Die vorliegende Erfindung betrifft ein proportionales Ventil, insbesondere zum Betätigen einer pneumatischen Armatur, wobei das Ventil ein Betätigungsglied, einen Druckluftanschluss zum Anschluss einer Druckluftversor ^¬ gung, einen Arbeitsanschluss und einen Entlüftungsan- schluss aufweist.

Derartige Ventile sind in vielfältiger Weise aus dem Stand der Technik bekannt. Als proportionales Ventil muss es dazu geeignet sein, an dem zum Anschluss der pneumatischen Armatur vorgesehenen Arbeitsanschluss einen möglichst präzise regelbaren (Luft-) Druck zur Verfügung zu stellen. Hierzu werden durch geeignete Betätigung des Ventils mittels des Betätigungsglieds typischerweise verschiedene Ventilstellungen angefah ^¬ ren, mit denen der Arbeitsanschluss wahlweise mit der Druckluftversorgung oder der Entlüftung fluidleitend gekoppelt oder (zum Halten eines am Arbeitsanschluss vorherrschenden Drucks) von beiden entkoppelt wird. Als proportionales Ventil sollen dabei auch Zwischenstel ^¬ lungen zwischen einem vollständigen Belüften und einem vollständigen Entlüften der am Arbeitsanschluss angeschlossenen Armatur möglich sein.

Klarstellend sei erwähnt, dass unter einer pneumati ^¬ schen Armatur vorliegend beliebige pneumatisch zu betä ^¬ tigende Stellglieder, also insbesondere auch ein pneu ^¬ matischer Antrieb, zu verstehen sind. Proportionale Ventile der vorstehend genannten Art sind relativ aufwendig in ihrer Bauart und ihrem Betrieb.

Im Stand der Technik wird dabei häufig auf so genannte Schieberventile zurückgegriffen, bei denen wenigstens ein linear verschiebbares Ventilelement je nach seiner Stellung eine seitlich des Ventilelements angeordnete und den Luftstrom beeinflussende Öffnung entweder

(vollständig oder teilweise) freigibt oder verschließt. Im Gegensatz zu Sitzventilen ist hierbei jedoch mangels eines den Fluidfluss wirksam sperrenden Dichtsitzes stets mit einer für präzise Anwendungsfälle nachteili ^¬ gen Leckage zu rechnen, die im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorteilhaft möglichst gering gehalten bzw. ganz vermieden werden sollte.

Aus der DE 10 2012 017 713 AI ist darüber hinaus bereits ein gattungsgemäßes proportionales Ventil in Form eines Stellungsreglers bekannt, bei dem eine (durch eine als Betätigungsglied fungierende Vorstufe betätig ^¬ te) Leistungsstufe zwei federnd vorgespannte Sitzventi ^¬ le als Druck-Weg-Wandler umfasst, die von einem gemeinsamen Steuerraum aus mit Druck beaufschlagt werden und die bei Anstieg des im Steuerraum vorherrschenden

Drucks sequentiell betätigt werden, um verschiedene Schaltzustände zu realisieren. Aufgrund der dort auf verschiedenen Seiten des gemeinsamen Steuerraums anzuordnenden Sitzventile benötigt der in der DE 10 2012 017 713 AI beschriebene Stellungsregler einen nicht unerheblichen Bauraum, der mit der vorliegenden Erfindung weiter reduziert werden soll. Aus der US 2,850,330 ist eine zur Verwendung in einem Bremssystem für Traktoren mit Anhänger vorgesehene Ventilgruppe bekannt, in welcher unter Realisierung von zwei Ventilen insgesamt drei einander nachgeschaltete, jeweils in einer axialen Richtung bewegliche und kaska ^¬ denartig verstellbare Ventilelemente vorgesehen sind. Dabei kann mittels des ersten Ventils ein erster Ar- beitsanschluss für das Bremssystem des Anhängers wahl ^¬ weise entlüftet oder mit einem traktorseitigen Druck- luftanschluss verbunden werden, während mit dem zweiten Ventil ein zweiter Notfallarbeitsanschluss für das Bremssystem des Anhängers wahlweise entlüftet oder mit einem zweiten traktorseitigen Notfalldruckluftanschluss verbunden werden kann. Bei Variation der Stellung des ersten Ventilelements wird dort von einem ersten

Schaltzustand, bei welchem der jeweilige Arbeitsan- schluss entlüftet ist, jeweils zu einem zweiten Schalt ^¬ zustand übergegangen, bei welchem der jeweilige Ar- beitsanschluss mit dem traktorseitigen Druckluftan- schluss verbunden ist.

