem Photonendetektor 55 bzw. einer zweiten SPAD- Diode 55. Die hier vorgeschlagene Vorrichtung der einstückigen integrierten mikroelekt5onischen Schaltung des vorgeschlagenen Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugt diese erste Pseudozufallszahl mittels eines Zeit-zu-Zufallszahl-Wandlers (Time to Pseudo-Random-Number Converter, TPRC). Ein solcher Zeit-zu-Zufallszahl-Wandlers (Time to Pseudo-Random-Number Converter, TPRC) kann auch mehrstufig zusammengesetzt sein. Beispielsweise kann der Zeit-zu- Zufallszahl-Wandlers (Time to-Pseudo-Randomnumber-Converter, TPRC, 404.3) ein analoges Instrument, einen Time to Analog Converter (TAC), umfassen, der dann von einem Analog-zu- Pseudozufallszahl Wandler (APRC) im Datenpfad gefolgt würde, um wieder einen Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC, 404.3) in Summe zu ergeben. Das in Figur 22 dargestellte Diagramm stellt die Erfassung der Pulse (2201, 2202, 2203, 2204) auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 dar. Die Entropiequelle 401 umfasst bevorzugt die eine oder die mehreren Photonenquellen 54 bzw. die eine oder die mehreren Silizium-LEDs 54 bzw. die eine oder die mehreren SPAD-Dioden 54 und die Lichtübertragungsstrecke 44 zwischen diesen. Die Entropiequelle 401 ist vorzugsweise in bzw. auf dem Halbleitersubstrat 49 gefertigt und damit vorzugsweise Teil der mikrointegrierten Schaltung des Quantenzufallszahlengenerators 28. Das Ausgangssignal 405 der Entropiequelle 401 ist typischerweise das besagte Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401. Das Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401 ist bevorzugt das Signal eines oder mehrerer Photonendetektoren 55 bzw. einer oder mehrerer zweiten SPAD-Dioden 55 der Entropiequelle 401.

Das Spannungssignal 405 zeigt beispielhafte Pulse 2201, 2202, 2203, 2104 für zufällige Ereignisse des Spannungssignals 405. Die können spontane Spannungspulse des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 sein, die nicht mit der Aktivität der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 der Entropiequelle 401 Zusammenhängen. Die Pulse 2201, 2202, 2203, 2204 des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 können aber auch auf stimulierter Emission beruhen, die die Detektion eines Photons der einen oder der mehreren Photonenquellen 54 bzw. der eine oder der mehreren SiliziumLEDs 54 bzw. der eine oder der mehreren SPAD-Dioden 54 durch den Photonendetektor 55 bzw. durch die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 hervorruft.

Der zeitliche Abstand ist zufällig. Allerdings entsteht nach dem Empfang eines Photons durch den Photonendetektor 55 bzw. durch die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 eine Totzeit, in der der Photonendetektor 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 nicht mehr empfangsfähig ist. Überschreitet der Betrag des Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401 einen Schwellwert 2105, so erzeugt ein Analog-zu-Digitalwandler (ADC, 403), hier ein beispielhafter Ein-Bit- Analog-zu-Digitalwandler 403,

Pulsverlängerungsschaltung, die vorzugsweise Teil der einstückigen mikroelektronischen Schaltung ist, auf einem einsynchronisierten Spannungssignal 415 einen Puls mit einer Mindestlänge von n Takten eines Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28, der vorzugsweise einer der Systemtakte der einstückigen mikrointegrierten Schaltung ist.

In dem Beispiel der Figur 21 ist diese Pulsverlängerungsschaltung beispielsweise so konstruiert, dass sie für mindestens drei nachfolgende Takte auf einen ersten logischen Pegel geht und dann bis zum nächsten Ereignis auf dem zweiten logischen Pegel hier beispielhaft mit der fallenden Flanke des dritten Taktpulses zurückfällt. Statt drei Taktpulsen können a bis n Taktpulse verwendet werden, wobei eine ganze positive Zahl ist.

In dem Beispiel der Figur 21 stellen die fallenden Flanken der Pulse 2211, 2212, 2213, 2214 des einsynchronisierten Spannungssignal 415 die einsynchronisierten Signale der Entropiequelle 401 dar.

Mit einer fallenden Flanke eines ersten Pulses 2211 des einsynchronisierten Spannungssignals 415 setzt der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) einen Pseudozufallszahlengenerator beispielsweise auf einen vordefinierten Seed-Wert zurück. Beispielsweise kann der Pseudozufallszahlengenerator des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) ein rückgekoppeltes Schieberegister sein, dass mit jedem Takt des Systemtakts 2106 seine Werte um eine Stelle nach links oder rechts je nach Konstruktion verschiebt und in das freiwerdende Bit den Rückkoppelwert des Rückkoppelpolynoms zurückspeist.

Wichtig ist, dass beginnend mit dem Startwert des Pseudozufallszahlengenerators (Seed-Wert) jedem Takt des Systemtakts 2106 ab der fallenden Flanke genau eine Pseudozufallszahl des Pseudozufallszahlengenerators bijektiv zugeordnet ist. D.h. aus dem Wert der Pseudozufallszahl muss auf die zeitliche Position des betreffenden Takts des Systemtaktes 2106 nach der fallenden Flanke des einsynchronisierten Spannungssignal 415 geschlossen werden können.

Mit der nächsten fallenden Flanke des zweiten Pulses 2212 einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt ein erstes Pseudozufallszahlenregister den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wieder auf den vordefinierten Seed-Wert zurück.

Mit der nächsten fallenden Flanke des dritten Pulses 2213 einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt ein zweites Pseudozufallszahlenregister den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wieder auf den vordefinierten Seed-Wert zurück. Die Entropieextraktion 401 vergleicht den Wert in dem ersten Pseudozufallszahlenregister mit dem Wert in dem zweiten Pseudozufallszahlenregister. Ist der erste Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit 411 mit einem ersten logischen Pegel erzeugen. Ist der zweite Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit 411 mit einem zweiten logischen Pegel erzeugen, der vom ersten Pegel verschieden ist. Mit der nächsten fallenden Flanke des vierten Pulses 2214 des einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt das erste Pseudozufallszahlenregister den bisherigen Wert des ein zweites Pseudozufallszahlenregister und das zweite Pseudozufallszahlenregister übernimmt stattdessen wiederum den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wiederum auf den vordefinierten Seed-Wert zurück. Die Entropieextraktion 401 vergleicht dann wieder den Wert in dem ersten Pseudozufallszahlenregister mit dem Wert in dem zweiten Pseudozufallszahlenregister. Ist der erste Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein weiteres neues und hier zweites Quantenzufallsbit 411 mit einem ersten logischen Pegel erzeugen. Ist der zweite Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten

Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein weiteres neues und hier zweites Quantenzufallsbit 411 mit einem zweiten logischen Pegel erzeugen, der vom ersten Pegel verschieden ist.

Auf diese Weise kann der Quantenzufallszahlengenerator 28 diesen Prozess der Quantenzufallsbiterzeugung fortsetzen und so einen kontinuierlichen, allerdings mit einem Phasenrauschen versehenen Strom von Quantenzufallsbits 411 erzeugen.

Die entscheidende Idee ist hier statt eines Digitalzählers wie im Stand der Technik einen Pseudozufallszahlengenerator zu verwenden, der den ersten und den zweiten Wert erzeugt. Der Vorteil ist, dass selbst bei einer erfolgreichen Einprägung einer Störung in das einsynchronisierten Spannungssignal 415, die Zufälligkeit des Quantenzufallsbits 411 nur marginal gestört wird, da der Angreifer ja das Rückkoppelpolynom ebenfalls kennen müsste.

Um dies zu verhindern ist es sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 das Rückkoppelpolynom des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl m von Zufallsquantenbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Zufallsquantenbits 411 ändert.

Um dies zu verhindern, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 die Schieberegisterlänge n des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl k von Quantenzufallsbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Quantenzufallsbits 411 ändert. Hierzu ist es sinnvoll, wenn der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder ein Prozessor (10-1, 10-2) den Wert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 zu diesem Zweck neu beschreibt. Der in dem Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 gespeicherte Wert steuert bevorzugt den Rückkoppelmultiplexer 2102 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Damit selektiert der in dem Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 gespeicherte Wert vorzugsweise, welches Rückkoppelpolynom der m Rückkoppelpolynom-Schaltungen RKNi bis RKN _m den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) bestimmt. Vorzugsweise verhindern mittels einer Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung die Weitergabe eines erzeugten Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8, wenn dieses Quantenzufallsbit 411 für das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 verwendet wird. Dies verhindert eine Doppelnutzung und erhöht somit die Sicherheit. Stattdessen verwenden bevorzugt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung dieses Quantenzufallsbit 411 für die Erzeugung eines Zufallsdatenworts zur Einspeicherung in das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112. Dies hat den Vorteil, dass das durch das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 ausgewählte Rückkoppelpolynom der m Rückkoppelpolynom-Schaltungen RKNi bis RKN _m vollkommen zufällig ist. Damit ist es einem Angreifer nicht mehr möglich, einen deterministischen Bitdatenstrom an Stelle des Datenbitstroms der Quantenzufallsbits 411 einzuspeisen und zwar auch dann, wenn ein Angriff auf die Entropiequelle 401 erfolgreich ist.

Um den vorgeschlagenen mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 weiter zu härten, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 den Start-Wert (Seed- Wert) des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl p von Zufallsquantenbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Quantenzufallsbits 411 ändert. Hierzu ist es sinnvoll, wenn der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder ein Prozessor (10-1, 10-2) den Wert eines Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu diesem Zweck mit Quantenzufallsbits 411 neu beschreibt. Die Bitbreite des eines Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) entspricht bevorzugt der Zahl n der Schieberegisterbits SBi bis SB _n des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Der Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zählt bevorzugt die Anzahl der erfolgreich erzeugten Quantenzufallsbits 411. Vorzugsweise signalisiert die Finite-State-Machine 404.8 dem Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu diesem Zweck die Erzeugung eines gültigen Quantenzufallsbits 411. Statt der Zählung der gültigen Quantenzufallsbits 411 ist auch die Zählung der erfolgreich erzeugten Zufallsdatenworte 418 in der Finite-State-Machine 404.8 möglich. Der Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) lädt bevorzugt den neuen Seed-Wert des eines Seed- Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 bei einer oder mehreren der nachfolgenden Ereignisse in die Schieberegisterbits SBi bis SB _n des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC)

• bei Erreichen einer vorbestimmten Anzahl erfolgreich erzeugter Quantenzufallsbits 411 und/oder

• bei Erreichen einer vorbestimmten Anzahl erfolgreich erzeugter Zufallsdatenworte 418 und/oder

• bei Änderung des Werts des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) und damit des ausgewählten Rückkoppelpolynoms der m Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC).

Dies Verhindert zuverlässig jede Art von Vorhersagbarkeit.

Bevorzugt sind die Schaltungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 mit einer Metallschicht 142, 53 abgedeckt, um jede Einflussnahme durch Temperatur oder elektromagnetische Strahlung oder elektrostatische Felder oder magnetische Felder abzuwehren. Bevorzugt umfasst die Metallschicht auch eine weichmagnetische Schicht zur Abwehr von Angriffsversuchen mittels magnetischer Felder.

Vorzugsweise verhindern mittels einer Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung die Weitergabe eines erzeugten Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8, wenn dieses Quantenzufallsbit 411 für das Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 im Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandler 404.3 (TPRC) verwendet wird. Dies verhindert eine Doppelnutzung und erhöht somit die Sicherheit. Stattdessen verwenden bevorzugt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung dieses Quantenzufallsbit 411 für die Erzeugung eines Zufallsdatenworts zur

Einspeicherung in das Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103. Dies hat den Vorteil, dass der durch das Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 ausgewählte Seed-Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n vollkommen zufällig ist. Da ein linear rückgekoppeltes Schieberegister bei Verwendung von einfach primitivem Rückkoppelpolynomen zwei Zyklen aufweist, von denen einer nur einen Schieberegisterwert umfasst, muss dieser eine einzyklige Schieberegisterwert verhindert werden. Entsprich zufällig Nachladewert des Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 dem einzykligen Seed-Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters mit dem aktuellen Rückkoppelpolynom oder dem als nächstes vorgesehenen Rückkoppelpolynom, so Erzeugen der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung einen neuen zufälligen Nachladewert im Seed-Nachladeregister des Schieberegistercontrollers 2103.

Bevorzugt sind die m Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m so ausgewählt, dass die einzykligen Seed- Werte gleich sind. Dies reduziert den Aufwand für die Detektion des einzykligen- Schieberegisterwerts, da dann dieser nicht mehr von dem ausgewählten Rückkoppelpolynom der Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m abhängt. Ohnehin ist zu empfehlen, dass der Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) im Falle der Verwendung linearrückgekoppelter Schieberegister eine Detektionsschaltung 2113 zur Detektion eines illegalen Werts des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n umfasst. Befindet sich der Zustandsvektor der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n in einem solchen illegalen Zustand, so signalisiert vorzugsweise der Detektor 2113 diesen illegalen Zustand an den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung. Der Detektor 2113 oder der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung setzen dann den Wert des Zustandswerts des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n auf einen vorbestimmten Wert und/oder den Wert des Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 zurück. Bevorzugt sind diese Nachladewerte von dem einzykligen Schieberegisterwert verschieden. Dies geschieht bevorzugt auch, wenn der Watchdog 404.5 und/oder der Spannungsmonitor 413eine Störung oder einen vermuteten oder möglichen Angriff detektieren. Bevorzugt zählt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) die Anzahl dieser Störungen. Vorzugsweise reduziert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) diesen Zählerwert wieder in Abhängigkeit von der Anzahl erfolgreich insbesondere seit der letzten Störung erzeugter Zufallsquantenbits 411 und/oder Zufallsdatenworte 418. Überschreitet diese Anzahl und/oder die Ereignisdichte solcher Ereignisse eine bestimmte vorgegebene zeitliche Dichte und/oder einen bestimmten Zahlenwert, so signalisiert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise an den Watchdog 404.5 und/oder einen Prozessor (10-1, 10-2) einen Defekt des Quantenzufallszahlengenerators 28 oder einen erfolgreichen Angriff auf den Quantenzufallszahlengenerator 28. Typischerweise signalisiert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) der Finite-State- Machine 404.8 dann dass keine Zufallszahlen mehr erzeugt werden dürfen. Vorzugsweise muss ein Prozessor (10-1, 10-2) dann den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) mittels eines vorbestimmten Reaktivierungs-Kode-Worts reaktivieren. Der Prozessor (10-1, 10-2) schreibt dieses Reaktivierungs-Kode-Wort dann über den interner Datenbus 419 des Quantenzufallszahlengenerators 28 in ein spezielles Reaktivierungsregister des Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), was den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) und den Quantenzufallszahlengenerator 28 reaktiviert und vorzugsweise alle Fehlerzähler zurücksetzt. Vorzugsweise ist die Zahl der möglichen Reaktivierungen begrenzt. Ist die Maximalzahl der Reaktivierungen überschritten, so kann der Quantenzufallszahlengenerator 28 bevorzugt nicht mehr reaktiviert werden. Vorzugsweise kann der Zähler für die Reaktivierungen des der Quantenzufallszahlengenerators 28 mittels eines besonderen Rücksetzbefehls zurückgesetzt werden bevor dieser Maximalwert erreicht ist. Bevorzugt gibt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 oder eine andere Vorrichtung des Quantenzufallszahlengenerators 28 vor Erreichen dieses Blockierungsgrenze eine Warnung heraus.

Beim Start des Quantenzufallszahlengenerators 28 trägt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als erstes dafür Sorge, dass der der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) mittels eines vorbestimmten Seed-Werts und eines vorbestimmten Werts des Rückkoppelpolynom- Auswahlregisters 2112 zuerst einen neuen Seed-Wert auf Basis von Quantenzufallszahlen 411 und einen neuen Wert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 auf Basis von Quantenzufallszahlen aus Quantenzufallsbits 411 bestimmt. Erst wenn der Seed-Wert und der Wert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 auf Quantenzufallszahlen beruhen, ist die Initialisierungsphase des Quantenzufallszahlengenerators 28 abgeschlossen und der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) signalisiert der Finite-State-Machine 404.8, dass sie die Quantenzufallsbits 411 und die Quantenzufallsdatenwörter 418 (Quantenzufallszahlen) verwenden und weitergeben darf. Bevorzugt signalisiert die Finite-State- Machine 404.8 diesen Umstand an einen oder mehrere Prozessoren (10-1, 10-2). Dies hat den Vorteil, dass die Vorrichtung nur mit vollem Schutz erzeugte Quantenzufallszahlen 418 erzeugt. Durch die Verwendung eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) ist es einem Angreifer nicht mehr möglich, einen deterministischen Bitdatenstrom an Stelle des Datenbitstroms der Quantenzufallsbits 411 einzuspeisen und zwar auch dann, wenn ein Angriff auf die Entropiequelle 401 tatsächlich aus welchen Gründen auch immer erfolgreich ist.

Um dies zu verhindern, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 diese Zahl m nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl m von Quantenzufallsbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Quantenzufallsbits 411 ändert.

Vorzugsweise gibt die Finite-State-Machine 404.8 des Quantenzufallszahlengenerator 28 diese bereits benutzten Quantenzufallsbits 411 nicht aus und verwendet sie nicht für die Erzeugung von Quantenzufallsdatenworten 418.

Die Methode der Logikextraktion umfasst darüber hinaus drei Grenzfälle, die im Folgenden beschrieben werden.

Typischerweise verwendet der Zeit-zu-Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als Wert des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Ggf. kann ein Pufferverstärker vorgesehen sein, der den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) erfasst und als Wert des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ausgibt.

Die Entropie-Extraktion 404.4 vergleicht nun zwei verschiedene, von dem Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandler 404.3 (TPRC) erzeugte Pseudozufallszahlen aus dem Ausgang 410 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3, eine erste Pseudozufallszahl 410.1 und eine zweite Pseudozufallszahl 410.2, miteinander.

Sind die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2 gleich, so verwirft die Entropie-Extraktion 404.4 eine der beiden Pseudozufallszahl, die erste Pseudozufallszahl 410.1 oder die zweite Quantenzufallszahl 410.2, und ersetzt diese durch eine neue Pseudozufallszahl 410.3 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt zählt die Entropie-Extraktion 404.4 mittels eines Zählers die Ereignisse, bei denen die beiden Pseudozufallszahl, die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2, gleich sind und erhöht mit jedem solchen Ereignis den Zähler um eine erste Zählerschrittweite. Bevorzugt zählt die Entropie-Extraktion 404.4 mittels dieses Zählers auch die Ereignisse, bei denen die beiden Pseudozufallszahlen, die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2, ungleich sind und erniedrigt mit jedem solchen Ereignis den Zähler um eine zweite Zählerschrittweite, wobei bevorzugt der Wert 0 nicht unterschritten wird. Bevorzugt ist die zweite Zählerschrittweite betragsmäßig kleiner als die erste Zählerschrittweite des Zählers in der Entropie-Extraktion 404.4. Sofern der Wert dieses Zählers einen vorbestimmten Wert überschreitet, geht die Steuervorrichtung der Entropie-Extraktion 404.4 von einem Defekt des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aus. Bevorzugt signalisiert die Steuervorrichtung der Entropie-Extraktion 404.4 dann einem Prozessor (10-1, 10-2) einen Defekt des Quantenzufallszahlengenerators 28 bzw. einen erfolgreichen Angriff auf den Quantenzufallszahlengenerator 28. Vorzugsweise signalisiert dann die Entropie-Extraktion 404.4 der Finite-State-Machine keine erfolgreiche Erzeugung eines Quantenzufallsbits 411 mehr, sodass die Finite-State-Machine 404.8 keine erfolgreiche Quantenzufallszahlenerzeugung mehr an einen Prozessor (10-1, 10-2) melden kann und keine Quantenzufallszahlen 1018 mehr erzeugt.

Sofern die erste Pseudozufallszahl 410.1 kleiner als die zweite Pseudozufallszahl 410.2 ist, erzeugt die Entropie-Extraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit eines ersten logischen Werts, beispielsweise eine logische ,1' und signalisiert die erfolgreiche Erzeugung an die Finite-State-Machine 404.8.

Sofern die erste Pseudozufallszahl 410.1 größer als die zweite Pseudozufallszahl 410.2 ist, erzeugt die Entropie-Extraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit eines zweiten logischen Werts, beispielsweise eine logische ,0', der von dem ersten logischen Wert verschieden ist, und signalisiert die erfolgreiche Erzeugung an die Finite-State-Machine 404.8.

Die Finite-State-Machine wandelt die erfolgreich erzeugten Quantenzufallsbits 411 in Quantenzufallsdatenworte 418, die jeweils eine Quantenzufallszahl repräsentieren und stellt diese über ein RAM oder ein FIFO 404.9 den Prozessoren (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 419 zur Verfügung. Die Finite-State-Machine 404.8 signalisier bevorzugt einem oder mehreren Prozessoren (10-1, 10-2) die Bereitstellung einer oder mehrerer Quantenzufallszahlen.

Ein Problem kann ein Jitter des Systemtakts 2106 sein. Durch die Verwendung eines Zeit-zu- Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) wird eine monofrequente oder sonst wie systematische Störung des Systemtakts 2106 im Spektrum mit einem zufälligen Spreizkode gespreizt, sodass eine Detektion für einen Angreifer schwierig, wenn nicht unmöglich wird.

Dies Erschwert die Angreifbarkeit des Quantenzufallszahlengenerators 28 weiter.

Durch die Verwendung von Quantenzufallszahlen für den Seed-Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Zeit-zu-Pseudozufallszahlenwandlers und einer Quantenzufallszahl für die Auswahl des einfachprimitiven Rückkoppelpolynoms ist das Verhalten des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 (TPRC) selbst auf einem Zufalls-Niveau einer Quantenzufallszahl. Durch den regelmäßigen Wechsel dieser Werte, wird einem Angreifer die Beeinflussung der erzeugten Quantenzufallszahlen weiter erschwert.

Demnach erreicht der vorschlagsgemäße Quantenzufallszahlengenerator 28 also alle genannten Ziele.

Insbesondere wird mit dem Vorschlag das Ziel erreicht, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der es ermöglicht, ein hohes Maß an Entropie zu garantieren, so dass er zumindest die vom NIST definierten statistischen Tests besteht.

Es ist ferner Aufgabe des Vorschlags, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der es ermöglicht, eine hohe Bitrate bei der Erzeugung von Zufallsfolgen von Quantenzufallsbits 411 und/oder Quantenzufallsdatenworten 418 zu erreichen.

Es ist ferner Aufgabe des Vorschlags, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der im Vergleich zu den Quantenzufallszahlengeneratoren des Standes der Technik eine kompaktere, robustere und weniger komplexe und vor allem mikrointegrierte und CMOS kompatible Struktur aufweist, die eine einstückige Fertigung und die Ko-Integration in konventionelle Systeme wie Speicher (wie DRAMS, SRAMS, Flash-Speicher und dergleichen) oder Prozessoren (Mikroprozessoren und/oder Mikrocontroller und/oder SoCs mit einem Prozessor auf dem IC) erlaubt.

Auch hier erreicht der Vorschlag das Ziel, einen Quantenzufallszahlengenerator 28 mit einem hohen Maß an Sicherheit gegen jeden Versuch, seine internen Komponenten zu manipulieren, bereitzustellen. Insbesondere verhindert die Verwendung eines Zeit-zu- Pseudozufallszahlengenerators 1004.3 (TRNG) die Auswertbarkeit erfolgreicher Angriffe auf die Entropiequelle 401. Des Weiteren ermöglichen die vielen Tests eine sichere Erkennung eines Angriffs auf den Quantenzufallszahlengenerator 28 und verhindern damit die Verwendung manipulierter Zahlen als vermeintlich sichere Quantenzufallszahlen.

Schließlich wird mit dem Vorschlag auch das Ziel erreicht, einen Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der insbesondere durch die Fähigkeit der Ko-Integrierbarkeit in CMOS-Schaltkreise wirtschaftlicher ist als die Generatoren des bekannten Standes der Technik.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Offenbarung betrifft einen integrierten Quantenzufallszahlengenerator, 28, mit einer Entropiequelle 401 umfassend eine Photonenquelle 54 und einen Einzelphotonendetektor 55, wobei die Photonenquelle 54 und der Einzelphotonendetektor 55 zur weiteren Kompaktierung der Vorrichtung in vertikaler Richtung bezogen auf die Oberfläche des Halbleitersubstrats 49, das die horizontale Richtung im Sinne des hier vorliegenden Dokuments markiert, übereinander in einem gemeinsamen Substrat aus einem Halbleitermaterial angeordnet sind. Eine erfindungsgemäße Entropiequelle 401 kann auch mehrere an einen einzelnen Einzelphotonendetektor 55 gekoppelte Photonenquellen (z. B. zur Erhöhung der Photonenrate oder der Ausfallsicherheit) 54 oder mehrere an eine einzelne Photonenquelle 54 gekoppelte Einzelphotonendetektoren (z. B. für Überwachungszwecke) 55 oder mehrere an mehrere Photonenquellen 54 gekoppelte Einzelphotonendetektoren (z. B. für Überwachungszwecke) 55 umfassen. Ebenfalls möglich ist die Kombination von mehreren Photonenquellen 54 und Einzelphotonendetektoren 55 zu einer einzelnen Entropiequelle 401.

Im Gegensatz zum Stand der Technik findet somit keine Nebeneinanderanordnung der Photonenquellen 54 und Photonendetektoren 55, sondern eine kompakte Anordnung einer Photonenquelle 54 und eines Einzelphotonendetektors 55 übereinander statt. Es handelt sich somit hierbei um eine besonders kompakte monolithische 3D-lntegration mit minimalem Flächenverbrauch für die Entropiequelle 401. Insbesondere ist hierbei eine Anordnung bevorzugt, bei der der Einzelphotonendetektor 55 zur verbesserten Abschirmung gegenüber äußeren Einflüssen tieferliegend als die Photonenquelle 54 im Halbleitermaterial (d. h. Photonenquelle 54 oben, Einzelphotonendetektor 55 unten) angeordnet ist. In einer alternativen Ausführungsform kann der Einzelphotonendetektor 55 jedoch auch höherliegend als die Photonenquelle 54 im Halbleitermaterial angeordnet sein (d. h. Photonenquelle 54 unten, Einzelphotonendetektor 55 oben). Beispielsweise kann neben einer Inversion des grundsätzlichen Strukturaufbaus bei einer Prozessierung von der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 aus auch eine inverse Anordnung der Elemente durch eine entsprechende Strukturierung von der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 aus erfolgen. Insbesondere kann eine Strukturierung beidseitig sowohl von der Vorderseite als auch von der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 aus erfolgen.

Vorzugsweise handelt es sich bei der Photonenquelle 54 um eine Einzelphotonenquelle (engl. „Single Photon Source, SPS"), dazu eingerichtet, zeitgleich nur einzelne oder einige wenige Photonen in zufälligen Zeitabständen bereitzustellen. Solche zeitgleich nur einzelne oder nur einige wenige Photonen bereitstellende Photonenquellen 54 werden im Rahmen dieser Anmeldung auch als Einzel- photonenquellen 54 bezeichnet. Es muss sich dabei jedoch nicht um echte Einzelphotonenemitter, beispielsweise auf Basis eines einzelnen isolierten Zweiniveausystems, handeln, vielmehr können durch eine entsprechend hohe Abschwächung der Emission bzw. des zugeführten Stroms auch herkömmliche Lichtquellen als SPS 54 ausgebildet werden.

Unter einem Halbleitersubstrat 54 wird im Rahmen der vorliegenden Offenbarung der gesamte

Halbleiter-Chip als Körper verstanden, in den beispielsweise mittels Bipolar-, BiCMOS-, CMOS- oder anderer Halbleitertechnologien eine bestimmte Elementstruktur beispielsweise durch Ausbildung von unterschiedlich dotierten Wannen oder Gebieten in das Halbleitermaterial 49 hineinstrukturiert wird. Die Strukturausbildung kann jedoch auch additiv durch Aufbringen von weiteren Schichten und Strukturen bzw. durch eine Abfolge von Ätz- und Aufbringschritten für solche weiteren Schichten und Strukturen vorzugsweise unter Ausbildung der Analog- und Digitalschaltkreise zur Auswertung und Aufbereitung des Ausgangssignals 404 der Entropiequelle 401 erfolgen. Ein entsprechendes Halbleitersubstrat 49 kann daher neben einem sogenannten Träger- oder Grundsubstrat (z. B. ein unstrukturiertes einkristallines Halbleitersubstrat 49 als Basis für das epitaktischen Aufwachsen von weiteren Halbleiterschichten) auch eine Vielzahl solcher epitaktisch aufgewachsen Schichten 48 sowie andere Beschichtungen umfassen. Das Halbleitersubstrat 49 wird in dieser Anmeldung daher als materieller Träger für die Halbleiterstrukturen einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401 und nicht im Sinne eines einfachen Träger- oder Grundsubstrats zum Aufbringen dieser Strukturen verstanden. Insofern stellt die Ausbildung einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401 übereinander in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 aus einem Halbleitermaterial eine Abgrenzung insbesondere gegenüber mit herkömmlichen Methoden hybridisch integrierten Kombinationen (z. B. mittels Flip-Chip-Montage) aus mindestens einer Photonenquelle 54 und mindestens einem Einzelphotonendetektor 55 etwa auf einem gemeinsamen Submount als Trägerstruktur dar.

Vorzugsweise handelt es sich bei der Photonenquelle 54 im Falle der vertikalen Anordnung von Photonenquelle 54 und Photonendetektor 55 um eine an einem Arbeitspunkt unterhalb oder nahe der Durchbruchspannung betriebene lichtemittierende Silizium-LED 54, besser um eine Avalanche Zener-Diode (Zener-avLED) 54. Bevorzugt weist die Zener-avLED 54 eine Durchbruchspannung von < 10 V auf, bevorzugter eine Durchbruchspannung von < 8 V und noch bevorzugter eine Durchbruchspannung von < 7 V. Die Vorteile der Verwendung einer Zener-avLED als Einzelphotonenquelle 54 werden nachfolgend näher erläutert. Diese neue Art von Einzelphotonenquellen 54 erlauben eine hohe Einzelphotonenrate durch die Einzelphotonenquelle 54 emittierter Photonen bei relativ geringer Betriebsspannung auch unterhalb und im Bereich der Zener-Durchbruchspannung und zeigen bei entsprechend gewünschter Konstruktion eine bevorzugt gerichtete Abstrahlung der erzeugten Photonen ins Innere des Halbleitersubstrats 49 und damit in Richtung des Einzelphotonendetektors 54. Die große Nähe des Einzelphotonendetektors 55 zur Einzelphotonenquelle 54 überwiegt dabei den Nachteil der erhöhten Dämpfung im Halbleitersubstrat 49. Dadurch sind Zener-avLEDs für eine Anwendung als Einzelphotonenquelle 54 in einer Entropiequelle 401 besonders geeignet. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Einzelphotonendetektor 55 um Einzelphotonen- Lawinendioden (engl. „Single Photon Avalanche Diodes, SPADs"), also zweite SPADs 55. Darunter werden im Sinne des hier vorliegenden Dokuments Detektoren verstanden, die aufgrund ihrer besonders hohen Empfindlichkeit bei hoher Verstärkung und geringem (Dunkel)Rauschen prinzipiell dazu in der Lage sind, einzelne Photonen detektieren und nachweisen zu können.

Eine Hauptidee der erfinderischen Entropiequelle 401 der vorliegenden Erfindung liegt somit darin, durch eine Anordnung einer Zener-avLED als Photonenquelle 54 und einer zweiten SPAD 55 als Einzelphotonendetektor 55 vertikal übereinander in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 eine besonders kompakte und sicheren integrierte Entropiequelle 401 zur Verfügung zu stellen.

Ein Ansatz zur aufgabengemäßen Verbesserung der aus dem Stand der Technik bekannten Entropiequellen 401 besteht dabei in der Auswahl einer entsprechend breiten Technologieplattform. Für SoC-Designs mit einem möglichst breiten Spektrum an möglichen Anwendungen bieten integrierte Schaltungen in der Bipolar-CMOS-DMOS-Technologie (BCD-Technologie) auf Silizium ein großes Potential. Silizium-LEDs sind für diese Technologien bekannt. In BCD-Technologie konnten auch bereits erfolgreich hoch-effiziente SPADs demonstriert und realisiert werden. Dabei erlaubt die BCD-Technologie eine besonders effektive und optimierte Integration dieser SPADs mit einer Vielzahl von weiteren funktionalen Gruppen wie etwa digitalen und analogen Schaltungskomponenten, besonders energieeffizienten digitalen Speicher- und Schaltelementen, allgemeiner Leistungs- und Treiberelektronik sowie von Detektor- und Sensorbauteilen. Auf den Vorteil der Verfügbarkeit von DMOS-Transistoren für die notwendigen spannungsfesten Spannungswandler zur Erzeugung der erhöhten Versorgungsspannungen für den Betrieb der Entropiequelle 401 in der Art, dass die Photonenquellen 54 und/oder die Photonendetektoren 55 in der Nähe ihrer Durchbruchspannungen z.B. im Geiger-Modus betrieben werden können weist das hier vorgelegte Dokument besonders hin.

Die im Stand der Technik bekannten Silizium-basierten SPS können im Prinzip durchaus auch in BCD- Technologien implementiert werden. Aufgrund der ungerichteten Abstrahlung der Photonen sowie einer üblicherweise direkt oberflächennah erfolgenden Implementierung sind solche Silizium-LEDs jedoch zur Realisierung besonders effizienter und vor Angriffen geschützter Entropiequellen 401 nicht optimal. Die oberflächennahe Implementierung bedingt auch zumeist eine Degradation für den Fall einer im Avalanche-Betrieb genutzten Silizium-LED. Da Silizium als indirekter Halbleiter nur schlecht zur Erzeugung von Photonen geeignet ist und diese im Allgemeinen nur durch weitere Prozesse über eine zusätzliche Wechselwirkung mit dem Kristallgitter generiert werden können, ist die Auswahl an möglichen alternativen Photonenquellen auf Basis von Silizium allerdings stark eingeschränkt. Bei der Untersuchung von in einer BCD-Technologie in unterschiedlichen Schichten durch entsprechende p-n-Übergänge bereitgestellten Zener-Dioden, welche für einen dauerhaften Arbeitspunkt selbst im Durchbruchbereich optimiert sind, wobei eine oberflächennahe Zener-Diode als Emitter und eine darunter liegende einfache p-n-Diode ohne Vorspannung (engl. „zero bias") als Photonendetektor 55 betrieben wurde, konnte durch gezeigt werden, dass in dieser Konfiguration entgegen der allgemeinen Erwartung des Fachmanns an der Zener-Diode im Avalanche-Betrieb bei der Durchbruchspannung starke Elektrolumineszenz mit einer Effektivität von mindestens 0,03 % beobachtet werden kann. Entsprechende Zener-Dioden sind im Stand der Technik üblicherweise nicht für den Betrieb als optoelektronisches Bauelement (LED) vorgesehen.

Insbesondere werden die erzeugten Photonen bevorzugt in Richtung der unteren p-n-Diode hin emittiert, welche somit nahezu alle emittierten Photonen detektieren kann, was über einen Fotostrom auch in der erfinderischen Struktur nachgewiesen werden kann (vgl. FIGs. 29 bis 32 mit zugehöriger Figurenbeschreibung). Es zeigte sich somit, dass die untersuchte Zener-Diode im Bereich der Durchbruch-/Zenerspannung eine zwar geringe, aber doch durchaus signifikante Effizienz (ca. ein detektiertes Photon pro 3000 Elektronen des Zenerdiodenstroms) aufweist und daher als Einzelphotonenquellen für die Realisierung von Entropiequellen 401 in auf Silizium basierenden BCD- Technologie hervorragend geeignet erscheinen. Vor allem die bevorzugte Abstrahlung in Richtung des Photonendetektors bietet gegenüber der isotropen Abstrahlung herkömmlicher in Entropiequellen 401 verwendeter Photonenquellen 54 deutliche Vorteile. Dabei ist das in der CMOS- Technologie übliche Silizid zur Darstellung von verringerten Kontaktwiderständen zwischen den Metall-Kontakten und dem Halbleiter Silizid einerseits lichtdicht und andererseits spiegelnd glatt, so dass auch ursprünglich nach oben ausgesandte Photonen am so gebildeten Silizidspiegel zurück ins Innere des Halbleitersubstrats 49 reflektiert werden können. Entsprechend ausgebildete und als SPS betriebene Zener-Dioden im Avalanche-Betrieb werden daher im Folgenden im Gegensatz zu den aus dem Stand der Technik bekannten Silizium-LEDs 54 auch als lichtemittierende Avalanche Zener-Diode (engl.: „Avalanche Light Emitting Zener-Diode, Zener-avLED") 54 bezeichnet.

Die in der verwendeten BCD-Technologie bereitgestellten Zener-avLED emittieren bei der Verwendung als Photonenquelle 54 Photonen mit Wellenlängen aus dem sichtbaren Spektralbereich und weisen dabei eine relative geringe Zener-Betriebsspannung von zumeist kleiner als 8 V auf. Dies vereinfacht die Konstruktion der Ladungspumpen in den Spannungsreglern 91 zur Versorgung der Entropiequellen 401 mit elektrischer Energie. Da die Abstrahlung einer Zener-avLED bei der Verwendung als Photonenquelle 54 zudem typischerweise derart gerichtet ist, dass die Photonen bevorzugt in vertikaler Richtung, d. h. von der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 weg ins Halbleitersubstrat 49 hinein emittiert werden, kann zudem bei einer Anwendung in einer Entropiequelle 401 eine wesentlich stärke Isolation der SPS sowie der erzeugten Photonen gegenüber der Umgebung des Halbleitermaterials 49 erreicht werden und ein Abgreifen oder Injizieren von Photonen an der Oberfläche des Photonendetektors 55 wird deutlich erschwert. Bei geeigneter Ausbildung der zu einer Entropiequelle 401 gehörenden zweiten SPAD-Diode 55 kann zudem die Effizienz der Zufallszahlenerzeugung des Quantenzufallszahlengenerators 28 deutlich erhöht und eine unkontrollierte Photonenausbreitung im Halbleitermaterial 49 mit entsprechendem Übersprechen auf andere Schaltungsteile des mikrointegrierten Schaltkreises 2 weitgehend unterbunden werden. Das hier vorgelegte Dokument offenbart somit auch die Idee das optische Übersprechen zwischen der Entropiequelle 401 auf andere Vorrichtungsteile des mikrointegrierten Schaltkreises 2 durch eine vertikale Anordnung der Photonenquelle 54 und des Photonendetektors 55 in einem gemeinsamen Substrat mit den anderen Vorrichtungsteilen der mikrointegrierten Schaltung 2 zu minimieren.

Die zweite wesentliche Komponente zum Aufbau einer kompakten Entropiequelle 401 ist daher die Auswahl eines entsprechend angepassten SPAD-Designs für die zweite PSPAD-Diode des Photonendetektors 55. Typischerweise werden die zweiten SPAD-Dioden 55 in BCD-Technologien ebenfalls oberflächennah durch entsprechende Ausbildung von p- oder n-Wannen realisiert. Solche oberflächennahen SPADs als zweite SPAD-Dioden 55 sind mit den in CMOS-Technologie realisierten SPADs im Stand der Technik durchaus vergleichbar. Im Prinzip wäre somit die aus der EP 3 529 694 Bl bekannte Entropiequelle mit den obenstehend beschriebenen Zener-avLEDs auch in BCD-Technologien realisierbar. Jedoch emittieren die Zener-avLEDs als Photonenquelle 54 wie obenstehend bereits beschrieben die Photonen mit Vorteil vorzugsweise in Richtung in das Halbleitersubstrat 49 hinein. Eine aus dem Stand der Technik bekannte Nebeneinanderanordnung von einer Zener-avLED als SPS und bei der Verwendung als Photonenquelle 54 und einer oberflächennahen SPAD als zweite SPAD-Diode 55 und als Photonendetektor 55 ließe sich zwar grundsätzlich, aber nicht unbedingt effektiv umsetzen. Bei der Verwendung von Zener-avLEDs als Photonenquellen 54 ist es zweckmäßig die zugehörige zweite SPAD-Diode 55 daher unterhalb der Zener-avLED, die als Photonenquelle 54 dient, anzuordnen.

Die BCD Technologie ermöglicht neben der Implementierung von konventionellen n-SPADs und p- SPADs auch die Umsetzung völlig neuartiger SPAD-Konzepte, u. a. durch die Nutzung tiefliegender n- oder p-dotierten Schichten in einem BCD-Substrat.

Dabei konnte durch ein erst kürzlich ebenfalls von der Anmelderin entwickeltes Verfahren zur Erzeugung tiefliegender p-n-Übergänge in einem BCD-Prozess zur Bereitstellung eines entsprechenden BCD-Substrats mit tiefliegenden p-n-Übergängen eine darauf basierende, besonders effiziente, tiefliegende Einzelphotonen-Lawinendiode („deepSPAD") realisiert werden, welche auf einfache Weise unmittelbar unterhalb einer zur Bereitstellung von Einzelphotonen eingerichteten Zener-avLED als Photonenquellen 54 angeordnet werden kann. Die Kombination aus einer Zener- avLED aals Photonenquelle 54 in Kombination mit einer tiefliegenden zweiten SPAD-Diode 55 als Photonendetektor 55 stellt somit im Gegensatz zu einer auf CMOS-Technologie basierenden horizontalen Integration einer Entropiequelle 401 gemäß Stand der Technik die wesentlichen Komponenten einer vollständig in BCD-Technologie vertikal integrierten Entropiequelle 401 bereit.

Durch die vertikale Anordnung einer Zener-avLED als Photonenquelle 54 und einer mittels extrem tiefliegender p-n-Übergänge realisierten deepSPAD als zweiter SPAD-Diode 55 und damit als Photonendetektor 55 kann in BCD-Technologien ein miniaturisierter, auf einem monolithischen Silizium-Die als Halbleitersubstrat 49 basierender Quantenzufallszahlengenerator 28 mit einer Entropiequelle 401 mit hocheffizienter optischer Kopplung der Photonenquelle 54 und des Photonendetektors 55, hoher Angriffssicherheit sowie relativ geringer Betriebsspannung und damit reduziertem Spannungswandleraufwand realisiert werden. Damit stellt das hier vorgestellte Design der vertikalen Entropiequelle 401 auf BCD-Basis mit einem vertikal zu einer Photonenquelle 54 angeordneten Photonendetektor 55 in einem einstückigen mikrointegrierten Schaltkreis 2 eine optimale Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe dar. Insbesondere kann durch die vertikale 3D- Integration die Kompaktheit einer Entropiequelle 401 weiter erhöht und der Chip-Flächenverbrauch gegenüber herkömmlichen lateralen 2D-Designs bei gleichzeitiger Steigerung der Effizienz reduziert werden. Dies ermöglicht erst die Platzierung der Entropiequelle 401 im Pad-Rand 2403 eines mikrointegrierten Schaltkreises 2. Damit sinkt der effektive Chipflächenverbrauch für die vorschlagsgemäße Entropiequelle 401 auf effektiv 0, was einen massiven wirtschaftlichen Vorteil zur Folge hat.

Vorzugsweise sind eine erfindungsgemäße Entropiequelle 401 und der zugehörige Quantenzufallszahlengenerator 28 daher in einem BCD-Substrat als Halbleitersubstrat 49 ausgebildet, das mittels einer BCD-Technologie gefertigt wurde.

Vorzugsweise umfasst das BCD-Substrat dabei ein Trägersubstrat 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 und eine auf dem Trägersubstrat 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 aufgewachsene epitaktische Schicht 48, wobei zwischen dem Trägersubstrat 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 und der epitaktischen Schicht 48 durch eine Diffusion von in eine Oberfläche des Trägersubstrats 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 unterhalb der epitaktischen Schicht 48 eingebrachten Dotierstoffen ein in der epitaktischen Schicht 48 liegender tiefliegender p-n-Übergang erzeugt wurde. Bei dem Trägersubstrat 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 kann es sich bevorzugt um ein p-Substrat handeln. Es können jedoch auch n-Substrate oder intrinsische Substrate verwendet werden. Bei dem Substratmaterial des Trägersubstrats 49 der vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 kann es sich insbesondere um Silizium handeln. Die Verfahren sind jedoch prinzipiell auch für andere Halbleitermaterialien adaptierbar. Ein typischer Dotierstoff zur Ausbildung eines p-Gebiets ist Bor. Zur Ausbildung eines n-Gebiets können beispielsweise Phosphor (P), Arsen (As) oder Antimon (Sb) verwendet werden. Dabei diffundiert beispielsweise in Silizium Bor als Dotierstoff deutlich weiter aus als die schweren Donatoren (P, As oder Sb). Zudem kann festgestellt werden, dass dabei die erzeugten n-Gebiete aufgrund der höheren verwendeten Dosen weitgehend dominant sind, d. h. ein bereits mit Phosphor dotiertes n-Gebiet kann auch nach einem zusätzlichen Einbringen von Bor seinen vorhandenen Leitungstyp beibehalten. Für die Bereitstellung der tiefliegenden p-n-Übergänge kann mitunter auf zusätzliche Masken-, Lithographie- und Epitaxie- Schritte im üblichen BCD-Prozess verzichtet werden.

Vorzugsweise weisen der erste und der zweite Dotierstoff unterschiedliche Diffusions-eigenschaften im Trägersubstrat und/oder in der epitaktischen Schicht auf. Bevorzugt weist der zweite Dotierstoff eine höhere Beweglichkeit im Trägersubstrat und/oder in der epitaktischen Schicht auf als der erste Dotierstoff. Vorzugsweise erfolgt das Einbringen des ersten Dotierstoffs und/oder des zweiten Dotierstoffs maskenlos oder über ein Masken-verfahren. Zum maskenlosen Einbringen kann beispielsweise ein direktes lonenstrahlschreibverfahren beispielsweise mittels fokussierter lonenstrahlen verwendet werden. Bei einem Maskenverfahren erfolgt das Einbringen mit Hilfe einer zuvor bereitgestellten und/oder vorzugsweise fotolithografisch gefertigten Maske, wobei das Einbringen beispielsweise über ein chemisches oder physikalisches Abscheideverfahren oder ebenfalls mittels eines lonenstrahlschreibverfahrens erfolgt. Vorzugsweise überlagert unmittelbar nach dem Einbringen des zweiten Dotierstoffs in einer Aufsicht auf die Oberfläche des Trägersubstrats das erste Gebiet oder das zweite Gebiet vollständig das jeweils anderen Gebiet. Vorzugsweise handelt es sich bei dem ersten Bereich um eine tiefliegende n-Schicht (NBL-Schicht) und bei dem zweiten Gebiet um eine tiefliegende p-Schicht (PBL-Schicht).

Vorzugsweise bildet der Einzelphotonendetektor 55 in einem Bereich um den tiefliegenden p-n- Übergang ein Lawinengebiet aus und umfasst ein Absorptionsgebiet zur Umwandlung von Photonen in Elektronen-Lochpaare, wobei sich das Absorptionsgebiet unmittelbar an den tiefliegenden p-n- Übergang anschließt.

