Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers, sowie einen damit hergestellten Differenzdruckmessaufnehmer.

Differenzdruckmessaufnehmer werden in der industriellen Messtechnik zur Messung von Differenzdrücken eingesetzt. So dienen Differenzdruckmessgeräte insbesondere zur kontinuierlichen Messung von Druckdifferenzen in Messmedien, z.B. in Flüssigkeiten, Dämpfen, Gasen und Stäuben. Aus dem Differenzdruck kann beispielsweise der Füllstand eines Füllguts in einem Behälter oder der Durchfluss eines Messmediums durch eine Rohrleitung ermittelt werden.

In der Druckmesstechnik werden häufig so genannte Halbleiter-Sensoren, z.B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als druckempfindliche Elemente eingesetzt. Entsprechende Differenzdrucksensoren weisen typischerweise eine Messmembran auf, deren erste Fläche im Messbetrieb einem ersten Druck und deren zweite Fläche einem zweiten Druck ausgesetzt wird. Die auf die beiden Flächen einwirkenden Drücke bewirken eine resultierende Auslenkung der Messmembran, die dem zu messenden Differenzdruck entspricht. Drucksensor-Chips sind in der Regel sehr empfindlich und werden deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen werden soll. Stattdessen wird der erste Druck und der zweite Druck von der ersten Trennmembran und zweiten Trennmembran mithilfe einer Druckübertragungsflüssigkeit zu den beiden Flächen des Differenzdrucksensors übertragen. Zusätzlich wird mitunter ein Überlastschutz in Form einer Überlastmembran eingesetzt, um den Differenzdrucksensor vor zu hohen Drücken zu schützen.

Differenzdruckmessaufnehmer bestehen aus einer Vielzahl von Einzelkomponenten, die in der Regel sequenziell und per Handarbeit in den Differenzdruckmessaufnehmer integriert werden. Eine zumindest teilweise Automatisierung der einzelnen Schritte wäre wünschenswert, ist mit gängigen Designs des Differenzdruckmessaufnehmers aber häufig schwierig umsetzbar.

Aus der unveröffentlichten Patentanmeldung DE 10 2019 132 867 ist ein vereinfachtes Konzept eines Differenzdruckmessaufnehmers bekannt geworden. Der Differenzdruckmessaufnehmer besteht im Wesentlichen aus einer Sensorbaugruppe, welche zumindest einen Differenzdrucksensor aufweist, und einen Grundkörper, auf welchem zwei Trennmembranen und eine optionale Überlastmembran angeordnet sind. Die Sensorbaugruppe wird in eine Ausnehmung des Grundkörpers eingebracht und mit Hilfe eines Schweißrings eingeschweißt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen modular aufgebauten Differenzdruckmessaufnehmer vorzuschlagen, welcher einfacher und günstiger herstellbar ist als vergleichsbare Differenzdruckmessaufnehmer, sowie ein entsprechenden Verfahren zur Herstellung eines solchen Differenzdruckmessaufnehmers.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers mit zumindest folgenden Verfahrensschritten:

- Bereitstellen eines im Wesentlichen rotationssymmetrischen elektronischen Moduls, wobei das elektronische Modul bereitgestellt wird mit zumindest o einem Grundkörper, wobei eine äußere Mantelfläche des Grundkörpers als ein mit einem Gehäuse korrespondierenden Gehäuseadapter hergestellt wird, o einer Elektronikeinheit, welche in einem Innenraum des Grundkörpers bereitgestellt wird, o einem Differenzdrucksensor zum Bestimmen eines sich zwischen einem ersten Druck p1 und einem zweiten Druck p2 ergebenden Differenzdrucks,

- Bereitstellen eines mechanischen Moduls, wobei das mechanische Modul bereitgestellt wird mit zumindest o einem Messwerk, wobei eine erste Trennmembran und eine zweite Trennmembran auf dem Messwerk bereitgestellt werden, wobei die erste Trennmembran mit dem ersten Druck p1 und die zweite Trennmembran mit dem zweiten Druck p2 beaufschlagt werden, o einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung des Messwerks für die Aufnahme des elektronischen Moduls, wobei eine innere Kontur der Ausnehmung mit einer äußeren Kontur des elektronischen Moduls derart abgestimmt wird, dass das elektronische Modul in die Ausnehmung einführbar ist,

- Einbringen des elektronischen Moduls in die Ausnehmung des mechanischen Moduls, wobei das elektronische Modul in die Ausnehmung eingeführt wird, bis eine Auflagefläche des elektronischen Moduls auf eine Anschlagfläche des mechanischen Moduls trifft,

- Einschweißen oder Einkleben des elektronischen Moduls in das mechanische Modul, wobei zumindest die Auflagefläche mit der Anschlagfläche verschweißt oder verklebt wird,

- Axiales Schweißen in einem Mündungsbereich der Ausnehmung, so dass das mechanische Modul mittels der Schweißung umlaufend mit dem elektronischen Moduls verschweißt wird,

- Befüllen von mindestens zwei Druckübertragungsleitungen mit einer Druckübertragungsflüssigkeit, wobei die mindestens zwei Druckübertragungsleitungen für die Übertragung des ersten Drucks p1 und des zweiten Drucks p2 jeweils von der ersten Trennmembran und der zweiten Trennmembran zu zwei gegenüberliegenden Flächen des Differenzdrucksensors bereitgestellt werden, und

- Aufsetzen des Gehäuses auf den Gehäuseadapter.

Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, dass ein elektronisches Modul und ein mechanisches Modul bereitgestellt werden, welche voneinander unabhängig gefertigt werden können und alle wesentlichen Komponenten des Differenzdruckmessaufnehmers enthalten. Anschließend wird das elektronische Modul in das mechanische Modul eingesetzt und die beiden Module werden, vorzugsweise durch Schweißungen, aber auch durch Klebungen, miteinander verbunden. Die Verbindung der Anschlagfläche mit der Auflagefläche erfolgt bevorzugt mittels Widerstandsschweißen.

Anschließend muss der Differenzdruckmessaufnehmer noch mit der Druckübertragungsflüssigkeit, in der Regel Silikonöl, befüllt werden, und das Gehäuse auf den Gehäuseadapter aufgebracht werden. Das Gehäuse dient zum Schutz der Elektronik und weist vorzugweise eine Anzeigeeinheit auf.

Durch die Modularisierung des Differenzdruckmessaufnehmers können das elektronische und das mechanische Modul parallel und zeitgleich hergestellt werden und werden anschließend innerhalb weniger Schritte zu einem vollständigen Differenzdruckmessaufnehmer zusammengebaut.

In einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das elektronische Modul aus einer Glas-Metall-Durchführung hergestellt.

In einer weiteren Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das elektronische Modul mit einer, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten, keramischen, Sockelscheibe hergestellt, wobei vor dem Bereitstellen des elektronischen Moduls der Differenzdrucksensor auf die Sockelscheibe aufgebracht wird. Die Sockelscheibe dient beispielsweise als Träger für den Differenzdrucksensor und zur Reduzierung mechanischer Einflüsse auf diesen.

Eine weitere Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass das elektronische Modul mit zumindest einem, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten, Isolierkörper hergestellt wird, wobei vor dem Bereitstellen des elektronischen Moduls der Isolierkörper auf den Differenzdrucksensor aufgebracht wird. Der Isolierkörper schützt den Differenzdrucksensor insbesondere vor elektrischen Fremdeinflüssen.

Bevorzugterweise wird das mechanische Modul mit einer Überlastmembran im Messwerk bereitgestellt. Dabei wird vor dem Bereitstellen des mechanischen Moduls die erste Trennmembran auf einer ersten Außenseite des Messwerks angeschweißt und die zweite Trennmembran zunächst vorzugsweise auf einem Träger angeschweißt wird, welcher anschließend auf einer der ersten Außenseite gegenüberliegenden zweiten Außenseite des Messwerks angeschweißt wird.

Die Aufgabe wird ferner gelöst durch einen Differenzdruckmessaufnehmer, welcher mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt wird. Der erfindungsgemäße Differenzdruckmessaufnehmer ist aufgrund seines modularen Konzepts einfacher und kostengünstiger herstellbar als herkömmliche Differenzdruckmessaufnehmer. Insbesondere werden die beiden Module, das elektronische und das mechanische, unabhängig voneinander gefertigt.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der nachfolgenden Figuren Fig. 1-5 näher erläutert. Sie zeigen:

Fig. 1 : eine schematische Ausgestaltung des elektronischen Moduls.

Fig. 2: eine schematische Ausgestaltung des mechanischen Moduls.

Fig. 3: eine schematische Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmers.

Fig. 4: eine erste schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Fig. 5: eine zweite schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

In Figur Fig. 1 ist eine schematische Ausgestaltung des elektronischen Moduls 2 des erfindungsgemäßen Differenzdruckmessaufnehmers 1 dargestellt. Das elektronische Modul 2 ist im Wesentlichen rotationssymmetrisch und besteht beispielsweise aus einer Glas-Metall-Durchführung. Am Grundkörper 3 des elektronischen Moduls 2 ist der Differenzdrucksensor 7 angebracht.