Vor diesem Hintergrund ist es die Aufgabe der vorlie ^¬ genden Erfindung, ein verbessertes proportionales Ven ^¬ til der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches insbesondere einen möglichst geringen (seitlichen) Bau ^¬ raum benötigt und dabei möglichst zuverlässig und prä ^¬ zise betreibbar ist.

Diese Aufgabe wird durch ein proportionales Ventil nach Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen eines solchen Ventils ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung.

Das erfindungsgemäße Ventil zeichnet sich neben den eingangs genannten Merkmalen dadurch aus, dass das Ventil drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung bewegliche Ventilelemente aufweist, nämlich

ein durch das Betätigungsglied betätigtes erstes Ventilelement,

ein zweites Ventilelement, welches durch das erste Ventilelement betätigt wird und

ein drittes Ventilelement, welches durch das zwei ^¬ te Ventilelement betätigt wird,

wobei in einer Grundstellung des Ventils das erste Ventilelement vom zweiten Ventilelement und das zweite Ventilelement vom dritten Ventilelement beabstandet sind und innerhalb des Ventils ein zwischen dem ersten Ventilelement und dem zweiten Ventilelement wirksamer erster Dichtsitz und ein zwischen dem dritten Ventilelement und dem Gehäuse wirksamer zweiter Dichtsitz derart ausgebildet und angeordnet sind, dass bei Varia ^¬ tion der Stellung des ersten Ventilelements durch das Betätigungsglied und der hierdurch kaskadenartig be ^¬ wirkbaren Verstellung der axialen Stellungen des ersten, zweiten und dritten Ventilelements verschiedene Schaltzustände zum Entlüften des Arbeitsanschlusses durch dessen Verbindung mit dem Entlüftungsanschluss , zum Belüften des Arbeitsanschlusses durch dessen Verbindung mit dem Druckluftanschluss und zum Halten eines am Arbeitsanschluss anliegenden Drucks durch Absperrung des Arbeitsanschlusses sowohl vom Entlüftungsanschluss als auch vom Druckluftanschluss einstellbar sind.

Anders als im weiter oben bereits genannten Stand der Technik werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung somit nicht zwei Sitzventile als Bestandteil je eines Druck-Weg-Wandlers durch den Druck in einem gemeinsamen Steuerraum betätigt, sondern es findet vorliegend eine kaskadenartige Verstellung der den Fluidfluss innerhalb des Ventils beeinflussenden Ventilelemente statt, bei der das erste Ventilelement durch das Betätigungsglied und die dem ersten Ventilelemente nachgeschalteten Ventilelemente sukzessive - insbesondere rein mechanisch - durch das jeweils vorherige Ventilelement betätigt wer ^¬ den. Es ist evident, dass aufgrund der axialen Betäti ^¬ gungsrichtung für alle drei Ventilelemente der für ein erfindungsgemäßes Ventil benötigte Bauraum - insbeson ^¬ dere in einer seitlich zur axialen Bewegungsrichtung der Ventilelemente liegenden Richtung - besonders kompakt sein kann.

Ferner kann aufgrund des Umstands, dass innerhalb des Ventils zwei mit jeweils mindestens einem Ventilelement zusammenwirkende Dichtsitze realisiert sind, ein beson ^¬ ders leckagearmer bzw. leckagefreier Betrieb gewährleistet werden, was insbesondere zum Halten eines am Arbeitsanschluss vorherrschenden Drucks von großem Vorteil ist und den pneumatischen Energieverbrauch des Ventils minimal hält. Ferner lässt sich ein erfindungs ^¬ gemäßes Ventil mit besonders hoher Regelgüte in propor ^¬ tionaler Weise betreiben. Aufgrund der kaskadenartigen Verstellbarkeit des erfindungsgemäßen Ventils können vorteilhaft (beliebige) Zwischenstellungen zwischen "voll belüften" und "voll entlüften" eingenommen werden, was insbesondere die Erzielung einer hohen Positi ^¬ oniergenauigkeit bei der Ansteuerung pneumatischer Armaturen bzw. Antriebe ermöglicht.