Bevorzugt ist, dass der tiefliegende p-n-Übergang zumindest teilweise zwischen einer tiefliegenden n-Schicht als Kathode und einer sich unmittelbar an die tiefliegende n-Schicht anschließenden tiefliegenden p-Schicht ausgebildet ist. Ebenfalls bevorzugt ist, dass das Absorptionsgebiet sich unmittelbar an die tiefliegende p-Schicht anschließt und im Wesentlichen als p-Gebiet ausgebildet ist. Im Wesentlichen bedeutet dabei, dass das Absorptionsgebiet teilweise auch als intrinsisches Gebiet ausgebildet sein kann. Weiterhin bevorzugt ist, dass eine als p+-Gebiet ausgebildete Anode sich unmittelbar an das Absorptionsgebiet anschließt.

Vorzugsweise wird ein unterhalb des in der epitaktischen Schicht 48 liegenden tiefliegenden p-n- Übergangs des Einzelphotonendetektors 55 ausgebildeter zweiter tiefliegender p-n-Übergang (z. B. in dem Trägersubstrat 49) als zusätzlicher Photonendetektor 55 zur Überwachung auf äußere Angriffe genutzt. Durch das besagte Verfahren zur Erzeugung tiefliegender p-n-Übergänge in einem BCD- Prozess ergibt sich nämlich bei einigen Ausführungsformen unterhalb des ersten p-n-Übergangs ein darunterliegender zweiter p-n-Übergang (siehe FIG. 27 mit zugehöriger Figurenbeschreibung) (Beobachtungsdiode 28040). Dieser zweite p-n-Übergang kann aufgrund seiner weitgehend identischen elektronischen Eigenschaften ebenfalls als Photonendetektor 55 bzw. Einzelphotonen- Lawinendiode 55 konfiguriert werden. Da dieser zusätzliche Photonendetektor 55 somit unterhalb der eigentlichen Anordnung der Entropiequelle 401 tief vergraben im Halbleitermaterierial 49 angeordnet ist, kann dieser eine zusätzliche, aus dem Stand der Technik unbekannte Schutzfunktion gegenüber von der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 injizierten Photonen bereitstellen. Vorzugsweise verwenden der vorschlagsgemäße Watchdog 404.5 und/oder der vorschlagsgemäße Spannungsmonitor 423 diesen zweiten p-n-Übergang als lichtempfindliche Beobachtungsdiode 28040. Vorzugsweise werten der vorschlagsgemäße Watchdog 404.5 und/oder der vorschlagsgemäße Spannungsmonitor 423 die Diodenspannung der Beobachtungsdiode 28040 (Beobachtungsdiodenspannung) in Form dieses zweiten PN-Übergangs aus, erfassen die Diodenspannung dieser Beobachtungsdiode 28040 als Beobachtungsdiodenspannungswert und vergleichen diesen Beobachtungsdiodenspannungswert mit einem erlaubten Beobachtungsdiodenspannungswertintervall. Liegt der Beobachtungsdiodenspannungswert außerhalb des Beobachtungsdiodenspannungswertintervalls, so schließen der vorschlagsgemäße Watchdog 404.5 und/oder der vorschlagsgemäße Spannungsmonitor 423 auf einen Defekt oder einen photonischen Angriff auf die Entropiequelle 401. In diesem Fall signalisieren nach der Detektion eines solchen Vorfalls das Vorliegen eines solchen Vorfalls an einen der Prozessoren 10-1, 10-2 und/oder halten eine solche Information bereit. Bevorzugt signalisiert der Watchdog 404.5 einen solchen Vorfall mittels eines Interrupt-Signals über eine Interrupt-Leitung an den vorgesehenen Prozessor 10-1, 10-2. Vorzugsweise überprüft der Watchdog 404.5, ob eine Korrelation zwischen einer Photonendetektion der Beobachtungsdiode 28020 mit einem Signal am Ausgang 405 der Entropiequelle 401 vorliegt. Ist dies der Fall, stammen die Photonen nicht von extern, sondern aus der Entropiequelle 401. Solche Ereignisse ignorieren der Watchdog 404.5 und der Spannungsmonitor 413 vorzugsweise. Typischerweise emittieren auch andere Schaltungsteile des mikrointegrierten Schaltkreises 2 und/oder des Quantenzufallszahlengenerators 28 parasitäre Photonen, die die Beobachtungsdiode 28020 treffen können. Typischerweise erfasst die Beobachtungsdiode 28020 auch einige dieser parasitären Normalbetriebsphotonen. Der Watchdog 404.3 kann den Pegel dieser Normalbetriebsphotonen erfassen und dem Prozessor 10-1, 10-2 beispielsweise über den Datenbus 419 als Messwert für andere Zwecke zur Verfügung stellen. Ggf. können der Prozessor 10-1, 10-2 oder ein anderes Vorrichtungsteil des mikrointegrierten Schaltkreises 2 in Abhängigkeit von einem übermittelten oder bereitgestellten Messwert des Pegels der Normalbetriebsphotonen auf einen Betriebszustand des mikrointegrierten Schaltkreises 2 schließen. Das erlaubte Beobachtungsdiodenspannungswertintervall ist dabei vorzugsweise so eingestellt, dass ein photonischer Angriff nur dann detektiert wird, wenn der Messwert des Pegels der Normalbetriebsphotonen deutlich außerhalb der erwartbaren Messwerte des Pegels der Normalbetriebsphotonen liegt.

Der Watchdog 404.3 kann so mittels der Beobachtungsdiode 28040 und typischerweise unter Zuhilfenahme des Spannungsmonitors 413 Angriffsphotonen in unmittelbarer Nähe zur Entropiequelle 401 in einem breiten Winkelbereich detektieren. Dadurch kann der Prozessor 10-1, 10-2 äußere Angriffe mit hoher Wahrscheinlichkeit erkennen.

Vorzugsweise sind die Ober- und/oder Unterseite des Halbeitersubstrats 49 im Bereich der Entropiequelle 401 an einer Oberfläche verspiegelt. Vorzugsweise können die Ober- und/oder Unterseite des Halbeitersubstrats 49 im Bereich der Entropiequelle 401 an einer Oberfläche auch eine lichtblockierende Schicht - die auch verspiegelt sein kann - umfassen. Eine Verspiegelung der Oberflächen eines Halbleitersubstrats 49 (z. B. mittels Metallisierung 142, 53 oder dem Aufbringen dichroitischer Schichten) sowie das Aufbringen einer lichtblockierenden Schicht sind im Stand der Technik bekannt und wurden obenstehend bereits diskutiert. Auch bei einer vorschlagsgemäßen Entropiequelle 401 können diese Ansätze zu einer Abschirmung gegenüber äußeren Photonen („Abschattung") sowie zur Erhöhung der Effizienz durch Rückreflektion der von der zugehörigen Photonenquelle 54 erzeugten Photonen genutzt werden. Alternativ oder zusätzlich kann zudem eine entsprechende Verkapselung im Bereich der Entropiequelle 401 oder das Umgeben dieses Bereichs mit einer Metallbox erfolgen.

Vorzugsweise ist die Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 im Bereich der Entropiequelle 401 mit einer Silizid-Schicht und oberhalb mit einer Metallisierung 142, 53 bedeckt. Bevorzugt ist die Metallisierung 142, 53 im Bereich der Entropiequelle 401 geschlossen. Die Metallisierung 142, 53 kann als Verspiegelung für den Innenbereich und/oder als wellenlängenunabhängige Abschattung für äußeren Photonen wirken. In gleicher Weise gilt das für eine ausgebildete Silizid-Schicht. Vorzugsweise wird ein Austreten von durch die Einzelphotonenquelle 54 bereitgestellten Photonen an der Oberfläche des Halbleitersubstrats 49 und/oder der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 durch eine Kombination von jeweils mindestens einem Element aus Metallabdeckungen, Seitenwandkontakten und Vias verhindert. Dies verhindert die Beobachtbarkeit der Signalerzeugung durch Mikroskope oder dergleichen. Durch die genannten Elemente kann eine weitgehend vollständige Abschirmung bzw. Verkapselung der Entropiequelle 401 erreicht werden, wodurch neben einer Abschirmung nach außen auch eine hohe Immunität gegenüber äußeren Störungen gewährleistet werden kann. Vorzugsweise umfasst diese Einkapselung auch andere Vorrichtungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28. Auch kann eine zweite entsprechende Einkapselung durch zusätzliche Schichten und Durchkontaktierungen die anderen Vorrichtungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 und die bereits eingekapselte Entropiequelle 401 umfassen.

Vorzugsweise sind mehrere erfindungsgemäße Entropiequellen 401 bzw. eine vielkanalige Entropiequelle 401 in einem System von mehreren Quantenzufallszahlengeneratoren 28 als QRNG- System realisiert. Ein solches QRNG-System umfasst bevorzugt eine Vielzahl vorschlagsgemäßer Entropiequellen 401, die vorzugsweise gemeinsam auf dem gleichen Halbleitersubstrat 49 eines vorzugsweise einstückigen mikrointegrierten Schaltkreises 2 realisiert. Zusammen mit einer kompakten Abschirmung der einzelnen Entropiequellen 401 lassen sich dabei sehr hohe Integrationsdichten mit einer hohen Anzahl an dicht gepackten, voneinander infolge der Abschirmung mittels der besagten Schichten und Durchkontaktierungen entkoppelter Entropiequellen 401 und damit insgesamt hohe effektive Zufallszahlenraten erreichen. Vorzugsweise umfasst ein solches QRNG-System neben der notwendigen Mehrzahl an abgeschirmten Entropiequellen 401, der notwendigen Mehrzahl an Analog-zu-Digital-Wandlern 403, der notwendigen Mehrzahl an Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlern 404.3, der Mehrzahl an Entropie- Extraktionen 404.4 auch über eine Vorrichtung, die die Zusammenführung der Mehrzahl an erzeugten Quantenzufallsbits 411 zu einer Sequenz von Quantenzufallszahlen durchführt. Dies ist typischerweise eine modifizierte FSM 404.8. Bei Entropiequellen 401 im Stand der Technik ist die Integrationsdichte vor allem durch die strukturelle Nebeneinanderanordnung der einzelnen Komponenten beschränkt.

Vorzugsweise umfasst ein vorschlagsgemäßer Quantenzufallszahlengenerator 28 eine elektronische Schaltung zur Generierung und Ausgabe einer digitalen Quantenzufallszahlenfolge basierend auf der statistischen Auswertung der zeitlichen Abfolge von Signalen 405 des Einzelphotonendetektors 55 der Entropiequelle 401.

Ein weiterer Aspekt des vorliegenden Vorschlags betrifft den integrierten mikroelektronischen

Schaltkreis (engl. „Integrated Circuit, IC"), umfassend mindestens eine vorschlagsgemäße Entropiequelle 401. Insbesondere kann es sich dabei um ICs 2 für Anwendungen auf der Basis von sicherheitsrelevanten Chip-basierten Systemen (engl. „System on Chip, SoC") handeln.

Die Vorteile einer vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401 mit einer vertikal zum Photonendetektor 55 angeordneten Photonenquelle 54 gegenüber den bekannten horizontalen Implementierungen im Stand der Technik basieren vor allem auf der weiteren Miniaturisierung des gesamten Zufallszahlengeneratoraufbaus und die dadurch erreichte hochgradige Integration bzw. Miniaturisierung der erzeugten Strukturen und die sich ergebende Erhöhung der Quantenzufallsbitrate. Aufgrund der vollständigen Isolation der SPS (Photonenquelle 54) und der zugehörigen zweiten SPAD-Diode 55 gegenüber der Umgebung durch die vorgeschlagene Abschirmung mittels Schichten und Durchkontaktierungen kann die Sicherheit der Quantenzufallszahlenerzeugung deutlich weiter erhöht werden. Die gerichtete vertikale Abstrahlung aus der in der vorgeschlagenen vertikalen Entropiequelle 401 als SPS (Photonenquelle 54) verwendeten Zener-avLED 54 trägt ebenfalls zur Erhöhung der Sicherheit sowie zu einer wesentlichen Steigerung der Effizienz der Quantenzufallszahlenerzeugung des Quantenzufallszahlengenerators 28 bei.

Ein mittels einer neuartigen BCD-Technologie bereitgestellter, unterhalb des p-n-Übergangs der zweiten SPAD 55 der vertikalen Entropiequelle 401 ausgebildeter zweiter tiefliegender p-n-Übergang kann als zusätzlicher Photonendetektor als Beobachtungsdiode 28020 zur Überwachung von Angriffen insbesondere von der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 ausgehend genutzt werden. Die Beobachtungsdiode 28040 ist in dem hier diskutierten Beispiel zwischen dem Substrat 49 und der Kathode 26132 der im Halbleitersubstrat 49 der vertikalen Entropiequelle 401 vergrabenen, zweiten SPAD-Diode 55, die als Photonendetektor 55 arbeitet, angeschlossen. Der Watchdog 404.5 und/oder der Spannungsmonitor 413 erfassen vorzugsweise den Beobachtungsdiodenspannungswert der Spannung der Beobachtungsdiode 28020. Der Watchdog 404.5 vergleicht vorzugsweise das einsynchronisiertes Spannungssignal 415 mit einem ebenfalls einsynchronisierten Signal des Beobachtungsdiodenspannungswerts der Beobachtungsdiode 28020. Zeigt das einsynchronisierten Signal des Beobachtungsdiodenspannungswerts der Beobachtungsdiode 28020 einen Plus, der synchron zu einem Puls des einsynchronisierten Spannungssignals 415 ist, so geht der Watchdog 404.5 davon aus, dass es sich nicht um einen Angriff, sondern ein reguläres Signal handelt und löst typischerweise keinen Alarm aus. Von Zeit zu Zeit können der Watchdog 404.5 und/oder der Prozessor 10-1, 10-2 jedoch die Spannungsversorgung der Entropie-Quelle 401 unterbrechen, sodass das einsynchronisierte Spannungssignal 415 des Beobachtungsdiodenspannungswerts keine Pulse mehr zeigen sollte. In dem Fall darf auch das einsynchronisierte Signals des Beobachtungsdiodenspannungswerts der Beobachtungsdiode 28020 keine Pulse mehr zeigen. Zeigt das einsynchronisierte Signal des Beobachtungsdiodenspannungswerts der Beobachtungsdiode 28020 jedoch weiterhin einen Puls, so schließt der Watchdog 404.5 typischerweise auf einen Angriff oder eine Störung. Vorzugsweise meldet der Watchdog 404.5 einen solchen Angriff bzw. eine solche Störung an den Prozessor 10-1, 10-2 über den Datenbus 419 und/oder mittels eines Interrupt-Signals über eine Interrupt-Leitung. Der Watchdog 404.3 kann die Information über einen solchen vermuteten Angriff auch in einem Register oder Speicher des Quantenzufallszahlengenerators 28 bereithalten. Typischerweise unterbindet der Watchdog 404.5 dann die Erzeugung von Zufallszahlen 418 durch die FSM 404.8 zumindest bis der Prozessor 10-1, 10-2 diese Erzeugung explizit durch einen entsprechenden Befehl an den Watchdog 404.5 vorzugsweise mittels eines Passworts über den Datenbus 419 wieder erlaubt.

Der Spannungsmonitor 413 überwacht bevorzugt das Spannungsniveau des Beobachtungsdiodenspannungswerts der Spannung der Beobachtungsdiode 28020. Liegt der Beobachtungsdiodenspannungswert der Spannung der Beobachtungsdiode 28020 außerhalb des vordefinierten Beobachtungsdiodenspannungswertintervalls, so meldet der Spannungsmonitor 413 dies vorzugsweise dem Watchdog 404.5. Der Watchdog 404.5 schließt im Falle einer solchen Out-of- Spec-Meldung des Spannungsmonitors 413 für den Beobachtungsdiodenspannungswert der Beobachtungsdiode 28040 typischerweise wieder auf einen Angriff oder eine Störung. Vorzugsweise meldet der Watchdog 404.5 einen solchen Angriff bzw. eine solche Störung an den Prozessor 10-1, 10-2 über den Datenbus 419 und/oder mittels eines Interrupt-Signals über eine Interrupt-Leitung. Der Watchdog 404.3 kann die Information über einen solchen vermuteten Angriff auch in einem Register oder Speicher des Quantenzufallszahlengenerators 28 bereithalten. Typischerweise unterbindet der Watchdog 404.5 dann die Erzeugung von Zufallszahlen 418 durch die FSM 404.8 zumindest bis der Prozessor 10-1, 10-2 diese Erzeugung explizit durch einen entsprechenden Befehl an den Watchdog 404.5 vorzugsweise mittels eines Passworts über den Datenbus 419 wieder erlaubt.

Dabei können die Effizienz der optischen Einkopplung in die zugehörigen zweiten SPAD-Dioden 55 sowie die Isolation und die Sicherheit durch die Nutzung von internen Metall- und Silizid-Spiegeln weiter gesteigert werden. Für die verwendeten Zener-avLED als Photonenquelle 54 ist im Vergleich zum Stand der Technik nur eine relativ geringe Betriebsspannung von < 8 V erforderlich. Dies vereinfacht die notwendigen Spannungswandler 91 zur Erzeugung der Betriebsspannungen der Entropiequelle 401 weiter. Da zudem die Absorptionslänge des emittierten sichtbaren Lichts im Silizium gering (d. h. der zugehörige Absorptionskoeffizient hoch) ist, kann auch eine sehr gute optische Isolation zwischen benachbarten Elementen erzielt werden. Die große Nähe der Photonenquelle 54 zum Phtonendetektor 55 in der vertikalen Entropiequelle 401 verhindert das Wirksamwerden dieses Nachteils der geringen Absorptionslänge des emittierten sichtbaren Lichts im Silizium hinsichtlich der Effizienz des Photonentransports. Dies ermöglicht die Anordnung der vertikalen Entropiequellen 401 in einem Array mit hoher Zellendichte und einer daraus folgenden entsprechend hohen Erzeugungs- bzw. Entropierate des Quantenzufallszahlengenerators 28. Weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen oder in der folgenden Beschreibung der Zeichnungen offenbart.

Merkmale der Erfindung

Die Merkmale der Erfindung fassen diese nochmals zusammen. Anwendungen der technischen Lehre können die Merkmale miteinander kombinieren, sofern diese Kombinationen nicht sachliche Widersprüche verursachen. Insofern stellen die hier vorgestellten Abhängigkeiten und Bezüge nur besonders bevorzugte, beispielhafte Ausführungsformen dar.

Merkmal 1: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG), wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) eine Entropiequelle (401) aufweist und wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) ein Signal (405) der Entropiequelle (401) mittels eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRC) (404.3) auswertet und ein oder mehrere Zufallsbits (411) erzeugt.

Merkmal 2: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach Merkmal 1, wobei der Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418), aus mehreren Zufallsbits (411) eine oder mehrere Zufallszahlen (418) erzeugt und zur Verfügung stellt oder nutzt.

Merkmal 3: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach Merkmal 1 oder 2, wobei das Verhalten des P eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRG) (404.3) von einem oder mehreren Quantenzufallsbits (411) und/oder einer oder mehrerer Quantenzufallszahlen (418) abhängt.

Merkmal 4: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 3, wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) einen Watchdog (404.5) umfasst, der die korrekte Funktion des quantenprozessbasierenden Generators (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) überwacht.

Merkmal 5: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 4, wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) einen Watchdog (404.5) umfasst, der die korrekte Funktion des quantenprozessbasierenden Generators (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) überwacht indem er die Zufälligkeit der erzeugten Quantenzufallsbits (411) in Form eines Messwerts misst und mit einem Toleranzintervall oder einem Schwellwert vergleicht und auf einen Fehler bei einer Abweichung schließt.

Merkmal 6: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 5, wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) einen Watchdog (404.5) umfasst, der die korrekte Funktion des eines Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers (TPRC) (404.3) überwacht und bei Abweichungen von einem erwarteten verhalten einen Fehler feststellt und/oder signalisiert.

Merkmal 7: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 6, wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) einstückig als Teil eines integrierten Schaltkreises (2) gefertigt ist und wobei der integrierte Schaltkreis (2) einen Spannungswandler (91) zur Versorgung der Entropiequelle (401) des quantenprozessbasierenden Generators (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) umfasst und wobei der Spannungswandler (91) einen oder mehrere DMOS-Transistoren umfasst.

Merkmal 8: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach Merkmal 7, wobei der integrierte Schaltkreis (2) in einer BCD-Technologie gefertigt ist. Merkmal 9: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 8, wobei der quantenprozessbasierende Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) einstückig als Teil eines integrierten Schaltkreises (2) gefertigt ist und wobei der integrierte Schaltkreis (2) einer der folgenden Schaltkreise ist oder einen der folgenden Schaltkreise umfasst:

Ein Mikrokontroller, ein Mikroprozessor, ein Speicher, ein DRAM, ein SRAM, ein RAM, ein flüchtiger Speicher, ein OTP-Speicher,

- ein EEPROM, ein Flash-Speicher, ein MRAM, ein FRAM, ein Sensor-Auswerteschaltkreis, ein Steuerschaltkreis für eine automobile Steuerschaltung, ein Grafik-Controller, ein Auswerteschaltkreis für einen biometrischen Sensor oder ein Eingabegerät, eine Steuerschaltung, eine Chip-Karten-Schaltung, ein Sachaltkreis eines Mobiltelefons oder eines Smart-Phones, ein Schaltkreis eines Zugangskontrollsystems, ein Schaltkreis mit einer kodierten Aufzeichnung von Betriebsparametern, ein Schaltkreis eines Zugriffskontrollsystems, ein Schaltkreis eines Sicherungssystems elektronischer Sicherungen, ein Funksystemschaltkreis, ein Kommunikationsschaltkreis, ein Schaltkreis eines Verschlüsselungs- und/oder Entschlüsselungssystems, ein Schaltkreis eines Individualisierungssystems ein Schaltkreis einer Spielvorrichtung, ein Schaltkreis eines Simulationssystems, ein Schaltkreis eines Rechnersystems, ein Schaltkreis einer Rauschquelle, ein Schaltkreis mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung eines Spreizkodes.

Merkmal 10: Quantenprozessbasierender Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) nach einem der Merkmale 1 bis 9, wobei die Entropiequelle (401) eine Photonenquelle (54) umfasst und wobei die Entropiequelle (401) einen Photonendetektor (55) umfasst und wobei die Photonenquelle (54) bei Versorgung mit elektrischer Energie Photonen als Quantensignal emittiert und wobei die Photonenquelle (54) mit dem Photonendetektor (55) optisch gekoppelt ist und wobei der Photonendetektor (55) das Quantensignal der Photonenquelle (54) zumindest teilweise empfängt und das Ausgangssignal (405) der Entropiequelle (401) oder ein Vorläufersignal desselben erzeugt.

Merkmal 11: Sicherer Mikrocontroller zur Steuerung von Vorrichtungen, insbesondere im Automobil mit einem Halbleiterkristall und mit Speicherelementen und mit zumindest einem internen Bus (419) und mit zumindest einem Prozessor (10-1), insbesondere einem 8/16/32/15-Bit- Microkontrollerkern, und mit einer oder mehreren Datenschnittstellen und mit zumindest einem quantenprozessbasierenden Generator (28) für echte Zufallszahlen (411, 418) (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) nach einem der Merkmale 1 bis 9, und wobei die Speicherelemente mit dem internen Bus (419) verbunden sind und wobei die Datenschnittstelle mit dem internen Bus (419) verbunden ist und wobei insbesondere der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) (28) mit dem internen Bus (419) verbunden sein kann und wobei der Prozessor (10-1) mit dem internen Bus (419) verbunden ist und wobei der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) (28), insbesondere auf Anfrage des Prozessors (10-1), eine Zufallszahl (418) erzeugt oder zur Verfügung stellt und wobei der Prozessor (10-1) mit Hilfe eines Programms aus einem oder mehreren seiner Speicherelemente und mit Hilfe der Zufallszahl einen Schlüssel erzeugt und wobei der Prozessor (10-1) mit Hilfe eines Programms aus einem oder mehreren seiner Speicherelemente und mit Hilfe des Schlüssels Daten verschlüsselt und entschlüsselt, die er über die Datenschnittstelle mit Vorrichtungen außerhalb des sicheren Mikrocontrollers austauscht und wobei der Halbleiterkristall diese Teilvorrichtungen des sicheren Mikrocontrollers einstückig umfasst, wobei diese Teilvorrichtungen des sicheren Mikrocontrollers die Speicherelemente, den internen Bus (419), den zumindest einen Prozessor (10-1), die Datenschnittstellen und den quantenprozessbasierenden Generator für echte Zufallszahlen (Englisch: Quantum Random Number Generator: QRNG) (28) umfassen,

Merkmal 12: Sicherer Mikrocontroller nach Merkmal 11, wobei die Speicherelemente ein oder mehrere Schreib/Lese-Speicher RAM und/oder ein oder mehrere beschreibbare nicht flüchtige Speicher, insbesondere EEPROM-Speicher und/oder Flash-Speicher und/oder OTP-Speicher, und/oder ein oder mehrere reine Lesespeicher und/oder ein oder mehrere nicht flüchtige Herstellerspeicher insbesondere ein oder mehrere Hersteller-ROMs und/oder ein oder mehrere Hersteller EEPROMs und/oder ein oder mehrere Hersteller-Flash-Speicher, umfassen.

Merkmal 13: Sicherer Mikrocontroller nach Merkmal 12, wobei das Hersteller-ROM die Boot-Software umfasst.

Merkmal 14: Sicherer Mikrocontrollernach Merkmal 12 oder 13, wobei eine Hersteller-Speicher Firewall zwischen dem Hersteller-Speicher und dem internen Bus (419) vorgesehen ist.

Merkmal 15: Sicherer Mikrocontroller nach einem oder mehreren der Merkmale 11 bis 14 mit einer oder mehrerer der folgenden Komponenten: einen Taktgenerator (92) (u.a. für den Systemtakt 2106) einer Rücksetzschaltung (83) und/oder einem oder mehreren Spannungswandlern (91), die die Betriebsspannungen bereitstellen, und/oder einer Masseschaltung in der negativen Versorgungsspannungsleitung (GND), insbesondere zur Abwehr von Angriffen über Masseversatz, und/oder einer Eingangs-/Ausgangsschaltung und/oder einem oder mehreren Verarbeitungsmodulen, wobei die Verarbeitungsmodule dazu eingerichtet sind, mit dem internen Bus (419) zu kommunizieren, und wobei die Verarbeitungsmodule eines oder mehrere der folgenden Module umfassen: ein CRC-Modul (Cyclic Redundancy Check), ein Taktgeneratormodul, mit einem DES-Beschleuniger und/oder einem AES-Beschleuniger ein oder mehrere Zeitgeber-Module, eine Sicherheitsüberwachungs- und -Steuerungsschaltung, eine Datenschnittstelle, insbesondere einen Universellen Asynchronen Receiver Transmitter (UART).

Merkmal 16: Sicherer Mikrocontroller lnach einem oder mehreren der Merkmale 11 bis 15, mit zumindest einer Photonenquelle (54), insbesondere einer Silizium-LED (54) oder einer ersten SPAD-Diode (54), und mit zumindest einem Photonendetektor (54), insbesondere einer zweiten SPAD-Diode (55), und mit zumindest einer Verarbeitungsschaltung und mit zumindest einer Betriebsschaltung, wobei der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (Q.RNG) (28) zumindest die Photonenquelle (54) als Lichtquelle für das optische Quantensignal umfasst und wobei der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) (28) zumindest den Photonendetektor (55) als Fotodetektor für das optische Quantensignal umfasst und wobei der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) (28) zumindest die Verarbeitungsschaltung umfasst und wobei die zumindest eine Photonenquelle (54) mit dem zumindest einen Photonendetektor (55) optisch gekoppelt ist und wobei die Betriebsschaltung die Photonenquelle (54) so mit elektrischer Energie versorgt, dass die Photonenquelle (54) Licht emittiert und wobei die Verarbeitungsschaltung das Signal des Photonendetektors (55) erfasst und daraus die Zufallszahl bildet und dem Prozessor (10-1) zur Verfügung stellt.

Merkmal 17: Sicherer Mikrocontroller 11 nach Merkmal 16, mit zumindest einem optischen Lichtwellenleiter (44), wobei der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (Q.RNG) (28) zumindest den optischen Lichtwellenleiter (44) umfasst und wobei der zumindest eine optische Lichtwellenleiter (44) die zumindest eine Photonenquelle (54) mit dem zumindest einen Photonendetektor (55) optisch koppelt.

Merkmal 18: Sicherer Mikrocontroller nach Merkmal 17 wobei der Halbleiterkristall eine Oberfläche (56) aufweist und wobei der Halbleiterkristall ein halbleitendes Material unterhalb seiner Oberfläche (56) aufweist und wobei die Oberfläche (56) des Halbleiterkristalls einen Metallisierungsstapel aufweist und wobei der Metallisierungsstapel eine typischerweise strukturierte und optisch transparente und elektrisch isolierende Schicht (44) aufweist und wobei zumindest ein Teil dieser typischerweise strukturierten, transparenten und elektrisch isolierenden Schicht (44) der Oberfläche (56) den optischen Lichtwellenleiter (44) bildet und wobei die Photonenquelle (54) aus dem halbleitenden Material des Halbleitersubstrats in diesen optischen Lichtwellenleiter (44) einstrahlt und wobei der optische Lichtwellenleiter (44) den Photonendetektor (54) so bestrahlt, dass das Licht von innerhalb des Lichtwellenleiters (44) wieder in das halbleitende Material des Halbeleitersubstrats von der Oberfläche aus eindringt und dort Vorrichtungsteile des Photonendetektors (55) trifft.

Merkmal 19: Sicherer Mikrocontroller nach Merkmal 17 und/oder 18, wobei die zumindest eine Betriebsschaltung die zumindest eine Photonenquelle (54) zumindest zeitweise mit elektrischer Energie versorgt und wobei die zumindest eine Photonenquelle (54) bei Versorgung mit ausreichender elektrischer Energie Photonen in den zumindest einen Lichtwellenleiter (44) einspeist und wobei der zumindest eine Lichtwellenleiter (44) solche Photonen in den Photonendetektor (55) einstrahlt.

Merkmal 20: Sicherer Mikrocontroller nach einem oder mehreren der vorausgehenden Merkmale 11 bis 19, wobei eine Datenschnittstelle der eine oder mehreren Datenschnittstellen eine drahtgebundene automobile Datenbusschnittstelle ist und wobei die drahtgebundene automobile Datenbusschnittstelle insbesondere eine CAN-Datenbusschnittstelle und/oder eine CAN-FD-Datenbusschnittstelle und/oder eine Flexray-Datenbusschnittstelle und/oder eine PSI5-Datenbusschnittstelle und/oder eine DSI3-Datenbusschnittstelle und/oder eine LIN-Datenbusschnittstelle und/oder eine Ethernet-Datenbusschnittstelle und/oder eine LIN-Datenbusschnittstelle und/oder eine MELIBUS-Datenbusschnittstelle umfasst

Merkmal 21: Sicherer Mikrocontroller nach einem oder mehreren der vorausgehenden Merkmale 11 bis 20, wobei eine Datenschnittstelle der eine oder mehreren Datenschnittstellen eine drahtlose Datenbusschnittstelle ist und wobei die drahtlose Datenbusschnittstelle insbesondere eine WLAN-Schnittstelle und/oder eine Bluetooth-Schnittstelle umfasst.

Merkmal 22: Sicherer Mikrocontroller nach einem oder mehreren der vorausgehenden Merkmale 11 bis 21, wobei eine Datenschnittstelle der eine oder mehreren Datenschnittstellen eine drahtgebundene Datenbusschnittstelle ist und wobei die drahtlose Datenbusschnittstelle insbesondere eine KNX-Datenbusschnittstelle und/oder eine EIB-Datenbusschnittstelle und/oder eine DALI-Datenbusschnittstelle und/oder eine PROFIBUS-Datenbusschnittstelle ist.

Merkmal 23: Eine Vorrichtung, wobei die Vorrichtung eine integrierte Schaltung (4) mit einem ersten Prozessor (10-1) und einem nichtflüchtigen Speicher (16) aufweist und wobei die Vorrichtung einen ersten Speicher aufweist, wobei der nicht flüchtige Speicher zumindest mindestens einen Sicherheitscode speichert; wobei der erste Speicher Daten speichert und wobei die Daten in dem ersten Speicher in einem ersten Format kryptografisch geschützt sind und wobei die integrierte Schaltung dazu eingerichtet ist, während einer Übertragung von Daten aus dem ersten Speicher die aus dem ersten Speicher gelesenen Daten zu validieren und, wobei die Vorrichtung einen Quantenzufallszahlengenerator (28) nach einem der Merkmale 1 bis 9 aufweist und wobei die integrierte Schaltung und der Quantenzufallszahlengenerator (28) in einem Halbleiterkristall gefertigt sind und wobei der Halbleiterkristall eine Oberfläche (56) aufweist und wobei der Halbleiterkristall ein halbleitendes Material unterhalb seiner Oberfläche (56) aufweist und wobei die Oberfläche (56) des Halbleiterkristalls einen Metallisierungsstapel aufweist und wobei der Metallisierungsstapel eine typischerweise strukturierte und optisch transparente und elektrisch isolierende Schicht (44) aufweist und wobei zumindest ein Teil dieser typischerweise strukturierten, transparenten und elektrisch isolierenden Schicht (44) der Oberfläche (56) den optischen Lichtwellenleiter 44 bildet und wobei die erste SPAD-Diode (54) aus dem halbleitenden Material des Halbleitersubstrats heraus Photonen (57) in diesen optischen Lichtwellenleiter (44) einstrahlt und wobei der zumindest eine optische Lichtwellenleiter (44) solche Photonen (58) zur zweiten SPAD- Diode (55) transportiert und wobei der optische Lichtwellenleiter (44) die zweite SPAD-Diode (55) so bestrahlt, dass das Licht (59) von innerhalb des Lichtwellenleiters (44) wieder in das halbleitende Material des Halbeleitersubstrats von der Oberfläche (56) aus eindringt und dort Vorrichtungsteile der zweiten SPAD-Diode (55) trifft und wobei die erste SPAD-Diode (54) und die zweite SPAD-Diode (55) und der Lichtwellenleiter (44) Teil des Quantenzufallszahlengenerators (28) sind.

Merkmal 24: Vorrichtung nach Merkmal 23, wobei die Vorrichtung zumindest eine Betriebsschaltung aufweist und wobei die zumindest eine Betriebsschaltung die zumindest eine erste SPAD-Diode (54) zumindest zeitweise mit elektrischer Energie versorgt und wobei die zumindest eine erste SPAD-Diode (54) bei Versorgung mit ausreichender elektrischer Energie Photonen (57) in den zumindest einen Lichtwellenleiter (44) einspeist und wobei der zumindest eine Lichtwellenleiter (44) solche Photonen (58) zur zweiten SPAD-Diode (55) transportiert und wobei der zumindest eine Lichtwellenleiter (44) solche Photonen (59) in die zweite SPAD-Diode (55) einstrahlt.

Merkmal 25: Vorrichtung nach Merkmal 24, wobei der Quantenzufallszahlengenerator (28) zumindest die erste SPAD-Diode (54) als Lichtquelle für das optische Quantensignal umfasst und wobei der Quantenzufallszahlengenerator (28) zumindest die zweite SPAD-Diode (55) als Fotodetektor für das optische Quantensignal umfasst und wobei der Quantenzufallszahlengenerator (28) zumindest eine Verarbeitungsschaltung umfasst und wobei der Quantenzufallszahlengenerator (28) zumindest den optischen Lichtwellenleiter (44) umfasst und wobei der zumindest eine optische Lichtwellenleiter (44), die zumindest eines erste SPAD-Diode (54) mit der zumindest einen zweiten SPAD-Diode (55) optisch koppelt und wobei die Betriebsschaltung die erste SPAD-Diode (54) so mit elektrischer Energieversorgt, dass die erste SPAD-Diode Licht (54) emittiert und wobei die Verarbeitungsschaltung das Signal der zweiten SPAD-Diode (55) erfasst und daraus die Zufallszahl bildet und dem Prozessor (10) oder einem anderen Vorrichtungsteil zur Verfügung stellt.

Merkmal 26: Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 24, wobei sich der erste Speicher innerhalb oder außerhalb der integrierten Schaltung befindet und wobei die Vorrichtung einen zweiten Speicher zum Speichern von Daten aufweist und wobei sich der zweite Speicher innerhalb oder außerhalb der integrierten Schaltung; befindet; wobei die Vorrichtung so eingerichtet ist, dass sie Daten vom ersten Speicher über die integrierte Schaltung zum zweiten Speicher überträgt, damit der Prozessor vom zweiten Speicher aus darauf zugreifen kann, und wobei die integrierte Schaltung dazu eingerichtet ist, während einer Übertragung von Daten aus dem ersten Speicher in den zweiten Speicher die aus dem ersten Speicher gelesenen Daten unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes zu validieren und, falls die Daten validiert werden, einen kryptographischen Schutz in einem zweiten Format auf die validierten Daten unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes anzuwenden, und die im zweiten Format geschützten Daten im zweiten Speicher zu speichern.

Merkmal 27: Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 26, wobei der erste Speicher einen Festwertspeicher aufweist.

Merkmal 28: Vorrichtung nach einem der Merkmale 26 bis 27, wobei der zweite Speicher einen Direktzugriffsspeicher aufweist.

Merkmal 29: Vorrichtung nach einem der Merkmale 26 bis 28, wobei der kryptografische Schutz, der auf die Daten im ersten Speicher angewendet wird, sich von dem kryptografischen Schutz unterscheidet, der auf die Daten im zweiten Speicher angewendet wird.

Merkmal 30: Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 29, wobei die integrierte Schaltung einen Speicher zum Speichern von Daten enthält, die von dem Prozessor verarbeitet werden sollen, und wobei das Gerät so eingerichtet ist, dass es einige Daten des validierten Datensatzes im Speicher und den Rest im zweiten Speicher speichert.

Merkmal 31: Vorrichtung nach einem der Merkmale 26 bis 30, wobei der erste Speicher Daten in einem ersten Datenformat speichert und der zweite Speicher so angeordnet ist, dass er Daten in einem zweiten, anderen Datenformat speichert. Merkmal 32: Vorrichtung nach Merkmal 31, wobei die im ersten Speicher gespeicherten Daten durch eine erste Authentifizierungstechnik geschützt sind und wobei die Vorrichtung so eingerichtet ist, dass sie die Daten im zweiten Speicher durch eine zweite, andere Authentifizierungstechnik schützt.

Merkmal 33: Vorrichtung nach einem der Merkmale 26 bis 32, wobei die Daten in dem ersten Speicher in mindestens einem Datensatz gespeichert sind und der oder jeder Datensatz als Satz kryptografisch geschützt ist und wobei die Vorrichtung so eingerichtet ist, dass sie in dem zweiten Speicher Wörter oder Wortgruppen eines validierten Datensatzes speichert, wobei jedes Wort oder jede Wortgruppe separat kryptografisch geschützt ist.

Merkmal 34: Vorrichtung nach Merkmal 33, die so beschaffen ist, dass sie die Wörter oder Wortgruppen aus dem zweiten Speicher liest, und dass sie die gelesenen Wörter oder Wortgruppen unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes validiert und dass sie die gelesenen und validierten Wörter oder Wortgruppen in dem Prozessor verarbeitet.

Merkmal 35: Vorrichtung nach Merkmal 34, wobei die integrierte Schaltung einen Hash-Rechner aufweist, und wobei der Prozessor und der Hash-Rechner (Hash-Engine) so angeordnet sind, dass a) für jedes Wort oder jede Gruppe von Wörtern eine Hash-Funktion in Abhängigkeit von einem in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscode berechnen und den Hash in Verbindung mit dem Wort oder der Gruppe in dem zweiten Speicher speichern, b) Abrufen eines gespeicherten Worts oder einer Gruppe aus dem zweiten Speicher, Neuberechnen einer Hash-Funktion für das abgerufene Wort oder die abgerufene Gruppe unter Verwendung des Sicherheitscodes und Vergleichen des neu berechneten Hashs mit dem gespeicherten Hash, und c) die Verarbeitung des abgerufenen Worts oder der abgerufenen Gruppe durch die Datenverarbeitungsanlage nur dann zulassen, wenn die neu berechneten und gespeicherten Hashes in einem bestimmten Verhältnis zueinanderstehen.

Merkmal 36: Vorrichtung nach Merkmal 35, wobei der Hash-Rechner eine Schaltung in der integrierten Schaltung ist.

Merkmal 37 Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 36, wobei der nichtflüchtige Speicher der integrierten Schaltung ein einmalig programmierbarer Speicher ist.

Merkmal 38 Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 37, wobei der oder jeder im ersten Speicher gespeicherte Datensatz durch eine entsprechende digitale Signatur kryptographisch geschützt ist.

Merkmal 39: Vorrichtung nach einem der Merkmale 23 bis 38, wobei der oder jeder im ersten Speicher gespeicherte Datensatz durch eine entsprechende digitale Signatur kryptographisch unter Zuhilfenahme zumindest einer Zufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators geschützt ist.

Merkmal 40: Vorrichtung nach Merkmal 38 oder 39, wobei in dem nichtflüchtigen Speicher der integrierten Schaltung ein Sicherheitscode gespeichert ist, den die Vorrichtung zumindest teilweise mittels zumindest einer Zufallszahl des Quantenzufallszahlgenerators (28) erzeugt hat.

Merkmal 41: Vorrichtung nach einem der Merkmale 38 bis 39, wobei die Vorrichtung so eingerichtet ist, dass sie eine digitale Signatur des Datensatzes unter Bezugnahme auf einen oder unter Bezugnahme auf den in dem nichtflüchtigen Speicher der integrierten Schaltung gespeicherten Sicherheitscode validiert.

Merkmal 42: Ein Datenverarbeitungsgerät, wobei das Datenverarbeitungsgerät eine integrierte Schaltung aufweist und wobei die integrierte Schaltung einen Prozessor aufweist und wobei die integrierte Schaltung einen nichtflüchtigen Speicher und wobei der nichtflüchtige Speicher mindestens einen Sicherheitscode speichert und wobei die integrierte Schaltung einen Hash-Rechner aufweist und wobei die integrierte Schaltung eine Schnittstelle an der Grenze der integrierten Schaltung aufweist und wobei die integrierte Schaltung einen Quantenzufallszahlengenerator nach einem der Merkmale 1 bis 9 aufweist und wobei die integrierte Schaltung und der Quantenzufallszahlengenerator in einem Halbleiterkristall gefertigt sind und wobei der Halbleiterkristall eine Oberfläche (56) aufweist und wobei der Halbleiterkristall ein halbleitendes Material unterhalb seiner Oberfläche (56) aufweist und wobei die Oberfläche (56) des Halbleiterkristalls einen Metallisierungsstapel aufweist und wobei der Metallisierungsstapel eine typischerweise strukturierte und optisch transparente und elektrisch isolierende Schicht (44) aufweist und wobei zumindest ein Teil dieser typischerweise strukturierten, transparenten und elektrisch isolierenden Schicht (44) der Oberfläche (46) den optischen Lichtwellenleiter (44) bildet und wobei die erste SPAD-Diode (54) aus dem halbleitenden Material des Halbleitersubstrats heraus Photonen (57) in diesen optischen Lichtwellenleiter (44) einstrahlt und wobei der zumindest eine Lichtwellenleiter (44) solche Photonen (58) zur zweiten SPAD-Diode 55 transportiert und wobei der optische Lichtwellenleiter (44) die zweite SPAD-Diode (55) so bestrahlt, dass das Licht (59) von innerhalb des Lichtwellenleiters (44) wieder in das halbleitende Material des Halbeleitersubstrats von der Oberfläche (56) aus eindringt und dort Vorrichtungsteile der zweiten SPAD-Diode (55) trifft und wobei die erste SPAD-Diode (54) und die zweite SPAD-Diode (55) und der Lichtwellenleiter (44) Teil des Quantenzufallszahlengenerators (28) sind.

Merkmal 43: Datenverarbeitungsgerät nach Anspruch 42, wobei der Prozessor und/oder ein anderer Vorrichtungsteil des Datenverarbeitungsgeräts Daten unter Zuhilfenahme zumindest einer Zufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators verschlüsselt oder entschlüsselt.

Merkmal 44: Datenverarbeitungsgerät nach Merkmal 42 oder 43, wobei das Datenverarbeitungsgerät einen Speicher aufweist und wobei der Speicher zum Speichern von Daten bei Verwendung durch den Prozessor dient und; wobei der Speicher mit dem Prozessor gekoppelt ist, um Wörter vom Prozessor zu empfangen und Wörter an den Prozessor zu liefern.

Merkmal 45: Datenverarbeitungsgerät nach einem der Merkmale 42 bis 44, wobei der Speicher extern von der integrierten Schaltung ist und wobei der Speicher über die Schnittstelle an der Grenze der integrierten Schaltung mit dem Prozessor gekoppelt ist, um Wörter vom Prozessor zu empfangen und Wörter an den Prozessor zu liefern.

Merkmal 46 Datenverarbeitungsgerät nach einem der Ansprüche 42 bis 45, wobei der Prozessor und der Hash-Rechner sind so angeordnet, dass sie a) für jedes Wort eine Hash-Funktion in Abhängigkeit von einem in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscode berechnen und den Hash in Verbindung mit dem Wort speichern, b) Abrufen gespeicherter Wörter aus dem Speicher, Neuberechnen einer Hash- Funktion für jedes abgerufene Wort unter Verwendung des Sicherheitscodes und Vergleichen des neu berechneten Hash-Wertes mit dem gespeicherten Hash- Wert, und c) die Verarbeitung des abgerufenen Wortes durch die Datenverarbeitungsanlage nur dann zuzulassen, wenn die neu berechneten und gespeicherten Hashes eine vorher festgelegte Beziehung aufweisen.

Merkmal 47: Eine Vorrichtung, die Folgendes umfasst: eine integrierte Schaltung, die ein Datenverarbeitungsmittel und ein nichtflüchtiges Speichermittel enthält, das mindestens einen Sicherheitscode speichert; ein erstes Mittel, das Daten speichert, wobei die Daten in einem ersten Format zumindest durch einen Authentifizierungscode kryptografisch geschützt sind; und einen Quantenzufallszahlengenerator (28) nach einem der Merkmale 1 bis 9 als Teil der integrierten Schaltung, wobei der Quantenzufallszahlengenerator eine Photonenquelle (54) und einen Photonendetektor (55) umfasst, die, insbesondere über einen Lichtwellenleiter (44), der insbesondere außerhalb des Halbleitersubstrats der integrierten Schaltung auf der Oberfläche der integrierten Schaltung gefertigt ist, miteinander gekoppelt sind oder gekoppelt werden können und wobei die Vorrichtung zumindest eine Zufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators (28) für eine Verschlüsselung oder Entschlüsselung eines Datums oder des Authentifizierungscodes zumindest zeitweise nutzt.