Das auf das erste Ventilelement zu dessen Betätigung einwirkende Betätigungsglied eines erfindungsgemäßen Ventils kann dabei in zweckmäßiger Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach einem hydraulischen, pneumatischen oder elektromechanischen Prinzip arbeiten.

Insbesondere ist jedoch zur Erzielung eines insgesamt möglichst geringen Eigenenergieverbrauchs (elektrisch und pneumatisch) von Vorteil, wenn das Betätigungsglied als pneumatisches Vorsteuerventil ausgebildet ist, wel ^¬ ches über eine Steuerdruckkammer mit dem ersten Ventilelement zusammenwirkt. Dabei ist für eine besonders energiesparende Betriebsweise von Vorteil, wenn das Vorsteuerventil einen Piezo-Biegewandler umfasst, wie dies beispielsweise aus der ein geeignetes Vorsteuer ^¬ ventil zeigenden EP 0 943 812 AI bekannt ist.

Das erfindungsgemäße Ventil kann daher als pneumati ^¬ scher Stellungsregler mit einer (insbesondere die drei Ventilelemente umfassenden) Leistungsstufe angesehen werden, wobei das erste Ventilelement durch das als Betätigungsglied fungierende Vorsteuerventil betätigt wird. Das Vorsteuerventil kann besonders vorteilhaft als (proportionales) 3/2-Wegeventil ausgestaltet sein. Bei einem erfindungsgemäßen Ventil kann dann in bevorzugter Weiterbildung der Erfindung ferner vorgesehen sein, dass das erste Ventilelement durch einen Membran ^¬ teller mit einem sich in axialer Richtung erstreckenden und eine axiale Bohrung aufweisenden Membrantellerschaft gebildet ist, wobei der Membranteller in einer zur Steuerdruckkammer weisenden Richtung federnd vorgespannt ist und zur Verstellung seiner axialen Position in Wirkverbindung mit einer ersten Membran steht, die einseitig mit dem in der Steuerdruckkammer vorherrschenden (durch das Vorsteuerventil geregelten) Steuerdruck beaufschlagt ist.

Der Steuerdruck wirkt somit steuerdruckkammerseitig auf die erste Membran, die dann abhängig von dem sich zwischen beiden Seiten der ersten Membran einstellenden Differenzdruck ausgelenkt wird, was schließlich zur Betätigung, d.h. einer axialen Verschiebung des (über den Membranteller an die erste Membran gekoppelten) ersten Ventilelements in Richtung zum zweiten Ventilelement hin führt.

Ferner ist in weiterer bevorzugter Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung vorgesehen, dass das zweite Ventilelement durch einen federnd in einer zum ersten Ventilelement weisenden Richtung vorgespannten Ventilstößel gebildet ist, der je nach axialer Stellung des ers ^¬ ten Ventilelements vom Membrantellerschaft beabstandet ist oder hieran anliegt, wobei der erste Dichtsitz in einer Kontaktfläche zwischen Membrantellerschaft und Ventilstößel ausgebildet ist. Zweckmäßiger Weise ist dabei also entweder auf Seiten des zum Ventilstößel weisenden (freien) Endes des Membrantellerschafts oder am zum Membrantellerschaft weisenden Ende des Ventil ^¬ stößels eine Dichtfläche ausgebildet, die gemeinsam mit einer hierzu korrespondierenden Dichtkante des Ventil ^¬ stößels bzw. Membrantellerschafts einen Dichtsitz aus ^¬ bildet .

In Bezug auf das dritte Ventilelement ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorteilhaft vorgesehen, dass dieses durch ein Sockelelement gebildet ist, das in einer zum Ventilstößel weisenden Richtung federnd gegen einen zweiten Dichtsitz vorgespannt ist und durch axiale Verschiebung des am Sockelelement zur Anlage ge ^¬ brachten Ventilstößels von dem zweiten Dichtsitz abhebbar ist.