Merkmal 48 Eine Vorrichtung nach Merkmal 47, wobei die Vorrichtung eine zweite Einrichtung, insbesondere außerhalb des integrierten Schaltkreises, zur Speicherung von Daten aufweist und wobei die Vorrichtung Mittel zum Übertragen von Daten vom ersten Speicher über die integrierte Schaltung zum zweiten Speicher aufweist, damit der Prozessor vom zweiten Speicher aus darauf zugreifen kann, und wobei die Vorrichtung Mittel zur Validierung der aus dem ersten Speicher gelesenen Daten während der Übertragung unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes aufweist und wobei die Vorrichtung Mittel zum Anwenden eines kryptografischen Schutzes, der mindestens einen Authentifizierungscode umfasst, auf die validierten Daten in einem zweiten Format unter Verwendung eines in dem nichtflüchtigen Speicher gespeicherten Sicherheitscodes, wenn die Daten validiert werden, aufweist und wobei die Vorrichtung Mittel zum Speichern der geschützten Daten im zweiten Speicher im zweiten Format ausweist.

Merkmal 49: Vorrichtung, insbesondere nach einem der Merkmale 23 bis 48, wobei die Vorrichtung einen Quantenzufallszahlengenerator (28) nach einem der Merkmale 1 bis 9 umfasst und wobei der Quantenzufallszahlengenerator folgende Vorrichtungsteile umfasst: eine Photonenquelle (54) einen Photonendetektor (55), wobei der Photonendetektor (55) mit der Photonenquelle (55) optisch gekoppelt ist, einen optionalen Lichtwellenleiter (44), für diese optische Kopplung, einen optionalen Verstärker (404) und/oder Filter, einen Analog-zu-Digital-Wandler (403), einen optionalen Komparator (404.2), einen Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler (404.3), eine Entropie-Extraktionsvorrichtung (404.4), die Ausgangswerte des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen- Wandlers (403) in erste und zweite Werte wandelt und daraus Quantenzufallsbits 411 erzeugt.

Merkmal 50: Vorrichtung nach Merkmal 49, wobei die Vorrichtung einen Watchdog (404.5) umfasst, der Vorrichtungsteile des Quantenzufallszahlengenerators (28) überwacht.

Merkmal 51: Vorrichtung nach einem der Merkmale 49 bis 50, wobei die Vorrichtung einen Spannungsmonitor (413) aufweist, der analoge Werte analoger Signale des Quantenzufallszahlengenerators (28) und/oder für den Betrieb des Quantenzufallszahlengenerators (28) erfasst und überwacht.

Merkmal 52: Vorrichtung nach einem der Merkmale 49 bis 51, wobei die Vorrichtung einen weiteren Pseudozufallszahlengenerator (404.6), insbesondere in Form eines linear rückgekoppelten Schieberegisters (404.6), umfasst.

Merkmal 53: Vorrichtung nach einem der Merkmale 49 bis 52, wobei die Vorrichtung einen Signalmultiplexer (404.7) aufweist, der im Falle eines Fehlers von dem Signal des Ausgangs (411) der Entropie-Extraktionsvorrichtung auf ein Signal eines Ersatz-Zufallszahlengenerators oder eines Ersatzpseudozufallszahlengenerators (404.6) umschaltet.

Merkmal 54: Vorrichtung nach einem der Merkmale 49 bis 53, wobei der Startwert des zusätzlichen Pseudozufallszahlengenerators 404.6 im Fehlerfall von zuvor korrekt erzeugten Quantenzufallsbits 411 des Quantenzufallszahlengenerators (28) abhängt.

Merkmal 55: Verfahren zur Erzeugung eines Zufallsbits

Erzeugen einer Pulsfolge mit zufälligen Abständen mittels einer Photonenquelle (54), insbesondere einer Silizium-LED (54) und/oder insbesondere einer ersten SPAD-Diode (54), und eines Photonendetektors (55), insbesondere einer zweiten SPAD-Dioden (55),

Erzeugen (501) eines ersten Werts in Form einer ersten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von dem zeitlichen Abstand zwischen einem ersten Puls und einem zweiten Puls, der vom ersten Puls verschieden ist; Erzeugen (501) zweiten Werts in Form einer zweiten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit des zeitlichen Abstands zwischen einem dritten Puls, der vom ersten Puls verschieden ist, und einem vierten Puls, der vom ersten Puls und vom zweiten Puls und vom dritten Puls verschieden ist.

Vergleichen (502) des ersten Werts mit dem zweiten Wert und

Ausgeben (503) eines ersten logischen Werts als ein Quantenzufallsbit (411), wenn der erste Wert größer als der zweite Wert ist, und

Ausgeben (503) eines zweiten logischen Werts, der vom ersten logischen Wert verschieden ist, als das Zufallsbit, wenn der erste Wert kleiner als der zweite Wert ist.

Merkmal 56: Verfahren (3700) zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl QZ (418) mit m Quantenzufallsbits (411) mit den Schritten;

Erzeugung (3710) eines zufälligen Einzelphotonenstroms 57, 58, 59, 44 aus Einzelphotonen mittels einer oder mehrerer Photonenquellen, insbesondere einer oder mehrerer Silizium-LEDs (54) und/oder einer oder mehrerer erster SPAD-Dioden (54);

Übertragung (3720 ) des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44), insbesondere mittels eines vom Halbleitersubstrat (49, 48) verschiedenen Lichtwellenleiters 44 und/oder des Halbleitersubstrats oder durch direkte Übertragung, an einen oder mehrere Photonendetektoren (55), insbesondere eine oder mehrere zweite SPAD-Dioden (55);

Wandlung (3730) des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) in ein Detektionssignal mittels der einen oder der mehreren Photonendetektoren (55);

Aufbereiten (3740) des Detektionssignals in ein aufbereitetes Detektionssignal;

Ermittlung (3760) einer ersten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem ersten zeitlichen Abstand zwischen einem ersten Puls und einem zweiten Puls eines ersten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch Kopplungen der Emissionen der Photonenquelle (54) und des Photonendetektors (55) entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals und

Ermittlung (3765) einer zweiten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem zweiten zeitlichen Abstand zwischen einem dritten Puls und einem vierten Puls eines zweiten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch Kopplungen der Emissionen der Photonenquelle (54) und des Photonendetektors (55) entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals;

Ermittlung (3770) des Bit-Werts eines Quantenzufallsbits (411) durch Vergleich des Werts des ersten Pseudozufallszahl und des Werts der zweiten Pseudozufallszahl; Sofern die Anzahl (3780) n der ermittelten Zufallsbits kleiner als die gewünschte Zahl m der Zufallsbits der zu erzeugenden Quantenzufallszahl QZ (418) ist, Wiederholung der vorstehenden Schritte (3710 bis 3770) und Beenden des Prozesses zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl sofern die Anzahl (3780) n der ermittelten Zufallsbits größer oder gleich der gewünschten Zahl m der Zufallsbits der zu erzeugenden Quantenzufallszahl

(418) QZ ist.

Vorteil

Der hier vorgestellte monolithisch integrierbare Quantenzufallszahlengenerator 28 ist besonders robust gegen Angriffe von außen. Selbst bei einem erfolgreichen Angriff auf die Entropiequelle 401 werden die Quantenzufallszahlen 411 nicht so beeinflusst, dass der Angreifer eine Verschlüsselung ohne erheblichen Mehraufwand brechen kann. Der hier vorgestellte sichere Mikrocontroller weist somit eine verbesserte Entropie seines Zufallszahlengenerators auf. Dadurch ist die Verschlüsselung dieses sicheren Mikrocontrollers im Gegensatz zum Stand der Technik post quantum sicher. Die Vorteile sind hierauf aber nicht beschränkt.

Liste der Figuren

Die vorgenannten Ziele sowie die nachstehend beschriebenen Vorteile werden in der Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung hervorgehoben, die als nicht einschränkendes Beispiel unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen dargestellt wird, in denen:

Figur 1 zeigt ein schematisches Blockdiagramm eines Datenverarbeitungsgeräts in Kombination mit einem kontrollierten System;

Figur 2 zeigt ein schematisches Blockdiagramm einer Schaltung zum Deaktivieren einer Testschnittstelle der Vorrichtung von Fig. 1;

Figur 3 zeigt ein Diagramm, das die Überprüfung digitaler Signaturen veranschaulicht;

Figur 4 zeigt ein Flussdiagramm, das die Verwendung von HASH-Funktionen beim Speichern und Abrufen von Daten aus einem DRAM der Vorrichtung von FIG. 1 veranschaulicht.

Figur 5 zeigt eine vorschlagsgemäße SPAD-Diode im Querschnitt.

Figur 6 zeigt die Kombination zweier vorschlagsgemäßer SPAD-Dioden im Querschnitt.

Figur 7 zeigt die Kombination zweier vorschlagsgemäßer SPAD-Dioden im Querschnitt, wobei nun mehrere Isolationslagen den Lichtwellenleiter 44 ausbilden.

Figur 8 zeigt die Einbindung der SPAD-Dioden und des Lichtwellenleiters in eine Auswerte- und Betriebsschaltung

Figur 9 entspricht der Figur 8, die nun um Überwachungsschaltkreise ergänzt ist.

Figur 10 zeigt ein typisches Ausgangssignal der zweiten SPAD-Diode. Figur 11 zeigt ein beispielhaftes Oszillogramm des Spannungssignals 404 der Entropie Quelle 401.

Figur 12 zeigt den schematischen Ablauf einer Server-Client-Kommunikation unter Nutzung eines vorschlaggemäßen Quantenzufallszahlengenerators.

Figur 13 zeigt den schematischen Ablauf der Funktionen KeyExchangeServer() und KeyExchangeClient().

Figur 14 zeigt schematischen Ablauf der Funktion setPrimes().

Figur 15 zeigt den schematischen Ablauf der Funktion setE() 3400.

Figur 16 zeigt den schematischen Ablauf der Funktion findD().

Figur 17 zeigt den schematischen Ablauf einer sicheren Übertragung von quantenbasierten Zufallszahlen zwischen einem ersten Prozessor 10-1 des Rechners, insbesondere in Form einer vorschlagsgemäßen integrierten Schaltung 2, eines Servers 3600 und einem ersten Prozessor 10-1 des Rechners, insbesondere in Form einer weiteren vorschlagsgemäßen integrierten Schaltung 2, eines Client 3610.

Figur 18 zeigt schematisch das vorschlagsgemäße Verfahren 3700 zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl.

Figur 19 zeigt einen weiteren beispielhaften Vorschlag für einen einstückigen, monolithisch integrierten Schaltkreis 2.

Figur 20 zeigt eine Vorrichtung ähnlich der Vorrichtung der Figuren 8 und 9.

Figur 21 zeigt ein Beispiel für einen Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler 404.3. Figur 22 zeigt ein Diagramm, dass die Erfassung der Pulse (2201, 2202, 2203, 2204) auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 darstellt.

Figur 23 zeigt einen beispielhaften Spannungswandler 91 zur Versorgung der Entropiequelle 411 mit einer ausreichenden Betriebsspannung der Versorgungsspannungsleitung VENT der Entropiequelle 411 gegenüber der Bezugspotenzialleitung GND auf dem Bezugspotenzial.

Figur 24 zeigt beispielhaft ein Grob-Layout eines imaginären integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise eines Mikrocontrollers, mit einem vorschlagsgemäßen Quantenzufallsgenerator 28 in der Aufsicht zur Verdeutlichung der Platzierung eines Quantenzufallszahlengenerators 28 ganz oder in Teilen im Pad-Rahmen 2403 bzw. einer vorschlagsgemäßen Entropiequelle 401 im Pad-Rahmen 2403.

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Figur 25 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform eines Quantenzufallszahlengenerators gemäß Stand der Technik in der Aufsicht;

Figur 26 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer horizontalen Entropiequelle 401 gemäß Stand der Technik in einer Seitenansicht;

Figur I zeigt eine schematische Darstellung eines mit einem Verfahren zur Bereitstellung tiefliegender p-n-Übergänge in einem BCD-Prozess bereitgestellten BCD-Substrats und eine TCAD-Darstellung der resultierenden Dotierstoffverteilung;

Figur 28 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401;

Figur 29 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401; Figur 30 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401;

Figur 31 zeigt eine graphische Darstellung der Abhängigkeit des SPAD-Stroms (SPAD Current (A)) in Abhängigkeit von der Zener-Sperrspannung (Zener Reverse Voltage (V)) bei verschiedenen SPAD-Sperrspannungen (kleiner, gleich, größer der Durchbruchspannung VBD) innerhalb einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401.

Figur 32 zeigt eine graphische Darstellung der Abhängigkeit des Verhältnisses (Ratio) zwischen

SPAD-Strom und Zener-Strom in Abhängigkeit von der Zener-Sperrspannung (Zener Reverse Voltage (V)) bei verschiedenen SPAD-Sperrspannungen (kleiner, gleich, größer der Durchbruchspannung VBD) innerhalb einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401.

Beschreibung der Figuren

Die Figuren zeigen beispielhaft vereinfacht wesentliche Teile der vorgeschlagenen Vorrichtungen und der Verfahren. Zur Veranschaulichung werden nun bestimmte Beispiele, die gemäß den Lehren dieser Offenbarung konstruiert wurden, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen.

Es werden nun detaillierte Ausführungsformen beschrieben, die beispielhaft in den beigefügten Zeichnungen dargestellt sind. Die Wirkungen und Merkmale dieser Ausführungs-formen werden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugsziffern, gleiche Elemente und auf redundante Beschreibungen wird verzichtet. Die vorliegende Offenbarung kann in verschiedenen Formen verwirklicht werden und ist nicht so zu verstehen, dass sie nur auf die hier dargestellten Ausführungsformen beschränkt ist. Vielmehr sind diese Ausführungsformen Beispiele, damit diese Offenbarung gründlich und vollständig ist und dem Fachmann die Aspekte und Merkmale der vorliegenden Offenbarung vollständig vermittelt. Verfahren, Elemente und Techniken, die für den Fachmann zum vollständigen Verständnis der Aspekte und Merkmale der vorliegenden Offenbarung nicht notwendig sind, werden daher gegebenenfalls nicht beschrieben. In den Zeichnungen können die relativen Größen von Elementen, Schichten und Bereichen zur Verdeutlichung übertrieben dargestellt sein.

Wie hierin verwendet, schließt der Begriff „und/oder" alle Kombinationen von einem oder mehreren der aufgeführten Elemente ein. Ferner bezieht sich die Verwendung von „kann" bei der Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung auf „eine oder mehrere Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung". In der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen können die Begriffe in der Einzahl auch die Mehrzahl umfassen, sofern aus dem Kontext nicht eindeutig etwas Anderes hervorgeht.

Obwohl die Begriffe „erste" und „zweite" zur Beschreibung verschiedener Elemente verwendet werden, sollten diese Elemente nicht durch diese Begriffe eingeschränkt werden. Diese Begriffe werden nur verwendet, um ein Element von einem anderen Element zu unterscheiden. So kann beispielsweise ein erstes Element als zweites Element bezeichnet werden, und ebenso kann ein zweites Element als erstes Element bezeichnet werden, ohne dass dies vom Anwendungsbereich der vorliegenden Offenbarung abweicht. Ausdrücke wie „mindestens eines von", wenn sie einer Liste von Elementen vorangestellt werden, modifizieren die gesamte Liste und nicht nur die einzelnen Elemente der Liste.

Begriffe wie „im Wesentlichen", „ungefähr" und ähnliche werden als Annäherungsbegriffe und nicht als Gradangaben verwendet und sollen die inhärenten Abweichungen bei gemessenen oder berechneten Werten berücksichtigen, die von Fachleuten erkannt werden. Wenn der Begriff „im Wesentlichen" in Verbindung mit einem Merkmal verwendet wird, das durch einen numerischen Wert ausgedrückt werden kann, bezeichnet der Begriff „im Wesentlichen" einen Bereich von zumindest +/- 5 % des Wertes, der auf den Wert zentriert ist.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGEN DER ERFINDUNG

In diesem Beispiel ist das Datenverarbeitungsgerät ein Rechner in Form einer monolithischen, mikrointegrierten Schaltung 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, zur Steuerung einer Regelstrecke 26.

Die folgende Beschreibung beschreibt zunächst die Konfiguration eines beispielhaften Mikrocontrollers als Beispiel einer monolithischen, mikrointegrierten Schaltung 2 mit einem vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerator 28 und den beispielhaften Inhalt seiner verschiedenen Speicher, wie er nach der Herstellung verwendet werden würde.

Der Rechner in Form der monolithischen, mikrointegrierten Schaltung 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist über einen Anschluss 3 mit einer gesteuerten Anlage 26 verbunden. Bei dem gesteuerten System kann es sich zum Beispiel um ein Sicherungsbandlaufwerk handeln. Bei einem Backup-Bandlaufwerk ist es wichtig, dass die Integrität der gesicherten Daten erhalten bleibt. Es ist daher wichtig, dass die Integrität der vom Rechner in Form der monolithischen, mikrointegrierten Schaltung 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, verwendeten Daten und Programme gewahrt bleibt.

Figur 1

Der Rechner in Form der monolithischen, mikrointegrierten Schaltung 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, umfasst in dem Beispiel der Figur 1 beispielsweise den monolithisch integrierten Schaltkreis 2 eines beispielhaften Mikrocontrollers, der beispielhaft eine Steuervorrichtung 4, einen nichtflüchtigen Speicher 6 und einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff 8, im Folgenden auch mit RAM (Random Access Memory) bezeichnet^ umfasst. Der nichtflüchtige Speicher 6 kann jeden geeigneten Typ umfassen, z. B. einen Flash-Speicher und andere Typen. In diesem Beispiel handelt es sich um einen Nur-Lese-Speicher, z. B. ein EEPROM. Der Mikrocontroller ist hier nur eine beispielhafte Ausführung eines einstückigen und monolithisch integrierten Schaltkreises 2 mit einem monolithisch integrierten Quantenzufallszahlengenerator 28. Andere mikroelektronische integrierte Schaltkreise 2 sind ausdrücklich von der technischen Lehre des hier vorgelegten Dokuments mit umfasst. Wenn in diesem Dokument von einem „integrierten Schaltkreis 2 eines Mikrocontrollers" oder von einem „integrierten Schaltkreis 2 des Mikrocontrollers" die Rede ist, so liest die technisch bewanderte Person hier automatisch andere mikroelektronisch integrierte Schaltkreise und Vorrichtungen mit. Diese mikroelektronisch integrierten Schaltkreise und Vorrichtung umfassen im Sinne des hier vorgelegten Dokuments ausdrücklich auch MEMS (Englisch: micro-electro-mechanical system) , MOEMS (auch: MOMS) (Englisch: micro-optical-electro-mechanical system), optische MEMS, optische Mikrosysteme, BioMEMS (steht für die Anwendung von MEMS auf z. B. Zellbiologie bzw. derer Nachbargebiete), Mikromaschinen, MEFS (Englisch: micro-electro-fluidic systems), NEMS (Englisch: nano-electro-mechanical system), pMEMS (piezo-electric micro-electro-mechanical resonators), RF-MEMS (Englisch: Radio-Frequency-MEMS).

Das hier vorgelegte Dokument sieht den verwendeten Begriff „Microcontroller" hier also nur beispielhaft. Der Fachmann liest die Verwendung eines Quantenzufallszahlengenerators 28 mit einem Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3, wie er hier vorgeschlagen wird, in einer monolithischen Ko-Integration mit üblichen mikrointegrierten Schaltkreisen gleich mit, wenn von „integriertem Schaltkreis 2 des Mikrokontrollers" die Rede ist, und beschränkt die technische Lehre dieses Dokuments ausdrücklich nicht auf die Ko-Integration des vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 mit einem Mikrocontroller.

Solche anderen üblichen integrierten Schaltkreise 2 können beispielsweise umfassen:

- Mikrokontroller, Mikroprozessoren, Speicher, DRAMs, SRAMs, RAMs, flüchtige Speicher, OTP- Speicher, EEPROMs, Flash-Speicher, MRAMs, FRAM„ Bus-Transceiver, Sensor-Auswerteschaltkreise, Motortreiber-Schaltkreise, Steuerschaltkreise für eine automobile Steuerschaltungen, Grafik- Controller, Kommunikationsschaltkreise, Auswerteschaltkreise für einen biometrischen Sensoren, Auswerteschaltkreise für Eingabegeräte, Steuerschaltungen, Chip-Karten-Schaltkreise, Schaltkreise für Mobiltelefone oder eines Smart-Phones, Schaltkreise für Server. Schaltkreise für PCs, Schaltkreise für Laptops, Schaltkreise für Zugangs- und/oder Zugriffskontrollsysteme, Schaltkreise für die kodierte Aufzeichnung von Betriebsparametern, Schaltkreise elektronischer Sicherungen, Funksystemschaltkreise, Kommunikationsschaltkreise, Schaltkreise von Verschlüsselungs- und/oder Entschlüsselungssystemen, Schaltkreise für Individualisierungs- und Identifikationszwecke und/oder Identifikationssysteme und/oder Identifikationssysteme, Schaltkreise von Spielvorrichtungen, Schalkreise von Simulationssysteme, Schaltkreise von Rechnersystemen, Schaltkreise von Rausch und/oder Signalquellen, Schaltkreise von Modulationssystemen und/oder -Vorrichtungen, Schaltkreise mit einer Vorrichtung zur Erzeugung und/oder Nutzung von Spreizkodes. Diese vorstehende Liste ist sicherlich unvollständig.

Der Speicher mit wahlfreiem Zugriff 8 kann ein beliebiger geeigneter Speicher sein, z. B. ein SRAM, aber in diesem Fall ist es ein DRAM. Der nichtflüchtige Speicher 6 und der Speicher mit wahlfreiem Zugriff 8 befinden sich in dem Beispiel der Figur 1 außerhalb der Steuervorrichtung 4. Ein weiterer nichtflüchtiger Speicher 30 kann optional innerhalb des mikrointegrierten Schaltkreises außerhalb der Steuervorrichtung 4 vorgesehen und über eine interne Schnittstelle 301 mit diesem verbunden sein.

Der mikrointegrierte Schaltkreis 2 mit der beispielhaften Steuervorrichtung 4 ist bevorzugt eine monolithisch integrierte Schaltung, die beispielsweise Folgendes umfasst: einen oder mehrere Prozessoren 10-1, 10-2; einen eng gekoppelten Speicher 14, bei dem es sich beispielsweise um einen SRAM handeln kann; einen nicht flüchtigen Boot-ROM 16, der einen vorzugsweise nicht veränderbaren Code enthält; eine beispielsweise vorhandene Hashing-Engine 18; einen oder mehrere One-Time-Programmable-Speicher (OTP) 20 und 22; eine JTAG-Testschnittstelle 12; eine Schnittstelle 32; interne Schnittstellen 63, 81 und 301, die mit den Speichern 6, 8 und 30 gekoppelt sind; einen Quantenzufallszahlengenerator 28, den die hier vorgelegte Schrift auch als QRNG (Englische Abkürzung für Quantum Random Number Generator) bezeichnet; und eine fest verdrahtete Schaltung zur Deaktivierung von Tests 24. Die OTP-Speicher 20 und 22 können separate Speicher oder Teile eines Speichers innerhalb der beispielhaften integrierten Schaltung 2 sein. In diesem Beispiel handelt es sich um Abschnitte eines einzigen Speichers. Die Testdeaktivierungsschaltung 24 befindet sich bevorzugt zwischen dem Testanschluss 12, der in diesem Beispiel ein JTAG-Anschluss ist, und dem/den Prozessor(en) 10. Die vorzugsweise vorhandene Deaktivierungsschaltung 24 reagiert auf die Daten im OTP-Speicherabschnitt 22. Die optionale Hashing-Engine 18 verwendet Daten (einen oder mehrere Schlüssel) im OTP-Speicherabschnitt 20. Der OTP-Speicherabschnitt 20 speichert bevorzugt kritische Sicherheitsparameter (CSPs) einschließlich eines geheimen Schlüssels und mindestens eines öffentlichen Schlüssels. Weitere Schlüssel können im OTP-Speicherabschnitt 20 abgelegt werden. Der geheime Schlüssel ist in einer Ausführungsform des Vorschlags dieser Beispielanwendung eines Quantenzufallszahlengenerators 28 für jede Instanz der hier vorgeschlagenen beispielhaften mikrointegrierten Schaltung 2 bevorzugt eindeutig.

Der (die) Prozessor(en) 10 führt (führen) Befehle vorzugsweise nur aus dem eng gekoppelten Speicher 14 und aus dem DRAM 8 in dem hier vorgestellten Beispiel der Figur 1 aus. Die Grenze der Steuervorrichtung 4 ist eine kryptografische virtuelle Grenze, und die Daten und die Programmausführung innerhalb dieser Grenze werden in diesem ersten Vorschlag der Anwendung eines vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerators 28 als sicher angesehen, wie weiter unten erläutert wird. Das EEPROM 6 und das DRAM 8 (und der Speicher 30, falls vorhanden), befinden sich außerhalb der kryptografischen Grenze, und ohne Sicherheitsmaßnahmen wäre der Inhalt dieser Speicher im Sinne des hier vorgelegten Dokuments nicht sicher. Die Schnittstellen 12, 63, 301, 32 und 81 befinden sich an der physikalischen und kryptografischen Grenze der Steuervorrichtung 4 Innerhalb der mikrointegrierten Schaltung 2. Das hier vorgelegte Dokument offenbart somit eine mikrointegrierte Schaltung 2, die internen Schnittstellen, 63, 301, 32 und 81 an einer kryptografischen Grenze zwischen einer Steuervorrichtung 4 und anderen Teilen (8, 30, 6) der integrierten mikroelektronischen Schaltung 2 aufweist, die als nicht sicher oder weniger sicher eingestuft werden. Der wesentliche Zweck dieser internen Schnittstellen, 63, 301, 32 und 81 ist somit die sichere Abschirmung einer internen Steuervorrichtung 4 innerhalb der mikrointegrierten mikroelektronischen Schaltung 2.

Der Inhalt des DRAM 8 und des EEPROM 6 ist durch Authentifizierungscodes vorzugsweise kryptographisch geschützt. In diesem Beispiel sind die im DRAM 8 verwendeten Authentifizierungscodes vorzugsweise von einem anderen Typ als die im EEPROM 6 verwendeten Authentifizierungscodes. In diesem Beispiel wird der Inhalt des EEPROM 6 zumindest durch die Verwendung digitaler Signaturen vor unentdeckter böswilliger Veränderung geschützt. Auch das Format der Daten im EEPROM 6 unterscheidet sich vorzugsweise von dem im DRAM 8.

Der EEPROM 6 speichert beispielsweise bevorzugt die Firmware, die in einem oder mehreren Datensätzen 61 mit jeweils einer digitalen Signatur 62 angeordnet ist. Die in diesem Beispiel des Vorschlags verwendeten digitalen Signaturen verwenden öffentliche und private Schlüssel. Daher werden die Einzelheiten der digitalen Signaturen nicht weiter beschrieben, da sie dem Fachmann bekannt sind. Wenn ein Prozessor (10-1, 10-2) einen Datensatz aus dem EEPROM 6 liest, wird prüft der Prozessor 10 seine digitale Signatur. Wenn die digitale Signatur gültig ist, wird der Datensatz von dem (den) Prozessor(en) 10 mittels computerimplementierter Verfahren der Firmware verarbeitet. Der (die) Prozessor(en) 10 führt (führen) somit bevorzugt nur gültig signierte Firmware aus. Für die Signierung verwenden die Prozessoren 10 vorzugsweise Schlüsse und Authentifizierungscodes die von Quantenzufallszahlen 418 eines oder mehrerer Quantenzufallszahlengeneratoren 28 abhängen.

Wie in Figur 1 dargestellt, enthält das Boot-ROM 16 in einem Beispiel einen Code, den der Prozessor 10 zum Lesen eines Ladeprogramms S2 aus dem EEPROM 6 verwendet, um weitere Datensätze aus dem EEPROM 6 zu lesen. Eine Logik im Prozessor 10 lädt einen Programmzähler (nicht dargestellt) im Prozessor 10 wird mit der Startadresse 15 des Boot-ROMs 16. Der Prozessor 10 führt dann den Code im Boot-ROM 15 aus. Dieser Code des Boot-ROMS 15 kann ein computerimplementiertes Ladeprogramm aus dem EEPROM 6 lesen. Der Boot-Code im Boot-ROM 15 gilt als sicher, da er sich innerhalb der kryptografischen Grenze 4 befindet. Das Ladeprogramm ist durch eine digitale Signatur geschützt, die der Prozessor 10 bei Ausführung des Boot-ROM-Codes S4 im Boot-ROM 15 anhand des im ersten OTP-Speicher 20 gespeicherten öffentlichen Schlüssels überprüft. Nachfolgende Datensätze werden mit Hilfe des Ladeprogramms gelesen S6. Das Ladeprogramm im EEPROM 6 und die nachfolgenden Datensätze sind jeweils mit einer digitalen Signatur versehen und haben einen oder mehrere öffentliche Schlüssel eingebettet. Der Der Prozessor 10 prüft bei Ausführung des Ladecodes des Ladeprogramms im EEPROM 6 in Schritt S8 die Signatur des neu aus dem EEPROM 6 gelesenen Datensatzes anhand eines öffentlichen Schlüssels, der in einem zuvor geladenen oder im OTP-Speicher 20 gespeicherten Datensatz eingebettet ist.

Ein aus dem EEPROM 6 gelesener Datensatz kann zu viel Code/Daten der Firmware enthalten, als dass der kleine, eng gekoppelte Speicher TCM 14 der Steuervorrichtung 4 innerhalb des mikroelektronischen Schaltkreises 2 speichern könnte. Das TCM 14 speichert vorzugsweise Firmware-Code/Daten, die von dem/den Prozessor(en) 10 unmittelbar benötigt werden. Der Rest des Firmware-Datensatzes wird in den DRAM 8 übertragen. Da der DRAM 8 außerhalb der kryptografischen Grenze 4 liegt, sind die dort gespeicherten Codes/Daten durch Authentifizierungscodes kryptografisch geschützt, die der Prozessor 10 vorzugsweise unter Verwendung von Quantenzufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugt hat.

Figur 3

Wie in Figur 3 dargestellt, liest der Prozessor 10 die Daten als Datensatz aus dem EEPROM 6 und schreibt diese als Wörter in den DRAM 8 geschrieben bzw. liest diese Wörter aus diesem DRAM 8 wieder. Wenn in diesem Beispiel der Prozessor 10 einen Datensatz aus dem EEPROM in Schritt S20 liest, wird validiert der Prozessor 10 diesen wie in Figur 4 und der zugehörigen Beschreibung beschrieben. Zumindest ein Teil der Daten des Satzes speichert der Prozessor 10 im Schritt S21 im TCM 14. Die restlichen Daten des Satzes verarbeitet der Prozessor 10 beispielsweise wie folgt und speichert sie im DRAM 8. Der (die) Prozessor(en) 10 arbeitet (arbeiten) mit der optionalen Hash- Engine 18 zusammen, um beispielsweise in Schritt S22 für jedes Wort der verbleibenden Daten einen Hash-Wert zu berechnen und in Schritt S24 den Hash-Wert im DRAM 8 an einer mit dem gespeicherten Wort verbundenen Stelle zu speichern. Die Wortgröße wird entsprechend den Systembeschränkungen gewählt. Sie kann so klein wie ein Byte sein. In der Praxis kann sie 32 Bit betragen. Wenn der Prozessor 10 ein Wort in Schritt S26 aus dem DRAM 8 liest, berechnen der Prozessor 10 und die Hash-Engine 18 den Hash-Wert vorzugsweise neu und vergleichen in Schritt S30 den neu berechneten Hash-Wert mit dem entsprechenden im DRAM 8 gespeicherten Hash-Wert. Wenn die Hash-Werte eine vorbestimmte Beziehung, die in Schritt S34 geprüft wird, haben, z. B. gleich sind, verarbeite in einem Schritt S38 der Prozessor 10 die gelesenen Daten. Wenn die Hash- Werte nicht die vorgegebene Beziehung aufweisen, wird unterbricht der Prozessor 10 die Verarbeitung in Schritt S36 und/oder der Prozessor 10 erzeugt eine Fehlermeldung und/oder der Prozessor 10 ignoriert die Daten/den Code. Die Speicherung von Wörtern im DRAM 8 mit entsprechenden Authentifizierungscodes, die vorzugsweise auf Quantenzufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28 beruhen, erleichtert den zufälligen Zugriff auf die Wörter durch den/die Prozessor(en) 10.

Die Hash-Funktion kann jede geeignete Hash-Funktion sein. Ein Beispiel ist die bekannte HMAC- Funktion. In diesem Beispiel verwendet die HASH-Funktion den im OTP-Speicher 20 gespeicherten geheimen Schlüssel. Sie könnte auch einen anderen im OTP-Speicher gespeicherten Schlüssel verwenden. Bevorzugt basiert der geheime Schlüssel auf einer Quantenzufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators 28. Ein Beispiel für den Hash-Wert ist HMAC (address | | data | | secret key), wobei die Zeichenfolge „ | | " hier für die Verkettung steht. Der HASH-Wert hat unter Berücksichtigung der Anzahl der Bytes, die das DRAM 8 speichern kann, umfasst bevorzugt mindestens so viele Bits, dass eine Duplizierung von HASH-Werten im DRAM 8 vermieden oder zumindest verringert wird. Die Anzahl der Bits des HASH-Wertes beträgt vorzugsweise mindestens 96 Bits und kann auch wesentlich größer sein. Der Industriestandard liegt bei 160 Bits, was die Wahrscheinlichkeit der Duplizierung von HASH-Werten auf ein ausreichend niedriges Niveau reduziert.

Durch die Bereitstellung der kryptografischen Grenze 4 und den Schutz der im DRAM 8 und EEPROM 6 gespeicherten Daten wird der integrierte Schaltkreis 2, insbesondere der des Mikrocontrollers, vor unbefugtem Zugriff auf die von dem/den Prozessor(en) 10 des Rechners im Normalbetrieb verwendeten Programme und Daten geschützt. Dies ist im Automobilbereich von besonderer Bedeutung, um Plagiate und nicht zugelassene Ersatzteile zu verhindern, die in der Regel eine Kenntnis der Firmware der illegal kopierten Ersatzteile erfordern. Die JTAG-Testschnittstelle 12 könnte jedoch den Zugriff auf den/die Prozessor(en) 10 in einem Testmodus mit bekannten EMULATE- und TRACE-Routinen ermöglichen und immer noch illegale Programmänderungen erlauben. Der JTAG-Testanschluss 12 wird zumindest während des Herstellungsprozesses des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise desjenigen eines Mikrocontrollers, für Tests benötigt und kann zur Fehlerdiagnose nach der Herstellung verwendet werden. Eine solche Analysefähigkeit eines integrierten automobilen Schaltkreises 2, beispielsweise eines automobilen Mikrocontrollers, ist eine unabdingbare Voraussetzung um die Qualitätsanforderungen der T16491 zu erfüllen.

Um eine unbefugte und insbesondere illegale Benutzung der JTAG-Schnittstelle 12 zu verhindern, kann der OTP-Speicher 22 beispielsweise mindestens ein Sicherheitsbit umfassen, das zusammen mit der Sperrschaltung 24 die JTAG-Schnittstelle 12 sperrt.

In einem Beispiel enthält der OTP-Speicher 22 nur ein Bit. Der OTP-Speicher 22 erlaubt es, ein Bit nur einmal von einem Zustand, z. B. "0", in den entgegengesetzten Zustand "1" zu ändern. Während der Herstellung des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist das Bit beispielsweise "0", was Tests ermöglicht. In einem letzten Testschritt setzt der Hersteller des beispielhaften integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, das Bit auf "1" gesetzt, bevor er den integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, für die Lieferung und den Gebrauch freigibt. Der JTAG-Anschluss 12 hat typischerweise einen seriellen Eingang und einen seriellen Ausgang (siehe Figur 2). Die Deaktivierungsschaltung, die Teil des Schaltkreises der Steuervorrichtung 4 innerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist, umfasst vorzugsweise ein Gatter 241, das beispielsweise zwischen dem seriellen Ausgang der JTAG-Schnittstelle 10 und dem/den Prozessor(en) 10 liegt, und ein Gatter 242, das zwischen dem seriellen Eingang der JTAG-Schnittstelle 10 und dem/den Prozessor(en) 10 liegt. Das Sicherheitsbit "1" im OTP-Speicher 22 deaktiviert die Gatter 241 und 242. Da das Sicherheitsbit nicht geändert werden kann, ist der Testanschluss dann gegen eine Verwendung nach der Herstellung und Lieferung des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, gesichert.

In einem anderen Beispiel hat der OTP-Speicher 22 einen Zwei-Bit-Sicherheitscode, der zunächst "00" ist. Dies ermöglicht eine Prüfung während der Herstellung, nach der der Code auf "01" gesetzt wird, d. h. eines der beiden Bits wird auf "1" gesetzt. Dieser Code "01" sperrt die Gatter 241 und 242. Tritt ein Fehler auf, wird der integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, an seinen Hersteller zurückgeschickt, der das andere Bit auf "1" setzt, was den Code "11" ergibt, der eine Prüfung über den Anschluss 12 ermöglicht. Eine solche Prüfung ist vorzugsweise zerstörerisch, da sie kein Rücksetzen auf den ursprünglichen Wert erlaubt. Der Zugriff auf den OTP-Speicher 22 zur Änderung des Sicherheitscodes kann durch einen geeigneten, vorzugsweise mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugten Zugriffscode erfolgen, der mit einer digitalen Signatur versehen ist, die durch einen im OTP-Speicher 20 gespeicherten Quantenzufallszahlenbasierenden Schlüssel verifiziert werden kann. Der Schlüssel kann beispielsweise der im Speicher 20 gespeicherte öffentliche Standardschlüssel sein. Dadurch kann der Sicherheitscode in "11" geändert werden, was eine Prüfung über die JTAG-Schnittstelle 12 ermöglicht. Der ursprüngliche integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise der Mikrocontroller, wird vom Hersteller vorzugsweise einbehalten und vorzugsweise vernichtet und der Benutzer erhält einen neuen integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise einen Mikrocontroller.

In einem weiteren Beispiel kann der Sicherheitscode aus drei oder mehr Bits bestehen, die sich bei Verwendung des signierten Zugriffscodes ändern. Bei der Herstellung ist der Code "000" und bei der Freigabe an einen Benutzer "001". Tritt ein Fehler auf, wird der Code vom Hersteller in "011" geändert, um einen Test zu ermöglichen. Nach dem Testen wird der Code in "111" geändert, wodurch die JTAG-Schnittstelle 12 gegen Benutzung gesichert wird und der integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, an den Benutzer zurückgegeben werden kann. Nur ein signierter Zugangscode, der mit einer digitalen Signatur versehen ist, die durch einen Schlüssel im OTP-Speicher 20 verifiziert wird, kann zur Änderung des im OTP-Speicher 22 gespeicherten Codes verwendet werden.

Sicherheitscodes von zwei oder mehr Bits ermöglichen einen Prüfpfad für die Prüfung (oder etwaige unbefugte Prüfversuche) nach der Herstellung.

Weitere Schnittstelle und weiteres EEPROM

Wie in Figur 1 dargestellt, kann der die Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, zusätzlich zu den Anschlüssen 3 und 12 optional noch mindestens eine weitere Schnittstelle 32 aufweisen. Diese weitere Schnittstelle 32 kann beispielsweise ein Ethernet-Anschluss oder ein Fibre-Channel-Anschluss oder ein automobiler Datenbusanschluss für Datenbusse wie CAN, LIN, DSI3 oder PSI5 sein. Ein Fibre-Channel-Anschluss im Sinne des hier vorgelegten Dokuments ist ein Datenanschluss, der einen Lichtwellenleiter oder einen anderen Wellenleiter für elektromagnetische Strahlung nutzt.

Der integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise der Mikrocontroller, kann zusätzlich über einen weiteren nichtflüchtigen Speicher 30 außerhalb der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise eines Mikrocontrollers, verfügen, der Daten speichert, die durch einen im OTP- Speicher 20 gespeicherten Sicherheitsparameter kryptografisch geschützt sind. Der weitere nichtflüchtige Speicher 30 ist über die interne Schnittstelle 301 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, mit der Steuervorrichtung 4 gekoppelt.

Der weitere nichtflüchtige Speicher 30 kann beispielsweise ein EEPROM sein. Der weitere Speicher 30 kann weitere kritische Sicherheitsparameter außerhalb des Steuervorrichtung 4 speichern. Die weiteren Parameter sind vorzugsweise verschlüsselt und mit digitalen Signaturen versehen, um sie sicher zu machen. Die weiteren Parameter werden vorzugsweise mit dem geheimen Schlüssel verschlüsselt, der nur für den Steuervorrichtung 4 gilt und im OTP-Speicher 20 gespeichert ist. Vorzugsweise beruht der geheime Schlüssel auf einer Quantenzufallszahl eines Quantenzufallszahlengenerators 28. Die digitalen Signaturen der weiteren Parameter werden unter Verwendung des im OTP-Speicher 20 gespeicherten eindeutigen geheimen Schlüssels erstellt. Dieser geheime Schlüssel wird zur Entschlüsselung der weiteren Sicherheitsparameter und zur Überprüfung der aus dem weiteren Speicher 30 ausgelesenen digitalen Signaturen verwendet.

Der weitere nichtflüchtige Speicher 30 kann andere verschlüsselte und/oder digital signierte Daten enthalten. Die weiteren Sicherheitsparameter außerhalb der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, können verwendet werden, um die über die Schnittstelle(n) 32 übermittelten Daten und Codes zu sichern.

Herstellung des integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers.

Während der Herstellung des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, wird der Boot-Code im Boot-ROM 16 bevorzugt fest kodiert; das Ladeprogramm und andere Codes/Daten werden im EEPROM 6 mit digitalen Signaturen auf der Grundlage der öffentlichen und privaten Schlüssel, die vorzugsweise mittels Quantenzufallszahlen eines Quantenzufallszahlengenerators 28 erzeugt wurden, gespeichert; und vorzugsweise wird mindestens ein öffentlicher Schlüssel wird mittels einer Quantenzufallszahl eines Quantenzufallszahlengenerators erzeugt und im OTP-Speicher 20 gespeichert.

Der geheime Schlüssel wird vorzugsweise erst dann im OTP 20 gespeichert, wenn der Sicherheitscode, der vorzugsweise auf einer Quantenzufallszahl eines Quantenzufallszahlengenerators 28 beruht, m OTP 22 eingestellt ist und der Testanschluss der beispielhaften JTAG-Schnittstelle 12 gesperrt wurde. Die Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, enthält in dem hier vorgestellten Beispiel den notwendigen Quantenzufallszahlengenerator QRNG 28. Die im eng gekoppelten Speicher 14 oder im DRAM 8 gespeicherte Firmware liest eine oder mehrere Quantenzufallszahlen von z. B. 256 Bit aus dem Quantenzufallszahlengenerator 28 und speichert sie im OTP 20 als geheimen Schlüssel, ohne dass diese Daten die Steuervorrichtung 4 vorzugsweise innerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, verlassen. Dies geschieht vorzugsweise erst nach der Deaktivierung des Prüfanschlusses 12, um den Zugriff auf den geheimen Schlüssel selbst für Personen zu verhindern, die Zugang zum Herstellungsprozess haben. Vorzugsweise sind die Logikgatter des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, oder zumindest die der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, so gestaltet, dass die bei Änderungen von logischen Zuständen innerhalb der Schaltungen der Logikgatter auftretenden Stromspitzen keinen Rückschluss auf die Prozesse und/oder die Daten und/oder die Quantenzufallszahlen und/oder die Schaltungszustände der Vorrichtung erlauben. Dies vermeidet sogenannte Side-Channels. Hierzu kann die vorschlagsgemäße Vorrichtung Stromquellen, komplementär schaltende, komplementäre Dummy-Schaltkreise, Energiereserven (z.B. Kapazitäten) etc. umfassen.

Die Hash-Funktion der Hashing-Engine 18 kann jede geeignete Hash-Funktion sein und ist nicht auf das oben beschriebene Beispiel von HMAC beschränkt. Der auf dem Chip befindliche Quantenzufallszahlengenerator 28 QRNG könnte in der integrierten Schaltung 2, beispielsweise dem Mikrocontroller, weggelassen werden und stattdessen ein außerhalb des Chips befindlicher Quantenzufallszahlengenerator QRNG verwendet werden, um den geheimen Schlüssel während des Herstellungsprozesses zu erzeugen. Ein Quantenzufallszahlengenerator QRNG auf dem Chip ist jedoch signifikant sicherer.

Die im EEPROM 6 gespeicherte Firmware ist vorzugsweise kryptografisch geschützt, in diesem Beispiel durch digitale Signaturen. Bei der Herstellung wird die Firmware zunächst kompiliert. Anschließend wird sie mit einem geheimen privaten Schlüssel eines Private-Public-Key-Systems digital signiert. Bevorzugt beruht der geheime private Schlüssel des Private-Public-Key-Systems auf einer Quantenzufallszahl eines Quantenzufallszahlengenerators 28. Der öffentliche Schlüssel wird vorzugsweise im OTP-Speicher 20 gespeichert, damit die Signatur überprüft werden kann. Die signierte Firmware wird im EEPROM 6 gespeichert. Die digitalen Signaturen können erstellt werden, indem die kompilierte Firmware während des Herstellungsprozesses an einen sicheren Signaturgenerator übermittelt wird. Der sichere Signaturgenerator kann der integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, und zwar die Steuervorrichtung 4 im Zusammenwirken mit dem Quantenzufallszahlengenerator 28 selbst sein. Die signierte Firmware kann über eine Kommunikationsverbindung, z. B. das Internet, in das EEPROM 6 heruntergeladen werden, wenn die Signierung extern erfolgt. Der Prozessor 10 kann jedoch die Signierung der Firmware vor dem Abspeichern im EEPROM 6 entfernen und durch eine eigene, Quantenzufallszahlbasierende Signierung auf Basis einer Quantenzufallszahl seines Quantenzufallszahlengenerators 28 ersetzen, was das Auslesen der Firmware für jedermann dann ausnahmslos unmöglich macht.

Anstelle eines EEPROMs kann der nichtflüchtige Speicher 6 ein beliebiger anderer geeigneter Speicher sein, beispielsweise ein FLASH-Speicher.

Der weitere nichtflüchtige Speicher 30 kann beispielsweise ein serieller EEPROM-Speicher sein.

Der einmalig programmierbare Speicher OTP 22, der den Sicherheitscode enthält, kann durch einen anderen re-programmierbaren, nichtflüchtigen Speicher ersetzt und der Sicherheitscode mit Hilfe signierter Firmware geändert werden. Ein nur genau einmalig programmierbarer Speicher 22 ist jedoch sicherer, da seine Programmierung unumkehrbar ist.

Das DRAM 8 kann weiter geschützt werden, indem der Zugang zum DRAM 8 physisch sehr schwierig und im Falle eines Versuchs nachweisbar gemacht wird. Beispielsweise können die Verbindungen zwischen dem DRAM 8 und der Steuervorrichtung 4 in Schichten des Metallisierungsstapels des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, vergraben oder auf andere Weise gegen physisches Abtasten (z.B. durch E-Beam) geschützt sein. Vorzugsweise umfassen auch die Vorrichtungsteile der Steuervorrichtung 4 einen solchen Abtastschutz. Insbesondere ist es Vorteilhaft, wenn der Quantenzufallszahlengenerator 28 einen solchen Abtastschutz, beispielsweise in Form einer auf einem vordefinierten Potenzial liegenden Metallschicht 53, 142 aufweist.