Insgesamt ergibt sich damit also eine kaskadenartige Verstellbarkeit des erfindungsgemäßen Ventils, bei der in einer Grundstellung, die insbesondere bei entlüfte ^¬ ter Steuerdruckkammer eingenommen wird, jeweils sowohl das erste Ventilelement (Membranteller mit -schaff) vom zweiten Ventilelement (Ventilstößel) als auch das zwei ^¬ te Ventilelement (Ventilstößel) vom dritten Ventilele ^¬ ment (Sockelelement) beabstandet ist. Durch das Betäti ^¬ gungsglied wird dann beim Betrieb des erfindungsgemäßen Ventils zunächst das erste Ventilelement (Membranteller samt -schaff) entgegen seiner Federvorspannung in Richtung zum zweiten Ventilelement (Ventilstößel) verscho ^¬ ben, bis diese im Bereich einer den ersten Dichtsitz ausbildenden Kontaktfläche einander berühren. Bei weiterer Verschiebung des ersten Ventilelements durch das Betätigungsglied werden sodann das erste und zweite Ventilelement gemeinsam in Richtung zum dritten Ventilelement hin verschoben, bis das zweite Ventilelement (Ventilstößel) am dritten Ventilelement (Sockelelement) zur Anlage kommt, so dass schließlich bei einem weite ^¬ rem Verfahren der Ventilelemente noch das dritte Ven ^¬ tilelement vom zweiten Dichtsitz abhebbar ist, gegen den es federnd vorgespannt ist.

Eine fluidische Verbindung des Arbeitsanschlusses mit dem Entlüftungsanschluss ist dabei- ausgehend von der Grundstellung - vorteilhaft solange gegeben, bis das erste Ventilelement dem zweiten Ventilelement dicht anliegt. Der ab dieser axialen Stellung eingenommene Schaltzustand zum Halten des am Arbeitsanschluss vor ^¬ herrschenden Drucks bleibt dann über einen (durch den in der Grundstellung gegebenen Abstand zwischen zeitem und drittem Ventilelement) vorgegebenen Verschiebeweg wirksam, bis das zweite Ventilelement am dritten Ven ^¬ tilelement zur Anlage kommt und das dritte Ventilele ^¬ ment von dem zweiten Dichtsitz abhebt. Sodann nimmt das Ventil den Schaltzustand zum Belüften des Arbeitsanschlusses ein.

In bevorzugter Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann vorgesehen sein, dass eine den ersten und/oder zweiten Dichtsitz bildende und/oder hiermit zusammenwirkende Oberfläche zur Einstellung der Leckagerate und/oder zur Verbesserung des Regelverhaltens aus einem polymeren Material besteht, insbesondere mit vom Dich ^¬ tungspartner ggf. abweichendem elastischem Verhalten. Insbesondere lassen sich hierdurch besonders feine Übergänge in Bezug auf die für einen Proportionalbe ^¬ trieb des Ventils benötigten Zwischenstellungen erzielen .

Im Rahmen der Erfindung ist ferner bevorzugt vorgesehen, dass der Entlüftungsanschluss in einen dauerhaft entlüfteten Entlüftungsraum des Ventils mündet, der bei nicht am Ventilstößel anliegendem Membrantellerschaft über die axiale Bohrung des Membrantellerschafts fluid- leitend mit dem Arbeitsanschluss verbunden und bei dichter Anlage des Membrantellerschafts am Ventilstößel vom Arbeitsanschluss fluidisch getrennt ist.

Außerdem kann bevorzugt vorgesehen sein, dass der Entlüftungsraum durch die erste Membran und eine zweite Membran begrenzt ist, wobei der (die axiale Bohrung aufweisende) Membrantellerschaft mit seinem freien Ende axial durch die zweite Membran hindurchreicht. So kann - je nachdem ob die axiale Bohrung des Membrantellerschafts durch Beabstandung vom Ventilstößel freigegeben oder durch dichte Anlage am Ventilstößel gesperrt ist - eine fluidleitende Verbindung zwischen Entlüftungsraum und Arbeitsanschluss hergestellt oder gesperrt werden.

Weiterhin ist vorteilhaft vorgesehen, dass ein mit dem Arbeitsanschluss des Ventils verbundener Arbeitsdruck ^¬ raum durch die zweite Membran und den zweiten Dichtsitz begrenzt ist, wobei der Arbeitsdruckraum je nach Stel- lung des Membrantellers, des Ventilstößels und des So ^¬ ckelelements fluidleitend mit dem Druckluftanschluss oder dem Entlüftungsanschluss verbunden oder von Druckluft- und Entlüftungsanschluss getrennt ist.

Zur federnden Vorspannung des Membrantellers und/oder des Sockelelements erweist es sich als zweckmäßig, wenn das bzw. die den Membranteller und/oder das Sockelelement vorspannende (n) Federelement (e) sich jeweils an einem Gehäuse des Ventils abstützen.

In besonders vorteilhafter Weise kann dabei vorgesehen sein, dass der Membranteller mit mindestens drei äqui- distant zu einer axialen Mittelachse des Membrantellers (und Membrantellerschafts) angeordneten und um einen paarweise gleichen Winkel relativ zueinander versetzten Federelementen, die sich am Gehäuse des Ventils abstüt ^¬ zen, vorgespannt ist. Im Falle von drei Federelementen sind diese also vorteilhaft um jeweils 120° zueinander versetzt. Bei vier Federelementen sind es jeweils 90°, und so weiter.

Ferner kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorteilhaft auch die zweite Membran zur radialen Lagerung des (axial geführten) Membrantellerschafts beitragen. Daher ist in einer weiteren bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Ventils vorgesehen, dass der Membranteller, insbesondere im Bereich des Membrantel ^¬ lerschafts, mit der zweiten Membran verbunden ist, wobei die zweite Membran eine radiale Lagerung des axial geführten Membrantellers bewirkt. Bezüglich der Federvorspannung des Ventilstößels ist in abermals bevorzugter Weiterbildung der vorliegenden Erfindung vorgesehen, dass dieser durch eine am Sockelelement abgestützte Feder in Richtung zum Membrantellerschaft vorgespannt ist. Dies hat den Vorteil, dass dann, wenn der Ventilstößel bereits am Sockelele ^¬ ment anliegt, das den Ventilstößel vorspannende Fe ^¬ derelement zur weiteren Verschiebung aller drei Ventilelemente nicht weiter entgegen seiner Federkraft ge ^¬ staucht werden muss. Daher trägt dann die den Ventil ^¬ stößel vorspannende Feder nicht zu einem weiteren An ^¬ stieg der bei weiterer Verschiebung des ersten, zweiten und dritten Ventilelements zu überwindenden Federkraft bei. Hierdurch lässt sich also das Regelverhalten des erfindungsgemäßen Ventils nochmals verbessern, da zum Abheben des dritten Ventilelements vom zweiten Dichtsitz somit ein geringerer Anstieg des Steuerdrucks in der Steuerdruckkammer vonnöten ist, als dies bei Ab- stützung der Feder des Ventilstößels am Gehäuse notwendig wäre.

Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung sieht vor, dass der unbetätigte Ventilstößel um einen gewissen Verschiebeweg von dem am zweiten Dichtsitz anliegenden Sockelelement entfernt ist. Hier ^¬ durch kann insbesondere der zum Halten eines bestimmten Drucks am Arbeitsanschluss vorgesehene Schaltzustand des erfindungsgemäßen proportionalen Ventils klar von den beiden anderen Schaltzuständen zum Be- und Entlüf- ten des Arbeitsanschlusses abgegrenzt werden, was wie ^¬ derum das Regelverhalten des Ventils verbessert.