Der gesamte integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, kann mit einem solchen Abtastschutz, beispielsweise in Form einer auf einem vordefinierten Potenzial liegenden Metallschicht 53, 142 versehen sein. Der gesamte integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, kann darüber hinaus zusätzlich in einem manipulationssicheren Gehäuse mit manipulationssicheren Dichtungen untergebracht werden.

Der sichere integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, weist bevorzugt zumindest eine Photonenquelle 54 bzw. eine Silizium-LED 54 bzw. ein erste SPAD-Diode 54 als Photonenquelle für Photonen des Quantenzufallszahlengenerators 28 auf. Der sichere integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, weist bevorzugt zumindest einen Photonendetektor 55 bzw. eine zweite SPAD-Diode 55 auf. Bevorzugt koppelt ein optisches System die zumindest eine Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 mit dem Photonendetektor 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 mittels dieser Photonen optisch. Das optische System kann einen optischen Lichtwellenleiter 44 umfassen. Der Quantenzufallszahlengenerator 28 ist bevorzugt ein quantenprozessbasierender Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28. Der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28 umfasst bevorzugt eine Photonenquelle 54 bzw. eine Silizium-LED 54 bzw. ein erste SPAD-Diode 54 als Lichtquelle für ein optisches Quantensignal und Photonendetektor 55 bzw. eine zweite SPAD-Diode 55 als Fotodetektor für dieses optische Quantensignal. Des Weiteren umfasst der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28 bevorzugt zumindest die Verarbeitungsschaltung und ggf. den optische Lichtwellenleiter 44. Bevorzugt koppelt der ggf. vorhandene optische Lichtwellenleiter 44 die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 mit dem Photonendetektor 55 bzw. eine zweite SPAD-Diode 55 optisch. Eine Betriebsschaltung versorgt die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 in der Art mit elektrischer Energie, dass die Photonenquelle 54 bzw. die Silizium-LED 54 bzw. die erste SPAD-Diode 54 Licht emittieren. Die Abstrahlung von Licht erfordert dabei, dass die Betriebsspannung eine ausreichende elektrische Vorspannung der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED 54 bzw. der ersten SPAD- Diode 54 zur Verfügung stellt. Eine Verarbeitungsschaltung (402, 403, 404) erfasst das Signal des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 und bildet daraus die Quantenzufallszahl 418. Die Verarbeitungsschaltung stellt dann bevorzugt die so gebildete Quantenzufallszahl 418 einem oder mehreren der einen oder mehreren Prozessoren 10 über einen Datenbus 419 zur Verfügung. Bevorzugt weist der Halbleiterkristall des integrierte Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, eine Oberfläche 56 auf. Typischerweise weist der Halbleiterkristall ein halbleitendes Material unterhalb seiner Oberfläche 56 auf. Insbesondere bei der Anwendung konventioneller Halbleiterschaltungsherstellprozesse, wie CMOS-Prozessen, Bipolarprozessen, BiCMOS-Prozessen und BCD-Prozessen weist die Oberfläche 56 des Halbleiterkristalls typischerweise einen Metallisierungsstapel als strukturierten Metallschichten und elektrischen Isolationsschichten auf. Die strukturierten Metallschichten bilden dabei typischerweise die elektrisch leitenden Leiterbahnen, die durch die Isolationsschichten voneinander elektrisch getrennt sind. Somit weist der Metallisierungsstapel eine typischerweise strukturierte und optisch transparente und elektrisch isolierende Schicht 44 auf. Zumindest ein Teil dieser typischerweise strukturierten, transparenten und elektrisch isolierenden Schicht 44 der Oberfläche 56 bildet bevorzugt den optischen Lichtwellenleiter 44.

Die hier vorgestellten Beispiele der Figuren 6 und 7 verwenden eine erste SPAD-Diode 54 als Photonenquelle 54. Die erste SPAD-Diode 54 strahlt in den Beispielen der Figuren 6 und 7 beispielsweise aus dem halbleitenden Material des Halbleitersubstrats 49 in diesen optischen Lichtwellenleiter 44 Licht 57 ein. D. h. in der Regel strahlt die erste SPAD-Diode 54 senkrecht zur Oberfläche 56 im Wesentlichen nach oben und nicht zur Seite in das Halbleitersubstrat 49 des Halbleiterkristalls 49 hinein. Das Material des Halbleiterkristalls 49 weist nämlich eine hohe Dämpfung für dieses Licht auf. Trotzdem ist die Abstrahlung der Photonen 57 der ersten SPAD-Diode 54 im Lichtwellenleiter 44 nicht gerichtet. Insbesondere ist die Ausstrahlung über das Substrat 48, 49 sehr gedämpft, da sichtbares Licht eine sehr hohe Absorption besitzt. Durch dies Anordnung kann die Vorrichtung mehr Photonen der ersten SPAD-Diode 54 direkt mit der zweiten SPAD-Diode 55 koppeln, die hier in den Beispielen der Figuren 6 und 7 als Photonendetektor 54 dient. Der optische Lichtwellenleiter 44 transportiert in den Beispielen der Figuren 6 und 7 diese Photonen 57, 58, 59 der ersten SPAD-Diode 54 im Lichtwellenleiter 44 im Vergleich zu anderen Lösungen aus dem Stand der Technik praktisch verlustfrei zur zweiten SPAD-Diode 55. Der Lichtwellenleiter 44 bestrahlt in den Beispielen der Figuren 6 und 7 mit diesen Photonen 57, 58, 59 der ersten SPAD-Diode 54 die zweite SPAD-Diode 55 in der Art, dass das Licht 59 von innerhalb des Lichtwellenleiters 44 wieder in das halbleitende Material des Halbeleitersubstrats 49 von der Oberfläche 56 her eindringt und dort Vorrichtungsteile der zweiten SPAD-Diode 55 trifft. Die zweite SPAD-Diode 55 erzeugt dann in Abhängigkeit von der Bestrahlung mit diesen Photonen 59 ein Empfangssignal.

Typischerweise versorgt zumindest eine Betriebsschaltung in den Beispielen der Figuren 6 und 7 die zumindest eine erste SPAD-Diode 54 zumindest zeitweise mit elektrischer Energie. Die zumindest eine erste SPAD-Diode 54 speist dann bei Versorgung mit ausreichender elektrischer Energie Photonen 57 in den in den Figuren 6 und 7 vorgesehenen Lichtwellenleiter 44 ein. Der Lichtwellenleiter 44 transportiert diese Photonen 57, 58, 59 dann weiter. Der in den Beispielen der Figuren 6 und 7 vorgesehene Lichtwellenleiter 44 strahlt dann die transportierten Photonen 58 als im Wesentlichen senkrecht sich bewegende Photonen 59 in die zweite SPAD-Diode 55 ein. Da dieser Transport der Photonen von der ersten SPAD-Diode 54 zur zweiten SPAD-Diode 55 aufgrund der geringen Dämpfung im Lichtwellenleiter 44 wesentlich weniger Photonen verliert als in anderen Konstruktionen aus dem Stand der Technik, die das stark absorbierende Halbleitersubstrat 49, 49 benutzen, ist der Quantenwirkungsgrad massiv höher. Damit steigt die Bit-Rate der Quantenzufallsbits 411, mit der die Vorrichtung Quantenzufallszahlen 418 erzeugen kann, an. Daher reicht bei der hier vorgestellten Konstruktion bereits ein Paar aus einer einzigen ersten SPAD-Diode 54 und einer einzigen zweiten SPAD-Diode 55 aus. Andere Vorrichtungen aus dem Stand der Technik verwenden typischerweise mehrere SPAD-Dioden.

In einer weiteren Weiterbildung des vorschlagsgemäßen, sicheren integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist zumindest eine Datenschnittstelle der einen oder mehreren Datenschnittstellen 64 eine drahtgebundene automobile Datenbusschnittstelle 64. In dem Fall kann die drahtgebundene automobile Datenbusschnittstelle 64 beispielsweise eine CAN- Datenbusschnittstelle oder eine CAN-FD-Datenbusschnittstelle oder eine Flexray- Datenbusschnittstelle oder eine PSI5-Datenbusschnittstelle oder eine DSI3-Datenbusschnittstelle oder eine LIN-Datenbusschnittstelle oder eine Ethernet-Datenbusschnittstelle oder eine SPI- Datenbusschnittstelle oder eine MELIBUS-Datenbusschnittstelle sein.

In einer weiteren Weiterbildung des vorschlagsgemäßen sicheren integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist zumindest eine Datenschnittstelle 64 der einen oder mehreren Datenschnittstellen 64 eine drahtlose Datenbusschnittstelle. Die drahtlose Datenbusschnittstelle 64 kann beispielsweise eine WLAN-Schnittstelle oder eine Bluetooth- Schnittstelle sein.

In einer weiteren Weiterbildung des vorschlagsgemäßen sicheren integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, ist zumindest eine Datenschnittstelle 64 der einen oder mehreren Datenschnittstellen 64 eine drahtgebundene Datenbusschnittstelle 64. De drahtlose Datenbusschnittstelle 64 kann beispielsweise eine KNX-Datenbusschnittstelle oder eine El B- Datenbusschnittstelle oder eine DALI-Datenbusschnittstelle oder eine PROFIBUS- Datenbusschnittstelle sein.

Obwohl die vorschlagsgemäße Vorrichtung beispielhaft unter Bezugnahme auf eine

Steuervorrichtung 4 und den integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, beschrieben wurde, ist sie nicht auf eine Steuervorrichtung 4 bzw. den integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, beschränkt. Die vorschlagsgemäße Vorrichtung kann auch auf andere Arten von Prozessoren mit integrierter Schaltung und andere integrierte Schaltungen angewendet werden. Ein Mikroprozessor ist nur ein besonders günstiges, weil komplexes Beispiel für eine vorschlagsgemäße beispielhafte integrierte Schaltung 2.

Die Ausführungsformen der vorschlagsgemäßen Vorrichtung speichern Daten innerhalb und ggf. auch außerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers. Die Ausführungsformen des Vorschlags stellen sicher, dass die zu verarbeitenden Daten, einschließlich des ausführbaren Codes, nicht von Unbefugten geändert werden können, die auf die außerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, auf gespeicherten Daten zugreifen, oder, falls ein solcher Zugriff erfolgt, sicherstellen, dass dieser Zugriff und/oder ein solcher Zugriffsversuch nicht unbemerkt bleiben und dass die Daten und/oder Programmcodes und/oder Schlüssel und/oder Authentifizierungsdaten etc. nicht unbemerkt geändert werden können. Die Sicherheit wird durch Sicherheitsdaten gewährleistet, und die Sicherheitsdaten selbst sind sicher, weil sie innerhalb der integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, in einem geschützten Bereich 4 gespeichert und vor unbefugtem Zugriff geschützt sind.

Die hier vorgelegte Beschreibung erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit und beschränkt diese Offenbarung nicht auf die gezeigten Beispiele. Andere Variationen zu den offengelegten Beispielen können von denjenigen, die über gewöhnliche Fachkenntnisse auf dem Gebiet verfügen, anhand der Zeichnungen, der Offenbarung und der Ansprüche verstanden und ausgeführt werden. Die unbestimmten Artikel "ein" oder "eine" und dessen Flexionen schließen eine Vielzahl nicht aus, während die Erwähnung einer bestimmten Anzahl von Elementen nicht die Möglichkeit ausschließt, dass mehr oder weniger Elemente vorhanden sind. Eine einzige Einheit kann die Funktionen mehrerer in der Offenbarung genannter Elemente erfüllen, und umgekehrt können mehrere Elemente die Funktion einer Einheit erfüllen. Zahlreiche Alternativen, Äquivalente, Variationen und Kombinationen sind möglich, ohne dass der Anwendungsbereich der vorliegenden Offenbarung verlassen wird.

Soweit nichts anders angegeben ist, können sämtliche Merkmale der vorliegenden Erfindung frei miteinander kombiniert werden. Dies betrifft die gesamte hier vorgelegte Schrift. Auch die in der Figurenbeschreibung beschriebenen Merkmale können, soweit nichts Anderes angegeben ist, als Merkmale der Erfindung frei mit den übrigen Merkmalen kombiniert werden. Eine Beschränkung einzelner Merkmale der Ausführungsbeispiele auf die Kombination mit anderen Merkmalen der Ausführungsbeispiele ist dabei ausdrücklich nicht vorgesehen. Außerdem können gegenständliche Merkmale der Vorrichtung umformuliert auch als Verfahrensmerkmale Verwendung finden und Verfahrensmerkmale umformuliert als gegenständliche Merkmale der Vorrichtung. Eine solche Umformulierung ist somit automatisch mit offenbart.

In der vorausgehenden detaillierten Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen verwiesen. Die Beispiele in der Beschreibung und den Zeichnungen sollten als illustrativ betrachtet werden und sind nicht als einschränkend für das beschriebene spezifische Beispiel oder Element zu betrachten. Aus der vorausgehenden Beschreibung und/oder den Zeichnungen und/oder den Ansprüchen können durch Abänderung, Kombination oder Variation bestimmter Elemente mehrere Beispiele abgeleitet werden. Darüber hinaus können Beispiele oder Elemente, die nicht wörtlich beschrieben sind, von einer fachkundigen Person aus der Beschreibung und/oder den Zeichnungen abgeleitet werden.

Figur 6

Der sichere integrierte Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, weist in dem Beispiel der Figur 6 beispielhaft zumindest eine erste SPAD-Diode 54 und zumindest eine zweite SPAD-Diode 55 und zumindest einen optischen Lichtwellenleiter 44 auf. Der Quantenzufallszahlengenerator 28 ist bevorzugt ein quantenprozessbasierender Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28. Der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28 umfasst im Beispiel der Figur 6 eine erste SPAD-Diode 54 als Lichtquelle für ein optisches Quantensignal und eine zweite SPAD-Diode 55 als Fotodetektor für das optische Quantensignal. Des Weiteren umfasst der quantenprozessbasierende Generator für echte Zufallszahlen (QRNG) 28 in dem Beispiel der Figur 6 zumindest die Verarbeitungsschaltung und den optische Lichtwellenleiter 44. Bevorzugt koppelt der optische Lichtwellenleiter 44 in dem Beispiel der Figur 6 die zumindest eine erste SPAD-Diode 54 mit der zumindest einen zweiten SPAD-Diode 55 optisch. Eine Betriebsschaltung versorgt in dem Beispiel der Figur 6 die erste SPAD-Diode 54 in der Art mit elektrischer Energie, dass die erste SPAD-Diode 54 Licht 57 emittiert. Die Abstrahlung von Licht 57 erfordert in dem Beispiel der Figur 6 dabei, dass die Betriebsspannung eine ausreichende elektrische Vorspannung der ersten SPAD-Diode 54 (404.1) zur Verfügung stellt. Eine Verarbeitungsschaltung (402, 403, 404) erfasst in dem Beispiel der Figur 6 das Signal der zweiten SPAD-Diode 55 (404.3) und bildet daraus die Quantenzufallszahl 418. Die Verarbeitungsschaltung stellt dann bevorzugt die so gebildete Quantenzufallszahl 418 einem oder mehreren der einen oder mehreren Prozessoren 10 über einen Datenbus 419 zur Verfügung.

Bevorzugt weist der Halbleiterkristall 49 der Steuervorrichtung 4 des integrierte Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, eine Oberfläche 56 auf. Typischerweise weist der Halbleiterkristall 49 ein halbleitendes Material unterhalb seiner Oberfläche 56 auf. Insbesondere bei der Anwendung konventioneller Halbleiterschaltungsherstellprozesse, wie CMOS-Prozessen, Bipolarprozessen, BiCMOS-Prozessen und BCD-Prozessen weist die Oberfläche 56 des Halbleiterkristalls 49 typischerweise einen Metallisierungsstapel als strukturierten Metallschichten und elektrischen Isolationsschichten auf. Die strukturierten Metallschichten bilden dabei typischerweise die elektrisch leitenden Leiterbahnen, die durch die Isolationsschichten voneinander elektrisch getrennt sind. Somit weist der Metallisierungsstapel eine typischerweise strukturierte und optisch transparente und elektrisch isolierende Schicht 44 auf. Zumindest ein Teil dieser typischerweise strukturierten, transparenten und elektrisch isolierenden Schicht 44 der Oberfläche 56 bildet bevorzugt den optischen Lichtwellenleiter 44.

In dem Beispiel der Figur 6 strahlt die erste SPAD-Diode 54 beispielsweise aus dem halbleitenden Material des Halbleitersubstrats 49 in diesen optischen Lichtwellenleiter 44 Licht 57 ein. D. h. in dem Beispiel der Figur 6 strahlt die erste SPAD-Diode 54 im Gegensatz zu anderen Vorrichtungen aus dem Stand der Technik senkrecht zur Oberfläche 56 im Wesentlichen nach oben und nicht zur Seite in das Halbleitersubstrat 49 des Halbleiterkristalls hinein, das eine hohe Dämpfung aufweist. Trotzdem ist die Abstrahlung der Photonen 57 der ersten SPAD-Diode 54 im Lichtwellenleiter 44 nicht gerichtet. Insbesondere ist die Ausstrahlung über das Substrat 48, 49 sehr gedämpft, da sichtbares Licht eine sehr hohe Absorption besitzt. Hierdurch kann die Vorrichtung der Figur 6 im Vergleich zu Vorrichtungen aus dem Stand der Technik mehr Photonen der ersten SPAD-Diode 54 direkt mit der zweiten SPAD-Diode 55 koppeln. Der optische Lichtwellenleiter 44 transportiert diese Photonen 57, 58, 59 der ersten SPAD-Diode 54 im Beispiel der Figur 6 im Lichtwellenleiter 44 im Vergleich zu anderen Vorrichtungen aus dem Stand der Technik praktisch verlustfrei zur zweiten SPAD-Diode 55. Der Lichtwellenleiter 44 bestrahlt mit diesen Photonen 57, 58, 59 der ersten SPAD-Diode 54 in dem Beispiel der Figur 6 die zweite SPAD-Diode 55 in der Art, dass das Licht 59 von innerhalb des Lichtwellenleiters 44 wieder in das halbleitende Material des Halbeleitersubstrats 49 von der Oberfläche 56 aus eindringt und dort Vorrichtungsteile der zweiten SPAD-Diode 55 trifft. Die zweite SPAD-Diode 55 erzeugt dann im Beispiel der Figur 6 in Abhängigkeit von der Bestrahlung mit diesen Photonen 59 ein Empfangssignal.

Typischerweise versorgt zumindest eine Betriebsschaltung im Beispiel der Figur 6 die zumindest eine erste SPAD-Diode 54 zumindest zeitweise mit elektrischer Energie. Die zumindest eine erste SPAD- Diode 54 speist dann im Beispiel der Figur 6 bei Versorgung mit ausreichender elektrischer Energie Photonen 57 in den zumindest einen Lichtwellenleiter 44 ein. Der Lichtwellenleiter 44 transportiert im Beispiel der Figur 6 diese Photonen 57, 58, 59 dann weiter. Der zumindest eine Lichtwellenleiter 44 strahlt dann im Beispiel der Figur 6 die transportierten Photonen 58 als im Wesentlichen senkrecht sich bewegende Photonen 59 in die zweite SPAD-Diode 55 ein. Da dieser Transport der Photonen von der ersten SPAD-Diode 54 zur zweiten SPAD-Diode 55 im Beispiel der Figur 6 aufgrund der geringen Dämpfung im Lichtwellenleiter 44 wesentlich weniger Photonen verliert als in anderen Konstruktionen aus dem Stand der Technik, die das stark absorbierende Halbleitersubstrat 48, 49 benutzen, ist der Quantenwirkungsgrad massiv höher. Damit steigt bei einer Vorrichtung entsprechend dem Beispiel der Figur 6 die erzeugbare Quantenzufallsbit-Rate, mit der die Vorrichtung wiederum Quantenzufallszahlen erzeugen kann, an. Daher reicht bei der hier vorgestellten Konstruktion der Figur 6 typischerweise bereits ein Paar aus einer einzigen ersten SPAD-Diode 54 und einer einzigen zweiten SPAD-Diode 55 aus. Vorrichtungen aus dem Stand der Technik verwenden typischerweise mehrere SPAD-Dioden.

Figur 7 Figur 7 entspricht im Wesentlichen der Figur 6. Im Unterschied zur Figur 6 sind der Halbleiterkristall 49 und die epitaktische Schicht 48 nun mit einer ersten optisch transparenten Isolatorschicht, beispielsweise einer Oxidschicht 143 bedeckt. Die Durchkontaktierungen 140 sind in dem Beispiel der Figur 7 mit Metall elektrisch leitend gefüllt. Die Metallisierungsebene 1 mit den elektrischen Leitungen der ersten Verdrahtungsebene 141 kontaktieren in dem Beispiel der Figur 7 diese Durchkontaktierungen 140. Auf dieser ersten Isolationsschicht 142 und der ersten Metallisierungslage mit der ersten Verdrahtungsebene 141 ist in dem Beispiel der Figur 7 eine zweite optisch transparente Isolationsschicht 144, vorzugsweise ebenfalls in Form einer Oxidschicht, aufgebracht. Auch diese kann durch Durchkontaktierungen, die in der Figur 7 nicht eingezeichnet sind, durchkontaktiert sein, sodass Leitungen der ersten Metallisierungsebene mit Leitungen der zweiten Metallisierungsebene in dem Beispiel der Figur 7 verbunden werden können. Die gestrichelt eingezeichnete Grenzfläche 145 zwischen der ersten optisch transparente Isolationsschicht 143 und der zweiten optisch transparente Isolationsschicht 144 ist in dem Beispiel der Figur 7 im Wesentlichen ebenfalls optisch transparent und reflektiert und/oder absorbiert das Licht der ersten SPAD-Diode 55 im Wesentlichen bevorzugt nicht. Die erste optisch transparente Isolationsschicht 143 und die zweite optisch transparente Isolationsschicht 144 bilden in dem Beispiel der Figur 7 im Wesentlichen den optischen Wellenleiter im Bereich der ersten SPAD-Diode 54 und der zweiten SPAD-Diode 55. Im optischen Pfad zwischen der ersten SPAD-Diode 54 und der zweiten SPAD-Diode 55 befinden sich in dem Beispiel der Figur 7 vorzugsweise keine Durchkontaktierungen 140 und keine Metallleitungen 141, sodass das Licht der ersten SPAD-Diode 54 in dem Beispiel der Figur 7 ungehindert die zweite SPAD-Diode 55 erreichen kann. Ein Metalldeckel 142 verhindert in dem Beispiel der Figur 7 den Austritt von Photonen nach oben und spiegelt diese vorzugsweise wieder in den Lichtwellenleiter 44 in dem Beispiel der Figur 7 zurück. Die Durchkontaktierungen 140 und die Metallleitungen der ersten Metallisierungsebene 141 verhindern in ähnlicher Weise in dem Beispiel der Figur 7, dass Licht aus dem Lichtwellenleiter 44 in der horizontalen im Metallisierungsstapel verloren geht. Figur 8

Figur 8 zeigt schematisch das vereinfachte Blockdiagram eines quantenbasierten Zufallsgenerators

(Quantenzufallszahlengenerators 28) wie er dem Vorschlag dieses Dokuments entspricht.

Ein bevorzugt gemeinsamer Systemtakt 2106 taktet bevorzugt die digitalen Schaltungen der beispielhaft in der Figur 8 dargestellten Vorrichtung. Der Quantenzufallszahlengenerator 28 der Figur 8 ist bevorzugt Teil der Steuervorrichtung 4 und damit des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers. Der Aufbau des Quantenzufallszahlengenerators 28 beinhaltet eine Entropie Quelle 401, in dem Beispiel der Figur 8 einen breitbandigen 40 dB Hochfrequenzverstärkers 402 oder dergleichen und einem Analog-Digital Wandler 403, der ggf. auch nur ein Inverter oder dergleichen sein kann. In Experimenten wurde ein Analog-zu-Digital-Wandler 403 mit einer Auflösung von 14 Bit und einer Abtastrate von 125 MS/s und mit einer Auswertevorrichtung 404 erfolgreich verwendet.

Die Entropie Quelle 401 des Quantenzufallszahlengenerators 28 umfasst in dem Beispiel der Figur 8 ein Array 54 aus Single Photon Avalanche Dioden (SPAD) 54 als Photonenquellen 54 und ein Array 55 aus Single Photon Avalanche Dioden (SPAD) 55 als Photonendetektoren 55. Es kann sich auch um ein einziges gemeinsames Array handeln. Die Spannungswandler 91 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, versorgen die ersten SPADs 54 des Arrays 54 aus Single Photon Avalanche Dioden (SPAD) 54 des Quantenzufallszahlengenerators 28, die als Photonenquellen 54 dienen, und die zweiten SPADs 55 des Arrays 55 aus Single Photon Avalanche Dioden (SPAD) 55 des Quantenzufallszahlengenerators 28, die als Photonendetektoren 55 dienen, vorzugsweise mit einer solchen Betriebsspannung, dass diese sich vorzugsweise im sogenannten Geiger Modus befinden. Die Betriebsspannung dieser SPAD-Dioden 54, 55 liegt dann über der Durchbruchsspannung. Die SPAD- Dioden 54,55 sind dann bevorzugt in Sperrrichtung angeschlossen. Zusätzlich ist für jede SPAD-Diode 54,55 vorzugsweise ein Quenching-Widerstand 401.4 in Reihe geschaltet. Der Quenching-Widerstand 401.4 verhindert eine thermische Zerstörung der jeweiligen SPAD-Diode 54, 55 bei einer ausgelösten Ladungsträgerlawine. Der jeweilige Quenching-Widerstand 401.4 der Figur 8 dient hier gleichzeitig als Shunt-Widerstand für die Erfassung des elektrischen Diodenstroms durch die SPAD-Dioden 54, 55. Das Stromsignal der zweiten Single Photon Avalanche Dioden 55 des Arrays 55 aus Single Photon Avalanche Dioden (SPAD) wird über einen Shunt-Widerstand 401.4 für diese zweiten SPAD-Dioden 55 gemessen. Ein dem Beispiel der Figur 8 bildet der Vorwiderstand zur Begrenzung der Stromstärke durch die jeweiligen SPAD-Dioden den Shunt-Widerstand 401.4. Der Shunt-Widerstand 401.4 kann aber unabhängig vom Quenching-Widerstand 401.4 in die Zuleitung der jeweiligen SPAD-Diode 54, 55 eingefügt sein. Ein beispielhaftes gemeinsames Array aus SPAD-Dioden umfasst in dem Beispiel der Figur 8 beispielhaft vier aktive erste SPAD-Dioden 54 und zwölf passive zweite SPAD-Dioden 55. Die beispielhaft vier aktiven, ersten SPAD-Dioden 54 und zwölf passiven, zweite SPAD-Dioden 55 sind bevorzugt über einen optischen Wellenleiter (Lichtwellenleiter 44) gekoppelt. Die aktiven ersten SPAD-Dioden 54 emittieren spontan und zufällig einzelne Lichtpulse 57. Sie entsprechen der ersten SPAD-Diode 54 der Figuren 6 und 7. Die aktiven ersten SPAD-Dioden 54 befinden sich bevorzugt im Inneren des Arrays aus ersten und zweiten SPAD-Dioden 54 und 55. Die vorschlagsgemäße Vorrichtung versorgt mittels ihrer Spannungswandler die aktiven ersten SPAD-Dioden 54 mit einer erhöhten Versorgungsspannung. Hierzu verwendet die vorschlagsgemäße Vorrichtung bevorzugt besonders spannungsfeste DMOS-Transistoren in diesen Spannungswandlern. Daher ist es besonders vorteilhaft, wenn der einstückige, mikrointegrierte Quantenzufallszahlengenerator 28 in einer BCD- Halbleitertechnologie gefertigt ist, die typischerweise die Fertigung von CMOS-Schaltkreisen, SPADs und DMOS-Transistoren gleichzeitig kostengünstig und chipflächeneffektiv zulässt. Die vorschlagsgemäße Vorrichtung betreibt daher die aktiven, ersten SPAD-Dioden 54 in dem Beispiel der Figur 8 vorzugsweise weit oberhalb der Durchbruchspannung der ersten SPAD-Dioden 54. Dieser Betrieb bei einer erhöhten Versorgungsspannung der ersten SPAD-Dioden 54 erhöht die Dunkelzählrate dieser ersten SPAD-Dioden 54, was zu einer höheren Anzahl an spontan emittierten Photonen 57 führt. Der optische Lichtwellenleiter 44 leitet einige Photonen 58 der emittierten Photonen 57 an die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 im Beispiel der Figur 8 weiter. Der optische Lichtwellenleiter 44 entspricht dem Lichtwellenleiter 44 der Figuren 6 und 7. Die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 entsprechen der zweiten SPAD-Diode 55 der Figuren 6 und 7. Ein oder mehrere Spannungswandler der vorschlagsgemäßen Vorrichtung versorgen die passiven, zweiten SPAD- Dioden 55 in dem Beispiel der Figur 8 mit einer erhöhten Versorgungsspannung. Auch hierzu verwendet die vorschlagsgemäße Vorrichtung bevorzugt besonders spannungsfeste DMOS- Transistoren in diesen Spannungswandlern. Daher ist es besonders vorteilhaft, wenn der einstückige, mikrointegrierte Quantenzufallszahlengenerator 28 in einer BCD-Halbleitertechnologie gefertigt ist, die typischerweise die Fertigung von CMOS-Schaltkreisen, SPADs und DMOS-Transistoren gleichzeitig kostengünstig und chipflächeneffektiv zulässt. Die vorschlagsgemäße Vorrichtung betreibt die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 nur knapp über der Durchbruchsspannung. Bevorzugt sind die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 als Ring um die aktiven, ersten SPAD-Dioden 54 in dem Beispiel der Figur 8 angeordnet. Andere Anordnungen sind denkbar. Insbesondere ist es denkbar die ersten SPAD-Dioden 54 durch andere Silizium-LEDs zu ersetzen und eine Anordnung von solchen anderen Silizium-LEDs und zweiten SPAD-Dioden 55 nahe bei einander zu verwenden, wobei dann die Lichtübertragung direkt durch das Halbleitersubstrat 49 als Lichtwellenleiter 44 mit einer extrem kurzen Lichtübertragungsstrecke von nur wenigen pm erfolgt. Die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 detektieren in dem Beispiel der Figur 8 zumindest einen Teil der über den Lichtwellenleiter 44 ankommenden Photonen 59. Die passiven, zweiten SPAD-Dioden 55 erzeugen in Abhängigkeit von den ankommenden Photonen 59 einen Stromfluss über einen Shunt-Widerstand, der den zweiten SPAD-Dioden 55 zugeordnet ist. Die Entropiequelle 401 umfasst in dem Beispiel der Figur 8 bevorzugt die Shunt-Widerstände, die Betriebsvorrichtung der SPAD-Dioden, die SPAD-Dioden 54 und 55 und den Lichtwellenleiter 44. Ein Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 verbindet vorzugsweise die Entropie Quelle 401 mit einem bevorzugten, beispielhaften, breitbandigen 40 dB Hochfrequenzverstärker 402. In anderen Ausführungen des Vorschlags wird dieser 40 dB Hochfrequenzverstärker 402 nicht benötigt. Insofern ist der 40 dB Hochfrequenzverstärker 402 optional. Vorzugsweise entspricht das Spannungssignal dem Spannungsabfall über den Quenching- Widerstand 401.4, der in dem Beispiel der Figur als Shunt-Widerstand 401.4 fungiert. Es ist denkbar die ersten SPAD-Dioden 54 und die zweiten SPAD-Dioden 55 über einen gemeinsamen Quenching- Widerstand 401.4 zu versorgen, der dann auch als gemeinsamer Shunt-Widerstand fungiert. Der vorgeschlagene, beispielhafte Hochfrequenzverstärker 402 besitzt bevorzugt und beispielhaft eine Bandbreite von 30 bis 4000 MHz und bevorzugt einen 1-dB-Kompressionspunkt von 20 dBm. Der Spannungshub des Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401 bewegte sich in Versuchen im Zusammenhang mit der Ausarbeitung der technischen Lehre des hier vorgelegten Dokuments im Sub-Millivoltbereich. Der beispielhaft vorgeschlagene Hochfrequenzverstärker 402 verstärkt beispielsweise den Spannungshub dieses Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401 auf beispielhafte 50 bis 150 mV.

Ein Verstärkerausgangssignal 406 des Hochfrequenzverstärkers 402 verbindet beispielsweise den beispielhaften Hochfrequenzverstärker 402 mit einer beispielhaften Auswertevorrichtung 404, die im Wesentlichen Teilvorrichtungen der Steuervorrichtung 4 umfasst. Die Auswertevorrichtung 404 der Figur 8 ist nur eine von vielen verschiedenen Realisierungsmöglichkeiten der in diesem Dokument vorgestellten technischen Lehre. Die Auswertevorrichtung 404 ist bevorzugt Teil des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers. Bevorzugt umfasst der integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, mit einem oder mehreren Prozessoren 10-1, 10-2. Die Auswerteschaltung 404 verfügt in den Beispielen der Figuren 8 und 9 über einen beispielhaften 14 Bit Analog-Digital-Wandler (ADC) 403 mit einer beispielhaften Abtastrate von 125 Mega-Samples/s und einer beispielhaften Bandbreite von 50 MHz. Es hat sich bei Ausarbeitung gezeigt, dass geringere Bitbreiten und geringere Abtastraten möglich sind. Ggf. ist eine analoge Vorverarbeitung vor der Digitalisierung durch den Analog-zu-Digital-Wandler 403 mittels Schaltungen zur Pulsverbreiterung 2022 zweckmäßig. Das verstärkte Spannungssignal des beispielhaften Hochfrequenzverstärkers 402 ist das Verstärkerausgangssignal 406 des Hochfrequenzverstärkers 402. Der Analog-zu-Digital- Wandler 403 tastet das Verstärkerausgangssignal 406 des Hochfrequenzverstärkers 402 mit einer Abtastrate des Analog-zu-Digitalwandlers 403 ab. Vorzugsweise hängt die Abtastrate von dem Systemtakt 2106 ab. In der Regel ist die Abtastrate des Analog-zu-Digitalwandlers 403 gleich der Frequenz des Systemtakts 2106. Der Analog-zu-Digital-Wandler 403 gibt beispielsweise die ermittelten Abtastwerte des Verstärkerausgangssignals 406 des Hochfrequenzverstärkers 402 digital mit einer Busbreite von beispielsweise 14 Bit beispielsweise an Die Auswertevorrichtung 404 weiter. Im Folgenden wird auch ein Vorschlag beschrieben, der ohne Hochfrequenzverstärkers 402 arbeitet und der einen Analog-zu-Digital-Wandler 403 mit einer Bit-Breite von 1 vorsieht.

Die als Blockschaltbild der vereinfacht in Figur 8 dargestellten Vorrichtung beinhaltet beispielhaft einen Komparator 404.2, einen Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC=time to pseudo random number converter) 404.3, eine Entropie Extraktions-Vorrichtung 404.4 und eine Finite State Machine (endlichen Automaten) 404.8.

Der Komparator 404.2 vergleicht in dem Beispiel der Figur 8 den beispielhaften digitalen 14 Bit Wert 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 mit einer Konstanten 404.1, die einen Schwellwert darstellt, und erzeugt einen zwei Takte langen 1 Bit Ausgangspuls auf seinem Ausgangssignal 409 des Komparators 404.2, wenn der Ausgangswert des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 größer ist als die Konstante 404.1. Im Falle einer Vorrichtung ohne Hochfrequenzverstärkers 402 und mit einem Analog-zu-Digital-Wandler 403 mit einer Bit-Breite von 1 entfallen der Komparator 404.2 und die Konstante 404.1 und der Analog-zu-Digital-Wandler 403 erzeugt gleich das Ausgangssignal 409 des Komparators, da der Analog-zu-Digital-Wandler 403 dann die Funktion des Komparators 404.2 miterfüllt. Die Nachteile einer solchen Konstruktion sind u.a. ihre geringere Flexibilität und die erhöhten Anforderungen an Konstruktion und Produktion. Das Ausgangssignal 409 des Komparators 404.2 verbindet den Komparator 404.2 mit dem Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC). Der Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) umfasst bevorzugt beispielsweise ein linear rückgekoppeltes 32 Bit Schieberegister, der mit dem Systemtakt 2106 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, hochzählt. Der Oszillator 30 und das Taktsystem der Steuervorrichtung 4 stellen diesen Takt typischerweise bereit. Die Bitbreite dieses linear rückgekoppelten Schieberegisters kann je nach Anwendung abweichen. Vorzugsweise ist diese Bitbreite über ein Register der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, einstellbar. Vorzugsweise ist das Rückkoppelpolynom des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) über ein Register der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, einstellbar. Der Systemtakt 2106 kann beispielsweise eine Frequenz von 125 MHz haben. Ein Puls auf dem 1 Bit Ausgangssignal des Komparators 404.2 veranlasst vorzugsweise den Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) den aktuellen Schieberegisterwert des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) als Pseudozufallszahl am Ausgang 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) auszugeben. Die Pseudozufallszahlenändern sich typischerweise mit der Taktperiode des Systemtakts 2106, wodurch sich eine Zeitauflösung hinsichtlich der Pulse auf dem 1 Bit Ausgangssignal des Komparators 404.2 ergibt. Bei einem beispielhaften 125MHz Systemtakt 2106 ergibt sich dann eine Zeitauflösung von 1/(125 MHz)=8 ns. Der Ausgang 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler

404.3 (TPRC) gibt den beispielhaften 32 Bit Schieberegisterwert, auch Rohdaten genannt, des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) an die im Signalpfad nachfolgende Entropie-Extraktion

404.4 weiter. Die Entropie-Extraktion 404.4 wandelt die zufälligen Rohdaten RD des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) auf dem Signal des Ausgangs 410 des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) in eine 1 Bit Zufallszahl 411 RN um. Die Rohdaten auf dem Signal des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) stellen typischerweise den letzten Schieberegisterwert dar, bei dem das Ausgangssignal 409 des Komparators 404.2 einen Puls zeigte. Der Ausgang 411 der Entropie-Extraktion 404.4 ist mit dem Eingang der Finite State Machine FSM 404.8 verbunden.

Die Finite State Machine 404.8 hat typischerweise die Aufgabe, Daten in Form eines seriellen Stroms von Quantenzufallsbits 411 von der der Entropie-Extraktion 404.4 entgegenzunehmen, den seriellen Strom von Zufallsdatenbits in Zufallsdatenwörter und diese in den Block RAM 404.9 der Auswertevorrichtung 404, der typischerweise der flüchtige Speicher ist, zu speichern. Bevorzugt kommuniziert die Finite-State-Machine 404.8 mit dem Prozessor 404.11 (10-1, 10-2) über einen internen Datenbus 419. Nach erfolgreichem Schreibvorgang setzt die Finite State Machine 404.8 ein Finish Flag 404.10. Der Prozessor 404.11 kann bevorzugt das Finish-Flag 404.10 über den internen Datenbus 419 schreiben und/oder lesen. Das Finish-Flag 404.10 kann ggf. Teil des RAMs 404.9 oder ein Register des Prozessors 404.11 sein. Der Prozessor 404.11 steuert und überwacht vorzugsweise über den internen Datenbus 419 die Finite-State-Machine 404.8. Das Finish Flag 404.10 ist vorzugsweise bei Systemstart nicht gesetzt. Daraufhin kann der Prozessor 404.11 beispielsweise mittels eines C-Programms, welches auf dem eingebetteten Prozessor 404.11, beispielsweise einem Dual-Core Arm Cortex-A9 MPCore, gestartet ist, auf den Block RAM 414.9 zugreifen und die Zufallszahl aus dem RAM 404.9 auslesen. Der Prozessor 404.11 ist bevorzugt identisch mit dem ersten Prozessor 10-1 der Figur 1. Der Prozessor 404.11 kann beispielsweise ein Dual-Core Arm Cortex-A9 MPCore sein. Der Prozessor 404.11 kann auch einige der Funktionen der Teilvorrichtungen der Auswertevorrichtung 404 mittels eines geeigneten Programms ausführen und so diese Vorrichtungsteile ggf. ersetzen.

Bevorzugt steuert der Prozessor 404.11 einen Watchdog 404.5. Der Watchdog 404.5 ist hier im Sinne des hier vorgelegten Dokuments nicht nur ein Watchdog-Timer, der einen Zeitgeber umfasst, der mit dem Systemtakt des Quantenzufallszahlengenerators 28 bzw. des Systemtakts 2106 des Prozessors 404.11 getaktet ist und der in regelmäßigen zeitlichen Abständen von dem Prozessor 404.11 wieder auf einen Startwert zurückgesetzt werden muss, um ein Unterbrechen der Programmausführung des Prozessors 404.11 bei Erreichen und/oder Kreuzen eines Watchdog-Zählerstand-Schwellwerts durch den Zählerstand des Zeitgebers des Watchdogs 405.5 zu vermeiden. Der Watchdog 405.5 führt darüber hinaus weitere Überwachungsaufgaben innerhalb des Quantenzufallszahlengenerators 28 aus. Beispielsweise überwacht der Watchdog 404.5 vorzugsweise die Entropie der Quantenzufallsbits 411. Insbesondere stellt der Watchdog 404.5 vorzugsweise sicher, dass die Quantenzufallsbits 411 vorzugsweise nicht mehr als q aufeinanderfolgende Zufallsbits des gleichen logischen Wertes aufweisen. Ist das der Fall, so fügt der Watchdog 404.5 vorzugsweise andere Bits an Stelle der Quantenzufallsbits 411 in diesen seriellen Bitdatenstrom von der Entropieextraktion 404.5 zur Finite- State-Machine 407.8 ein. Hierzu in der folgenden Figur 9 mehr. Bevorzugt fügt der Watchdog 404.5 in diesem Fall Zufallsbits eines anderen echten Zufallszahlengenerators und/oder eines anderen Quantenzufallszahlengenerators und/oder Pseudozufallsbits eines Pseudozufallszahlengenerators, dessen Startwert durch gültige Zufallsbits eines Quantenzufallszahlengenerators (QRNG) oder eines echten Zufallszahlengenerators (TRNG) bestimmt wird. Da der Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC) bereits konstruktiv sicherstellt, dass dieser Fall nicht auftreten sollte gibt der Watchdog 404.5 in einem solchen Fall bevorzugt eine Fehlermeldung an den Prozessor 404.11 aus. Bevorzugt ist der Watchdog 404.5 gleichzeitig auch ein Watchdog des ersten Prozessors 10-1. Darüber hinaus überwacht der Watchdog 404.5 im Sinne des hier vorgelegten Dokuments ggf. weitere Größen, wie z.B. das Übereinstimmen von Spannungswerten innerhalb des Quantenzufallszahlengenerators 28 und/oder innerhalb der Vorrichtung mittels eines oder mehrerer Analog-zu-Digital-Wandler und/oder mittels einer oder mehrerer Spannungsüberwachungsvorrichtungen wie Spannungsmonitore 413 etc.

Figur 9

Figur 9 zeigt die erweiterte beispielhafte Auswertevorrichtung 404, die nun eine Überwachung der Zufallszahl 411 RN umfasst und ein zusätzliches Backup System für den Fehlerfall aufweist, um auch bei einem Ausfall des Quantenzufallszahlengenerators die Sicherheit (Security) der Anwendungsschaltung mittels eines Notlaufverfahrens abzusichern. Zur besseren Übersicht sind die Komponenten Prozessor 404.11 RAM 404.9 und Finish-Flag 404.10 weggelassen. Die Leserin/der Leser soll diese Vorrichtungsteile bzw. Funktionen in der Figur 9 weiterhin als vorhanden betrachten. Der Fachmann kann aber leicht die Anbindung an die Finite-State-Machine 404.8 aus der Figur 8 in die Figur 9 kopieren und kommt dann zu der offenbarten technischen Lehre. Der Watchdog 404.5, ein optionales weiteres linear rückgekoppeltes Schieberegister 404.6 als Backup- Pseudozufallszahlengenerator PRNG und einen Signal-Multiplexer 404.7 erweitern die Vorrichtung der Figur 8 zur Vorrichtung der Figur 9. Der Ausgang 411 der Entropie Extraktion 404.4 ist nun mit dem Watchdog 404.5 und dem Signal Multiplexer 404.7 beispielhaft verbunden. Der Watchdog 404.5 überwacht die Quantenzufallszahl RN am Ausgang 411 der Entropie-Extraktion 404.4. Der Watchdog 404.5 erfasst vorschlagsgemäß zumindest drei definierte Fehlerfälle. Der Watchdog 404.5 gibt dazu beispielsweise valide Quantenzufallsbits 411 unter Erzeugung eines Seed-Werts S 412 an das optionale zusätzliche linear rückgekoppelte Schieberegister 404.6. Vorzugsweise verhindert der Watchdog 404.5 die Verwendung dieser validen Quantenzufallsbits durch die Finite-State-Machine 404.8. Sofern ein Fehler auftritt, setzt der Watchdog 404.5 Fehlerbits in einem nicht gezeichneten Fehler-Register ER des Prozessors 404.11. Welches Fehlerbit der Watchdog 404.5 im Fehler-Register des Prozessors 404.11 setzt, ist vorzugsweise abhängig vom jeweiligen Fehlerfall, den der Watchdog 404.5 feststellt. Zusätzlich ist der Watchdog 404.5 über ein oder mehrere, vorzugsweise digitale Ein-Ausgabe- Signalleitungen 414 in dem Beispiel der Figur 9 mit einem Spannungsmonitor 413 verbunden. Bevorzugt überwacht der Watchdog-Schaltkreis 404.5 die Spannungswerte, die der Spannungsmonitor 413 ermittelt. Es hat sich bewährt, wenn der Spannungsmonitor 413 nicht nur die Spannungen im Quantenzufallszahlengenerator 28 ermittelt und überwacht, sondern auch andere Spannungen innerhalb der jeweiligen Anwendungsschaltung. Bei dem Spannungsmonitor 413 kann es sich um den besagten Analog-zu-Digital-Wandler handeln.

Der Spannungsmonitor 413 überwacht in dem Beispiel der Figur 9 vorzugsweise die Betriebsspannungen der Entropiequelle 401 und/oder andere Spannungen, die Spannungswandler innerhalb der Anwendungsschaltung erzeugen. Ist beispielsweise eine der Betriebsspannung einer Photonenquelle 54 und/oder einer Silizium-LED 54 und/oder einer ersten SPAD-Diode 54 und/oder eines Photonendetektors 55 und/oder einer zweiten SPAD-Diode 55 zu niedrig, also spannungswertbetragsmäßig unterhalb eines unteren Betriebsspanungsschwellwerts für diese Bauteile, oder zu hoch, also spannungswertbetragsmäßig oberhalb eines oberen Betriebsspanungsschwellwerts für diese Bauteile, so detektiert der Spannungsmonitor 413 diese Spannungsabweichung und meldet diese an den Watchdog 404.5 und/oder den Prozessor 10-1, 404.11. Bevorzugt kann der Prozessor 404.11 die Werte des Spannungsmonitors 413 über den internen Datenbus 419 der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, auslesen. Im Fall einer solchen Spannungsabweichung signalisiert der Spannungsmonitor 413 an den Watchdog 404.5 oder direkt an den Prozessor 404.11 eine solche Abweichung. Im Falle einer Signalisierung an den Watchdog 404.5 kann beispielsweise der Watchdog 404.5 ein Interrupt-Signal 420 für den Prozessor 404.11 erzeugen. Der Watchdog 404.5 kann beispielsweise einen solchen Interrupt 420 des Microcontrollers 404.11 oder einer anderen Teilvorrichtung eines Anwendungssystems auslösen, wenn die Versorgungsspannung der Entropiequelle 401 oder des Hochfrequenzverstärkers 402 oder eines anderen Vorrichtungsteils des Quantenzufallszahlengenerators QRNG 28 und/oder des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, und/oder der Anwendungsvorrichtung fehlerhaft ist. Hat der Watchdog 404.5 einen Fehler des Quantenzufallsgenerators 28 detektiert, so veranlasst er vorzugsweise den Quantenzufallszahlengenerator 28 in einen Notlaufzustand zu wechseln. Hierzu setzt der Watchdog 404.5 vorzugsweise das Selektionssignal 416 eines Signalmultiplexers 404.7, sodass der Signalmultiplexers 404.7 statt des Ausgangs 411 der Entropie-Extraktion 404.4 die Pseudozufallszahl PRN des optionalen weiteren linear rückgekoppelten Schieberegisters 404.6 in Form eines Stroms von Pseudozufallsbits über eine Pseudozufallssignalleitung 417 als Ersatz für die zumindest potenziell fehlerhafte Zufallszahl RN des Ausgangs 411 der Entropie-Extraktion 404.4 an den Eingang der Finite State Machine 404.8 legt.

Das optionale weitere linear rückgekoppelte Schieberegister 404.6 ist in dem Beispiel der Figur 9 mit dem Ausgang Seed S 412 des Watchdog 404.5 verbunden. Der Watchdog 404.5 aktiviert im Fehlerfall das optionale, weitere, linear rückgekoppelte Schieberegister 404.6. Das optionale, zusätzliche, linear rückgekoppelte Schieberegister 404.6 generiert dann Pseudozufallszahlen PRN als Pseudozufallszahlengenerator PRNG. Der Seed S 412 weist bevorzugt die letzten gerade noch gültigen Quantenzufallsbits auf. Der Watchdog 404.5 legt bevorzugt diese letzten gültigen Quantenzufallsbits 411 an den Eingang des optionalen, weiteren, linear rückgekoppelten Schieberegisters 404.6. Der Seed S dient somit als zufälliger PQC sicherer Startwert für das Generatorpolynom der Rückkopplung des optionalen, weiteren linear rückgekoppelten Schieberegisters 404.6 für die Generierung der Pseudozufallszahl PRN und deren Signalisierung über die Pseudozufallssignalleitung 417. Das Generatorpolynom sowie der Grad des Generatorpolynoms sind dabei bevorzugt frei wählbar.

Das Signal des Ausgangs 411 der Entropie-Extraktion 404.4 mit der 1 Bit Zufallszahl RN der Entropie Extraktion 404.4 bzw. das Signal der Pseudozufallssignalleitung 417 mit der Pseudozufallszahl PRN des linear rückgekoppelten Schieberegisters 404.6 sind mit den Eingängen des Signalmultiplexers 404.7 verbunden. Der Signalmultiplexer 404.7 leitet je nach Wert des Selektionssignals 416 SEL einen der beiden Eingänge an die Finite State Machine 404.8 weiter. Natürlich ist es denkbar, einen Multiplexer mit mehr als zwei Eingängen und komplexerem Ansteuersignal zu verwenden, wenn die Anwendung dies erfordert. Die Zahl der Eingänge der Signalmultiplexers 404.7 ist daher typischerweise größer oder gleich zwei.

Auch hier hat die Finite State Machine 404.8 die Aufgabe die Zufallsdaten RN bzw. die Pseudozufallszahl PRN am Ausgang des Signalmultiplexers 404.7 entgegenzunehmen und in den Block RAM 404.9, 15 der Auswertevorrichtung 404 innerhalb der Steuervorrichtung 4 zu schreiben. Ist der Schreibvorgang erfolgreich, setzt die Finite State Machine 404.8 wieder das Finish Flag 404.10. Daraufhin kann der Prozessor 404.11 beispielsweise mittels eines C-Programms, welches auf dem eingebetteten Prozessor 404.11 vorzugsweise abläuft, auf den Block RAM 404.9 zugegriffen und die Zufallszahl auslesen und beispielsweise zur Verschlüsselung benutzen.

Vorzugsweise erfasst Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 die Zeit zwischen zwei Pulsen auf dem Ausgangssignal 409 des Komparators 404.2 als Zeitwert. Sofern ein Zeitwert am Ausgang 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 kleiner als ein Mindestwert ist, handelt es sich um einen Wert, der innerhalb der Totzeit der zweiten SPAD-Dioden 55 liegt. Die Auswertevorrichtung 404 verwirft bevorzugt bei Auftreten eines solchen Werts die erzeugten Pseudozufallszahlen und erhöht den Fehlerzähler vorzugsweise um die erste Fehlerschrittweite, die auch negativ sein kann. In dem Fall wartet die Entropieextraktion 404.4 die Ermittlung der nächsten Zufallszahl durch den Zeit- zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 ab. Ist das Zufallsbit auf diese Weise extrahiert, beginnt der Quantenzufallszahlengenerator 28 das Verfahren von vorne.

Sofern der Fehlerzähler den Fehlerzählerschwellwert kreuzt oder erreicht, kann beispielsweise ein Fehler vorliegen, bei dem der Zeit-zu- Pseudozufallszahlen -Wandler 404.3 beispielsweise konstante Zahlenwerte aufgrund eines Fehlers liefert.

Diese Vorrichtung ist somit in der Lage, einen Ausfall der Spannungsversorgung 5 der Entropiequelle 401 oder anderer Teile der Vorrichtung (z.B. 4, 28) zu detektieren. Der Prozessor 404.11 kann mittels des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 auch zu Testzwecken Spannungen und Ströme im Quantenzufallszahlengenerator 28 und/oder innerhalb der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises eines Mikrocontrollers und/oder innerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, erfassen und die so ermittelten Werte mit Erwartungswertbereichen vergleichen, in denen diese Werte liegen müssen. Auch kann der Prozessor 404.11 digitale Werte innerhalb des Quantenzufallszahlengenerators 28 und/oder innerhalb der Steuervorrichtung 4 des integrierten Schaltkreises eines Mikrocontrollers und/oder innerhalb des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, erfassen.

Beispielsweise kann der Prozessor 404.11 die Konstante Const 404.1 für Testzwecke so niedrig setzen, dass der Rauschuntergrund im Wesentlichen den Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 steuert. Bevorzugt stellt dazu der Prozessor 404.11 einen Betriebszustand des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 ein, bei dem der Zeit-zu-Zufallszahlen-Wandler 404.3 nach der Erzeugung einer Pseudozufallszahl mit dem letzten Seed-Wert neu startet. Die Werte des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 sollten dann einer erwarteten Statistik in einem Toleranzband genügen. Ist dies nicht der Fall, so liegt ein Fehler vor. Der Prozessor 404.11 kann diese Statistik erstellen und ggf. auf diesen Fehler schließen, wenn die ermittelten statistischen Werte nicht in einem Erwartungswertintervall liegen. Der Watchdog 404.5 kann die Entropie der gelieferten Quantenzufallsbits 411 überwachen. Sofern die mittlere Entropie der Quantenzufallsbits 411 über einen Entropiemesszeitraum wesentlich mehr als ein erlaubter Entropieabweichungswert von dem erwarteten Zufallsmittelwert von 50% abweicht, schließt der Watchdog 404.5 vorzugsweise auf einen Fehler des Quantenzufallszahlengenerators 28 und inkrementiert vorzugsweise den Fehlerzähler um die besagte Fehlerzählerschrittweite. Vorzugsweise stoppt der Watchdog 404.5 dann die Verwendung dieser Quantenzufallsbits des Ausgangs 411 der Entropie Extraktion 404.4, um die Versendung von Klartext über den Datenbus durch Vorrichtung zu verhindern. Klartext bedeutet im Sinne des hier vorgelegten Dokuments, das die versendeten und/oder gespeicherten Daten in einer Form vorliegen, die es erlaubt, dass ein Dritter sich direkt und/oder durch Anwendung statistischer oder sonstiger Methoden unbefugten Zugang zum Inhalt einer Datenbotschaft und/oder von gespeicherten Daten und/oder Programmcode verschaffen kann. Es ist nämlich denkbar, dass auch bei funktionierenden Teilvorrichtungen zufällig eine virtuelle Dauereins oder eine virtuelle Dauernull erzeugt wird. Der Zufall umfasst nämlich auch die Dauernull und die Dauereins. Es ist somit sinnvoll, wenn die maximale Länge einer Bitsequenz ohne Änderung des logischen Zustands am Ausgang 411 der Entropie Extraktion 404.4 auf einen durch den Prozessor 404.11 programmierbaren Wert durch den Watchdog 404.5 begrenzt wird.

Im Wesentlichen kann der vorbeschriebene Quantenzufallszahlengenerator 28 damit folgende Fehler erkennen und durch einen Notlauf mittels eines optionalen, weiteren Pseudozufallszahlengenerators

404.6, also beispielsweise mittels eines optionalen weiteren, linear rückgekoppelten Schieberegisters

4104.6, mit niedrigerem Sicherheitsniveau auffangen:

• Störung von Versorgungsspannungen

• Fehlerhafte Signalerzeugung der Photonenquellen 54 und/oder der Silizium-LEDs 54 und/oder der ersten SPAD-Dioden 54,

• Fehlerhafte Signalerzeugung der Photonendetektoren 55 und/oder der zweiten SPAD-Dioden 55,

• Störung des optionalen Lichtwellenleiters 44,

• Störung der Ankoppelung der Photonenquellen 54 und/oder der Silizium-LEDs 54 und/oder der ersten SPAD-Dioden 54 an den Lichtwellenleiter 44,

• Störung der Ankoppelung der Photonendetektoren 55 und/oder der zweiten SPAD-Dioden 55 an den Lichtwellenleiter 44,

• Schaltungsausfälle im Digitalteil 404 des Quantenzufallszahlengenerators 28,

• Fehlerhafte Entropie der gelieferten Quantenzufallsbits 411. Es ist denkbar, statt des optionalen, zusätzlichen linear rückgekoppelten Schieberegisters 404.6 bzw. des optionalen, zusätzlichen Pseudozufallszahlengenerators 404.6 einen zweiten kompletten Quantenzufallszahlengenerator 28 einzusetzen, dessen Ausgang 411 dessen Entropie Extraktion

404.4 dann der Multiplexer 404.7 anstelle des Signals der optionalen zusätzlichen Pseudozufallssignalleitung 417 für den Notlauf des Quantenzufallszahlengenerators 28 verwendet. Für den Fall, dass der Ausgang des optionalen, zusätzlichen Pseudozufallszahlengenerators 404.6 von einem oder mehreren echten Quantenzufallsbits 411 als Seed 412 abhängt, handelt es sich, solange die Anzahl der eingefügten Bits begrenzt ist, wieder um eine Quantenzufallszahl. Bevorzugt bestimmt der Watchdog 405.5 die Anzahl q der erlaubten, maximal aufeinanderfolgenden Quantenzufallsbits 411 mittels einer Quantenzufallszahl. Umfasst diese Quantenzufallszahl, die der Watchdog 404.5 für die Bestimmung von q verwendet, nur Quantenzufallsbits 411 mit einem einzigen logischen Wert, so besteht die Möglichkeit, dass ein Fehler vorliegt. Die Zahl q sollte dann nicht maximal sein, um eine Versendung oder Speicherung von Klartext zu vermeiden. Vielmehr sollte der Watchdog 404.5 dann die Zahl q sehr klein, bevorzugt minimal wählen.

Figur 10

Fig. 10 zeigt das Flussdiagramm 500 des Entropie Extraktionsverfahrens, das beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ausführt. Das Verfahren sieht vor, zunächst in einem ersten Schritt 501 zwei Werte des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 zu ermitteln und in einem Schieberegister der Entropie Extraktion 404.4 zu speichern. Sind zwei Werte im Schieberegister der Entropie Extraktion 404.4 gespeichert, so vergleicht die der Entropie Extraktion 404.4 diese beiden Werte in einem zweiten Schritt 502. Die beiden Werte im Schieberegister der Entropieextraktion

404.4 umfassen also einen ersten Wert und einen zweiten Wert, die beide der Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 mittels zweier verschiedener Pseudozufallszahlenermittlungen in Abhängigkeit von dem jeweiligen Zeitraum zwischen jeweils zwei Signalpulsen des Ausgangssignals 409 des Komparators 404.2 ermittelt hat. In einem dritten Schritt 503 bewertet die Entropie Extraktion 404.4 die beiden Werte. Ist der erste Wert kleiner als der zweite Wert und die Differenz zwischen Wert 1 und Wert 2 größer als eine Mindestdifferenz e, so setzt die Entropie-Extraktion

404.4 den Wert ihres Ausgangs 411 auf einen ersten logischen Wert. Ist der erste Wert größer als der zweite Wert und die Differenz zwischen dem ersten Wert und dem zweiten Wert größer als die Mindestdifferent e, so setzt die Entropie-Extraktion 404.4 ihren Ausgang auf einen zweiten logischen Wert, der vom ersten logischen Wert verschieden ist. Ist die Differenz zwischen dem ersten Wert und dem zweiten Wert kleiner als die Mindestdifferenz e, so verwirft die Entropieextraktion den ersten Wert und den zweiten Wert. Bevorzugt veranlasst die Entropieextraktion den Watchdog 404.5 in einem solchen Fall einen Fehlerzähler um eine erste Fehlerzählerschrittweite zu erhöhen. Die erste Fehlerzählerschrittweite kann negativ sein. Umgekehrt kann die Entropieextraktion 404.4 den Fehlerzähler des Watchdogs 404.5 um eine zweite Fehlerzählerschrittweite erniedrigen, wenn die Differenz zwischen dem ersten Wert und dem zweiten Wert größer als die Mindestdifferenz e ist. Die zweite Fehlerzählerschrittweite kann gleich der ersten Fehlerzählerschrittweite sein. Typischerweise sind die Vorzeichen der ersten Fehlerzählerschrittweite und der zweiten Fehlerzählerschrittweite gleich. Bevorzugt kann der Prozessor 404.11 die Fehlerzählerschrittweiten und den Startwert des Fehlerzählers und einen Fehlerzählerschwellwert setzen. Kreuzt der Zählerstand des Fehlerzählers den Fehlerzählerschwellwert, so signalisiert der Watchdog 404.5 vorzugsweise mittels eines Interrupts 420 oder einer anderen Signalisierung an den Prozessor 404.11 das Vorliegen eines kritischen Fehlerzustands. Der Prozessor 404.11 startet dann typischerweise ein Selbsttestprogramm, um die verschiedenen Teile des Quantenzufallszahlengenerators 28 zu testen. Bevorzugt kann der Prozessor 404.11 hierzu beispielsweise den Analog-zu-Digital-Wandler 403 in einen Zustand versetzen, in dem der Prozessor 404.11 ein Ausgangsregister des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 mit Testwerten beschreiben kann, die die nachfolgende Signalkette dann wie echte Abtastwerte weiterverarbeitet. Da die Testwerte vorbekannt sind, kann der Prozessor 404.11 die korrekte Reaktion des Restsystems, beispielsweise das Hochzählen des Fehlerzählers im Watchdog 404.5, beobachten und bewerten. Bevorzugt kann der Mikrocontroller 404.11 daher möglichst alle Speicherknoten der Auswerteschaltung 404 bzw. der Steuervorrichtung 4 überwachen und deren logischen Zustand lesen.

Figur 11

Figur 11 zeigt ein beispielhaftes Oszillogramm des Spannungssignals 404 der Entropie Quelle 401. Wie leicht zu erkennen ist, treten erste Spikes 601 mit einer ersten Höhe und zweite Spikes 602 mit einer zweiten Höhe auf. Die Streuung der ersten Höhe der ersten Spikes 601 und die Streuung der zweiten Höhe der zweiten Spikes 602 ist jeweils so gering, dass eine klare Trennung dieser Ereignisse 601, 602 mittels eines beispielhaften Schneidepegels 603 über die Wahl der Konstanten 404.1 möglich ist. Der Schneidepegel 603 entspricht dem Wert den der Prozessort 404.11 mittels der Konstanten 404.1, die vorzugsweise als Register des Prozessors 404.11 ausgeführt ist, einstellt.

Figur 12

Figur 12 zeigt den schematischen Ablauf einer Server-Client-Kommunikation unter Nutzung eines vorschlaggemäßen Quantenzufallszahlengenerators. Dabei soll eine erste Vorrichtung, wie beispielsweise die der Figur 1, als Server über einen Datenbus mit einer zweiten Vorrichtung, wie beispielsweise die der Figur 1, als Client verschlüsselt kommunizieren. Sowohl die erste Vorrichtung als auch die zweite Vorrichtung sollen in einem ersten Beispiel jeweils einen Quantenzufallszahlengenerator 28 umfassen, den der jeweilige erste Prozessor 10-1 des Rechners Ill

(hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) für die Verschlüsselung nutz. Bevorzugt entspricht der Quantenzufallszahlengenerator 28 ganz oder teilweise einer Konstruktion entsprechend einer der Figuren 5 bis 9. Ganz besonders bevorzugt umfassen die Quantenzufallszahlengeneratoren der ersten Vorrichtung und der zweiten Vorrichtung jeweils einen Quantenzufallszahlengenerator 28, der jeweils zumindest eine Photonenquelle 54 bzw. eine SiliziumLED 54 bzw. eine erste SPAD-Diode 54 und jeweils beispielsweise einen Lichtwellenleiter 44 beispielsweise in Form des Oxid-Stapels 44 auf der Halbleiteroberfläche des Halbleitersubstrats 49 und bevorzugt zumindest einen Photonendetektor 55 bzw. eine zweite SPAD-Diode 55 als Empfänger. Dies steigert die Datenrate der erzeugten Quantenzufallsbits 411 und befähigt den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) der jeweiligen Vorrichtung sehr schnell die Schlüssel zu erzeugen und zu tauschen. Die jeweiligen ersten Prozessoren 10-1 der jeweiligen Rechner (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) der jeweiligen Vorrichtungen verschlüsseln ihre wechselseitige Kommunikation bevorzugt mittels eines RSA-Verschlüsselungsverfahrens. Das beispielhafte RSA Verschlüsselungsverfahren ist beispielsweise aus R. L. Rivest, A. Shamir, and L. Adleman, „A Method for Obtaining Digital Signatures and Public-Key Cryptosystems" Communications oft he ACM, Februar 1978, Vol. 21, Nr. 2, Seiten 120 bis 126 bekannt. Die Primzahlen, die der jeweilige erste Prozessor 10-1 des jeweiligen Rechners (hier des jeweiligen beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) der jeweiligen Vorrichtung zur Erzeugung des öffentlichen und des privaten Schlüssels vorzugsweise verwendet, erzeugt bevorzugt der Quantenzufallszahlengenerator 28 QRNG zufällig. Die Kommunikation des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mit dem jeweiligen ersten Prozessor 10- 1 des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client umfasst bevorzugt zum Ersten den Prozess „Server Process", welcher auf dem jeweiligen ersten Prozessor 10-1 des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers, also der ersten Vorrichtung, gestartet wird, und zum Zweiten den Prozess „Client Process", welcher auf dem jeweiligen ersten Prozessor 10-1 des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client, also der zweiten Vorrichtung, gestartet wird. Der jeweilige erste Prozessor 10-1 des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients kommuniziert typischerweise mit dem jeweiligen ersten Prozessor 10-1 des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers über sogenannte Sockets. Dabei handelt es sich um Kommunikationspunkte, welche das jeweilige Betriebssystem des jeweiligen Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) bereitstellt. Bevorzugt stammen die benötigten Funktionen, um eine Kommunikation aufzubauen, beispielsweise aus der Standard C-Library socket. h. Das Folgende erläutert beispielhaft die Kommunikation gemäß Figur 12: Zu Beginn erzeugt sich der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers einen Socket-Descriptor in Schritt 3000. Ein Socket- Descriptor im Sinne des hier vorgelegten Dokuments ist ein Integer ähnlicher File-Handle, den beispielsweise die Standard C Library-Funktion socket() der socket.h Library erzeugt. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers kann diesen Socket-Descriptor in späteren Funktionsaufrufen, die Sockets verwenden, nutzen.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers bindet in Schritt 3010 bevorzugt den Socket-Descriptor an einen Port und eine IP-Adresse. Binden im Sinne dieses Dokuments bedeutet, dass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Standard C-Funktion bind() aus der Standard C-Library socket.h nutzt, um den Port und die IP-Adresse logisch mit dem in Schritt 3000 erzeugten Socket-Descriptor zu verknüpfen. Bei einem Port handelt es sich im Sinne des vorliegenden Dokuments um einen Teil der Netzwerkadresse, der Zuordnung von Datenpaketen zwischen Server- und Client-Programmen ermöglicht. Bei einer IP-Adresse handelt es sich im Sinne des vorliegenden Dokuments um eine Netzwerkadresse, die einen Teilnehmer in einem Netzwerk eindeutig identifizierbar macht.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers geht im nächsten Schritt 3020 in einen passiven Wartezustand 3020 und wartet auf Verbindungsanfragen eines ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) eines Clients. Im Sinne des hier vorgelegten Dokuments ruft bevorzugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers hierzu die Standard C-Funktion I isten() der socker.h Library auf. Die Funktion zeigt an, dass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers bereit ist, dass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) Verbindungsanfragen durch Clients annehmen kann. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) erzeugt eine Warteschlange für ankommende Verbindungsanfragen des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients in einem der Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) oder des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) oder eines anderen Vorrichtungsteils des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2). Stellt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers eine Verbindungsanfrage eines ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) eines Clients fest, so akzeptiert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers diese Verbindungsanfrage des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers stellt dann in einem folgenden Schritt 3030 eine Verbindung zum ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients her 3030. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers stellt eine Verbindungsanfrage des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients dadurch fest, dass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion listen() verlässt. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers akzeptiert die Verbindungsanfrage vorzugsweise durch Aufruf der Standard C-Funktion accept() der socket.h Standard C-Library. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers extrahiert dazu bevorzugt die erste Verbindungsanfrage aus der Warteschlange offener Verbindungsanfragen für den Server und stellt damit dann die Verbindung zum ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients her. Bei Erfolg gibt die Funktion accept() einen Socket- Descriptor des Clients dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) zurück. Ein Socket-Descriptor im Sinne dieses Dokuments ist eine Integer ähnlich File-Handle der Standard C-Library socket.h. Damit besteht dann die Verbindung zwischen dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Besteht eine besagte Verbindung, startet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers bevorzugt in einem folgenden Schritt 3040 eine Funktion keyExchangeServer(). Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers führt dann diese Funktion keyExchange() in diesem Schritt 3040 aus, um dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients seinen öffentlichen Schlüssel zukommen zu lassen. Diese Funktion keyExchangeServer() ist nun jedoch keine Standard C-Funktion. In dieser Funktion erzeugt in diesem Schritt 3040 der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 Q.RNG Quantenzufallszahlen. Die Quantenzufallszahl hat dabei bevorzugt eine Bitbreite n. Hierbei ist n eine positive ganze Zahl einschließlich Null. Diese Zufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers dienen in dem in diesem Dokument vorgestellten Beispiel als Indices für eine Look-Up-Tabelle der ersten 2n Primzahlen. Diese Look-Up-Table befindet sich bevorzugt in einem der Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) oder in einem Speicher von Teilvorrichtungen des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers liest dann die Primzahl entsprechend diesem Index der Quantenzufallszahl des Quantenzufallszahlgenerators 28 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) aus dem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Mittels dieser Primzahlen erzeugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) Server sowohl einen öffentlichen als auch privaten Schlüssel gemäß dem erwähnten RSA- Verschlüsselungsverfahren.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) übermittelt dann über die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und den Datenbus 95 und die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients einen öffentlichen Schlüssel an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Danach wartet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers auf eine Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients über die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und den Datenbus 65 und die Datenschnittstelle 64 des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Bevorzugt umfasst diese Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients einen öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients. Damit übermittelt erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients typischerweise den privaten Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients über die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und den Datenbus 95 und die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Hat der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers den öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients erhalten, so speichert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers diesen öffentlichen Schlüssel in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers.

Anschließend versendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers beispielsweise seinen öffentlichen Schlüssel über seine Datenbusschnittstelle 64 und den Datenbus 65 und die Datenbusschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Damit ist der Server typischerweise für den Austausch verschlüsselter Daten zwischen dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers vorbereitet.

Nach dem nun die Schlüssel ausgetauscht sind, führt im Anschluss der ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers vorzugsweise die Funktion recv() 3050 aus und wartet auf eine verschlüsselte Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients. Empfängt der ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers eine Nachricht, so speichert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers diese verschlüsselte Nachricht vorzugsweise zunächst in einem temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion recv() bevorzugt um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket. h. Die Funktion recv() liest typischerweise ankommende Daten von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client aus dem Schritt 3030 des Verfahrens. Die Funktion recv(), die der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers typischerweise ausführt, speichert die empfangenen Daten typischerweise in dem temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des

Servers. Hat der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers auf diese Weise eine verschlüsselte Nachricht empfangen, so führt bevorzugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) Servers vorzugsweise in einem weiteren Schritt 3060 die Funktion Decrypt() 3060 aus. Diese Funktion Decrypt() ist keine Standard C-Funktion. Die Funktion DecryptQ entschlüsselt in diesem Schritt 3060 im Sinne des hier vorgelegten Dokuments die Nachricht des mittels des in dem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) zwischengespeicherten privaten Schlüssels des Servers aus dem Schritt 3040 gemäß des RSA-Verfahrens. Dadurch entschlüsselt der ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die empfangene verschlüsselte Nachricht des Clients mittels des in dem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) zwischengespeicherten privaten Schlüssels aus dem Schritt 3040 gemäß des RSA-Verfahrens. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers speichert vorzugsweise die dann entschlüsselte Nachricht in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers ab.

Sofern der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers in einem vorgegeben Zeitraum keine Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients erhält springt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers zu dem nun beschriebenen Schritt. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers prüft, ob eine Nachricht an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients versendet werden soll. Typischerweise ist eine solche Nachricht in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers in einem solchen Fall zu Versendung abgelegt. Ggf. kann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers eine solche Nachricht auch von einem anderen Speicher oder System erst vor der Versendung abholen oder übermittelt bekommen. Bevorzugt legt dann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers eine solche Nachricht temporär in einem Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers ab. Falls eine solche zu versendende Nachricht in einem Speicher oder Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers zur Versendung ansteht, führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers vorzugsweise die Funktion Encrypt() in einem weiteren Schritt 3070 aus. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers verschlüsselt in diesem Schritt 3070 in diesem Fall die eigene Nachricht mittels des öffentlichen Schlüssels des Clients aus 3040 gemäß des RSA-Verfahrens. Diese Funktion Encrypt() ist keine Standard C-Funktion. Der Server speichert seine nun verschlüsselte Nachricht in einem temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers ab.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers führt nun die Funktion send() in einem Schritt 3080 aus. In dem Schritt 3080 und sendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers seine im Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) gespeicherte, verschlüsselte Nachricht an den erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client über die Datenbusschnittstelle 64 des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und über den Datenbus 65 und über die Datenschnittstelle 64 des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2). Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion send() um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Die Funktion send() sendet Daten über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Clients aus dem Schritt 3030. Mit dem Ende der Übertragung ist der typische Zyklus beendet.

Danach startet die verschlüsselte Kommunikation für den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers erneut wieder bei Schritt 3040.

Wird die Kommunikation durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients beendet, führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion close() 3090 aus. Bei der Funktion close() handelt es sich um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Durch Ausführen der Funktion close() schließt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die offene Verbindung zu einem Socket, hier dem Socket des Clients, und beendet somit die Kommunikation.

In Analoger Weise führt der schließt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients einen Client Prozess aus.

Zu Beginn des „Client Process" erzeugt sich der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients einen Socket-Descriptor in einem Schritt 3100. Ein Socket-Descriptor im Sinne dieses Dokuments ist wieder eine Integer ähnlich File-Handle den beispielsweise die Standard C Library-Funktion socket() der socket.h Library, den der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients in späteren Funktionsaufrufen, die Sockets nutzen, nutzen kann. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients stellt eine Verbindungsanfrage an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers unter Benutzung des Port und der IP-Adresse, welche in dem Schritt 3010 festgelegt wurden.

Dazu führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients bevorzugt die Standard C-Funktion connect() der Standard C-Library socket.h aus. Diese Funktion stellt eine Verbindung zwischen dem Server-Socket aus dem Schritt 3010 und dem Client-Socket aus dem Schritt 3100 her.

Wurde die Verbindung seitens des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers gemäß Schritt 3030 akzeptiert, so führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion KeyExchangeClient() in einem Schritt 3120 aus. Diese Funktion ist keine Standard C- Funktion. Durch Ausführung dieser Funktion erzeugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels des Quantenzufallszahlengenerators 28 ein oder mehrere QRNG Quantenzufallszahlen. Diese Quantenzufallszahl hat eine Bitbreite n. Hierbei ist n eine positive ganze Zahl einschließlich Null. Diese Zufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients dienen bevorzugt als Indices für eine Look-Up-Tabelle der ersten 2 ⁿ Primzahlen. Mittels dieser Primzahlen oder anderer Primzahlen erzeugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients sowohl einen öffentlichen als auch privaten Schlüssel gemäß RSA-Verschlüsselung (ANGANG). Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients speichert seinen so erzeugten öffentlichen Schlüssel und seinen so erzeugten privaten Schlüssel vorzugsweise in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients. Danach versendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients seinen öffentlichen Schlüssel an den erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers über die Datenschnittstelle 64 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und über den Datenbus 65 und über die Datenschnittstelle 54 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Anschließend wartet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients auf eine Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. In dieser Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers befindet sich typischerweise der öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers.

Im Anschluss führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion EncryptQ 3130 aus. Durch dies Ausführung der Funktion Encrypt() im Schritt 3130 verschlüsselt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients eine eigene Nachricht mittels des öffentlichen Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers aus Schritt 3040 mittels des RSA-Verfahrens. Diese Funktion ist keine Standard C-Funktion. Der Client speichert die verschlüsselte Nachricht in einem temporären Zwischenspeicher ab.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients führt nun die Funktion send() im Schritt 3140 aus und sendet seine verschlüsselte Nachricht an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Server. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion send() um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Durch ausführen der Funktion send() sendet der ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients Daten über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall den Socket-Descriptor des Clients aus 3100.

Im Anschluss führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion recv() 3150 aus. Dabei wartet erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients in dem Schritt 3150 auf eine verschlüsselte Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Empfängt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients eine Nachricht, so speichert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients diese empfangene und typischerweise verschlüsselte Nachricht in einem temporären Zwischenspeicher. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion recv() bevorzugt um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients liest durch Ausführen der Funktion recv() ankommende Daten von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall von dem Socket-Descriptor des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus dem Schritt 3100. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients speichert die gelesenen Daten vorzugsweise in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Hat der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients auf diese Weise eine verschlüsselte Nachricht empfangen, so führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients vorzugsweise die Funktion DecryptQ in einem Schritt 3160 aus. Diese Funktion DeCryptQ ist keine Standard C-Funktion. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients entschlüsselt durch Ausführung der Funktion Decrypt() eine durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients empfangene verschlüsselte Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mittels des privaten Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus dem Schritt 3120 mittels des RSA-Verfahrens. Danach speichert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die so entschlüsselte Nachricht in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients ab.

Danach startet die Kommunikation zwischen dem erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und dem erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients erneut bei Schritt 3120.

Wird die Kommunikation durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients oder den erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers beendet, führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion close() im Schritt 3170 aus. Bei der Funktion close() handelt es sich um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Dadurch dass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion close() ausführt, schließt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die offene Verbindung zu einem Socket und beendet somit die Kommunikation mit dem erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Figur 13

Figur 13 zeigt den schematischen Ablauf der Funktionen KeyExchangeServer() und KeyExchangeClient().

Beim Starten der Funktion KeyExchangeServer() ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers jeweils zuerst die Funktion setPrimes() im Schritt 3200 auf. Diese Funktion KeyExchangeServer() ist keine Standard C-Funktion. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers erzeugt mittels der Funktion KeyExchangeServer() zwei verschieden Primzahlen p und q, das Produkt n=p*q und die Eulersche Phi-Funktion phi = (p-l)(q-l) im Schritt 3200.

Danach ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion setE() im Schritt 3210 auf. Diese Funktion setE() im Schritt 3210 ist keine Standard C-Funktion. Beim Aufruf der Funktion setE() im Schritt 3210 generiert der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers eine zu phi teilerfremde Zahl e, wobei die Zahl phi die aus dem Schritt 3200 ist. Teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die phi teilt.

Im Anschluss führt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion findD() im Schritt 3220 aus. Diese Funktion findD() ist keine Standard C-Funktion. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers berechnet mittels der Funktion findD()das multiplikative Inverse zu e, sodass gilt (e*d)mod phi = 1.

Nun ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion recv() im Schritt 3230 auf. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers wartet nun auf eine eintreffende Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients, die typischerweise den öffentlichen Schlüssel des Clients umfassen sollte. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion recv() um eine Standard C-Funktion der Standard C-Library socket.h. Durch Aufruf der Funktion recv() liest erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die ankommenden Daten von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Client. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers speichert die gelesenen Daten vorzugsweise in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2). Nun ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion send() im Schritt 3240 auf. In diesem Schritt 3240 versendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers seinen öffentlichen Schlüssel (d,n) aus den Schritten 3200 und 3220 an den erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion send() um eine Standard C- Funktion der Standard C-Library socket. h. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers sendet mittels der Funktion send() Daten über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Clients aus dem Schritt 3030.

Im Anschluss verlässt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers die Funktion KeyExchangeServer() im Schritt 3245.

Beim Starten der Funktion KeyExchangeClient() ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client zuerst die Funktion setPrimes() im Schritt 3250 auf. Diese Funktion ist keine Standard C-Funktion. Der der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client erzeugt mittels der Funktion KexExchangeClient(), die Primzahl p und die von q verschiedene Primzahl q. Der der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client erzeugt mittels der Fuktion KexExchangeClient() das Produkt n=p*q. Der der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients erzeugt mittels der Funktion KexExchangeClient() die Eulersche Phi-Funktion phi = (p-l)(q-l).

Danach ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client die Funktion setE() im Schritt 3260 auf. Diese Funktion ist keine Standard C-Funktion. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client erzeugt mittels der Funktion setE() eine zur Zahl phi aus dem Schritt 3250 teilerfremde ganze Zahl e. Teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die phi restfrei teilt.

Im Anschluss ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client die Funktion findD() 3270 auf. Diese Funktion ist keine Standard C- Funktion. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients berechnet mittels der Funktion findD() das multiplikative Inverse zur Zahl e, sodass gilt (e*d)mod phi = 1. Nun ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion send() 3280 auf und versendet seinen öffentlichen Schlüssel (d,n) aus den Schritten 3250 und 3270 an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion send() um eine Standard C-Funktion der Standard C- Library socket.h. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients sendet mittels der Funktion send() Daten über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Clients aus Schritt 3100.

Nun ruft der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion recv() im Schritt 3290 auf. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients wartet nun auf eine eintreffende Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mit dem öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers. Im Sinne des hier vorliegenden Dokuments handelt es sich bei der Funktion recv() um eine Standard C- Funktion der Standard C-Library socket.h. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients liest mittels der Funktion recv()ankommende Daten des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall von dem Socket-Descriptor des Clients aus Schritt 3100, und speichert die Daten in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Im Anschluss verlässt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients die Funktion KeyExchangeClient() im Schritt 3295.

Figur 14

FIG. 14 zeigt schematischen Ablauf der Funktion setPrimes().

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers rufen diese Funktion zur gegebenen Zeit jeweils auf. Ruft einer dieser ersten Prozessoren 10-1 die Funktion setPrimes() auf, so erzeugt sich der aufrufende Prozessor 10-1, in Fall des vorliegenden Dokument der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client, eine Quantenzufallszahl mittels eines Quantenzufallszahlengenerators QRNG 28 im Schritt 3300. Diese Quantenzufallszahl hat eine Bitbreite n. Hierbei ist n eine positive ganze Zahl einschließlich Null. Diese Quantenzufallszahlen dienen in der technischen Lehre des hier vorgelegten Dokuments als Indices für eine Look-Up-Tabelle der ersten 2 ⁿ Primzahlen. Der aufrufende erste Prozessor 10-1 speichert die Primzahl, die durch die Quantenzufallszahl indiziert wird, wird als Variable p ab.

Danach generiert der aufrufende erste Prozessor 10-1 eine weitere Quantenzufallszahl im Schritt 3310 mit der bevorzugten Bitbreite n mittels des Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG. Diese Quantenzufallszahlen dienen dem aufrufenden ersten Prozessor 10-1 bevorzugt wieder als Indices für eine Look-Up-Tabelle der ersten 2 ⁿ Primzahlen. Die Primzahl, die durch die Zufallszahl indiziert wird, speichert der aufrufende erste Prozessor 10-1 als Variable q in einem Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2), dessen Teil der erste Prozessor 10-1 bevorzugt ist, ab.

Nun überprüft der aufrufende erste Prozessor 10-1 im Schritt 3320, ob die logische Aussage q ==p gilt. Gilt diese Aussage wird Schritt 3310 wiederholt.

Im Anschluss berechnet der aufrufende Prozessor 10-1 das Produkt n = p * q im Schritt 3330.

Danach berechnet der aufrufende Prozessort 10-1 die Euler'sche Phi-Funktion phi = (q-1) * (p-1) im Schritt 3340.

Im Anschluss verlässt der aufrufende Prozessor 10-1 die Funktion setPrimes() im Schritt 3350.

Figur 15

Die Figur 15 zeigt den schematischen Ablauf der Funktion setE() 3400. Beim Aufrufen der Funktion setE() im Schritt 3400 generiert der Aufrufende, in Fall des vorliegenden Dokuments der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients, eine zufällige Zahl e für die gilt, dass sie teilerfremd zur Zahl phi ist. Teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die phi teilt. Der aufrufende Prozessor 10-1 kann die Zahl e sowohl durch eine Zufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG als auch durch einen Pseudozufallszahlengenerator PRNG als auch durch Hochiterieren einer Integer-Zahl beginnend mit 2 erzeugen. Die Erzeugung mittels des Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG ist aber bevorzugt. Danach überprüft der aufrufende Prozessor 10-1 im Schritt 3410, ob die logische Aussage gcd(e,phi) 1= 1 erfüllt ist.

Ist die logische Aussage erfüllt, wiederholt der aufrufende Prozessor 10-1 den Schritt 3400.

Ist die logische Aussage nicht erfüllt, so verlässt der aufrufende Prozessor 10-1 die Funktion setE() verlassen und gibt den aktuelle Wert von e als Rückgabewert an den aufrufenden Prozessor 10-1 zurück. Bei der Funktion gcd(a,b) handelt es sich nicht um eine Standard C-Funktion. Der aufrufende Prozessor 10-1 berechnet mittels dieser Funktion gcd(a,b) den größten gemeinsamen Teiler der Übergabeparameter a, b und gibt das Ergebnis an den aufrufenden Prozessor 10-1 zurück.

Figur 16

Figur 16 zeigt den schematischen Ablauf der Funktion findD(). Wenn der aufrufende Prozessor 10-1 die der Funktion findD() im Schritt 3500 aufruft, so initialisiert der aufrufende Prozessor 10-1 im Schritt 3500 eine Variablen d mit 0.

In dem nachfolgenden Schritt 3510 addiert der aufrufende Prozessor 10-1 zu der Zahl d die Zahl 1 hinzu.

Nun überprüft im Schritt 3520 der aufrufende Prozessor 10-1, ob die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 erfüllt ist. Ist die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 nicht erfüllt, so wiederholt der aufrufende Prozessor die Schritte ab Schritt 3510.

Ist die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 erfüllt, so verlässt in dem Schritt 3530 der aufrufende Prozessor 10-1 die Funktion findD()und der aufrufende Prozessor 10-1 gibt den aktuellen Wert von d als Rückgabewert an den aufrufenden Prozessor 10-1, in Fall des vorliegenden Dokument den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients.

Figur 17

Figur 17 zeigt den schematischen Ablauf einer sicheren Übertragung von quantenbasierten Zufallszahlen zwischen einem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) eines Servers 3600 und einem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) eines Client 3610. Im Fall des vorliegenden Dokuments handelt es sich bei dem Server 3600 um einen ersten Prozessor 10-1 eines Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2), wobei der Rechner (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) dieses Servers 3600 einen Quantenzufallszahlengenerator 28 Q.RNG aufweist. Im Fall des vorliegenden Dokuments handelt es sich bei dem Client 3610 um einen weiteren ersten Prozessor 10-1 eines Rechners 2, wobei nun dieser Rechner (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610 KEINEN Quanten-Zufallszahlen-Generator 28 Q.RNG aufweisen soll.

Zu Beginn erzeugt sich der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 Quantenzufallszahlen QZ1. Die Quantenzufallszahlen QZ1 dienen dem ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 als Grundlage für die Erzeugung eines privaten und eines öffentlichen Schlüssels des Servers 3600 gemäß einem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren.

Bei dem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren kann es sich zum Beispiel um das RSA-Verfahren handeln.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 versendet in einem Schritt 3620 des öffentlichen Schlüssels des Servers 3600 über einen nicht abhörsicheren Kanal an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610.

Im Anschluss erzeugt sich der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 eine Pseudozufallszahl PZ oder eine anders erzeugte Zufallszahl. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 speichert die Pseudozufallszahl PZ bzw. die anders erzeugte Zufallszahl in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 ab. Der Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 erzeugt einen ersten privaten Schlüssel des Clients 3610 und einen ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 unter Benutzung dieser Pseudozufallszahl PZ bzw. dieser anders erzeugten Zufallszahl.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 verschlüsselt den ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 mittels des öffentlichen

Schlüssels des Servers 3600. Danach versendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 den verschlüsselten ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 entschlüsselt nun diese Nachricht mit seinem ersten privaten Schlüssel. Hierdurch verfügt nun der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 über den ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 ohne dass dieser Dritten bekannt sein kann.

Im Anschluss Erzeugt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 mittels des Quantenzufallszahlengenerators 28 eine weitere, zweite Quantenzufallszahl QZ2. Die Bitbreite dieser zweiten Quantenzufallszahl ist bevorzugt gleich der Bitbreite, der Zufallszahl PZ des Clients 3610.

Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 verschlüsselt nun die zweite Quantenzufallszahl QZ2 mit dem ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610. Beispielsweise kann der erste öffentliche Schlüssel des Clients 3610 des Clients sein. In dem Fall kann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 die zweite Quantenzufallszahl QZ2 beispielsweise durch bitweise XOR-Verknüpfung der zweiten Quantenzufallszahl QZ2 mit PZ zu einer verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' verschlüsseln. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 versendet dann bevorzugt die verschlüsselte zweite Quantenzufallszahl QZ2' an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610 in einem Schritt 3640.

Der ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610 entschlüsselt die verschlüsselte zweite Quantenzufallszahl QZ2' unter Benutzung seines ersten privaten Schlüssels zur zweiten Quantenzufallszahl QZ2. Hat der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) die zweite verschlüsselte Quantenzufallszahl QZ2' durch bitweise XOR-Verknüpfung der Zufallszahl PZ mit der zweiten Quantenzufallszahl QZ2 ermittelt, so kann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 beispielsweise durch bitweise XOR- Verknüpfung der verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' mit der ihm bekannten Zufallszahl PZ zur zweiten Quantenzufallszahl QZ2 entschlüsseln. Bevorzugt nutzt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 die ihm nun vorliegende zweite Quantenzufallszahl QZ2 als Grundlage für die Erzeugung eines zweiten privaten und eines zweiten öffentlichen Schlüssels gemäß einem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren. Bei dem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren kann es sich zum Beispiel um das RSA-Verfahren (ANHANG) handeln. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 verschickt nun seinen zweiten öffentlichen Schlüssel über den nicht abhörsicheren Kanal an den Server 3600. Hierbei verschlüsselt er bevorzugt diesen zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 mit dem öffentlichen Schlüssel des Servers 3600. Der Server 3600 entschlüsselt den verschlüsselten zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 und verwendet dann diesen zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients für die Verschlüsselung weiterer Nachrichten an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610. Bevorzugt erzeugt und sendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 nach einer vorbestimmten Zeit oder einer nach dem Versenden einer vorbestimmten Datenmenge an den Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 einen neuen öffentlichen Schlüssel auf Basis einer neuen Quantenzufallszahl seines Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG verschlüsselt mit dem zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610. Bevorzugt führen dann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 und der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients das zuvor beschriebene Verfahren erneut durch, sodass die Schlüssel permanent wechseln. Dies macht es auch einem Quantencomputer unmöglich, die Schlüssel zu brechen.

Hierdurch kann nach Austausch dieser Schlüssel die Kommunikation auf Basis des gewählten asymmetrischen Verschlüsselungsverfahrens durchgeführt werden.

Figur 18

Figur 18 zeigt schematisch das vorschlagsgemäße Verfahren 3700 zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl.

Das Verfahren 3700 beginnt mit der Erzeugung 3710 eines zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) mittels einer oder mehrerer Photonenquellen 54 bzw. einer oder mehrerer Silizium-LEDs 54 bzw. einer oder mehrerer erster SPAD-Dioden (54), die vorzugsweise in einem Halbleitermaterial 49 einstückig gefertigt sind. Das Verfahren 3700 setzt sich fort mit der Übertragung 3720 des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) beispielsweise mittels eines vom Halbleitersubstrat (49, 48) verschiedenen Lichtwellenleiters 44 oder mittels des Halbleitersubstrats 49 als Lichtwellenleiter oder mittels direkter Einstrahlung an einen oder mehreren Photonendetektoren 55 bzw. eine oder mehrere zweite SPAD-Dioden 55.

Es folgt in dem Verfahren 3700 die Wandlung 3730 des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) in ein Detektionssignal in Form eines Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401, die bevorzugt die Photonenquellen 54 bzw. die Silizium-LEDs 54 bzw. die ersten SPAD-Dioden 54 und das optische System zur optischen Kopplung und die Photonendetektoren 55 bzw. die zweiten SPAD-Dioden 55 umfasst. Das optische System kann eine direkte optische Kopplung dieser Bauelemente umfassen und/oder einen Lichtwellenleiter 44 umfassen.

Dann folgt in dem Verfahren 3700 das Aufbereiten 3740, insbesondere ein Verstärken und/oder ein Filtern und/oder ein Analog-zu-Digital-Wandeln, des Detektionssignals in ein aufbereitetes Detektionssignal, insbesondere einen digitalen 14 Bit-Wert 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 bzw. eines 1-Bit-Analog-zu-Digitalwandlers.