Weiterhin erweist es sich im Rahmen der vorliegenden Erfindung als vorteilhaft, wenn die den Membranteller, den Ventilstößel und das Sockelelement vorspannenden Federelemente unterschiedliche und aufeinander abge ^¬ stimmte Federkennlinien aufweisen, da so das Regelverhalten des Ventils besonders gut an die jeweiligen An ^¬ forderungen anpassbar ist. Besonders zweckmäßig ist es angesichts der kaskadenartigen Verstellung, wenn die Federsteifigkeit des das Sockelelement vorspannenden Federelements größer als die Federsteifigkeit des den Ventilstößel vorspannenden Federelements ist und wenn die Federsteifigkeit des den Ventilstößel vorspannenden Federelements größer als diejenige des den Membrantel ^¬ ler vorspannenden Federelements ist.

Schließlich kann in bevorzugter Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung noch vorgesehen sein, dass das erfindungsgemäße Ventil einen Druckregler zur Einstellung des an einem pneumatischen Eingang des Vorsteuerventils anliegenden Drucks aufweist, wobei der am Eingang des Vorsteuerventils anliegende Druck insbesondere auch aus der am Druckluftanschluss anzuschließenden Druckluft ^¬ versorgung abgezweigt bzw. gewonnen werden kann.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Dabei zeigt Fig. 1 einen Schnitt durch ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ventils und

Fig. 2 eine schematische Darstellung zur Anordnung der in dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 das erste Ventilelement vorspannenden Fe ^¬ derelemente .

Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines erfindungs ^¬ gemäßen proportionalen Ventils 1, welches ein Betätigungsglied 2 in Art eines pneumatischen Vorsteuerventils 31 aufweist. Der Aufbau dieses Vorsteuerventils 31 wird weiter unten noch näher erläutert.

Das Ventil 1 weist ferner einen Entlüftungsanschluss 3, einen Arbeitsanschluss 4 zum Anschluss einer mit dem Ventil 1 zu betätigenden pneumatischen Armatur (nicht dargestellt) und einen Anschluss 5 für eine Druckluft ^¬ versorgung mit einem vorgegebenen Luftdruck von beispielsweise 8 bar auf. Ferner ist ein Druckregler 6 vorgesehen, mit welchem aus dem am Anschluss 5 für die Druckluftversorgung vorherrschenden Druck ein demgegenüber geringerer Druck von z.B. 1,2 bar als Eingangsdruck für das als Betätigungsglied 2 dienende pneumati ^¬ sche Vorsteuerventil gewinnbar ist. Da Druckregler als solche im Stand der Technik in vielfältiger Hinsicht bekannt sind und dessen konkrete Ausgestaltung für die vorliegende Erfindung letztlich nicht relevant ist, wird auf eine nähere Beschreibung von dessen Funktions ^¬ weise vorliegend verzichtet. Das Ventil 1 weist ferner drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung gemäß Doppelpfeil R bewegliche Ventilelemente 7, 8, 9 auf.

Dabei umfasst das erste (in Fig. 1 oberste) Ventilele ^¬ ment 7 einen Membranteller 10 und einen Membrantellerschaft 11 mit einer axialen Bohrung 12.

Der Membranteller 10 steht in Wirkverbindung (vorliegend durch eine mechanische Kopplung) mit einer ersten Membran 13, wobei oberhalb der ersten Membran 13 und des Membrantellers 10 ein Steuerdruckraum 14 gebildet ist. Der im Steuerdruckraum 14 vorherrschende Luftdruck wird durch das als Betätigungsglied 2 fungierende Vor ^¬ steuerventil 2 geregelt. Ferner ist das erste (durch den Membranteller 10 samt Membrantellerschaft 11 gebil ^¬ dete) Ventilelement 7 in (axialer) Richtung zum Steuerdruckraum 14 hin federnd vorgespannt. Hierfür sind im vorliegenden Ausführungsbeispiel insgesamt drei am Ge ^¬ häuse 15 des Ventils 1 abgestützte Federelemente (Fe ^¬ dern) 16 vorgesehen, von denen in Fig. 1 lediglich eines (links der Mittelachse M) in der Schnittebene liegt, während die anderen beiden Federelemente (von denen nur eines in Fig. 1 erkennbar ist) vor bzw. hinter der Schnittebene liegen. Diese drei Federelemente 16 sind jeweils äquidistant (also mit gleichem radialen Abstand) zur Mittelachse M angeordnet und in der senk ^¬ recht zur Mittelachse M gelegenen Ebene um einen paarweise gleichen Winkel von 120° relativ zueinander (d.h. um die Mittelachse M herum) versetzt, so dass sich eine bezogen auf die axiale Mittelachse M vollkom- men symmetrische Vorspannung des ersten Ventilelements 7 in Richtung zur Steuerdruckkammer 14 ergibt. Fig. 2 veranschaulicht diese symmetrische Anordnung der vor ^¬ liegend insgesamt drei Federelemente 16.

Das zweite Ventilelement 8 wird vorliegend durch einen Ventilstößel 17 und das dritte Ventilelement 9 durch ein Sockelelement 18 gebildet. Dabei ist der Ventilstö ^¬ ßel 17 mittels einer sich am Sockelelement 18 abstüt ^¬ zenden Feder 19 in Richtung zum ersten Ventilelement 7 (=Membranteller 10 und -schaft 11) vorgespannt, während das Sockelelement 18 seinerseits mittels einer sich am Gehäuse 15 abstützenden Feder 20 vorgespannt ist.

In der in Fig. 1 dargestellten Grundstellung des Ventils 1 sind alle drei axial beweglichen Ventilelemente 7, 8, 9 in gleicher Richtung vorgespannt, dabei jedoch paarweise voneinander beabstandet.

Der Membrantellerschaft 11 ist mit einer zweiten Memb ^¬ ran 21 gekoppelt, die den Membrantellerschaft 11 umlau ^¬ fend dicht umgibt und die den zwischen erster Membran 13 und zweiter Membran 21 befindlichen (dauerhaft entlüfteten) Entlüftungsraum 22, welcher zum Entlüftungs- anschluss 3 führt, von einem zum Arbeitsanschluss 4 führenden Arbeitsdruckraum 23 abtrennt. Die zweite Membran 21 kann dabei gleichzeitig zur radialen Lagerung des Membrantellerschafts dienen. Aufgrund des in der Grundstellung des Ventils 1 gegebenen Abstands zwischen dem freien Ende des Membrantellerschafts 11 und dem Ventilstößel 17 ist bei der in Fig. 1 dargestellten Ventilstellung der Arbeitsdruckraum 23 (und somit auch eine am Arbeitsanschluss 4 angeschlossene pneumatische Armatur) entlüftet.

Der Ventilstößel 17 weist auf seiner zum Membrantellerschaft 11 weisenden Oberseite ein als Dichtfläche 24 dienendes polymeres Material auf, an welcher eine Un ^¬ terkante 25 des Membrantellerschafts 11 unter Bildung eines ersten Dichtsitzes zur Anlage kommen kann. Diese weiche Dichtfläche ermöglicht in Abhängigkeit von der Härte des Polymers eine besonders präzise proportionale Feinregelung bei Verstellung des Ventils in der Nähe des Kontaktbereichs.

Wenn also - durch geeignete Erhöhung des in der Steuerdruckkammer 14 vorherrschenden Drucks - das erste Ventilelement 7 so weit verschoben wird, bis die Unterkan ^¬ te 25 des Membrantellerschafts 11 an der Oberseite 24 des Ventilstößels 17 dichtend zur Anlage kommt, dann wird die durch die axiale Bohrung 12 des Membrantellerschafts 11 gegebene Verbindung zwischen Entlüftungsraum 22 und Arbeitsdruckraum 23 gesperrt, wodurch die vorherige Entlüftung des Arbeitsdruckraums 23 aufgehoben wird .

Ein zweiter Dichtsitz wird in dem gezeigten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ventils 1 gebil ^¬ det durch eine gehäusefeste und in Fig. 1 nach unten weisende Dichtkante 26, gegen die das als drittes Ven ^¬ tilelement 9 fungierende Sockelelement 18 mittels der Feder 20 vorgespannt ist, wobei hier sockelelementsei- tig wiederum eine mit der Dichtkante 26 zur Bildung des zweiten Dichtsitzes zusammenwirkende Dichtfläche 27 aus einem polymeren Material vorgesehen ist. Unterhalb des zweiten Dichtsitzes befindet sich ein mit dem Anschluss 5 für die Druckversorgung verbundener Druckversorgungsraum 28, der somit genau dann vom Arbeitsdruckraum 23 fluidisch getrennt ist, wenn das Sockelelement 18 mit seiner Oberseite dicht an der Dichtkante 25 anliegt.