Dann erfolgt in dem Verfahren 3700 optional das Abtrennen 3750 der durch Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 bzw. einer Silizium-LED 54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und einem Photonendetektor 55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals von den durch spontane Emission entstandenen Pulsen des aufbereiteten Detektionssignals durch Vergleich des aufbereiteten Detektionssignals mit einem Schwellwert, insbesondere in einem Komparator 404.2 und die Erzeugung eines entsprechenden Ausgangssignals 409, insbesondere des Komparators 404.2. Ggf. kann der Analog-zu-Digital-Wandler 403 das Ausgangssignal 409 direkt erzeugen, wenn es sich um einen 1-Bit Analog-zu-Digitalwandler 403 handelt. Insofern ist dieser Schritt 3750 optional und ist daher nur gestrichelt eingezeichnet.

Sodann folgt die Ermittlung 3760 einer ersten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem ersten zeitlichen Abstand zwischen dem ersten Puls und dem zweiten Puls eines ersten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch optische Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 bzw. einer Silizium-LED 54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und eines Photonendetektors 55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals, als ersten Werts des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3.

Sodann folgt die Ermittlung 3765 zweiten ersten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem zweiten zeitlichen Abstand zwischen dem dritten Puls und dem vierten Puls eines zweiten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch optische Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 bzw. einer Silizium-LED 54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und eines Photonendetektors 55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals, als zweiten Werts des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3.

Auf dieser Basis erfolgt dann die Ermittlung 3670 des Bit-Werts eines Quantenzufallsbits 411 durch Vergleich des Werts der ersten Pseudozufallszahl und des Werts der zweiten Pseudozufallszahl.

In einer letzten Überprüfung 3680 überprüfen der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) und/oder eine Finite-State-Machine 404.8, ob die Anzahl n der ermittelten Zufallsbits noch kleiner als die gewünschte Zahl m der Zufallsbits der gewünschten Quantenzufallszahl ist. Sofern dies nicht der Fall ist wiederholen der erste Prozessor 10- 1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) und/oder Finite-State- Machine 404.8 die vorstehenden Schritte 3710 bis 3770. Ansonsten beenden der Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) bzw. die Finite-State-Machine 404.8 den Prozess zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl. Ggf. stellt die Finite-State-Machine 404.8 die Quantenzufallszahl dem Prozessor 10-1 zur Verfügung und signalisiert vorzugsweise dem Prozessor 10-1 diese Verfügbarkeit, beispielsweise durch einen Interrupt über ein Interrupt-Signal 420 oder durch das Setzen eines Flags.

Vorzugsweise steuern der Prozessor 10-1 und/oder die Finite-State-Machine 404.8 diesen Prozess der Erzeugung einer Quantenzufallszahl.

Figur 19

Figur 19 zeigt einen weiteren beispielhaften Vorschlag für einen einstückigen, monolithisch integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise einen Mikrocontroller.

Der beispielhafte einstückige, monolithisch integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise der Mikrocontroller, umfasst hier ein oder mehrere Prozessoren 10-1, 10-2; einen Bus-Arbiter 82; einen internen Datenbus 419; einen Lesespeicher ROM 19; einen flüchtigen Schreib-Lesespeicher RAM 8; einen ersten nicht flüchtigen, mehrfach programmierbaren Speicher NVM 6; einen zweiten nicht flüchtigen, mehrfach programmierbaren Speicher NVM 30; einen ersten nicht flüchtigen, nur einmal programmierbaren Speicher OTP I 20; einen zweiten nicht flüchtigen, nur einmal programmierbaren Speicher OTP II 22; einen Testcontroller 12, insbesondere einen JTAG-Testcontroller; eine Schaltung (Block) 24 zur Deaktivierung von Tests; eine oder mehrere Datenbusschnittstellen 64; einen eng gekoppelten Speicher TCM 14; eine Schnittstelle 32 zu einem von dem integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise von dem Mikrocontroller, kontrollierten System 32; einen Quantenzufallszahlengenerator 28; eine Reset-Schaltung 83; eine analoge Eingangsverarbeitung 84, einen Analog-zu-Digital-Wandler 85; eine digitale Signalverarbeitung 86; einen oder mehrere Digital- zu-Analog-Wandler 87; eine analoge Ausgangsverarbeitung 88; einen oder mehrere Spannungswandler 91;

Der eine Spannungswandler 91 oder die mehreren Spannungswandler 91 erzeugen aus den externen Versorgungsspannungen die notwendigen internen Betriebsspannungen des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers. Da insbesondere die Entropiequelle 401 in der Regel eine größere Betriebsspannung als die von extern bereitgestellten Versorgungsspannungen benötigt, umfasst bevorzugt zumindest einer der Spannungswandler der Spannungswandler 91 eine Ladungspumpe (Englisch Charge Pump) oder dergleichen. Typischerweise umfassen solche Spannungswandler 91 hier DMOS-Transistoren.

Eine analoge Eingangsverarbeitung 84 erfasst ein oder mehrere externe analoge Signale 89 und bereitet diese für die Analog-zu-Digitalwandlung auf. Beispielsweise kann die analoge Eingangsverarbeitung 84 ein oder mehrere Verstärker, Filter, Analog-Addierer, Analogmultiplizierer, Logarithmierer, Exponentierer, Spannungsquellen, Stromquellen und/oder andere analoge Schaltungen zur Anpassung, Verbesserung oder Veränderung der externen analogen Signale 89 umfassen.

Ein Analog-zu-Digital-Wandler 85 kann die dermaßen aufbereiteten externe analoge Signale 89 dann zu einem Datenstrom digitaler Abtastwerte der externen analogen Signale 89 beispielsweise mit einer Abtastfrequenz, die typischerweise von dem Systemtakt 2106 abhängt, wandeln.

Eine digitale Signalverarbeitung 86 kann die digitalisierten und aufbereiteten externen analogen Signale 89 dann mittels Schaltungen, die schaltungsimplementierte Verfahren durchführen, und/oder computerimplementierten Verfahren zu digitalen Ausgangssignalen wandeln. Die digitale Signalverarbeitung 86 kann auch digitale Ausgangssignale neu erzeugen. Typischerweise arbeitet die digitale Signalverarbeitung 86 mit dem Systemtakt 2106. Bei der Erzeugung dieser beiden Ausgangssignalgruppen kann die digitale Signalverarbeitung 86 Quantenzufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28 verwenden. Sofern die digitale Signalverarbeitung 86 beispielsweise ein moduliertes Anregungssignal für einen Sensor erzeugen soll und ein Antwortsignal dieses Sensors als externes analogen Signal 89 nach Aufbereitung und Digitalisierung wieder auswerten soll, ist es beispielsweise in einigen Anwendungsfällen sinnvoll, wenn die digitale Signalverarbeitung 86 eine solche Quantenzufallszahl als Spreizcode für die Erzeugung des Anregungssignals des Sensors verwendet und dann beispielsweise mittels eines Synchrondemodulators diesen Spreizcode im externen analogen Signal 89 sucht und detektiert. Der oder die Digital-zu-Analog-Wandler 87 wandelt die digitalen Ausgangssignale des digitale Signalverarbeitung 86 zu internen analogen Ausgangssignalen.

Die eine analoge Ausgangsverarbeitung 88 bereitet die analogen internen Ausgangssignale zu analogen Ausgangssignalen 90 auf. Beispielsweise kann die analoge Ausgangsverarbeitung 88 Filter, Verstärker und Endstufen umfassen.

Die Rest-Schaltung 83 bringt den integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise den Mikrocontroller, in einen vordefinierten Zustand. Ein solcher Reset kann beispielsweise erfolgen, wenn die Betriebsspannung eingeschaltet wird oder wenn die Betriebsspannung einbricht oder wenn einer der Prozessoren 10-1, 10-2 beispielsweise über den Datenbus 419 oder eine SW-Rest- Signalisierungsleitung einen solchen Rest bei der Reset-Schaltung 83 anfordert oder wenn ein Mittel zur Überwachung der korrekten Funktion des Quantenzufallsgenerators 28 (Watchdog 404.5, Spannungsmonitor 2013) einen Fehler einer vordefinierten Menge von Fehlern detektiert. Dies ermöglicht einen Neustart des Systems.

Der Quantenzufallszahlengenerator 28 weist bevorzugt die hier vorgestellten Merkmale auf. Ganz besonders bevorzugt umfasst der Quantenzufallszahlengenerator 28 einen Zeit-zu- Pseudozufallszahlengenerator 404.3.

Vorzugsweise umfasst der Quantenzufallszahlengenerator 28 Mittel zur Überwachung der korrekten Funktion des Quantenzufallszahlengenerators 28. Solche Mittel können beispielsweise ein Spannungsmonitor 413und/oder ein Watchdog 404.5 sein. Diese Mittel erzeugen typischerweise bei einem Fehler und/oder einem vermuteten Angriff ein Interrupt Signal 420.

Auch andere Schaltungsteile des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, können Interrupts mittels ggf. weiterer Interrupt-Leitungen auslösen. Eine Interrupt-Logik in den Prozessoren steuert das Verhalten der Prozessoren 10-1, 10-2.

Bevorzugt führen die Prozessoren 10-1, 10-2 computerimplementierte Verfahren aus, deren Programmcode sie aus Speichern der Vorrichtung bei der Ausführung abrufen und ausführen. In einem oder mehreren dieser computerimplementierten Verfahren verwenden die Prozessoren 10-1, 10-2 Quantenzufallszahlen des Quantenzufallszahlengenerators 28. Sofern die besagten Mittel des Quantenzufallszahlengenerators 28 zur Überwachung der korrekten Funktion des Quantenzufallszahlengenerators 28 beispielsweise mittels der Interrupt-Leitung 420 einen Fehler des Quantenzufallszahlengenerators 28 signalisieren, führen die Prozessoren 10-1, 10-2 vorzugsweise andere computerimplementierte Ersatzverfahren an Stelle dieser computerimplementierten Verfahren aus oder modifizieren Parameter dieser computerimplementierten Verfahren oder führen diese computerimplementierten Verfahren vorzugsweise zumindest solange der Fehler besteht überhaupt nicht mehr aus.

Die Schaltung (Block) 24 zur Deaktivierung von Tests, hier auch als Deaktivierungsschaltung bezeichnet, ist vorzugsweise in der Lage, den Zugriff von Metakunden der Kunden des Halbleiterherstellers und der Kunden des Halbleiterherstellers und der Analyseabteilung des Halbleiterherstellers des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, auf Schaltungsteile und Inhalte von Speichern des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, zu steuern und zu unterbinden oder zuzulassen. Typischerweise kann die Deaktivierungsschaltung 24 beispielsweise die Aktivierung vorbestimmter Testmodis erlauben oder unterbinden. Hierzu können beispielsweise die Freischaltung von Scanpfaden und der Zugriff auf Speicherinhalte gehören.

Bevorzugt kann der Prozessor 10-1, 10-2 nur einen Teil der Zugriffe durch eine Umkonfiguration der Deaktivierungsschaltung 24 beeinflussen. Somit sind bestimmte Schaltungs- und Speicherbereiche für einen Zugriff nach Prozessoraktivierung durch einen Prozessor 10-1, 10-2 nicht zugänglich. Damit sind diese Schaltungs- und Speicherbereiche gegenüber einer Prozessoraktivierung des Zugriffs geschützt. Es kann vorgesehen sein, dass gar keine Prozessoraktivierung durch einen Prozessor 10-1, 10-2 möglich ist.

Bevorzugt kann die Test-Schnittstelle (JTAG-Schnittstelle) 12 nur einen Teil der Zugriffe durch eine Umkonfiguration der Deaktivierungsschaltung 24 beeinflussen. Somit sind bestimmte Schaltungsund Speicherbereiche für einen Zugriff nach Testcontrolleraktivierung durch e die Test-Schnittstelle (JTAG-Schnittstelle) 12 nicht zugänglich. Damit sind diese Schaltungs- und Speicherbereiche gegenüber einer Testcontrolleraktivierung des Zugriffs geschützt. Es kann vorgesehen sein, dass gar keine Testcontrolleraktivierung durch die Test-Schnittstelle (JTAG-Schnittstelle) 12 möglich ist.

Die Aktivierung von Zugriffen kann beispielsweise durch Einschreiben von Zugriffscodes in den zweiten nicht flüchtigen, nur einmal programmierbaren Speicher OTP II 22 erfolgen.

Der Inhalt des ersten, nicht flüchtigen und nur einmal programmierbaren Speichers OTP I 20 kann beispielsweise kritische Systemparameter (CSPs) umfassen.

Der Inhalt des zweiten, nicht flüchtigen und nur einmal programmierbaren Speichers OTP II 22 kann beispielsweise Zugriffscodes umfassen.

Der erste flüchtige, mehrfach programmierbare Speicher NVM 6 kann ein EEPROM und/oder einen Flash-Speicher oder dergleichen umfassen. Der Speicherinhalt des ersten flüchtigen, mehrfach programmierbaren Speichers NVM 6 kann beispielsweise Datensätze 61 und Signaturen 61 umfassen.

Der flüchtige Schreiblesespeicher RAM 8 kann ein SRAM und/oder ein DRAM oder dergleichen umfassen. Der zweite Prozessor 10-2 soll in der Figur 19 optional sein.

Der Bus-Arbiter 82 regelt den Zugang der Vorrichtungsteile des beispielhaften einstückigen, monolithisch integrierten Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, einen aktiv schreibenden Zugriff auf den internen Datenbus 419 erlangen wollen. In dem Fall der Figur 19 sind dies die beiden Prozessoren 10-1, 10-2.

Die obige Beschreibung erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit und beschränkt diese Offenbarung nicht auf die gezeigten Beispiele. Andere Variationen zu den offengelegten Beispielen können von denjenigen, die über gewöhnliche Fachkenntnisse auf dem Gebiet verfügen, anhand der Zeichnungen, der Offenbarung und der Ansprüche verstanden und ausgeführt werden. Die unbestimmten Artikel "ein" oder "eine" und dessen Flexionen schließen eine Vielzahl nicht aus, während die Erwähnung einer bestimmten Anzahl von Elementen nicht die Möglichkeit ausschließt, dass mehr oder weniger Elemente vorhanden sind. Eine einzige Einheit kann die Funktionen mehrerer in der Offenbarung genannter Elemente erfüllen, und umgekehrt können mehrere Elemente die Funktion einer Einheit erfüllen. Zahlreiche Alternativen, Äquivalente, Variationen und Kombinationen sind möglich, ohne dass der Anwendungsbereich der vorliegenden Offenbarung verlassen wird.

Soweit nichts anders angegeben ist, können sämtliche Merkmale der vorliegenden Erfindung frei miteinander kombiniert werden. Dies betrifft die gesamte hier vorgelegte Schrift. Auch die in der Figurenbeschreibung beschriebenen Merkmale können, soweit nichts Anderes angegeben ist, als Merkmale der Erfindung frei mit den übrigen Merkmalen kombiniert werden. Eine Beschränkung einzelner Merkmale der Ausführungsbeispiele auf die Kombination mit anderen Merkmalen der Ausführungsbeispiele ist dabei ausdrücklich nicht vorgesehen. Außerdem können gegenständliche Merkmale der Vorrichtung umformuliert auch als Verfahrensmerkmale Verwendung finden und Verfahrensmerkmale umformuliert als gegenständliche Merkmale der Vorrichtung. Eine solche Umformulierung ist somit automatisch mit offenbart.

In der vorausgehenden detaillierten Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen verwiesen. Die Beispiele in der Beschreibung und den Zeichnungen sollten als illustrativ betrachtet werden und sind nicht als einschränkend für das beschriebene spezifische Beispiel oder Element zu betrachten. Aus der vorausgehenden Beschreibung und/oder den Zeichnungen und/oder den Ansprüchen können durch Abänderung, Kombination oder Variation bestimmter Elemente mehrere Beispiele abgeleitet werden. Darüber hinaus können Beispiele oder Elemente, die nicht wörtlich beschrieben sind, von einer fachkundigen Person aus der Beschreibung und/oder den Zeichnungen abgeleitet werden.

Figur 20

Figur 20 zeigt eine Vorrichtung ähnlich der Vorrichtung der Figuren 8 und 9. Im Unterschied zu den Figuren 8 und 9 umfasst der Quantenzufallszahlengenerator 28 in der Figur 20 keinen Hochfrequenzverstärker 402 und keinen Analog-Digital-Converter (ADC) 403 mit 14 Bit Breite und keinen Komparator 404.1 und keine Konstante 404.1. Die Vorrichtung der Figur 20 ist dazu geeignet, einen Quantenzufallszahlengenerator 28 zu bilden, bei dem die Photonenquelle 54 und der Photonendetektor 55 elektrisch in Serie geschaltet sind. In dem Fall lassen sich die stimulierten Emissionen nicht mehr vom Dark-Count unterscheiden.

Ein Problem ist, dass die Pulse auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 in der Regel kürzer als die Frequenz des Systemtakts 2106 sind. Dies hat zur Folge, dass eine direkte Abtastung des Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401 mit einer Abtastfrequenz gleich der Frequenz des Systemtakts 2106 nicht mehr die Nyquist-Bedingung erfüllt. Daher ist dem beispielhaften 1-Bit- Analog-Digital-Converter (ADC) 403 eine Pulsverlängerungsschaltung 2023 nachgeschaltet, die einen Puls auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 auf eine zeitliche Länge größer als eine Taktperiode des Systemtakts 2106 verlängert und den erzeugten Puls bevorzugt synchron zum Systemtakt 2106 beendet, sodass der Puls auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 sicher durch ein Nachfolgendes FlipFlop einsynchronisiert werden kann. Das so erzeugte Der Prozessor 10-1, 10-2 kann über den internen Datenbus 419 vorzugsweise auf die Register des Watchdogs 404.5, den Speicher RAM 404.9 bzw. das Fifo 404.9 und das Finish Flag 404.10 zugreifen und diese lesen und soweit erlaubt oder möglich diese beschreiben. Bevorzugt signalisiert das Finish Flag 404.10 über eine nicht eingezeichnete Interrupt-Leitung dem Prozessor 10-1, 10-2, dass eine neue Quantenzufallszahl im RAM/FiFo 404.9 zur Verfügung steht. Bevorzugt löscht ein Lesen des Inhalts des RAMs/FiFos dieses Finish-Flag 404.10 wieder. Um Energie zu sparen, ist es sinnvoll, Vorrichtungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 abzuschalten, wenn das Finish-Flag 404.10 gesetzt ist. Vorzugsweise kann der Prozessor 10-1, 10-2 über den Datenbus 419 auf Vorrichtungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 zugreifen und durch Setzen oder Löschen von Flags in den Registern dieser Vorrichtungsteile bestimmte Teile des Quantenzufallszahlengenerators 28 an- und abschalten. Diese Vorrichtungsteile können beispielsweise sein: Der Spannungsmonitor 419, ein Spannungswandler 91 des Quantenzufallszahlengenerators 28, insbesondere eine Ladungspumpe zur Versorgung der Entropiequelle 401, der ADC 403, die Pulsverlängerungsschaltung 2023, der Zeit-zu- Pseudozufallszahlen-Wandler (TPRC) 404.3, die Entropieextraktion 404.4, die Finite-State-Machine 404.8. Vorzugsweise wertet der Watchdog 404.5 diese Registerbits mit aus und überprüft, ob eine Freigaberegister in seinem Innern einen zulässigen Authentifizierungscode für diese An- oder Abschaltungen aufweist. Die Finite-State-Machine 404.8 wertet bevorzugt diese Flags ebenfalls aus und lässt bevorzugt nur dann die Erzeugung von Quantenzufallszahlen 418 zu, wenn alle Teile des Quantenzufallszahlengenerators 28 arbeiten.

Das einsynchronisiertes Spannungssignal 415 kann dann wie oben beschrieben verarbeitet werden. Hinsichtlich der übrigen Vorrichtungsteile verweist das hier vorgelegte Dokument auf die vorausgehenden Beschreibungen. Figur 21

Figur 21 zeigt ein Beispiel für einen Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler 404.3. Die entscheidende Idee ist hier im Quantenzufallszahlengenerator 28 statt eines Digitalzählers wie im Stand der Technik einen Pseudozufallszahlengenerator 404.3 zu verwenden, der den ersten und den zweiten Wert für die Entropieextraktion 404.4 erzeugt. Die hier vorgelegte Schrift verweist hier auf Figur 18 bezüglich des entsprechenden Prozesses. Der Vorteil ist, dass selbst bei einer erfolgreichen Einprägung einer Störung in das einsynchronisierten Spannungssignal 415, die Zufälligkeit des Quantenzufallsbits 411 nur marginal gestört wird, da der Angreifer ja das Rückkoppelpolynom ebenfalls kennen müsste. Dieses wird aber vorschlagsgemäß ebenfalls zufällig ausgesucht. Gleiches gilt für den Seed-Wert des Pseudozufallszahlengenerators, den der Angreifer ebenfalls ermitteln müsste. Ein weiterer Vorteil eines Pseudozufallszahlengenerators an Stelle eines Zählers ist der geringere Flächenbedarf der Rückkoppellogik eines einfach primitiven Rückkoppelpolynoms gegenüber einem Binärzähler. Ist das linear rückgekoppelte Schieberegister des Pseudozufallszahlengenerators lang genug, so ist jedem Takt zwischen zwei Pulsen des Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401 typischerweise eine eindeutige Pseudozufallszahl zugeordnet. Vorzugsweise startet der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) die Erzeugung einer Pseudozufallszahl durch das Schieberegister des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) mit einem ersten Puls auf dem Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401 und beendet die Erzeugung der Pseudozufallszahl mit einem nachfolgenden zweiten Puls auf der Spannungssignals 405 der Entropie Quelle 401.

Um Abgriffe weiter zu erschweren, ist es sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 das Rückkoppelpolynom des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl m von Zufallsquantenbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Zufallsquantenbits 411 ändert.

Folgende einfach Primitiven Rückkoppelpolynome sind beispielsweise aus der Literatur beispielsweise bekannt:

Wie leicht zu erkennen ist, ist die Anzahl der XNOR-Verknüpfungen sehr beschränkt, was die linear rückgekoppelten Schieberegister sehr schnell macht. Die längste aufgeführte Kette hat eine Länge von 2 ¹⁶⁸ -1 Takten bei einer Schieberegisterlänge von n=168 Schieberegisterbits. Bei einem GHz=10 ⁹ Hz dauert eine Periode 2 ¹⁵⁹ Sekunden oder anders ca. 2 ¹⁵³ Minuten oder anders ca. 2 ¹⁴⁷ Stunden oder anders ca. 2 ¹⁴² Tage oder anders (schon sehr grob) ca. 2 ¹³¹ Jahre. Offensichtlich dauert es zu lange, um das Problem in endlicher Zeit mit einem normalen Computer zu lösen. Die in Kombination mit einem permanenten Quantenzufallszahlenschlüsselwechsel macht es einem Angreifer fast unmöglich, die entsprechende Barriere zu brechen. Um ein brechen des Schutzes des Quantenzufallszahlengenerators 28 zu verhindern, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 die Schieberegisterlänge n des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl k von Zufallsquantenbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Zufallsbits ändert. Hierzu ist es sinnvoll, wenn der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) oder ein Prozessor (10-1, 10-2) den Wert des Rückkoppelpolynom- Auswahlregisters 2112 zu diesem Zweck neu beschreibt. Der in dem Rückkoppelpolynom- Auswahlregister 2112 gespeicherte Wert steuert bevorzugt den Rückkoppelmultiplexer 2102 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Damit selektiert der in dem Rückkoppelpolynom- Auswahlregister 2112 gespeicherte Wert vorzugsweise, welches Rückkoppelpolynom der m Rückkoppelpolynom-Schaltungen RKNi bis RKN _m den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) bestimmt. Vorzugsweise verhindern mittels einer Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung die Weitergabe eines erzeugten Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8, wenn dieses Zufallsbit 411 für das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 verwendet wird. Dies verhindert eine Doppelnutzung und erhöht somit die Sicherheit. Stattdessen verwenden bevorzugt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung dieses Zufallsbit 411 für die Erzeugung eines Zufallsdatenworts zur Einspeicherung in das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112. Dies hat den Vorteil, dass das durch das Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112 ausgewählte Rückkoppelpolynom der m Rückkoppelpolynom-Schaltungen RKNi bis RKN _m vollkommen zufällig ist. Damit ist es einem Angreifer nicht mehr möglich, einen deterministischen Bitdatenstrom an Stelle des Datenbitstroms der Quantenzufallsbits 411 einzuspeisen und zwar auch dann, wenn ein Angriff auf die Entropiequelle 401 erfolgreich ist.

Um den vorgeschlagenen mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 weiter zu härten, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 den Start-Wert (Seed- Wert) des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Pseudozufallszahlengenerators des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl p von Zufallsquantenbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Zufallsbits ändert. Hierzu ist es sinnvoll, wenn der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) oder ein Prozessor (10-1, 10-2) den Wert eines Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu diesem Zweck mit Zufallsbits neu beschreibt. Die Bitbreite des eines Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) entspricht bevorzugt der Zahl n der Schieberegisterbits SBi bis SB _n des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Der Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zählt bevorzugt die Anzahl der erfolgreich erzeugten Quantenzufallsbits 411. Vorzugsweise signalisiert die Finite-State-Machine 404.8 dem Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu diesem Zweck die Erzeugung eines gültigen Zufallsbits. Statt der Zählung der gültigen Quantenzufallsbits 411 ist auch die Zählung der erfolgreich erzeugten Zufallsdatenworte 418 in der Finite-State-Machine 404.8 möglich. Der Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) lädt bevorzugt den neuen Seed-Wert des eines Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 bei einer oder mehreren der nachfolgenden Ereignisse in die Schieberegisterbits SBi bis SB _n des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC)

• bei Erreichen einer vorbestimmten Anzahl erfolgreich erzeugter Quantenzufallsbits 411 und/oder

• bei Erreichen einer vorbestimmten Anzahl erfolgreich erzeugter Zufallsdatenworte 418 und/oder

• bei Änderung des Werts des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) und damit des ausgewählten Rückkoppelpolynoms der m Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC).

Dies Verhindert zuverlässig jede Art von Vorhersagbarkeit.

Bevorzugt sind die Schaltungsteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 mit einer Metallschicht 142, 53 abgedeckt, um jede Einflussnahme durch Temperatur oder elektromagnetische Strahlung oder elektrostatische Felder oder magnetische Felder abzuwehren. Bevorzugt umfasst die Metallschicht auch eine weichmagnetische Schicht zur Abwehr von Angriffsversuchen mittels magnetischer Felder.

Vorzugsweise verhindern mittels einer Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung die Weitergabe eines erzeugten Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8, wenn dieses Zufallsbit 411 für das Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 im Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandler 404.3 (TPRC) verwendet wird. Dies verhindert eine Doppelnutzung und erhöht somit die Sicherheit. Stattdessen verwenden bevorzugt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung dieses Zufallsbit 411 für die Erzeugung eines Zufallsdatenworts zur Einspeicherung in das Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103. Dies hat den Vorteil, dass der durch das

Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 ausgewählte Seed-Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n vollkommen zufällig ist. Da ein linear rückgekoppeltes Schieberegister bei Verwendung von einfach primitivem Rückkoppelpolynomen zwei Zyklen aufweist, von denen einer nur einen Schieberegisterwert umfasst, muss dieser eine ein-zyklige Schieberegisterwert verhindert werden. Entsprich zufällig Nachladewert des Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 dem ein-zykligen Seed- Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters mit dem aktuellen Rückkoppelpolynom oder dem als nächstes vorgesehenen Rückkoppelpolynom, so Erzeugen der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung einen neuen zufälligen Nachladewert im Seed-Nachladeregister des Schieberegistercontrollers 2103.

Bevorzugt sind die m Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m so ausgewählt, dass die ein-zykligen Seed- Werte gleich sind. Dies reduziert den Aufwand für die Detektion des ein-zykligen- Schieberegisterwerts, da dann dieser nicht mehr von dem ausgewählten Rückkoppelpolynom der Rückkoppelpolynome RKNi bis RKN _m abhängt. Ohnehin ist zu empfehlen, dass der Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) im Falle der Verwendung linearrückgekoppelter Schieberegister eine Detektionsschaltung 2113 zur Detektion eines illegalen Werts des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n umfasst. Befindet sich der Zustandsvektor der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n in einem solchen illegalen Zustand, so signalisiert vorzugsweise der Detektor 2113 diesen illegalen Zustand an den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einer der Prozessoren (10-1, 10-2) oder eine andere Vorrichtung. Der Detektor 2113 oder der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder der Prozessor (10-1, 10-2) oder die andere Vorrichtung setzen dann den Wert des Zustandswerts des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n auf einen vorbestimmten Wert und/oder den Wert des Seed-Nachladeregisters im Schieberegistercontroller 2103 zurück. Bevorzugt sind diese Nachladewerte von dem ein-zykligen Schieberegisterwert verschieden. Dies geschieht bevorzugt auch, wenn der Watchdog 404.5 und/oder der Spannungsmonitor 413eine Störung oder einen vermuteten oder möglichen Angriff detektieren. Bevorzugt zählt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) die Anzahl dieser Störungen. Vorzugsweise reduziert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) diesen Zählerwert wieder in Abhängigkeit von der Anzahl erfolgreich insbesondere seit der letzten Störung erzeugter Zufallsquantenbits 411 und/oder Zufallsdatenworte 418. Überschreitet diese Anzahl und/oder die Ereignisdichte solcher Ereignisse eine bestimmte vorgegebene zeitliche Dichte und/oder einen bestimmten Zahlenwert, so signalisiert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise an den Watchdog 404.5 und/oder einen Prozessor (10-1, 10-2) einen Defekt des Quantenzufallszahlengenerators 28 oder einen erfolgreichen Angriff auf den Quantenzufallszahlengenerator 28. Typischerweise signalisiert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) der Finite-State- Machine 404.8 dann dass keine Zufallszahlen mehr erzeugt werden dürfen. Vorzugsweise muss ein Prozessor (10-1, 10-2) dann den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) mittels eines vorbestimmten Reaktivierungs-Kode-Worts reaktivieren. Der Prozessor (10-1, 10-2) schreibt dieses Reaktivierungs-Kode-Wort dann über den interner Datenbus 419 des Quantenzufallszahlengenerators 28 in ein spezielles Reaktivierungsregister des Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), was den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) und den Quantenzufallszahlengenerator 28 reaktiviert und vorzugsweise alle Fehlerzähler zurücksetzt. Vorzugsweise ist die Zahl der möglichen Reaktivierungen begrenzt. Ist die Maximalzahl der Reaktivierungen überschritten, so kann der Quantenzufallszahlengenerator 28 bevorzugt nicht mehr reaktiviert werden. Vorzugsweise kann der Zähler für die Reaktivierungen des der Quantenzufallszahlengenerators 28 mittels eines besonderen Rücksetzbefehls zurückgesetzt werden bevor dieser Maximalwert erreicht ist. Bevorzugt gibt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 oder eine andere Vorrichtung des Quantenzufallszahlengenerators 28 vor Erreichen dieses Blockierungsgrenze eine Warnung heraus.

Beim Start des Quantenzufallszahlengenerators 28 trägt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als erstes dafür Sorge, dass der der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) mittels eines vorbestimmten Seed-Werts und eines vorbestimmten Werts des Rückkoppelpolynom- Auswahlregisters 2112 zuerst einen neuen Seed-Wert auf Basis von Quantenzufallszahlen 411 und einen neuen Wert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 auf Basis von Quantenzufallszahlen aus Quantenzufallsbits 411 bestimmt. Erst wenn der Seed-Wert und der Wert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 auf Quantenzufallszahlen beruhen, ist die Initialisierungsphase des Quantenzufallszahlengenerators 28 abgeschlossen und der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) signalisiert der Finite-State-Machine 404.8, dass sie die Quantenzufallsbits 411 und die Quantenzufallsdatenwörter 418 (Quantenzufallszahlen) verwenden und weitergeben darf. Bevorzugt signalisiert die Finite-State- Machine 404.8 diesen Umstand an einen oder mehrere Prozessoren (10-1, 10-2). Dies hat den Vorteil, dass die Vorrichtung nur mit vollem Schutz erzeugte Quantenzufallszahlen 418 erzeugt.

Durch die Verwendung eines Zeit-zu-Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) ist es einem

Angreifer nicht mehr möglich, einen deterministischen Bitdatenstrom an Stelle des Datenbitstroms der Quantenzufallsbits 411 einzuspeisen und zwar auch dann, wenn ein Angriff auf die Entropiequelle 401 tatsächlich aus welchen Gründen auch immer erfolgreich ist.

Um dies zu verhindern, ist es auch sinnvoll, wenn beispielsweise der Quantenzufallszahlengenerator 28 diese Zahl m nach der vollständigen Bestimmung einer Anzahl m von Quantenzufallsbits 411 in Abhängigkeit von einem oder mehreren zuvor bestimmten Zufallsbits ändert.

Vorzugsweise gibt die Finite-State-Machine 404.8 des Quantenzufallszahlengenerator 28 diese bereits benutzten Quantenzufallsbits 411 nicht aus und verwendet sie nicht für die Erzeugung von Quantenzufallsdatenworten 418.

Die Methode der Logikextraktion umfasst darüber hinaus drei Grenzfälle, die im Folgenden beschrieben werden.

Typischerweise verwendet der Zeit-zu-Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als Wert des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Ggf. kann ein Pufferverstärker vorgesehen sein, der den logischen Wert der

Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) erfasst und als Wert des Ausgangs 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ausgibt.

Die Entropie-Extraktion 404.4 vergleicht nun zwei verschiedene, von dem Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandler 404.3 (TPRC) erzeugte Pseudozufallszahlen aus dem Ausgang 410 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3, eine erste Pseudozufallszahl 410.1 und eine zweite Pseudozufallszahl 410.2, miteinander.

Sind die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2 gleich, so verwirft die Entropie-Extraktion 404.4 eine der beiden Pseudozufallszahl, die erste Pseudozufallszahl 410.1 oder die zweite Quantenzufallszahl 410.2, und ersetzt diese durch eine neue Pseudozufallszahl 410.3 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt zählt die Entropie-Extraktion 404.4 mittels eines Zählers die Ereignisse, bei denen die beiden Pseudozufallszahl, die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2, gleich sind und erhöht mit jedem solchen Ereignis den Zähler um eine erste Zählerschrittweite. Bevorzugt zählt die Entropie-Extraktion 404.4 mittels dieses Zählers auch die Ereignisse, bei denen die beiden Pseudozufallszahlen, die erste Pseudozufallszahl 410.1 und die zweite Pseudozufallszahl 410.2, ungleich sind und erniedrigt mit jedem solchen Ereignis den Zähler um eine zweite Zählerschrittweite, wobei bevorzugt der Wert 0 nicht unterschritten wird. Bevorzugt ist die zweite Zählerschrittweite betragsmäßig kleiner als die erste Zählerschrittweite des Zählers in der Entropie-Extraktion 404.4. Sofern der Wert dieses Zählers einen vorbestimmten Wert überschreitet, geht die Steuervorrichtung der Entropie-Extraktion 404.4 von einem Defekt des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aus. Bevorzugt signalisiert die Steuervorrichtung der Entropie-Extraktion 404.4 dann einem Prozessor (10-1, 10-2) einen Defekt des Quantenzufallszahlengenerators 28 bzw. einen erfolgreichen Angriff auf den Quantenzufallszahlengenerator 28. Vorzugsweise signalisiert dann die Entropie-Extraktion 404.4 der Finite-State-Machine keine erfolgreiche Erzeugung eines Quantenzufallsbits 411 mehr, sodass die Finite-State-Machine 404.8 keine erfolgreiche Quantenzufallszahlenerzeugung mehr an einen Prozessor (10-1, 10-2) melden kann und keine Quantenzufallszahlen 418 mehr erzeugt.

Sofern die erste Pseudozufallszahl 410.1 kleiner als die zweite Pseudozufallszahl 410.2 ist, erzeugt die Entropie-Extraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit eines ersten logischen Werts, beispielsweise eine logische ,1' und signalisiert die erfolgreiche Erzeugung an die Finite-State-Machine 404.8.

Sofern die erste Pseudozufallszahl 410.1 größer als die zweite Pseudozufallszahl 410.2 ist, erzeugt die Entropie-Extraktion 404.4 ein Quantenzufallsbit eines zweiten logischen Werts, beispielsweise eine logische ,0', der von dem ersten logischen Wert verschieden ist, und signalisiert die erfolgreiche Erzeugung an die Finite-State-Machine 404.8.

Die Finite-State-Machine wandelt die erfolgreich erzeugten Quantenzufallsbits 411 in Quantenzufallsdatenworte 418, die jeweils eine Quantenzufallszahl repräsentieren und stellt diese über ein RAM oder ein FIFO 404.9 den Prozessoren (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 419 zur Verfügung. Die Finite-State-Machine 404.8 signalisier bevorzugt einem oder mehreren Prozessoren (10-1, 10-2) die Bereitstellung einer oder mehrerer Quantenzufallszahlen.

Ein Problem kann ein Jitter des Systemtakts 2106 sein. Durch die Verwendung eines Zeit-zu- Pseudozufallszahlengenerators 404.3 (TPRC) wird eine monofrequente oder sonst wie systematische Störung des Systemtakts 2106 im Spektrum mit einem zufälligen Spreizkode gespreizt, sodass eine Detektion für einen Angreifer schwierig, wenn nicht unmöglich wird.

Dies Erschwert die Angreifbarkeit des Quantenzufallszahlengenerators 28 weiter.

Durch die Verwendung von Quantenzufallszahlen aus Quantenzufallsbits 411 für den Seed-Wert des linear rückgekoppelten Schieberegisters des Zeit-zu-Pseudozufallszahlenwandlers und einer Quantenzufallszahl für die Auswahl des einfachprimitiven Rückkoppelpolynoms ist das Verhalten des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.2 (TPRC) selbst auf einem Zufalls-Niveau einer Quantenzufallszahl. Durch den regelmäßigen Wechsel dieser Werte, wird einem Angreifer die Beeinflussung der erzeugten Quantenzufallszahlen weiter erschwert. Demnach erreicht der vorschlagsgemäße Quantenzufallszahlengenerator 28 also alle genannten Ziele.

Insbesondere wird mit dem Vorschlag das Ziel erreicht, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der es ermöglicht, ein hohes Maß an Entropie zu garantieren, so dass er zumindest die vom NIST definierten statistischen Tests besteht.

Es ist ferner Aufgabe des Vorschlags, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der es ermöglicht, eine hohe Bitrate bei der Erzeugung von Zufallsfolgen von Quantenzufallsbits 411 und/oder Quantenzufallsdatenworten 418 zu erreichen.

Es ist ferner Aufgabe des Vorschlags, einen einstückigen, mikrointegrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der im Vergleich zu den Quantenzufallszahlengeneratoren des Standes der Technik eine kompaktere, robustere und weniger komplexe und vor allem mikrointegrierte und CMOS kompatible Struktur aufweist, die eine einstückige Fertigung und die Ko-Integration in konventionelle Systeme wie Speicher (wie DRAMS, SRAMS, Flash-Speicher und dergleichen) oder Prozessoren (Mikroprozessoren und/oder Mikrocontroller und/oder SoCs mittels einem Prozessor auf dem IC) erlaubt.

Auch hier erreicht der Vorschlag das Ziel, einen Quantenzufallszahlengenerator 28 mit einem hohen Maß an Sicherheit gegen jeden Versuch, seine internen Komponenten zu manipulieren, bereitzustellen. Insbesondere verhindert die Verwendung eines Zeit-zu- Pseudozufallszahlengenerators 1004.3 (TRNG) die Auswertbarkeit erfolgreicher Angriffe auf die Entropiequelle 401. Des Weiteren ermöglichen die vielen Tests eine sichere Erkennung eines Angriffs auf den Quantenzufallszahlengenerator 28 und verhindern damit die Verwendung manipulierter Zahlen als vermeintlich sichere Quantenzufallszahlen.

Schließlich wird mit dem Vorschlag auch das Ziel erreicht, einen Quantenzufallszahlengenerator 28 bereitzustellen, der insbesondere durch die Fähigkeit der Ko-Integrierbarkeit in CMOS-Schaltkreise wirtschaftlicher ist als die Generatoren des bekannten Standes der Technik.

Figur 22

Das in Figur 22 dargestellte Diagramm stellt die Erfassung der Pulse (2201, 2202, 2203, 2204) auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401 dar. Die Entropiequelle 401 umfasst bevorzugt die eine oder die mehreren Photonenquellen 54 bzw. die eine oder die mehreren Silizium-LEDs 54 bzw. die eine oder die mehreren SPAD-Dioden 54 und die Lichtübertragungsstrecke 44 zwischen diesen. Die Entropiequelle 401 ist vorzugsweise in bzw. auf dem Halbleitersubstrat 49 gefertigt und damit vorzugsweise Teil der mikrointegrierten Schaltung des Quantenzufallszahlengenerators 28. Das Ausgangssignal 405 der Entropiequelle 401 ist typischerweise das besagte Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401. Das Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401 ist bevorzugt das Signal eines oder mehrerer Photonendetektoren 55 bzw. einer oder mehrerer zweiten SPAD-Dioden 55 der Entropiequelle 401.

Das Spannungssignal 405 zeigt beispielhafte Pulse 2201, 2202, 2203, 2104 für zufällige Ereignisse des Spannungssignals 405. Die können spontane Spannungspulse des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 sein, die nicht mit der Aktivität der Photonenquelle 54 bzw. der Silizium-LED54 bzw. der ersten SPAD-Diode 54 der Entropiequelle 401 Zusammenhängen. Die Pulse 2201, 2202, 2203, 2204 des Photonendetektors 55 bzw. der zweiten SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 können aber auch auf stimulierter Emission beruhen, die die Detektion eines Photons der einen oder der mehreren Photonenquellen 54 bzw. der eine oder der mehreren SiliziumLEDs 54 bzw. der eine oder der mehreren SPAD-Dioden 54 durch den Photonendetektor 55 bzw. durch die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 hervorruft.

Der zeitliche Abstand ist zufällig. Allerdings entsteht nach dem Empfang eines Photons durch den Photonendetektor 55 bzw. durch die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 eine Totzeit, in der der Photonendetektor 55 bzw. die zweite SPAD-Diode 55 der Entropiequelle 401 nicht mehr empfangsfähig ist. Überschreitet der Betrag des Spannungssignal 405 der Entropiequelle 401 einen Schwellwert 2105, so erzeugt ein Analog-zu-Digitalwandler (ADC, 403), hier ein beispielhafter Ein-Bit- Analog-zu-Digitalwandler 403,

Pulsverlängerungsschaltung, die vorzugsweise Teil der einstückigen mikroelektronischen Schaltung ist, auf einem einsynchronisierten Spannungssignal 415 einen Puls mit einer Mindestlänge von n Takten eines Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28, der vorzugsweise einer der Systemtakte der einstückigen mikrointegrierten Schaltung ist.

In dem Beispiel der Figur 22 ist die Pulsverlängerungsschaltung 2023 beispielsweise so konstruiert, dass sie für mindestens drei nachfolgende Takte des Systemtakts 2106 auf einen ersten logischen Pegel geht und dann bis zum nächsten Ereignis auf dem zweiten logischen Pegel hier beispielhaft mit der fallenden Flanke des dritten Taktpulses zurückfällt. Statt drei Taktpulsen können a bis n Taktpulse verwendet werden, wobei eine ganze positive Zahl größer 0 ist.

In dem Beispiel der Figur 22 stellen die fallenden Flanken der Pulse 2211, 2212, 2213, 2214 des einsynchronisierten Spannungssignal 415 die einsynchronisierten Signale der Entropiequelle 401 dar. Mit einer fallenden Flanke eines ersten Pulses 2211 des einsynchronisierten Spannungssignals 415 setzt der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) einen Pseudozufallszahlengenerator beispielsweise auf einen vordefinierten Seed-Wert zurück. Beispielsweise kann der Pseudozufallszahlengenerator des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) ein rückgekoppeltes Schieberegister sein, dass mit jedem Takt des Systemtakts 2106 seine Werte um eine Stelle nach links oder rechts je nach Konstruktion verschiebt und in das freiwerdende Bit den Rückkoppelwert des Rückkoppelpolynoms zurückspeist.

Wichtig ist, dass beginnend mit dem Startwert des Pseudozufallszahlengenerators (Seed-Wert) jedem Takt des Systemtakts 2106 ab der fallenden Flanke genau eine Pseudozufallszahl des Pseudozufallszahlengenerators bijektiv zugeordnet ist. D.h. aus dem Wert der Pseudozufallszahl muss auf die zeitliche Position des betreffenden Takts des Systemtaktes 2106 nach der fallenden Flanke des einsynchronisierten Spannungssignal 415 geschlossen werden können.

Mit der nächsten fallenden Flanke des zweiten Pulses 2212 einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt ein erstes Pseudozufallszahlenregister den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wieder auf den vordefinierten Seed-Wert zurück.

Mit der nächsten fallenden Flanke des dritten Pulses 2213 einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt ein zweites Pseudozufallszahlenregister den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wieder auf den vordefinierten Seed-Wert zurück. Die Entropieextraktion 401 vergleicht den Wert in dem ersten Pseudozufallszahlenregister mit dem Wert in dem zweiten Pseudozufallszahlenregister. Ist der erste Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein Zufallsbit mit einem ersten logischen Pegel erzeugen. Ist der zweite Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein Zufallsbit mit einem zweiten logischen Pegel erzeugen, der vom ersten Pegel verschieden ist.

Mit der nächsten fallenden Flanke des vierten Pulses 2214 des einsynchronisierten Spannungssignal 415 übernimmt das erste Pseudozufallszahlenregister den bisherigen Wert des ein zweites Pseudozufallszahlenregister und das zweite Pseudozufallszahlenregister übernimmt stattdessen wiederum den letzten Stand des Pseudozufallszahlengenerators und der Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandler (TPRC) setzt den Pseudozufallszahlengenerator vorzugsweise wiederum auf den vordefinierten Seed-Wert zurück. Die Entropieextraktion 401 vergleicht dann wieder den Wert in dem ersten Pseudozufallszahlenregister mit dem Wert in dem zweiten Pseudozufallszahlenregister. Ist der erste Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein weiteres neues und hier zweites Quantenzufallsbit 411 mit einem ersten logischen Pegel erzeugen. Ist der zweite Wert im ersten Pseudozufallszahlenregister größer als der zweite Wert im zweiten Pseudozufallszahlenregister, so kann beispielsweise die Entropieextraktion 404.4 ein weiteres neues und hier zweites Quantenzufallsbit 411 mit einem zweiten logischen Pegel erzeugen, der vom ersten Pegel verschieden ist.

Auf diese Weise kann der Quantenzufallszahlengenerator 28 diesen Prozess der Quantenzufallsbiterzeugung fortsetzen und so einen kontinuierlichen, allerdings mit einem Phasenrauschen versehenen Strom von Quantenzufallsbits 411 erzeugen.