Erst wenn also - durch geeignete Betätigung des ersten Ventilelements 7 mittels des Betätigungsglieds 2 - das erste Ventilelement 7 so weit verschoben wurde, dass das erste Ventilelement 7 am zweiten Ventilelement 8 und das zweite Ventilelement 8 am dritten Ventilelement 9 anliegt, dann führt eine weitere Erhöhung des Steuer ^¬ drucks in der Steuerdruckkammer 14 dazu, dass das dritte Ventilelement 9 (=Sockelelement 18) vom zweiten Dichtsitz abgehoben wird, wodurch der Arbeitsdruckraum 23 fluidisch mit der Druckversorgung verbunden wird. Im Rahmen der Betätigung des dritten Ventilelements 9 ist von Vorteil, dass zwischen Ventilstößel 17 und So ^¬ ckelelement 18 ein harter Anschlag ausgebildet ist.

Das besonders gute Regelverhalten eines erfindungsgemä ^¬ ßen Ventils ergibt sich nicht zuletzt auch aufgrund der im Grundzustand gegebenen Abstände zwischen dem ersten, zweiten und dritten Ventilelement 7, 8, 9, da hierdurch die verschiedenen fluidischen Zustände des Ventils be ^¬ sonders gut differenzierbar und einfach ansteuerbar sind . Die Regelung eines erfindungsgemäßen Ventils erweist sich - trotz der kaskadenartigen Ausgestaltung - im Übrigen als besonders einfach. Hierzu kann am ersten Ventilelement 7 (z.B. im Bereich des Membrantellerrands) ein Magnetelement 29 vorgesehen sein, so dass unter Verwendung eines geeigneten Sensors 30 die axiale Stellung des ersten Ventilelements 7 präzise bestimmbar ist .

Aufgrund der rein mechanischen Kopplung der drei Ventilelemente 7, 8, 9 und wegen der durch die Lage der Dichtsitze fix vorgegebenen Verfahrwege zwischen den verschiedenen Ventilstellungen, kann eine Regelung des Ventils unter (ausschließlichem) Rückgriff auf die mittels des Sensors 30 ermittelbare (axiale) Stellung des ersten Ventilelements 7 erfolgen.

Fig. 1 zeigt schließlich noch das als Betätigungsglied 2 verwendete pneumatische Vorsteuerventil 31. Dieses ist vorliegend als proportionales 3/2 Wegeventil ausge ^¬ staltet .

Es weist einen Druckeingang 33 auf, der vorliegend mit dem vom Druckregler 6 zur Verfügung gestellten Luftdruck bespeist ist. Ferner ist ein (ggfs. mit dem Ent- lüftungsanschluss 3 des Ventils 1 verbundener) Vorsteu- erventilentlüftungsanschluss 32 vorgesehen, sowie ein Vorsteuerventilarbeitsausgang 34, der mit der Steuerdruckkammer 14 des Ventils 1 fluidisch verbunden ist. Mittels eines elektrisch betätigbaren und hierdurch im Bereich seines freien Endes gemäß Doppelpfeil B ver- schwenkbaren Piezobiegewandlers 35 kann nun der Vor- steuerventilarbeitsausgang 34 wahlweise entlüftet (d.h. fluidisch mit dem Vorsteuerventilentlüftungsraum 33 verbunden) oder teilweise bzw. vollständig mit dem am Druckeingang 33 des Vorsteuerventils 31 vorherrschenden Druck verbunden werden. Das Vorsteuerventil 31 kann also mit besonders hoher Regelgüte und geringem Ener ^¬ giebedarf, wie bereits beschrieben, unter Regelung des in der Steuerdruckkammer 14 vorherrschenden Drucks als Betätigungsglied für das erste Ventilelement 7 des er ^¬ findungsgemäßen Ventils 1 dienen.