Figur 23

Figur 23 zeigt einen beispielhaften Spannungswandler 91 zur Versorgung der Entropiequelle 411 mit einer ausreichenden Betriebsspannung der Versorgungsspannungsleitung V _E NT der Entropiequelle 411 gegenüber der Bezugspotenzialleitung GND auf dem Bezugspotenzial. Der Spannungswandler 91 entspricht dem der Figur 20. Insofern ist die Figur 23 ein Ausschnitt der Figur 20, wobei nur die wesentlichsten Teile zur besseren Klarheit dargestellt sind.

Der Spannungswandler 91 der Figur 23 ist nur ein Beispiel von mehreren möglichen Spannungswandler-Konstruktionen. Der Spannungswandler soll nur als Beispiel für die Erläuterung des möglichen Einsatzes von DMOS-Transistoren in einem vorschlagsgemäßen Quantenzufallszahlengenerator 28 bzw. einer integrierten Schaltung 2, beispielsweise eines Mikrocontrollers, mit einem solchen Quantenzufallszahlengenerator 28 sein.

Der Spannungswandler 91 der Figur 23 umfasst eine erste Halbbrücke. In dem Beispiel der Figur 23 versorgen die Bezugspotenzialleitung GND und die positive Versorgungsspannungsleitung VDD den Spannungswandler zur Versorgung der Entropiequelle 411 mit einer ausreichenden Betriebsspannung der Versorgungsspannungsleitung V _E NT der Entropiequelle 411 gegenüber der Bezugspotenzialleitung GND auf dem Bezugspotenzial mit elektrischer Energie.

Die erste Halbbrücke des beispielhaften Spannungswandlers 91 ist in dem Beispiel der Figur 23 zwischen die die Bezugspotenzialleitung GND und die positive Versorgungsspannungsleitung VDD geschaltet. Die erste Halbbrücke des beispielhaften Spannungswandlers 91 der Figur 23 umfasst den High-Side- Transistor 2301 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 und den Low- Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411.

Die der zweite High-Side-Transistor 2303 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 ist mit der positiven Versorgungsspannungsleitung VDD elektrisch verbunden.

Die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 steuert über den Steuerkontakt (Gate) 2311 des High-Side-Transistors 2301 der ersten Halbbrücke den High-Side-Transistor 2301 der ersten Halbbrücke.

Die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 steuert über den Steuerkontakt (Gate) 2312 des Low-Side-Transistors 2302 der ersten Halbbrücke den Low-Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke.

Der Steuerkontakt (Gate) 2311 des zweiten High-Side-Transistors 2303 ist mit dem Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe elektrisch verbunden. Dadurch bildet der High-Side-Transistor 2303 der zweiten Halbbrücke eine MOS-Diode, die leitend wird, wenn das Potenzial des Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe unter das positive Potenzial der positiven Versorgungsspannungsleitung VDD minus der Threshold-Spannung des zweiten High-Side-Transistors 2303 fällt. Der zweite High-Side- Transistors 2303 lädt dann den ersten Energiespeicher, hier ein erster Kondensator 2306.

Der erste Kondensator 2306 ist in dem Beispiel der Figur 23 mit seinem zweiten Anschluss des ersten Kondensators 2306 mit dem Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe elektrisch verbunden. Der erste Kondensator 2306 ist in dem Beispiel der Figur 23 mit seinem ersten Anschluss des ersten Kondensators 2306 mit dem Ausgangsknoten 2320 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe elektrisch verbunden.

Die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 sperrt zu Beginn den High-Side-Transistor 2301 der ersten Halbbrücke und den Low-Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke.

Ein Transfer-Transistor 2305 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 ist in dem Beispiel der Figur 23 zwischen dem Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe und der positiven Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 geschaltet. In dem Beispiel der Figur 23 ist der Transfer-Transistor 2305 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 als MOS-Diode verschaltet. Dadurch bildet der Transfer-Transistor 2305 eine MOS-Diode, die leitend wird, wenn das Potenzial des Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe unter das positive Potenzial der positiven Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 minus der Threshold-Spannung des Transfer-Transistors 2305 fällt. Der Transfer-Transistor 2305 lädt dann den zweiten Energiespeicher, hier ein zweiter Kondensator 2307.

Der zweite Kondensator 2307 ist in dem Beispiel der Figur 23 mit seinem zweiten Anschluss des zweiten Kondensators 2307 mit positiven Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 elektrisch verbunden. Der zweite Kondensator 2307 ist in dem Beispiel der Figur 23 mit seinem ersten Anschluss des zweiten Kondensators 2307 mit der Bezugspotenzialleitung GND elektrisch verbunden.

Vorzugsweise schaltet die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 in einer Initialisierungsphase den Low-Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke für eine kurze Zeit leitend.

Hierdurch wird der erste Anschluss des ersten Kondensators 2306 mit der Bezugspotenzialleitung GND verbunden. Sofern der erste Kondensator 2306 nicht geladen sein sollte oder mit einer verkehrten Polarität geladen sein sollte, lädt der zweite High-Side-Transistor 2303 dann den ersten Kondensator 2306 auf die Spannung zwischen dem positiven Versorgungsspannungsanschluss VDD und der Bezugspotenzialleitung GND minus der Threshold-Spannung des zweiten High-Side- Transistors 2303 auf.

In einem nachfolgenden Schritt sperrt die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 den Low-Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke. Damit endet der Ladevorgang des ersten Kondensators 2306.

In einem nachfolgenden Schritt schaltet die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 den High-Side-Transistor 2301 der ersten Halbbrücke leitend. Hierdurch verschiebt sich das Ausgangspotenzial des Ausgangs 2321 der Ladungspumpe auf ein Potenzial mit einer Spannung, die der doppelten Spannung zwischen der positiven Versorgungsspannungsleitung VDD und der Bezugspotenzialleitung GND minus der Threshold-Spannung des zweiten High-Side-Transistors 2303 entspricht. Damit liegt das Potenzial des Ausgangs 2321 der Ladungspumpe über dem Potenzial der positive Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411, wenn der zweite Kondensator 2307 nicht oder nur unzureichend oder mit falscher Polarität geladen ist. Ist die Spannungsdifferenz zwischen dem Potenzial des Ausgangs 2321 der Ladungspumpe und dem Potenzial der Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 größer als die Threshold-Spannung des Transfer-Transistors 2305, so schaltet der Transfer-Transistor 2305 ein und verbindet den Ausgang 2321 der Ladungspumpe mit der Versorgungsspannungsleitung V _E XT der Entropiequelle 411. Hierdurch Tritt Ladung vom ersten Kondensator 2306 auf den zweiten Kondensator 2307 über, wodurch sich das Potenzial der Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 anhebt, bis die Spannungsabfälle über den ersten Kondensator 2306 und den zweiten Kondensator 2307 sich angeglichen haben.

Die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 wiederholt diese Schritte bis kein Ladungstransfer mehr stattfindet.

Ggf. können der Prozessor 10-1 oder der Spannungsmonitor 413 diesen Zustand eines nicht mehr stattfindenden Ladungstransfers beispielsweise mittels eines Analog-zu-Digitalwandlers oder eines Komparators feststellen und den Ladeprozess dann solange beispielsweise durch eine entsprechende Signalisierung an die Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 unterbrechen, bis sie ein Unterschreiten eines Mindestpotenzials durch das Potenzial der Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 feststellen. Ist dies der Fall starten der Prozessor 10-1 oder der Spannungsmonitor 413 vorzugsweise wieder die Ladungspumpe des Spannungswandlers 91 mittels einer weiteren Signalisierung an den Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 neu starten und in Betrieb halten, bis wieder kein wesentlicher Ladungstransfer stattfindet.

Detektieren der Prozessor 10-1 oder der Spannungsmonitor 413 nicht innerhalb eines vordefinierten Zeitraums nach dem Neustart des Ladungstransfers diesen Zustand des im Wesentlichen nicht mehr stattfindenden Ladungstransfers, so liegt vermutlich ein Defekt oder eine Störung oder ein Angriff vor. Vorzugsweise signalisieren der Prozessor 10-1 und/oder der Spannungsmonitor 413 diesen Fehler. Beispielsweise kann der der Spannungsmonitor 413 einen solchen Fehler an den Watchdog 404.5 über eine Signalleitung 414 signalisieren.

Der Spannungswandler 91 und der zweite Kondensator 2307 können auf diese Weise die Entropiequelle 411 mit einer ausreichenden Betriebsspannung auf der Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411 versorgen.

Der erste Kondensator 2306 und/oder der zweite Kondensator 2307 können extern von dem integrierte Schaltkreis 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, gefertigt sein und über Anschlüsse des Gehäuses des integrierte Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, angeschlossen sein. Dies ermöglicht kostengünstig sehr hohe Kapazitätswerte für den ersten Kondensator 2306 und/oder den zweiten Kondensator 2307.

Es ist jedoch vorteilhaft, wenn es sich bei dem ersten Kondensator 2306 und/oder bei dem zweiten Kondensator 2307 um Siliziumkondensatoren handelt. In einer Ausprägung können der erste Kondensator 2306 und/oder der zweite Kondensator 2307 bei Integration des ersten Kondensators 2306 und/oder des zweiten Kondensators 2307 in die integrierte Schaltung 2, beispielsweise in den Mikrocontroller, beispielsweise jeweils eine Verschaltung von Trench-Kondensatoren, die in dem Halbleitersubstrat 49 des Quantenzufallszahlengenerators 28 gefertigt sind. In einer weiteren zusätzlichen oder alternativen Ausprägung können der erste Kondensator 2306 und/oder der zweite Kondensator 2307 bei Integration des ersten Kondensators 2306 und/oder des zweiten Kondensators 2307 in die integrierte Schaltung 2, beispielsweise in den Mikrocontroller, beispielsweise jeweils eine Verschaltung von MIM-Kondensatoren, die in dem Metallisierungsstapel auf dem Halbleitersubstrat 49 des Quantenzufallszahlengenerators 28 gefertigt sind, umfassen. MIM steht dabei für Metall- Isolator-Metall. Vorzugsweise umfasst dann eine Isolationsschicht des Metallisierungsstapels ein High-K-Material, wie beispielsweise Hafnium-Oxid.

Natürlich ist es auch denkbar beispielsweise Gate-Kapazitäten von zusätzlichen Transistoren als Vorrichtungsbestandteile des ersten Kondensators 2306 und/oder des zweiten Kondensators 2307 vorzusehen.

In dem Beispiel der Figur 23 liegt im Betrieb dann zwischen Gate 2313 und Substrat des zweite High- Side-Transistors 2303 und zwischen Gate 2315 und Substrat des Transfer-Transistors 2305 zumindest zeitweise eine erhöhte Spannung an. Daher müssen diese Transistoren besonders spannungsfest sein. Bevorzugt sind der zweite High-Side-Transistor 2303 und/oder der Transfer-Transistor 2305 daher jeweils als DMOS-Transistor ausgeführt. Daher ist es vorteilhaft die integrierte Schaltung 2, beispielsweise den Mikrocontroller, bzw. den monolithisch integrierten Quantenzufallszahlengenerator 28 in einer BCD-Technologie zu fertigen.

Figur 24

Figur 24 zeigt beispielhaft ein Grob-Layout eines imaginären integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise eines Mikrocontrollers, mit einem vorschlagsgemäßen Quantenzufallsgenerator 28 in der Aufsicht.

Der integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise ein Mikrocontroller, weist einen inneren Bereich 2405 des integrierten Schaltkreises 2 auf, in dem sich die wesentlichen Unterschaltkreise des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, befinden. Typischerweise ist dieser innere Bereich 2405 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, von einem Verdrahtungsbereich 2404 umgeben, in dem typischerweise Versorgungsspannungsleitungen, Datenbusleitzungen und andere Leitungen geführt werden.

Der Verdrahtungsbereich 2404 und der innere Bereich 2405 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, sind von dem Pad-Rahmen 2403 umgeben, der die Anschluss- Pads (Anschlussflächen) 2402 für die elektrischen Bondverbindungen oder anderen elektrischen Anschlussverbindungen umfasst. Das hier vorgelegte Dokument schlägt nun vor, den Quantenzufallszahlengenerator 28, wie er beispielsweise in der Figur 20 beispielhaft dargestellt ist ganz oder zumindest in wesentlichen Teilen im Pad-Rahmen 2403 zu platzieren, da die Lücken zwischen den Anschluss-Pads 2402 oft nicht mit elektronischen Schaltungsteilen gefüllt sind, trotzdem aber bei der Herstellung mitprozessiert werden müssen und daher unnütze Kosten verursachen. Diese Platzierung des Quantenzufallszahlengenerators 28 zu Gänze oder zumindest in wesentlichen Teilen im Pad-Rahmen 2403 reduziert daher die Zusatzkosten für einen solchen Quantenzufallszahlengenerator 28 signifikant. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor, ganz besonders bevorzugt, zumindest die Entropiequelle 401 im Pad-Rahmen zwischen zwei Anschluss-Pads 2402 zu platzieren. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor bevorzugt außerdem den Analog-zu-Digital-Wandler 403 ebenfalls im Pad-Rahmen zwischen zwei Anschluss-Pads 2402 zu platzieren. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor bevorzugt außerdem den Spannungswandler 91 für die Energieversorgung der Entropiequelle 401 ebenfalls im Pad-Rahmen zwischen zwei Anschluss-Pads 2402 zu platzieren. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor bevorzugt außerdem Die Pulsverlängerungsschaltung 2023 ebenfalls im Pad-Rahmen zwischen zwei Anschluss-Pads 2402 zu platzieren. Das hier vorgelegte Dokument schlägt vor bevorzugt außerdem andere Analogteile des Quantenzufallszahlengenerators 28 (z.B. den Verstärker 402) ebenfalls im Pad-Rahmen zwischen zwei Anschluss-Pads 2402 zu platzieren.

Figur 25

Figur 25 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform eines Quantenzufallszahlengenerators 28 gemäß Stand der Technik in der Aufsicht. Die Darstellung ist an eine entsprechende Figur der EP 3 529 694 Bl angelehnt und zeigt die Oberfläche O eines zugehörigen Substrates 49, in welches die Entropiequelle 401 integriert ist. Eine kreisförmige Photonenquelle 54 mit einem zur Bereitstellung von Photonen eingerichteten p-n-Übergang wird über eine entsprechende Kontaktierung mit Strom versorgt und dabei zur Emission einzelner horizontal sich ausbreitender Photonen 58 angeregt. Zur Detektion der emittierten Photonen 58 ist neben der Photonenquelle 54 ein zugehöriger Einzelphotonendetektor 55 in Form einer SPAD-Diode 55 angeordnet. Es handelt sich bei der Photonenquelle 54 und dem Einzelphotonendetektor 55 wie bei herkömmlichen hybriden Ansätzen für photonische Entropiequellen 401 allerdings auch weiterhin um strukturell und funktional getrennte Elemente, die zur Integration in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 lediglich nebeneinander angeordnet werden und bei denen der Transport der Photonen 58 durch das Halbleitersubstrat 49 mit großer Dämpfung erfolgt. Dies hat eine niedrige Datenrate zur Folge. Ein vom Einzelphotonendetektor 55 bei der Absorption eines Photons 58 erzeugter Strompuls kann dann zunächst in einem zugehörigen Mittel zur elektronischen Erfassung 25152 („electronic sampling means") registriert und ausgewertet werden, insbesondere um eine Bitfolge auf der Grundlage der Anzahl der im Einzelphotonendetektor 55 erfassten Photonen zu erzeugen. Weiterhin ist ein Mittel zur elektronischen Nachbearbeitung 25154 („electronic post-processing means") vorgesehen, welches so konfiguriert sein soll, dass es die binären Sequenzen des Mittels zur elektronischen Erfassung 55 so verarbeiten, dass eine sogenannte „Whitening"-Operation durchgeführt wird. Diese soll eine Vielzahl von Kompressionsoperationen umfassen, die dazu dienen, die statistischen Eigenschaften der erzeugten binären Sequenzen zu verbessern. Der Nachbearbeitungsschritt soll das Entropieniveau des Bitstroms der Entropiequelle 401 erhöhen. Dabei muss jedoch sichergestellt sein, dass die verwendeten Kompressionsoperationen nicht wiederrum zu einer prinzipiellen Vorhersagbarkeit der erzeugten Zufallszahlen durch Einführung deterministischer Abhängigkeiten bei der Anwendung führen.

Um die Effizienz der Zufallszahlenerzeugung, d. h. die effektive Entropierate, zu erhöhen, wird der photonische Teil, also die Entropiequelle 401, des Q.RNG an der Oberfläche O des Halbleitersubstrats 49 vorzugsweise von einer lichtblockierenden Schicht 142, 53 („light inhibitor filter"), welcher zur Abschattung gegenüber einem äußeren Lichteinfall dient, geschützt. Dabei kann die lichtblockierende Schicht 142, 53 insbesondere durch eine Metallisierungsschicht, die direkt während des Produktionsprozesses, zum Beispiel durch die CMOS-Technik, als letzte Metallisierungsebene aufgebracht werden kann, bereitgestellt werden. Dadurch soll der Photonendetektor 55 von externem Licht abgeschirmt werden und ihn nur für solche Photonen empfindlich zu machen, die aufgrund des Übersprechens von der Photonenquelle 54 durch das Halbleitersubstrat 49 gelangen. Darüber hinaus soll durch die Metallisierungsschicht 142, 53 auch die optische Kopplung der von Photonenquelle 54 emittierten Photonen 58 verbessern, indem diese nach innen reflektiert und so an einem Austritt aus der Oberfläche O des Halbleitersubstrats 49 behindert werden.

Nachteilig bei einer solchen Anordnung der optischen Komponenten nebeneinander ist der Abstand zwischen den Komponenten, welcher die Kopplungsstärke aufgrund von dem geringen Beleuchtungswinkel und der potentiellen Photonenabsorption in den verschiedenen Materialien reduziert. Zudem besteht trotz der partiell aufgebrachten lichtblockierenden Schicht 142, 53 potentiell auch weiterhin die Möglichkeit des optischen Zugriffs und damit eines Angriffs von der Oberfläche O des Substrats 49 oder sogar von der Rückseite des Halbleitersubstrats 49 aus. Über dieses können nämlich beispielsweise zusätzliche Photonen gezielt injiziert oder extrahiert werden, so dass letztlich die Zählstatistik und damit die Entropie der erzeugten Zufallszahlen beeinflusst und kompromittiert werden kann. Weiterhin ist in der Darstellung auch zu erkennen, dass die einzelnen Photonen 58 isotrop in alle Raumrichtungen verteilt emittiert werden, so dass nur ein Bruchteil der Photonen 58 vom Photonendetektor 55 erfasst und somit statistisch ausgewertet werden kann. Dies verringert zum einen erheblich die Effizienz der Zufallszahlenerzeugung und führt anderseits dazu, das eine Vielzahl von Photonen 58 ungenutzt ins Halbleitersubstrat 49 emittiert werden, wo diese an anderer Stelle eventuell ebenfalls durch Beobachter bzw. Angreifer extrahiert werden oder zu Störungen führen können.

Figur 26

Figur 26 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer Entropiequelle 401 gemäß Stand der Technik in einer Seitenansicht. Die Darstellung ist an eine entsprechende Figur aus Khanmohammadi et al. (A. Khanmohammadi, R. Enne, M. Hofbauer and H. Zimmermann, "A Monolithic Silicon Quantum Random Number Generator Based on Measurement of Photon Detection Time," in IEEE Photonics Journal, vol. 7, no. 5, pp. 1-13, Oct. 2015, Art no. 7500113) angelehnt. Auch in diesem Beispiel ist der prinzipielle Aufbau einer Nebeneinanderanordnung einer Photonenquelle 54 (Si-LED), welche zur Aussendung von einzelnen Photonen 58 eingerichtet ist, und einem Einzelphotonendetektor 55 (SPAD) klar zu erkennen. Im Unterschied zur in Figur 25 gezeigten Anordnung wird die Photonenquelle 54 hierbei jedoch als kreisförmiges zentrales Element bereitgestellt, welches im Wesentlichen vollständig von einem entsprechend angepassten kreisringförmig ausgebildeten Einzelphotonendetektor 55 umgeben wird. Die gemeinsame radiale Symmetrieachse R liegt entsprechend im Zentrum der derart ausgebildeten Entropiequelle 401. Die Photonenquelle 54 wird dabei durch eine in einer tiefliegenden n-Wanne („deep n well") ausgebildeten n-Wanne („n well") realisiert, die über ein in die Oberfläche O des Substrats 49 („p- substrate") zentral um die radiale Symmetrieachse R eingebrachtes n++-Gebiet als Kathode 26122 und ein daneben angeordnetes p++-Gebiet als Anode 26124 mit Strom versorgt wird. Außerhalb der tiefliegenden n-Wanne wird der Einzelphotonendetektor 55 ebenfalls an die Oberfläche O über ein eingebrachtes n++-Gebiet als Kathode 26132 und ein weiter von der radialen Symmetrieachse R entfernt angeordnetes p++-Gebiet als Anode 26134 kontaktiert. An die Kathode 26132 schließt sich unterhalb eine p-Wanne („p well") an. Unterhalb der Anode 26134 ist hingegen in einer tiefliegenden p-Wanne („deep p well") ein p-Wanne („p well") ausgebildet. Die Photonenquelle 54 wird hierbei als Element innerhalb der Struktur des Photonendetektors 55 bereitgestellt, so dass im Gegensatz zur Figur 25 diese eine strukturelle und funktionale Einheit bilden.

Auch bei diesem Beispiel für eine Entropiequelle 401 gemäß Stand der Technik werden die Photonen 58 im Wesentlichen allseitig in das Halbleitersubstrat 49 emittiert, so dass die auch bereits zur Ausführungsform nach Figur 25 beschrieben Nachteile hinsichtlich der Sicherheit gegenüber Beobachtern bzw. Angreifern und zur verringerten Effizienz ebenfalls zutreffen. Durch den spezifischen Aufbau als kreisringförmige Anordnung und die strukturelle Verknüpfung des Einzelphotonendetektors 55 mit der Photonenquelle 54 kann gegenüber Figur 25 jedoch die Integrationsdichte weiter erhöht werden. Dies beinhaltet neben einem geringeren Flächenverbrauch zur Ausbildung der Entropiequelle 401 auch eine Erhöhung der Sicherheit gegenüber Angriffen sowie eine gesteigerte Effizienz bei der Zufallszahlenerzeugung bzw. der Entropierate als Vorteile. Dies hängt insbesondere auch damit zusammen, dass durch die Verringerung aller Abstände die Verluste an Photonen 58 durch auftretende Materialabsorption und ungünstige Emissionsrichtungen geringer werden. Zudem wird dadurch die Fläche für mögliche Angriffe verkleinert. Davon abgesehen besteht auch hierbei prinzipiell jedoch ebenfalls auch weiterhin die Möglichkeit insbesondere an der Oberfläche 0 sowie auch an anderen Stellen des Halbleitersubstrats 49 zur Beeinflussung der Zählstatistik durch Angreifer einzelne Photonen 58 auszukoppeln oder zu injizieren. Eine solche Nebeneinanderanordnung der beiden optischen Komponenten einer optischen Entropiequelle 401 weist daher einige Nachteile auf, die einer besonders sicheren, kompakten und zuverlässigen Zufallszahlenerzeugung für SoC-Anwendungen bisher entgegenstehen.

Figur 27

Figur 27 zeigt eine schematische Darstellung eines mit einem Verfahren zur Bereitstellung tiefliegender p-n-Übergänge 27050 und 27052 in einem BCD-Prozess bereitgestellten BCD-Substrats 27110 und eine TCAD-Darstellung der resultierenden Dotierstoffverteilung. Ein Ausführungsbeispiel eines Verfahren zur Erzeugung tiefliegender p-n-Übergänge 27050 und 27052 in einem BCD-Prozess umfasst ein Bereitstellen eines Trägersubstrats 49; ein Einbringen eines ersten Dotierstoffs zur Ausbildung eines ersten Gebiets 27022 (z. B. NBL) vom ersten Leitungstyp (negativ für NBL) in eine Oberfläche S des Trägersubstrats 49; ein Einbringen eines zweiten Dotierstoffs zur Ausbildung eines zweiten Gebiets 27032 (z. B. PBL) vom zweiten Leitungstyp (positiv für PBL) in die Oberfläche S des Trägersubstrats 49, wobei sich das erste Gebiet 27022 (NBL) und das zweite Gebiet 27032 (PBL) zumindest teilweise überlagern; ein Aufwachsen einer epitaktischen Schicht 48 auf die Oberfläche S des Trägersubstrats 49, wobei sich das erste Gebiet 27022 (NBL) und das zweite Gebiet 27032 (PBL) durch Diffusion des ersten Dotierstoffs und des zweiten Dotierstoffs in der epitaktischen Schicht 48 ausbreiten und dadurch einen in der epitaktischen Schicht 48 liegenden p-n-Übergang 27050 ausbilden.

In der Darstellung handelt es sich bei dem ersten Gebiet 27022 um eine tiefliegende NBL-Schicht und bei dem zweiten Gebiet 27032 um eine tiefliegende PBL-Schicht. Die Reihenfolge ist jedoch vertauschbar, so dass es sich bei dem ersten Gebiet 27022 auch um eine tiefliegende PBL-Schicht und bei dem zweiten Gebiet 27032 um eine tiefliegende NBL-Schicht handeln kann. Über eine entsprechende Anpassung der Diffusionslängen der einzelnen Dotierstoffe kann auch die Schichtfolge der p-n-Übergänge 27050 und 27052 umgekehrt werden, z. B. könnten in Figur 27 auch die NBL- und PBL-Schichten am p-n-Übergang 27050 und 27052 vertauscht werden.

Das beschriebene Verfahren unterscheidet sich von den herkömmlichen Verfahren zur Bereitstellung von BCD-Substraten 27110 gemäß Stand der Technik insbesondere dadurch, dass sich das erste Gebiet 27022 (NBL) und das zweite Gebiet 27032 (PBL) zumindest teilweise überlagern. Insbesondere kann unmittelbar nach dem Einbringen des zweiten Dotierstoffs in einer Aufsicht auf die Oberfläche S des T rägersubstrats 49 das erste Gebiet 27022 oder das zweite Gebiet 27032 vollständig das jeweils anderen Gebiet (27032, 27022) überlagern. Daher liegt bei der gezeigten Ausführungsform unmittelbar nach dem Einbringen des zweiten Dotierstoffs zur Ausbildung des zweiten Gebiets 27032 (PBL) dieses in einer Aufsicht auf die Oberfläche S des Trägersubstrats 49 vollständig im ersten Gebiet 27022 (NBL). Um dabei einen in der epitaktischen Schicht liegenden p-n-Übergang 27050 auszubilden, weisen der erste und der zweite Dotierstoff vorzugsweise unterschiedliche Diffusionseigenschaften im Trägersubstrat 49 und/oder in der epitaktischen Schicht 48 auf. Insbesondere kann der zweite Dotierstoff im zweiten Gebiet 27032 (PBL), wie gezeigt, eine höhere Diffusions-Beweglichkeit (und damit Diffusionslänge) im Trägersubstrat 49 und in der epitaktischen Schicht 48 als der erste Dotierstoff im ersten Gebiet 27022 (NBL) aufweisen.

Zur Verstärkung der Diffusion kann nach dem Einbringen des ersten Dotierstoffs und/oder des zweiten Dotierstoffs eine Erwärmung des Trägersubstrats 49 erfolgt. Weiterhin kann nach dem Aufwachsen der epitaktischen Schicht 48 eine Erwärmung des Trägersubstrats 49 zur Verstärkung der Dotierstoffdiffusion erfolgen. Ein Einbringen des ersten Dotierstoffs und/oder des zweiten Dotierstoffs kann beim vorgestellten Verfahren sowohl maskenlos oder über ein Maskenverfahren erfolgen. Bei dem gezeigten BCD-Wafer kann eine vollständige Überlagerung des ersten Gebiets 27022 (NBL) mit einem einzelnen zweiten Gebiet 27032 (PBL) angenommen werden. Herkömmlicher Weise werden die ersten und zweiten Gebiete 27022 und 27032 jedoch räumlich getrennt voneinander ausgebildet. Insbesondere ist deren Abstand dabei im Allgemeinen mindestens so groß gewählt, dass auch nach dem Ausdiffundieren der einzelnen Dotierstoffe keine sich überlagernden Gebiete erzeugt werden.

Die unterhalb der schematischen Darstellung angegebene TCAD-Darstellung (engl. „Technology Computer-Aided Design, TCAD") zeigt die Dotierstoffverteilung innerhalb des kontaktierten BCD- Substrats 27110 zur Simulation einer entsprechenden integrierten Diodenstruktur. Aufgrund der in dieser Ausführungsform gezeigten Doppelstruktur mit einem oberen p-n-Übergang 27050 in der epitaktischen Schicht 48 und einem unteren p-n-Übergang 27052 in dem Trägersubstrat 49 ergibt sich in der gezeigten Seitenansicht eine effektive Einschnürung des im Bereich der p-n-Übergänge 27050 und 27052 eingeschlossenen n-Gebiets NBL durch die beiden dieses n-Gebiet NBL umgebenden p-Gebiete PBL. Beide p-n-Übergänge 27050 und 27052 können zur Bereitstellung voneinander unabhängiger SPADs mit einer zur Erzeugung eines Lawineneffekts geeigneten Dotierungsdichte und Feldstärkeverteilung ausgebildet werden.

Mittels entsprechender BCD-Substrate 27110 zur weiteren Verwendung in BCD-Technologien lassen sich somit besonders tiefliegende SPADs („deepSPADs") erzeugen. Insbesondere bleibt oberhalb der bereitgestellten SPADs dabei noch genügend Bauraum zur Integration weiterer optoelektronischer Komponenten. Erfindungsgemäß kann daher insbesondere eine oberhalb der tiefliegenden SPAD ausgebildete Zener-avLED dazu genutzt, eine besonders kompakten, vertikal aufgebauten Entropiequelle 401 zu realisieren, bei dem einzelne Photonen 58 durch die Zener-avLED als Photonenquellen 55 vorzugsweise in Richtung des oberen p-n-Übergangs 27050 vertikal nach unten emittiert werden und somit für eine Detektion durch eine unmittelbar unterhalb der Zener-avLED als Photonendetektor 54 am oberen p-n-Übergang 27050 ausgebildeten SPAD als Einzelphotonendetektor 55 bereitgestellt werden (siehe Figur 28 mit zugehöriger Figurenbeschreibung).

Figur 28

Figur 28 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften ersten Ausführungsform einer vorschlagsgemäßen vertikalen Entropiequelle 401. Eine vertikale Entropiequelle 401 zeichnet sich im Sinne des hier vorgelegten Dokuments durch eine vertikale Anordnung der Photonenquelle 54 gegenüber dem Photonendetektor 55 aus. Die Horizontale wird da bei durch die Oberfläche O des Halbleitersubstrats 48 mit der epitaktischen Schicht 48 definiert. Die Verbindungslinie der Schwerpunkte der vertikalen Anordnung aus der Photonenquelle 54 und dem Photonendetektor 55 ist somit vertikal gegenüber der Oberfläche O des Substrats 49 mit der epitaktischen Schicht 48 angeordnet, wobei Vertikal hier relativ weich als ein Winkel von mehr als 30°, optimal 90°dieser Linie gegenüber der Oberfläche O zu verstehen ist. Die gezeigte monolithisch integrierte Entropiequelle 401 umfasst eine Photonenquelle 54 und einen Einzelphotonendetektor 55, wobei die Photonenquelle 54 und der Einzelphotonendetektor 55 in vertikaler Richtung übereinander in einem gemeinsamen Substrat 49 aus einem Halbleitermaterial angeordnet sind. Vorzugsweise handelt es sich bei der Photonenquelle 54 um eine Einzelphotonenquelle (SPS) 54, dazu eingerichtet, zeitgleich nur einzelne oder einige wenige vertikale Photonen 57 bereitzustellen. Vorzugsweise handelt es sich bei der Photonenquelle 54 um eine an einem Arbeitspunkt unterhalb oder nahe der Durchbruchspannung betriebene lichtemittierende Avalanche Zener-Diode (Zener-avLED) 54. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Einzelphotonendetektor 55 um eine Einzelphotonen-Lawinendiode (zweite SPAD 55). Die Entropiequelle 401 ist vorzugsweise in einem BCD-Substrat 27110 in BCD-Technologie ausgebildet. Vorzugsweise umfasst das BCD-Substrat 27110 ein Trägersubstrat 49; und eine auf dem Trägersubstrat 49 aufgewachsene epitaktische Schicht 48, wobei zwischen dem Trägersubstrat 49 und der epitaktischen Schicht 48 durch eine Diffusion von in eine Oberfläche S des Trägersubstrats 49 unterhalb der epitaktischen Schicht 48 eingebrachten Dotierstoffen ein in der epitaktischen Schicht liegender tiefliegender p-n-Übergang 27050 erzeugt wurde (siehe Figur 27). Vorzugsweise bildet der Einzelphotonendetektor 55 in einem Bereich um den tiefliegenden p-n-Übergang 27050 ein Lawinengebiet aus und umfasst ein Absorptionsgebiet 47/28010 mit einer Hochvolt-p-Wanne 28010 (engl. „high-voltage p-type well") und eine p-Wanne 47 (engl. „p-type well") zur Umwandlung von Photonen in Elektronen-Lochpaare, wobei sich das Absorptionsgebiet 47/28010 unmittelbar an die den tiefliegenden p-n-Übergang 27050 ausbildenden Gebiete NBL (27022) und PBL (27032) anschließt. Die vollständig ausgeprägte Hochvolt-p-Wanne 28010 ermöglicht dabei einen optimalen Anschluss des tiefliegenden p-n-Übergang 27050 von der Anode her.

Bevorzugt ist, dass der tiefliegende p-n-Übergang 27050 zumindest teilweise zwischen einer tiefliegenden n-Schicht NBL (27022) als Kathode 26132 und einer sich unmittelbar an die tiefliegende n-Schicht NBL (27022) anschließenden tiefliegenden p-Schicht PBL (27032) ausgebildet ist, das Absorptions-gebiet 47/28010 sich unmittelbar an die tiefliegende p-Schicht PBL (27032) anschließt und im Wesentlichen als p-Gebiet (optional ein intrinsisches Gebiet umfassend) ausgebildet ist, und eine als p+-Gebiet ausgebildete Anode 26134 sich unmittelbar an das Absorptionsgebiet 47/28010 anschließt.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die jeweiligen Anoden 26124 und 26134 der Photonenquelle 54 und des Einzelphotonendetektors 55 zusammengelegt. Diese können dann beispielsweise über eine gemeinsame zweite Metallisierung 142, 53 an der Oberfläche S des BCD-Substrats 27110 elektrisch kontaktiert werden. Durch eine gemeinsame und durchgehende Metallisierung 142, 53 (hier beispielhaft eine zweite Metallisierung) kann auch eine Abschattung zur Abschirmung des gesamten Bauraums darunter gegenüber Einstrahlungen elektromagnetischer Wellen von Oben her erreicht werden. Die zugehörigen Kathoden 26122 und 26132 sind beispielhaft jeweils einzeln ausgeführt und können über eine erste zugehörige erste Metallisierung 141 elektrisch kontaktiert werden. Die vorschlagsgemäße vertikale Entropiequelle 401 kann als kreisförmige Struktur ausgebildet sein (entspricht einer räumlichen Rotation der gezeigten Darstellungsebene um eine gedachte zentrale Achse in vertikaler Richtung). Es sind jedoch auch andere Ausbildungen der gezeigten Struktur möglich. Figur 29

Figur 29 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften zweiten Ausführungsform eine erfindungsgemäßen Entropiequelle 401. Die gezeigte Ausführungsform entspricht weitgehend der in der FIG. 28 gezeigten ersten Ausführungsform. Die Bezugszeichen und deren jeweilige Zuordnung zu einzelnen Merkmalen gelten daher entsprechend. Im Vergleich zur FIG. 28 wurde die Hochvolt-p- Wanne 28010 jedoch strukturell durch eine verjüngte Hochvolt-p-Wanne 28010 und ein schwach n- dotiertes bzw. intrinsisches epitaktisches Gebiet 29010 ersetzt. Dabei bildet die Hochvolt-p-Wanne 28010 des Absorptionsgebiets 47/28010 lediglich einen engen Kanal zwischen der auch in FIG. 2 gezeigten obenliegenden p-Wanne 47 und der tiefliegenden p-Schicht PBL des tiefliegende p-n- Übergang 27050 aus. Die Umgebung des Kanals wird durch das schwach n-dotiertes bzw. intrinsische epitaktische Gebiet 29010 definiert. Durch den Kanal kann wird der tiefliegenden p-n-Übergang 27050 ohne einem zusätzlichen Durchgriff/Punch durch das schwach n-dotierte bzw. intrinsisches epitaktisches Gebiet 29010 von der Anode her angeschlossen.

Figur 30

Figur 30 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401. Die gezeigte Ausführungsform entspricht weitgehend der in der FIG. 29 gezeigten Ausführungsform. Die Bezugszeichen und deren jeweilige Zuordnung zu einzelnen Merkmalen gelten daher entsprechend. Im Vergleich zur Figur 29 wurde auf die kanalförmig ausgebildete Hochvolt-p-Wanne 28010 im Absorptionsgebiet 47/28010 verzichtet und das schwach n-dotierte bzw. intrinsische epitaktische Gebiet 29010 erstreckt sich über den gesamten unteren Bereich. Insofern wurde im Vergleich zur Figur 28 die Hochvolt-p-Wanne 28010 strukturell durch ein schwach n-dotierte bzw. intrinsisches epitaktisches Gebiet 29010 ersetzt. Der tiefliegende p-n-Übergang 27050 wird somit erst nach einem zusätzlichen Durchgriff/Punch durch das schwach n- dotierte bzw. intrinsisches epitaktisches Gebiet 29010 von der Anode her angeschlossen, was eine Entkopplung von möglicherweise mehreren nebeneinander parallel angeordneten Zellen bewirkt.

Figur 31

Figur 31 zeigt eine graphische Darstellung der Abhängigkeit des SPAD-Stroms in Abhängigkeit von der Zener-Sperrspannung bei verschiedenen SPAD-Sperrspannungen (kleiner, gleich, größer der Durchbruchspannung) innerhalb einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401. Die gezeigte Abhängigkeit zeigt dabei deutlich, dass der SPAD-Strom mit der Zener-Sperrspannung im Bereich von 5,6 V bis 6,6 V exponentiell ansteigt. Dies gilt für alle Betriebsmodi der zweiten SPAD 55, d. h. unterhalb dessen eigener Durchbruchspannung (< VBD, linearer Bereich), nahe der Durchbruchspannung (~ VBD, Avalanche-Bereich) sowie auch oberhalb der Durchbruch-spannung (> VBD) und somit auch im Geiger-Betrieb. Figur 32

Figur 32 zeigt eine graphische Darstellung der Abhängigkeit des Verhältnisses zwischen SPAD-Strom und Zener-Strom in Abhängigkeit von der Zener-Sperrspannung bei verschiedenen SPAD- Sperrspannungen (kleiner, gleich, größer der Durchbruchspannung) innerhalb einer erfindungsgemäßen Entropiequelle 401. Der gezeigte untere Kurvenverlauf (< VBD) zeigt, dass das gemessene Strom-verhältnis zwischen dem SPAD-Strom und dem Zener-Strom für verschiedene Zener-Sperrspannungen im Bereich 5,8 bis 6,6 V etwa 1:4000 beträgt. Im Bereich der Durchbruchspannung (~ VBD) der zweiten SPAD-Diode 55 steigt das Verhältnis auf Werte um 1:10. Dies ist im sog. Multiplikationsfaktor der SPAD-Diode 55 begründet, welcher im Bereich der Durchbruchspannung den linearen Bereich verlässt. Der obere Kurvenverlauf gibt schließlich das entsprechende Verhältnis bei der oberhalb der zugehörigen Durchbruchspannung (> VBD) betriebenen zweiten SPAD-Diode 55 an (etwa 1:1). Dies bedeutet, dass bei einer oberhalb der zugehörigen Durchbruchspannung (> VBD) betriebenen zweiten SPAD-Diode 55 der erzeugte Fotostrom und der Zener-Strom der Zener-avLED (als Photonenquelle 55) in etwa gleich groß sind und ein deutliches Messsignal mittels der Kopplung von Photonen auf der zweiten SPAD 55 gemessen werden kann.

Bezugszeichenliste

Numerische Bezugszeichen

Bezugszeichen von 0 bis 1000

2 integrierte Schaltkreis, beispielsweise eines Mikrocontrollers;

3 Anschluss;

4 Steuervorrichtung. Bevorzugt handelt es sich bei der Steuervorrichtung 4 um einen Teil eines mikroelektronischen Schaltkreises;

6 nichtflüchtigen Speicher, internes und/oder externes EEPROM und/oder über eine Datenschnittstelle externer nichtflüchtiger Speicher;

8 Random Access Memory und/oder über eine Datenschnittstelle erreichbarer externer Schreib/Lese-Speicher;

10-1 erster Prozessor 10-1;

10-2 zweiter Prozessor 10-2;

11 Verkettung 11;

12 JATG-Test-Schnittstelle mit JTAG-Test-Controller 12 und mit JTAG Testanschlüssen (TDI, TDO, TCK, TM);

14 eng gekoppelter Speicher TCM 14;

15 Startadresse 15 des Boot ROMs 16;

16 nicht flüchtiger Boot-Speicher (Boot-ROM) 16;

18 Hashing-Engine 18 (Vorrichtung zur Erzeugung eines Hashs aus Daten, die sie durch einen Prozessor (10-1, 10-2) über den Datenbus 419 erhält.);

20 erster nur einmal programmierbarer-Speicher (OTP) (erster One-Time-

Programmable-Speicher) (OTP) 20 ;

22 zweiter nur einmal programmierbarer-Speicher (OTP) 22 (zweiter One-Time-

Programmable-Speicher (OTP));

24 Schaltung 24 zur Deaktivierung von Tests, Deaktivierungsschaltung;

26 kontrolliertes System 26 (z.B. gesteuerte Anlage, Regelstrecke);

28 Quantenzufallszahlengenerator 28;

30 weiterer interner nicht flüchtiger Speicher 30 und/oder weiterer über eine

Datenschnittstelle erreichbarer externer nicht flüchtiger Speicher;

32 Schnittstelle 32 zu einem kontrollierten System 26;

40 Beispielhafte erste SPAD-Diode 40 für den Einsatz als Sensorelement eines

Einzelphotonendetektors; 41 Isolation, beispielsweise Shallow-Trench-Isolation STI 41 der beispielhaften SPAD-Diode 40 oder LOCOS-lsolation;

42 Anodenkontakt 42 der beispielhaften SPAD-Diode 40;

43 Kathodenkontakt 43 der beispielhaften SPAD-Diode 40. Der Kathodenkontakt

43 der beispielhaften SPAD-Diode 40 ist bevorzugt aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder einem anderen transparenten und elektrisch leitendem Material gefertigt;

44 Lichtwellenleiter 44 für den Transport der Photonen der ersten SPAD-Diode 54 zur zweiten SPAD-Diode 55. Der Lichtwellenleiter 44 ist aus einem Abdeckoxid

44 oder optisch transparente Isolierschicht 44 der beispielhaften SPAD-Diode 40 gefertigt;

45 hoch dotiertes erstes Anschlussgebiet 45 eines ersten Leitungstyps, auch als n+ S/D Implantation bezeichnet. In einer CMOS-Technologie mit einem p- dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielsweise um ein n+-dotiertes Gebiet im halbleitenden Substratmaterial der SPAD-Diode 54 handeln;

46 erste dotierte Wanne 46 eines zweiten Leitungstyps. In einer CMOS- Technologie mit einem p-dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielsweise um ein p- --dotiertes Gebiet im halbleitenden Substratmaterial der ersten SPAD-Diode 40 handeln;

47 zweite dotierte Wanne 47 eines zweiten Leitungstyps. In einer CMOS- Technologie mit einem p-dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielsweise um ein p-dotiertes Gebiet im halbleitenden Substratmaterial 49 handeln. Es kann sich um einen Teil einer SPAD-Diode 40 handeln, die als Photonenquelle 54 oder Photonendetektor 55 in einer horizontalen Entropiequelle 401 eingesetzt wird.. In den Beispielen der Figuren 28 bis 30 handelt es sich um eine p-Wanne der Zener-Diode, die als Photonenquelle 54 der vertikalen Entropiequelle 401 dient;

48 epitaktische Schicht 48 eines zweiten Leitungstyps. In einer CMOS-Technologie mit einem p-dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielsweise um eine p- dotierte epitaktische Schicht im halbleitenden Substratmaterial der SPAD- Diode 40 handeln;

49 Basismaterial 49 und/oder Halbleitersubstrat 49 des beispielhaften halbleitenden einkristallinen Wafers bzw. Wafer-Stückes, der bevorzugt einen zweiten Leitungstyp aufweist. In einer CMOS-Technologie mit einem p- dotiertem Wafer-Material handelt es sich beispielsweise um einen p-dotierten einkristallinen Halbleiter-Wafer bzw. ein einen p-dotiertes einkristallines Halbleiter-Wafer-Stück (Die);

50 zweite dotierte Wanne eines zweiten Leitungstyps (also bei einem p-dotierten Substrat um ein p dotiertes Gebiet) unterhalb des Anodenkontakts. In einer CMOS-Technologie mit einem p-dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielswe5ise um ein p-dotiertes Gebiet im halbleitenden Substratmaterial der SPAD-Diode 40 handeln;

51 hoch dotiertes zweites Anschlussgebiet eines zweiten Leitungstyps, auch als p+ S/D Implantation bezeichnet. In einer CMOS-Technologie mit einem p- dotiertem Wafer-Material kann es sich beispielsweise um ein p+-dotiertes Gebiet im halbleitenden Substratmaterial der SPAD-Diode 40 handeln;

52 Isolation, beispielsweise ein Oxid oder dergleichen;

53 Metallabdeckung des Lichtwellenleiters 44;

54 Erste SPAD-Diode. Die erste SPAD-Diode 55 dient zumindest zeitweise als Lichtquelle für die Bestrahlung der zweiten SPAD-Diode 45 mit Photonen der ersten SPAD-Diode 54;

55 Zweite SPAD-Diode 55. Die zweite SPAD-Diode 55 dient beispielsweise zumindest zeitweise als Fotodetektor für das Licht der ersten SPAD-Diode 54.

56 Oberfläche 56 des Wafers im Sinne der hier vorgelegten Schrift;

57 vertikal nach oben (bzw. unten in Figuren 28 bis 30) in senkrechter Richtung zur Oberfläche 56 emittiertes Licht 57 der ersten SPAD-Diode 54;

58 horizontal im Lichtwellenleiter 44 transportiertes Licht 58, das ein Teil des vertikal von der ersten SPAD-Diode 54 in den Lichtwellenleiter 44 eingestrahlten Lichts 57 ist;

59 vertikal nach unten in senkrechter Richtung zur Oberfläche 56 aus dem Lichtwellenleiter 44 in die zweite SPAD-Diode 55 eingestrahltes Licht 59 der ersten SPAD-Diode 54, das von der ersten SPAD-Diode 54 als senkrechtes Licht 57 in den Lichtwellenleiter 44 hinein emittiert wurde und dann vom Lichtwellenleiter 44 horizontal zur zweiten SPAD-Diode 55 transportiert wurde;

61 Datensätze;

62 digitale Signatur;

63 Schnittstelle;

64 Datenbusschnittstelle; 65 externer Datenbus. Der externe Datenbus kann im Sinne der hier vorgelegten Schrift eine drahtgebundene Datenverbindung oder eine drahtlose Datenverbindung sein;

81 Schnittstelle 81;

82 Bus-Arbiter 82;

83 Reset-Schaltung 83;

84 analoge Eingangsverarbeitung 84;

85 Analog-zu-Digital-Wandler 85;

86 digitale Signalverarbeitung 86;

87 Digital-zu-Analog-Wandler 87

88 analoge Ausgangsverarbeitung 88;

89 ein oder mehrere externe analoge Signale 89;

90 analoge Ausgangssignale 90;

91 Spannungswandler 91;

92 Taktgenerator 92. Der Taktgenerator 92 erzeugt vorzugsweise den Systemtakt 2106. Vorzugsweise überwacht der Watchdog 404.5 den Systemtakt 2106 auf zu niedrige oder zu hohe Geschwindigkeit und auf Clock-Jitter. Sofern der Systemtakt 2106 des Taktgenerators 92 einen Clock-Jitter zeigt, meldet der Watchdog 404.5 einen Fehler an den Prozessor 10-1 über den Datenbus 419 oder über die Interrupt-Leitung 420;

140 Kontakt;

141 Metall 1 Leitungen;

142 Metall 2 Leitungen / Metall 2 Deckel;

241 Gatter

242 Gatter

301 Schnittstelle

401 Entropie-Quelle 401;

402 Hochfrequenzverstärker 402;

403 Analog-Digital-Converter (ADC) 403;

404 Auswerteschaltung 404;

404.1 Konstante 404.1;

404.2 Komparator 404.2;

404.3 Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC);

404.4 Entropie-Extraktions-Vorrichtung 404.4;

404.5 Watchdog 404.5; 404.6 optionales, weiteres, linear rückgekoppeltes Schieberegister. Die Rückkopplung ist bevorzugt ein einfach primitives Polynom, um Pseudozufallsbittfolgen zu erzeugen;

404.7 Signal-Multiplexer 404.7;

404.8 Finite State Machine (endlichen Automaten);

404.9 RAM oder FIFO;

404.10 Finish Flag;

404.11 Prozessor 10-1, 10-2;

405 Spannungssignal der Entropie Quelle 401;

406 Verstärkerausgangssignal 406 des Hochfrequenzverstärkers 402;

407 Ausgangssignal 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403. des digitaler Bit Wert 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403. Andere Bitbreiten als 1 Bit sind denkbar;

408 Signal der Konstanten 404.1;

409 Ausgangssignal 409 des Komparators 404.2;

410 Ausgang 410 des Zeit-zu-Pseudozufallszahlen-Wandler 404.3 (TPRC);

411 Ausgang der Entropie Extraktion 404.4;

412 Seed S;

413 Spannungsmonitor;

414 Signalleitungen;

415 einsynchronisiertes Spannungssignal 415. Das einsynchronisierte

Spannungssignal 415 erzeugt die Pulsverlängerungsschaltung 2023 (MF) aus dem Ausgangsignal 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 in Abhängigkeit vom Systemtakt 2106;

416 Selektionssignal;

417 Pseudozufallssignalleitung;

418 Quantenzufallsdatenwörter;

419 interner Datenbus 419 des Quantenzufallszahlengenerators 28. Bevorzugt handelt es sich um den internen Datenbus der Steuervorrichtung 4;

420 Interrupt Signal 420 des Watchdogs 404.5 des Quantenzufallszahlengenerators 28 bzw. der Steuervorrichtung 4;

500 Flussdiagramm 500 des Entropie Extraktionsverfahrens;

501 erster Schritt 501 mit Ermittlung des ersten Werts des Ausgangs 410 des Zeit- zu-Pseudozufallszahlen-Wandlers 404.3 und des zweiten Werts des Ausgangs 410 des Zeit-zu- Pseudozufallszahlen -Wandlers 404.3 und Speicherung in einem Schieberegister der Entropie Extraktion 404.4;

502 zweiter Schritt des Vergleichens des ersten Werts mit dem zweiten Wert;

503 dritter Schritt der Bewertung des ersten Werts und des zweiten Werts und der Erzeugung des Quantenzufallsbits 411;

601 erste Spikes;

602 zweite Spikes;

603 Schneidepegel;

Bezugszeichen von 1001 bis 2999

2021 überwachte interne Spannungen 2021;

2022 Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8;

2023 Pulsverlängerungsschaltung 2023, typischerweise in Form eines Monoflops MF. Das Monoflop MF verlängert einen Puls auf der Leitung des digitalen Bit Wert 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 auf eine Zeitliche Länge von mindestens einer Taktperiode des Systemtakts 2106;

2101 Schieberegisterbus 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC);

2102 Rückkoppelmultiplexer 2102 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC);

2103 Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) stellt beispielsweise auf Veranlassung eines Prozessors (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 419 mittels eines Parallel zur seriell Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 die n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) vom seriellen Schieberegisterbetriebsmodus auf den parallelen Schieberegisterbetriebsmodus um, sodass die Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) des Schieberegisters den aktuellen logischen Wert des TPRG-Datenbus 2110 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als Startwert (Seed) des linear rückgekoppelten Schieberegisters verwenden. Der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aktiviert beispielsweise auf Veranlassung eines Prozessors (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 419 mittels einer mittels eines Parallel zur seriell Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 die n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) vom seriellen Schieberegisterbetriebsmodus auf den seriellen Schieberegisterbetriebsmodus um, sodass das erste Schieberegisterbit SBi der n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) den aktuellen logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 übernimmt und die anderen Schieberegisterbits SBj der Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) des Schieberegisters den jeweiligen logischen Wert ihres Vorgänger-Schieberegisterbits SBy-i; mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 übernehmen.

Einer oder mehrere Prozessoren (10-1, 10-2) können über den internen Datenbus 419 ein oder mehrere Register des Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) schreiben und/oder lesen.

Bevorzugt können die Prozessoren (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 419 ein oder mehrere Register des Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) beschreiben und so den logischen Wert des TPRG-Datenbusses 2110 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) bestimmen, den das Schieberegister als nächsten Seed-Wert benutzt. Diese Funktion kann ggf. durch einen Zugriffscode im OPT II Speicher 22 mittels der Deaktivierungsschaltung 24 blockiert sein.

Vorzugsweise erzeugt jedoch der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aus dem Datenstrom der Quantenzufallsbits 411 in einem speziellen internen Register des Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) den logischen Wert des TPRG-Datenbusses 2110 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), den das Schieberegister als nächsten Seed-Wert benutzt. Dies hat den Vorteil, dass das Verhalten der Schaltung dann von einem Quantenprozess abhängt und damit nicht vorhersagbar ist. Sofern die Detektionsschaltung 2113 einen illegalen Wert des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n detektiert, meldet sie dieses an den Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC), der daraufhin Maßnahmen ergreift. Eine solche typische Maßnahme ist das Rücksetzen des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n auf einen vorbestimmten Wert, beispielsweise den Seed-Wert des aktuellen Werts des TPRG-Datenbusses 2110 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) oder einen anderen vordefinierten

Wert. Der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aktiviert oder deaktiviert vorzugsweise über den Schieberegisterbitaktivierungsbus 2109 die Datenübernahme der n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) bei der nächsten Taktflanke der verwendeten Taktflankenrichtung typischerweise bitselektiv.

Vorzugsweise erzeugt jedoch der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) aus dem Datenstrom der Quantenzufallsbits 411 in einem speziellen internen Register des Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) den logischen Nachladewert des Rückkoppelpolynom-Auswahlregisters 2112 und lädt diesen Nachladewert in das Rückkoppelpolynom- Auswahlregisters 2112.

Mittels einer Leitung 2022 zur Verhinderung der Nutzung eines Quantenzufallsbits 411 durch die Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 verhindert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise, dass Finite State Maschine (endlicher Automat) 404.8 solche Quantenbits 411 nutzt, die der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) bereits benutzt hat;

2104 Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC), die den nächsten seriellen Nachladewert für das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) bei Auswahl eines Rückkoppelnetzwerks der m Rückkoppelnetzwerke (RKNi bis RKN _m ) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) durch den Rückkoppelmultiplexer 2102 und bei Einstellung des seriellen Schiebemodus durch den Schieberegister-Controller 2103 als n auswählt, das mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 in das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) geladen wird;

2105 Schwellwert 2105;

2106 Systemtakt 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28;

2107 Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, die die n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) vom seriellen Schieberegisterbetriebsmodus auf den parallelen Schieberegisterbetriebsmodus in Abhängigkeit von ihrem logischen Wert umstellen kann;

2109 Schieberegisterbitaktivierungsbus 2109 mit typischerweise n Schieberegisterbitaktivierungsleitungen der jeweils zugehörigen n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) zur jeweiligen, vorzugsweise bitselektiven Aktivierung der Datenübernahme der n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) bei der nächsten Taktflanke der verwendeten Taktflankenrichtung, wobei die jeweilige Datenquelle der Datenübernahme durch das jeweilige Schieberegisterbit der jeweils zugehörigen n Schieberegisterbits (SBi bis SB _n ) durch eine oder mehrere Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitungen 2107 des Schieberegistercontrollers 2103 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) festgelegt wird;

2110 TPRG-Datenbus 2110 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), der typischer weise je Schieberegisterbit der Schieberegisterbits (SBI bis SB _n ) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) jeweils bevorzugt eine Datenleitung umfasst, deren logischer Inhalt ein Bit des TPRG-Datenbusses 2110 darstellt. Diese Bits des TPRG-Datenbus 2110 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) bilden typischerweise den Startwert (Seed) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), den der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) auf Befehl eines Prozessors (10-1, 10-2) über den internen Datenbus 1901 in die Schieberegisterzellen der Schieberegisterbits (SBI bis SB _n ) lädt;

2111 Steuerregister 2111 des Rückkoppelmultiplexers 2102 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Vorzugsweise lädt der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) das Steuerregister 2111 des Rückkoppelmultiplexers 2102 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) und wählt dadurch das Rückkoppelpolynom durch Auswahl des aktuellen Rückkoppelnetzwerkes der Rückkoppelnetzwerke (RKNi bis RKN _m ) aus. Vorzugsweise ändert der Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) den Wert des Steuerregisters 2111 des Rückkoppelmultiplexers 2102 nur dann, wenn ein Quantenzufallsbit 411 erfolgreich erzeugt wurde oder wenn Schieberegistercontroller 2103 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) mindestens einen Startpuls für den

2112 Rückkoppelpolynom-Auswahlregister 2112; 2113 Detektionsschaltung 2113 zur Detektion eines illegalen Werts des Zustandsvektors der n Schieberegisterbits SBi bis SB _n ;

2201 erster beispielhafter Puls 2201 der Entropie Quelle 401 auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401;

2202 zweiter beispielhafter Puls 2202 der Entropie Quelle 401 auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401;

2203 dritter beispielhafter Puls 2203 der Entropie Quelle 401 auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401;

2204 vierter beispielhafter Puls 2204 der Entropie Quelle 401 auf dem Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401;

2211 erster beispielhafter Puls des einsynchronisierten Spannungssignals 415, der aus dem ersten beispielhaften Puls 2201 der Entropie Quelle 401 erzeugt wurde;

2212 zweiter beispielhafter Puls des einsynchronisierten Spannungssignals 415, der aus dem zweiten beispielhaften Puls 2202 der Entropie Quelle 401 erzeugt wurde;

2213 dritter beispielhafter Puls des einsynchronisierten Spannungssignals 415, der aus dem dritten beispielhaften Puls 2203 der Entropie Quelle 401 erzeugt wurde;

2214 vierter beispielhafter Puls des einsynchronisierten Spannungssignals 415, der aus dem vierten beispielhaften Puls 2204 der Entropie Quelle 401 erzeugt wurde;

2301 High-Side-Transistor 2301 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2302 Low-Side-Transistor 2302 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2303 zweiter High-Side-Transistor 2303 der zweiten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411. In dem Beispiel der Figur 23 ist der zweite High- Side-Transistor 2301 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 als MOS- Diode verschaltet;

2305 Transfer-Transistor 2305 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411. In dem Beispiel der Figur 23 ist der Transfer-Transistor 2305 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411 als MOS-Diode verschaltet;

2306 erster Energiespeicher, hier in dem Beispiel der Figur 23 ein erster Kondensator 2306; 2307 zweiter Energiespeicher, hier in dem Beispiel der Figur 23 ein zweiter

Kondensator 2307;

2311 Steuerkontakt (Gate) 2311 des High-Side-Transistors 2301 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2312 Steuerkontakt (Gate) 2311 des Low-Side-Transistors 2302 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2313 Steuerkontakt (Gate) 2311 des zweiten High-Side-Transistors 2303 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2320 Ausgangsknoten 2320 der ersten Halbbrücke der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2321 Ausgangsknoten 2321 der Ladungspumpe für die Entropiequelle 411;

2330 Steuervorrichtung 2330 des Spannungswandlers 91 zur Versorgung der

Entropiequelle 411 mit einer ausreichenden Betriebsspannung der Versorgungsspannungsleitung VENT der Entropiequelle 411 gegenüber der Bezugspotenzialleitung GND auf dem Bezugspotenzial.

2401 beispielhaftes imaginäres Halbleiter-Die 2401 des integrierten Schaltkreises 2, beispielsweise des Mikrocontrollers, zur Erläuterung der optimalen Platzierung eines Quantenzufallszahlengenerators in einem beispielhaften Layout eines mikrointegrierten Schaltkreises 2;

2402 Anschluss-Pads (Anschlussfläche) einer Leitung des mikrointegrierten Schaltkreises 2;

2403 Pad-Rahmen des mikrointegrierten Schaltkreises 2;

2404 Verdrahtungsbereich des mikrointegrierten Schaltkreises 2;

2405 innerer Bereich des mikrointegrierten Schaltkreises 2;

Bezugszeichen von 3000 bis 3999

3000 Erzeugung eines Socket-Descriptors;

3010 Binden des Socket-Descriptors an einen Port und eine IP-Adresse;

3020 passiver Wartezustand und Warten auf Verbindungsanfragen einer integrierten Schaltung 2, beispielsweise eines Mikrocontrollers, eines Clients;

3030 Herstellen einer Verbindung vom ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers zum ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers; 3040 Erzeugen einer Quantenzufallszahl 411 und Erzeugung eines öffentlichen und eines privaten Schlüssels mittels eines RSA-Verfahrens durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 Q.RNG und eines RSA-Verfahrens.

3050 Warten auf eine verschlüsselte Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) Clients durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3060 Entschlüsseln der Nachricht des mittels des in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) zwischengespeicherten privaten Schlüssels aus dem Schritt 3040 gemäß des RSA-Verfahrens

3070 Verschlüsselung der Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mittels des öffentlichen Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus Schritt 3040 gemäß des RSA-Verfahrens durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3080 Senden der im Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers gespeicherten, verschlüsselten Nachricht an den erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client über die Datenbusschnittstelle 64 des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und über den Datenbus 65 und über die Datenschnittstelle 64 des ersten Prozessors 10-1 des Rechners durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3090 Ausführen der Funktion close() und Schließen der offenen Verbindung zu einem Socket, hier dem Socket des Clients, und Beenden der Kommunikation mit dem Client durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3100 Erzeugen eines Socket-Descriptors durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und stellen einer Verbindungsanfrage an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers unter Benutzung des Ports und der IP-Adresse, welche in dem Schritt 3010 festgelegt wurden, durch den Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3110 Herstellen einer Verbindung zwischen dem Server-Socket aus dem Schritt 3010 und dem Client-Socket aus dem Schritt 3100;

3120 Erzeugen einer Quantenzufallszahl basierend auf Quantenzufallsbits 411 und Erzeugung eines öffentlichen und eines privaten Schlüssels mittels eines RSA- Verfahrens durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 Q.RNG und eines RSA-Verfahrens.

3130 Verschlüsseln der eigenen Nachricht des Clients mittels des öffentlichen Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers aus Schritt 3040 mittels des RSA- Verfahrens durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3140 Senden der verschlüsselten Nachricht des Clients an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3150 Warten auf eine verschlüsselte Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und Empfangen einer Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Servers den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und Speichern der so empfangenen und typischerweise verschlüsselten Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Servers in einem temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und Lesen der ankommende Daten des ersten Prozessors 10-1 des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels Ausführen der Funktion recv() von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall von dem Socket-Descriptor des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus dem Schritt 3100 und speichern die gelesenen Daten vorzugsweise in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3160 Entschlüsseln einer durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients empfangenen, verschlüsselten Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Ausführung der Funktion DecryptQ durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients unter Verwendung des privaten Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus dem Schritt 3120 mittels des RSA-Verfahrens und anschließendes Speichern der so entschlüsselten Nachricht in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3170 Schließen der offenen Verbindung zu dem Socket durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und Beenden der Kommunikation mit dem erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3200 Erzeugung zweier verschiedener Primzahlen p und q und des Produkts n=p*q und des Ergebnisses der Eulerschen Phi-Funktion phi = (p-l)(q-l) durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mittels der Funktion KeyExchangeServer();

3210 Erzeugung einer zu phi teilerfremden Zahl e mittels Aufruf der Funktion setE() durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers, wobei die Zahl phi diejenige aus dem Schritt 3200 ist und wobei teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die Zahl phi gleichzeitig ganzzahlig teilt;

3220 Berechnung des multiplikativen Inversen zur Zahl e mittels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers unter Verwendung der Funktion findD(), sodass gilt (e*d)mod phi = 1;

3230 Warten auf eine eintreffende Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients, die typischerweise den öffentlichen Schlüssel des Clients umfassen sollte, durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und Lesen der ankommenden Daten von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Client durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers und Speichern die gelesenen Daten vorzugsweise in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3240 Versenden des öffentlichen Schlüssel (d,n) des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers aus den Schritten 3200 und 3220 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Clients aus dem Schritt 3030;

3245 Verlassen der Funktion KeyExchangeServer() durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3250 Erzeugen der Primzahl p und Erzeugen der von q verschiedenen Primzahl q und Erzeugen des Produkts n=p*q und Erzeugen der Eulerschen Phi-Funktion phi = (p-l)(q-l) jeweils durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Fuktion KexExchangeClient();

3260 Erzeugen eine zur Zahl phi aus dem Schritt 3250 teilerfremden ganzen Zahl e durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Funktion setE(), wobei teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die phi restfrei teilt;

3270 Berechnen des multiplikativen Inversen zur Zahl e durch den ersten Prozessor

10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Funktion findD(), sodass gilt (e*d)mod phi = 1;

3280 Versenden der öffentlichen Schlüssels (d,n) des ersten Prozessor 10-1 des

Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients aus den Schritten 3250 und 3270 an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients, wobei der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Funktion send() Daten über einen Socket-Descriptor, in diesem Fall der Socket-Descriptor des Clients aus Schritt 3100, sendet;

3290 Warten auf eine eintreffende Nachricht des ersten Prozessor 10-1 des

Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers mit dem öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients und lesen ankommender Daten des ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers von einem Socket-Discriptor, in diesem Fall von dem Socket-Descriptor des Clients aus Schritt 3100, durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients mittels der Funktion recv() und speichern dieser Daten in einen temporären Zwischenspeicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3295 Verlassen der Funktion KeyExchangeClient() durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients; 3300 Erzeugen einer Zufallszahl mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG durch den aufrufenden ersten Prozessor 10-1 und Ermitteln einer Primzahl in Abhängigkeit von dieser Zufallszahl durch den aufrufenden ersten Prozessor 10-1 und Abspeichern dieser Primzahl als Variable p in dem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2), dessen Teil der aufrufende erste Prozessor 10-1 ist;

3110 Erzeugen einer zweiten Zufallszahl mittels eines Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG durch den aufrufenden ersten Prozessor 10-1 und Ermitteln einer Primzahl in Abhängigkeit von dieser Zufallszahl durch den aufrufenden ersten Prozessor 10-1 und Abspeichern dieser Primzahl als Variable q in dem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2), dessen Teil der aufrufende erste Prozessor 10-1 ist;

3320 Überprüfung, ob die logische Aussage q==p gilt, durch den aufrufenden ersten Prozessor 10-1 und Wiederholen der Schritte ab dem Schritt 3310 durch den aufrufenden Prozessor 10-1, wenn diese Aussage gilt;

3330 Berechnen des Produkts n= p * q durch den aufrufenden Prozessort 10-1;

3340 Berechnen der Euler'schen Phi-Funktion phi = (q-1) * (p-1) durch den aufrufenden Prozessort 10-1;

3350 Verlassen der Funktion setPrimes() durch den aufrufenden Prozessor 10-1;

3400 Ablauf der Funktion SetE(), Beim Aufrufen der Funktion setE() im Schritt 3400 generiert der Aufrufende, in Fall des vorliegenden Dokuments der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients, eine zufällige Zahl e für die gilt, dass sie teilerfremd zur Zahl phi ist. Teilerfremd in Sinne des vorliegenden Dokuments bedeutet, dass es keine natürliche Zahl außer der Zahl eins gibt, die gleichzeitig die Zahl e und die phi teilt. Der aufrufende Prozessor 10-1 kann die Zahl e sowohl durch eine Zufallszahl des Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG als auch durch einen Pseudozufallszahlengenerator PRNG als auch durch Hochiterieren einer Integer-Zahl beginnend mit 2 erzeugen. Die Erzeugung mittels des Quanten- Zufallszahlen-Generators 18 QRNG ist aber bevorzugt;

3410 Überprüfen, ob die logische Aussage gcd(e,phi) 1= 1 erfüllt ist, durch den aufrufenden Prozessor 10-1 und wiederholen des Schritts 3400 durch den aufrufenden Prozessor 10-1, wenn die logische Aussage erfüllt ist. Der aufrufende Prozessor 10-1 berechnet mittels dieser Funktion gcd(a,b) den größten gemeinsamen Teiler der Übergabeparameter a, b und gibt das Ergebnis an den aufrufenden Prozessor 10-1 zurück;

3420 Verlassen der Funktion setE() und Rückgabe des aktuelle Werts von e als Rückgabewert an den aufrufenden Prozessor 10-1 durch den aufrufenden Prozessor 10-1, wenn die logische Aussage gcd(e,phi) 1= 1 nicht erfüllt ist;

3500 Initialisieren einer Variablen d mit 0 durch den aufrufenden Prozessor 10-1, hier der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers;

3510 Addieren der Zahl 1 zu der Zahl d durch den aufrufenden Prozessor 10-1;

3520 Überprüfen, ob die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 erfüllt ist, durch den aufrufenden Prozessor 10-1 und Wiederholen der Schritte ab Schritt 3510, wenn die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 nicht erfüllt ist;

3530 Verlassen der Funktion findD() durch den aufrufenden Prozessor 10-1, wenn die logische Aussage (e*d) (mod phi) == 1 erfüllt ist, und Rückgeben des aktuellen Werts von d als Rückgabewert an den aufrufenden Prozessor 10-1, in Fall des vorliegenden Dokuments den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers oder der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients;

3600 Server;

3610 Client;

3620 Versenden des auf einer ersten Quantenzufallszahl des

Quantenzufallszahlgenerators 28 Q.RNG des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 basierenden öffentlichen Schlüssels des Servers 3600 über einen nicht abhörsicheren Kanal an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600;

3630 Erzeugen einer Pseudozufallszahl PZ oder einer anders erzeugten Zufallszahl durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 und Speichern der Pseudozufallszahl PZ bzw. der anders erzeugten Zufallszahl in einem Speicher des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 und Erzeugen eines ersten privaten Schlüssels des Clients 3610 und eines ersten öffentlichen Schlüssels des Clients 3610 unter Benutzung dieser Pseudozufallszahl PZ bzw. dieser anders erzeugten Zufallszahl durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 und Verschlüsselung dieses ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 mittels des öffentlichen Schlüssels des Servers 3600 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 und Versenden des verschlüsselten ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610;

3640 Entschlüsseln der Nachricht des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 mit dem ersten privaten Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610, sodass der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 über den ersten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 verfügt, ohne dass dieser Dritten bekannt sein kann, und Erzeugen einer weiteren, zweiten Quantenzufallszahl QZ2 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 mittels des Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG, wobei die Bitbreite dieser zweiten Quantenzufallszahl ist bevorzugt gleich der Bitbreite, der Zufallszahl PZ des Clients 3610 ist, und Verschlüsseln der zweite Quantenzufallszahl QZ2 mit dem ersten öffentlichen Schlüssel des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 zu einer verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600, wobei beispielsweise der erste öffentliche Schlüssel des Clients 3610 die Zufallszahl PZ des Clients sein kann und wobei in dem Fall der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 die zweite Quantenzufallszahl QZ2 beispielsweise durch bitweise XOR-Verknüpfung der zweiten Quantenzufallszahl QZ2 mit PZ zu einer verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' verschlüsseln kann, und Versendung der verschlüsselten zweite Quantenzufallszahl QZ2' an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600.

3650 Entschlüsselung der verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' unter Benutzung des ersten privaten Schlüssels des ersten Prozessors 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 zur zweiten Quantenzufallszahl QZ2 durch den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610. Hat der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) die zweite verschlüsselte Quantenzufallszahl QZ2' durch bitweise XOR-Verknüpfung der Zufallszahl PZ mit der zweiten Quantenzufallszahl QZ2 ermittelt, so kann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 beispielsweise durch bitweise XOR-Verknüpfung der verschlüsselten zweiten Quantenzufallszahl QZ2' mit der ihm bekannten Zufallszahl PZ zur zweiten Quantenzufallszahl QZ2 entschlüsseln. Bevorzugt nutzt der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 die ihm nun vorliegende zweite Quantenzufallszahl QZ2 als Grundlage für die Erzeugung eines zweiten privaten und eines zweiten öffentlichen Schlüssels gemäß einem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren. Bei dem asymmetrischen Verschlüsselungsverfahren kann es sich zum Beispiel um das RSA-Verfahren (ANHANG) handeln. Der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 verschickt nun seinen zweiten öffentlichen Schlüssel über den nicht abhörsicheren Kanal an den Server 3600. Hierbei verschlüsselt er bevorzugt diesen zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 mit dem öffentlichen Schlüssel des Servers 3600. Der Server 3600 entschlüsselt den verschlüsselten zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610 und verwendet dann diesen zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients für die Verschlüsselung weiterer Nachrichten an den ersten Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Client 3610. Bevorzugt erzeugt und sendet der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 nach einer vorbestimmten Zeit oder einer nach dem Versenden einer vorbestimmten Datenmenge an den Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients 3610 einen neuen öffentlichen Schlüssel auf Basis einer neuen Quantenzufallszahl seines Quantenzufallszahlengenerators 28 QRNG verschlüsselt mit dem zweiten öffentlichen Schlüssel des Clients 3610. Bevorzugt führen dann der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Servers 3600 und der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) des Clients das zuvor beschriebene Verfahren erneut durch, sodass die Schlüssel permanent wechseln. Dies macht es auch einem Quantencomputer unmöglich, die Schlüssel zu brechen;

3700 Verfahren zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl QZ 418 mit m Quantenzufallsbits 411;

3710 Erzeugung eines zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) mittels einer oder mehrerer Photonenquellen 54 und/oder einer oder mehrerer SiliziumLEDs 54 und/oder einer oder mehrerer erster SPAD-Dioden (54), wobei bevorzugt die Photonenquellen 54 und/oder die Silizium-LEDs 54 und/oder die ersten SPAD-Dioden (54) einstückig in einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 49 gefertigt sind;

3720 Übertragung des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) mittels des Halbleitersubstrats (49, 48) und/oder mittels eines vom Halbleitersubstrat (49, 48) verschiedenen Lichtwellenleiters 44 und/oder direkt zwischen den Bauelementen an einen oder mehrere Photonendetektoren 55 und/oder eine oder mehrere zweite SPAD-Dioden (55);

3730 Wandlung des zufälligen Einzelphotonenstroms (57, 58, 59, 44) in ein Detektionssignal in Form eines Spannungssignal 405 der Entropie Quelle 401, die bevorzugt Photonenquellen 54 und/oder einer oder mehrerer Silizium-LEDs 54 und/oder einer oder mehrerer erster SPAD-Dioden (54) und die Mittel zur Lichtübertragung, wie das Halbleitersubstrat (49, 48) und/oder den Lichtwellenleiter 44, und die Photonendetektoren 55 und/oder die die zweiten SPAD-Dioden 55 umfasst; 3740 Aufbereiten, insbesondere Verstärken und/oder Filtern und/oder Analog-zu- Digital-Wandeln, des Detektionssignals in ein aufbereitetes Detektionssignal, insbesondere einen digitalen 14 Bit-Wert 407 des Analog-zu-Digital-Wandlers 403 bzw. eines 1-Bit-Analog-zu-Digitalwandlers 403;

3750 optionales Abtrennen der durch optische Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 und/oder einer Silizium-LED 54 und/oder einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und einem Photonendetektor 55 und/oder einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals von den durch spontane Emission entstandenen Pulsen des aufbereiteten Detektionssignals durch Vergleich des aufbereiteten Detektionssignals mit einem Schwellwert, insbesondere in einem Komparator 404.2 und Erzeugung eines entsprechenden Ausgangssignals 409, insbesondere des Komparators 404.2. Ggf. kann der Analog-zu-Digital-Wandler 403 das Ausgangssignal 409 direkt erzeugen, wenn es sich um einen 1-Bit Analog-zu-Digitalwandler 403 handelt. Insofern ist dieser Schritt 3750 optional und ist daher nur gestrichelt eingezeichnet;

3760 Ermittlung 3760 einer ersten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem ersten zeitlichen Abstand zwischen dem ersten Puls und dem zweiten Puls eines ersten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch optische Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 bzw. einer Silizium-LED

54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und eines Photonendetektors

55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals, als ersten Werts des Ausgangs 410 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3;

3765 Ermittlung 3760 einer zweiten Pseudozufallszahl in Abhängigkeit von einem zweiten zeitlichen Abstand zwischen dem dritten Puls und dem vierten Puls eines ersten Paares aus zwei aufeinander folgenden, durch optische Kopplungen der Emissionen einer Photonenquelle 54 bzw. einer Silizium-LED

54 bzw. einer ersten SPAD-Diode 54 einerseits und eines Photonendetektors

55 bzw. einer zweiten SPAD-Diode 55 andererseits entstandenen Pulse des aufbereiteten Detektionssignals, als ersten Werts des Ausgangs 410 des Zeit- zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3. Dabei kann der dritte Puls mit dem zweiten Puls (siehe Schritt 3760) identisch sein.; 3670 Ermittlung des Bit-Werts eines Quantenzufallsbits 411 durch Vergleich des Werts der ersten Pseudozufallszahl und des Werts der zweiten Pseudozufallszahl;

3680 Überprüfung 3680. In der Überprüfung 3680 überprüfen der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) und/oder eine Finite-State-Machine 404.8, ob die Anzahl n der ermittelten Quantenzufallsbits 411 noch kleiner als die gewünschte Zahl m der Zufallsbits der gewünschten Quantenzufallszahl 418 ist. Sofern dies nicht der Fall ist wiederholen der erste Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) und/oder Finite-State-Machine 404.8 die vorstehenden Schritte 3710 bis 3770. Ansonsten beenden der Prozessor 10-1 des Rechners (hier des beispielhaften mikrointegrierten Schaltkreises 2) bzw. die Finite-State-Machine 404.8 den Prozess zur Erzeugung einer Quantenzufallszahl. Ggf. stellt die Finite-State-Machine 404.8 die Quantenzufallszahl dem Prozessor 10-1 zur Verfügung und signalisiert vorzugsweise dem Prozessor 10-1 diese Verfügbarkeit, beispielsweise durch einen Interrupt oder durch das Setzen eines Flags.

15152 Mittels zur elektronischen Erfassung 25152 („electronic sampling means");

25154 Mittel zur elektronischen Nachbearbeitung 25154 („electronic post-processing means") der Photonen 55 im Stand der Technik;

26122 Kathode 26122;

26(27022) 124 Anode 26124;

26132 Kathode 26132;

26134 Anode 26134;

27022 ersten Gebiet 27022 (z. B. NBL) vom ersten Leitungstyp (negativ für NBL);

27032 zweites Gebiets 27032 (z. B. PBL) vom zweiten Leitungstyp (positiv für PBL);

27050 in der epitaktischen Schicht 48 liegender p-n-Übergang 27050;

27052 pn-Übergang 27052;

27110 BCD-Substrat 27110;

28010 Hochvolt-p-Wanne 28010 (engl. „high-voltage p-type well");

28020 Beobachtungsdiode 28020;

29010 schwach n-dotiertes bzw. (annähernd) intrinsisches epitaktisches Gebiet 29010;

Nicht numerische Bezugszeichen

GND Bezugspotenzialleitung GND auf Bezugspotenzial; O Oberfläche 0 des Halbleitersubstrats 49;

R Symmetrieachse R der Struktur der Figur 26;

S Oberfläche S des Trägersubstrats 49;

S2 Lesen eines Ladeprogramms aus dem EEPROM 6;

S4 Überprüfung der digitalen Signatur des mittels des Boot-ROM-Codes anhand des im ersten OTP 20 gespeicherten öffentlichen Schlüssels;

S6 Lesen nachfolgender Datensätze mit Hilfe des Ladeprogramms

S8 prüfen der Signatur des neu aus dem EEPROM 6 gelesenen Datensatzes anhand eines öffentlichen Schlüssels, der in einem zuvor geladenen oder im OTP-I-Speicher 20 gespeicherten Datensatz eingebettet ist, durch den Ladecode;

520 Lesen eines Datensatzes aus dem EEPROM 6;

521 Speichern zumindest eines Teils der Daten des Satzes im TCM 14;

522 Berechnen eines Hash-Werts für jedes Wort der verbleibenden Daten;

S24 Speichern des berechneten Hash-Werts im DRAM 8 an einer mit dem gespeicherten Wort verbundenen Stelle mittels einer Zusammenarbeit des Prozessors 10-1 bzw. der Prozessoren 10-1, 10-2 einerseits mit der Hash- Engine 18 andererseits;

S26 Neuberechnung des Hash-Werts, wenn ein Wort aus dem DRAM 8 gelesen wird, durch den Prozessor 10-1, 10-2 und die Hash-Engine 18;

S30 Vergleich des neu berechneten Hash-Werts mit dem entsprechenden im

DRAM 8 gespeicherten Hash-Wert, mittels des Prozessors 10-1, 10-2 und der Hash-Engine 18;

S34 Überprüfen, ob die Hash-Werte eine vorbestimmte Beziehung haben, z. B. gleich sind;

S36 Unterbrechen der Verarbeitung und/oder Erzeugen einer Fehlermeldung und/oder Ignorieren von Daten/ Code, wenn sie nicht die vorgegebene Beziehung aufweisen;

S38 Verarbeitung der gelesenen Daten mittels des Prozessors bzw. der Prozessoren

10-1, 10-2, wenn die Hash-Werte eine vorbestimmte Beziehung haben, z. B. gleich sind;

RKNi erstes Rückkoppelnetzwerk RKNi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers

404.3 (TPRC), das typischerweise aus dem logischen Datenwort, das auf dem Schieberegisterbus 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorhanden ist, den logischen Rückkoppelwert erzeugt, den das erste Schieberegisterbit SBi

1. bei Auswahl des ersten Rückkoppelnetzwerks RKNi des Zeit-zu-

Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) durch den Rückkoppelmultiplexer 2102 und

2. bei Einstellung des seriellen Schiebemodus durch den Schieberegister- Controller 2103 über Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 eine Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 und

3. bei Aktivierung der Schieberegisterbitaktivierungsleitung des ersten Schieberegisterbits SBi des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 zur Aktivierung der Datenübernahme des ersten Schieberegisterbits SBi bei der nächsten Taktflanke des verwendeten Taktflankenrichtungssignals als nächsten seriellen Nachladewert für das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) auswählt. Das erste Schieberegisterbit SBi lädt dann mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 diesen nächsten seriellen Nachladewert in das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt ist das erste Rückkoppelnetzwerk RKNi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) von den andern Rückkoppelnetzwerken des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) verschieden. Bevorzugt realisiert das erste Rückkoppelnetzwerk RKNi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) eine logische Verknüpfung des logischen Inhalts des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu dem logischen Wert des Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), der unter den obigen Bedingungen der nächste Nachladewert ist. Bevorzugt realisiert die logische Verknüpfung des ersten Rückkoppelnetzwerks RKNi des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein einfach primitives Polynom;

RKN ₂ zweites Rückkoppelnetzwerk RKN ₂ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), das typischerweise aus dem logischen Datenwort, das auf dem Schieberegisterbus 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorhanden ist, den logischen Rückkoppelwert erzeugt, den das erste Schieberegisterbit SBi 1. bei Auswahl des zweiten Rückkoppelnetzwerks RKN ₂ des Zeit-zu-

Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) durch den Rückkoppelmultiplexer 2102 und

2. bei Einstellung des seriellen Schiebemodus durch den Schieberegister- Controller 2103 über Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 eine Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 und

3. bei Aktivierung der Schieberegisterbitaktivierungsleitung des ersten Schieberegisterbits SBi des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 zur Aktivierung der Datenübernahme des ersten Schieberegisterbits SBi bei der nächsten Taktflanke des verwendeten Taktflankenrichtungssignals als nächsten seriellen Nachladewert für das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) auswählt. Das erste Schieberegisterbit SBi lädt dann mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 diesen nächsten seriellen Nachladewert in das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt ist das zweite Rückkoppelnetzwerk RKN ₂ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) von den andern Rückkoppelnetzwerken des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) verschieden. Bevorzugt realisiert das zweite Rückkoppelnetzwerk RKN ₂ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) eine logische Verknüpfung des logischen Inhalts des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu dem logischen Wert des Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), der unter den obigen Bedingungen der nächste Nachladewert ist. Bevorzugt realisiert die logische Verknüpfung des zweiten Rückkoppelnetzwerks RKN ₂ des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein einfach primitives Polynom, das von den einfachprimitiven Polynomen der logischen Verknüpfungen der anderen Rückkoppelnetzwerke des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise verschieden ist;

RKN ₃ drittes Rückkoppelnetzwerk RKN ₃ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), das typischerweise aus dem logischen Datenwort, das auf dem Schieberegisterbus 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorhanden ist, den logischen Rückkoppelwert erzeugt, den das erste Schieberegisterbit SBi 1. bei Auswahl des dritte Rückkoppelnetzwerks RKN ₃ des Zeit-zu-

Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) durch den Rückkoppelmultiplexer 2102 und

2. bei Einstellung des seriellen Schiebemodus durch den Schieberegister- Controller 2103 über Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 eine Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 und

3. bei Aktivierung der Schieberegisterbitaktivierungsleitung des ersten Schieberegisterbits SBi des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 zur Aktivierung der Datenübernahme des ersten Schieberegisterbits SBi bei der nächsten Taktflanke des verwendeten Taktflankenrichtungssignals als nächsten seriellen Nachladewert für das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) auswählt. Das erste Schieberegisterbit SBi lädt dann mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 diesen nächsten seriellen Nachladewert in das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt ist das dritte Rückkoppelnetzwerk RKN ₃ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) von den andern Rückkoppelnetzwerken des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) verschieden. Bevorzugt realisiert das dritte Rückkoppelnetzwerk RKN ₃ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) eine logische Verknüpfung des logischen Inhalts des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu dem logischen Wert des Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), der unter den obigen Bedingungen der nächste Nachladewert ist. Bevorzugt realisiert die logische Verknüpfung des dritten Rückkoppelnetzwerks RKN ₃ des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein einfach primitives Polynom, das von den einfachprimitiven Polynomen der logischen Verknüpfungen der anderen Rückkoppelnetzwerke des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise verschieden ist;

RKN _m m-tes Rückkoppelnetzwerk RKN _m des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), das typischerweise aus dem logischen Datenwort, das auf dem Schieberegisterbus 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorhanden ist, den logischen Rückkoppelwert erzeugt, den das erste Schieberegisterbit SBi 1. bei Auswahl des m-te Rückkoppelnetzwerks RKN _m des Zeit-zu-

Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) durch den Rückkoppelmultiplexer 2102 und

2. bei Einstellung des seriellen Schiebemodus durch den Schieberegister- Controller 2103 über Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 eine Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus- Umschaltleitung 2107 und

3. bei Aktivierung der Schieberegisterbitaktivierungsleitung des ersten Schieberegisterbits SBi des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 zur Aktivierung der Datenübernahme des ersten Schieberegisterbits SBi bei der nächsten Taktflanke des verwendeten Taktflankenrichtungssignals als nächsten seriellen Nachladewert für das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) auswählt. Das erste Schieberegisterbit SBi lädt dann mit dem nächsten Takt des Systemtakts 2106 diesen nächsten seriellen Nachladewert in das erste Schieberegisterbit SBi des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC). Bevorzugt ist das m-te Rückkoppelnetzwerk RKN _m des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) von den andern Rückkoppelnetzwerken des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) verschieden. Bevorzugt realisiert das m-te Rückkoppelnetzwerk RKN _m des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) eine logische Verknüpfung des logischen Inhalts des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) zu dem logischen Wert des Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC), der unter den obigen Bedingungen der nächste Nachladewert ist. Bevorzugt realisiert die logische Verknüpfung des m-ten Rückkoppelnetzwerks RKN _m des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein einfach primitives Polynom, das von den einfachprimitiven Polynomen der logischen Verknüpfungen der anderen Rückkoppelnetzwerke des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) vorzugsweise verschieden ist;

SBi erste Schieberegisterzelle mit dem ersten Schieberegisterbit SBi. Das erste Schieberegisterbit SBi speist bevorzugt seinen logischen Inhalt in die erste Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das erste Schieberegisterbit SBi beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert der Schieberegisternachladewertleitung 2104 des Zeit-zu-Pseudozufallszahl- Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des ersten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist.

SB ₂ zweite Schieberegisterzelle mit dem zweiten Schieberegisterbit SB ₂ . Das zweite Schieberegisterbit SB ₂ speist seinen logischen Inhalt in die zweite Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das zweite Schieberegisterbit SB ₂ beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des ersten Schieberegisterbits SBides Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des zweiten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB3 dritte Schieberegisterzelle mit dem dritten Schieberegisterbit SB ₃ . Das dritte

Schieberegisterbit SB ₃ speist seinen logischen Inhalt in die dritte Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das dritte Schieberegisterbit SB ₃ beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des zweiten Schieberegisterbits SB ₂ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des dritten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB4 vierte Schieberegisterzelle mit dem vierten Schieberegisterbit SB4. Das vierte

Schieberegisterbit SB4 speist seinen logischen Inhalt in die vierte Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das vierte Schieberegisterbit SB4 beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des dritten Schieberegisterbits SB ₃ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des vierten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SBg fünfte Schieberegisterzelle mit dem fünften Schieberegisterbit SB ₅ . Das fünfte Schieberegisterbit SB ₅ speist seinen logischen Inhalt in die fünfte Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das fünfte Schieberegisterbit SBs beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des vierten Schieberegisterbits SB des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des fünften Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SBs sechste Schieberegisterzelle mit dem sechsten Schieberegisterbit SBe. Das sechste Schieberegisterbit SB ₆ speist seinen logischen Inhalt in die sechste Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das sechste Schieberegisterbit SBe beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des fünften Schieberegisterbits SB ₅ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des sechsten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB? siebte Schieberegisterzelle mit dem siebten Schieberegisterbit SB?. Das siebte

Schieberegisterbit SB? speist seinen logischen Inhalt in die siebte Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das siebte Schieberegisterbit SB? beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des sechsten Schieberegisterbits SB ₆ des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des siebten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB ₈ achte Schieberegisterzelle mit dem achten Schieberegisterbit SB ₈ . Das achte Schieberegisterbit SB ₈ speist seinen logischen Inhalt in die achte Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das achte Schieberegisterbit SB ₈ beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des siebten Schieberegisterbits SB? des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des achten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB(n-s) (n-6)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-6)-ten Schieberegisterbit SB( _n -6). Das

(n-6)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) speist seinen logischen Inhalt in die (n-6)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-6)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-7)-ten Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-6)-ten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB(n-s) (n-5)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-5)-ten Schieberegisterbit SB( _n -s). Das

(n-5)-te Schieberegisterbit SB( _n -s) speist seinen logischen Inhalt in die (n-5)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-5)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-6)-ten Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-5)-ten Bits des

TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB( _n -4) (n-4)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-4)-ten Schieberegisterbit SB( _n -4). Das (n-4)-te Schieberegisterbit SB( _n -4) speist seinen logischen Inhalt in die (n-4)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-4)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-5)-ten

Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-4)-ten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB( _n -3) (n-3)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-3)-ten Schieberegisterbit SB( _n -3). Das

(n-3)-te Schieberegisterbit SB( _n -3) speist seinen logischen Inhalt in die (n-3)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-3)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-4)-ten Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-3)-ten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB( _n -2) (n-2)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-2)-ten Schieberegisterbit SB( _n -2). Das

(n-2)-te Schieberegisterbit SB( _n -2) speist seinen logischen Inhalt in die (n-2)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-2)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-3)-ten Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-2)-ten Bits des

TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB(n-l) (n-l)-te Schieberegisterzelle mit dem (n-l)-ten Schieberegisterbit SB( _n -i). Das (n-l)-te Schieberegisterbit SB( _n -i) speist seinen logischen Inhalt in die (n-l)-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das (n-l)-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-2)-ten

Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-l)-ten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

SB _n n-te Schieberegisterzelle mit dem n-ten Schieberegisterbit SB _n . Das n-te

Schieberegisterbit SB _n speist seinen logischen Inhalt in die n-te Schieberegisterbusleitung des Schieberegisterbusses 2101 des Zeit-zu- Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) ein. In Abhängigkeit vom logischen Wert der Parallel-zu-Seriell-Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107 lädt bevorzugt das n-te Schieberegisterbit SB( _n -6) beispielsweise a) bei einem ersten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem seriellen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des (n-l)-ten Schieberegisterbits SB( _n -7) des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) als ihren nächsten logischen Wert nach und b) bei einem zweiten logischen Wert der Parallel-zu-Seriel I- Schieberegistermodus-Umschaltleitung 2107, dem parallelen Schieberegisterbetriebsmodus, beispielsweise mit der nächsten steigenden Taktflanke des Systemtakts 2106 des Quantenzufallszahlengenerators 28 und des Zeit-zu-Pseudozufallszahl-Wandlers 404.3 (TPRC) des Quantenzufallszahlengenerators 28 den logischen Wert des n-ten Bits des TPRG-Datenbusses 2110 als ihren nächsten logischen Wert nach, wenn gleichzeitig die erste Schieberegisterbitaktivierungsleitung des Schieberegisterbitaktivierungsbusses 2109 aktiv (z.B. high) ist;

VDD positive Versorgungsspannungsleitung VDD auf einem positiven elektrischen

Potenzial gegenüber dem Bezugspotenzial der Bezugspotenzialleitung GND;

VENT positive Versorgungsspannungsleitung VEXT der Entropiequelle 411; Relevante Schriften

R. L. Rivest, A. Shamir, and L. Adleman, „A Method for Obtaining Digital Signatures and Public-Key

Cryptosystems" Communications oft he ACM, Februar 1978, Vol. 21, Nr. 2, Seiten 120 bis 126