Beispielhaft ist der Differenzdrucksensor auf eine Sockelscheibe 17 aufgebracht worden, beispielsweise mittels Bonden. Zudem ist optional em Isolierkörper 18 angebracht, um den Differenzdrucksensor 7 vor unerwünschten elektronischen Einflüssen zu schützen. In einen Innenraum des elektronischen Moduls 2 ist eine Elektronikeinheit 6 eingebracht, welche mit dem Differenzdrucksensor 7 in Kontakt steht. Weiterhin ist eine äußere Mantelfläche des elektronischen Moduls 2 als ein Gehäuseadapter 5 ausgeformt, so dass nach einem Zusammenbau des elektronischen Moduls 2 mit dem mechanischen Modul 8 das Gehäuse 4 auf den damit korrespondierenden Gehäuseadapter 5 aufgesetzt werden kann. Durch das elektronische Modul 2 führen weiterhin Druckübertragungsleitungen 16, um den Differenzdrucksensor 7 mit dem ersten Druck p1 und dem zweiten Druck p2 zu beaufschlagen. Die Auflagefläche 13 dient nachher dazu, das elektronische Modul 2 bis zu einer definierten Tiefe in die Ausnehmung 12 des mechanischen Moduls 8 einzubringen. Das elektronische Modul 2 wird zunächst separat gefertigt und dem weiteren Herstellungsprozess des Differenzdruckmessaufnehmers 1 bereitgestellt.

Das bereitgestellte mechanische Modul 8 ist in einer beispielhaften Ausgestaltung in Fig. 2 dargestellt. Am Messwerk 9 besteht beispielsweise aus zwei Trägerscheiben 21 , auf welchen jeweils die zweite Trennmembran 11 und die erste Trennmembran 10 angeschweißt sind. Die beiden Trägerschreiben 21 bilden das Messwerk 9 des mechanischen Moduls 8, welches weiterhin eine optionale Überlastmembran 19 aufweist, welche zwischen den beiden Trägerscheiben 21 eingeschweißt ist. Druckübertragungsleitungen 16 führen jeweils von der ersten Trennmembran 10 und der zweiten Trennmembran 11 über die Überlastmembran 19 zum Differenzdrucksensor 7, um diesen mit dem ersten Druck p1 und dem zweiten Druck p2 zu beaufschlagen und daraus einen Differenzdruck zu bestimmen. Die im Wesentlichen rotationssymmetrische Ausnehmung 12 dient zur Aufnahme des elektronischen Moduls 2. Die Anschlagfläche 14 definiert in Kombination mit der Auflagefläche 13 eine Tiefe, bis zu dieser das elektronische Modul 2 in das mechanische Modul 8 eingeführt werden kann

In Figur Fig. 3 ist eine mögliche Ausgestaltung des erfindungsgemäßen

Differenzdrucknehmers 1 gezeigt. Das elektronische Modul 2 wurde in die Ausnehmung 12 des mechanischen Moduls 8 eingeführt, bis die Anschlagfläche 14 auf die Auflagefläche 13 trifft. Die beiden Module 2,8 werden an zwei Stellen miteinander verschweißt, um die beiden Druckseiten voneinander zu trennen: einmal im Bereich der Anschlag- und Auflagefläche 13,14, siehe die Schweißnaht 22, und einmal im Mündungsbereich der Ausnehmung 12, welches die axiale Schweißnaht 20 ergibt. Die Anschlagfläche 14 kann alternativ mit der Auflagefläche 13 verklebt werden. Am Gehäuseadapter 5 ist letztlich das Gehäuse 4 angebracht.

In Figur Fig. 4 ist das erfindungsgemäße Verfahren schematisch dargestellt. Im ersten Schritt 101 wird das elektronische Modul 2 bereitgestellt, welches wie in Fig. 1 gezeigt, mit einem Grundkörper 3, einem Gehäuseadapter 5, einer Elektronikeinheit 6 im Innenraum des Grundkörpers 3 sowie dem Differenzdrucksensor 7 hergestellt wurde. Im zweiten Schritt 102 wird das mechanische Modul 8 bereitgestellt, welches entsprechend der Ausgestaltung in Fig. 2 mit einem Messwerk 9 und zwei darauf vorgesehenen Trennmembranen 10,11 , sowie der Ausnehmung 12 hergestellt wurde. Der erste Schritt 101 und der zweite Schritt 102 können dabei gleichzeitig beginnen, so dass das elektronische Modul 2 und das mechanische Modul 8 parallel hergestellt und bereitgestellt werden, wie in Fig. 5 schematisch dargestellt.

Da die äußere Kontur des elektronischen Moduls 2 mit der inneren Kontur der Ausnehmung 12 so abgestimmt ist, dass das elektronische Modul 2 in die Ausnehmung 12 einführbar ist, erfolgt nun im dritten Schritt 103 das Einbringen des elektronischen Moduls 2 in die Ausnehmung 12 des mechanischen Moduls 8. Das elektronische Modul 2 wird dabei so tief in die Ausnehmung 12 eingebracht, bis die Auflagefläche 13 auf die Anschlagfläche 14 des mechanischen Moduls 8 trifft.

Im vierten Schritt 104 des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zumindest die Auflagefläche 13 des elektronischen Moduls 2 mit der Anschlagfläche 14 verschweißt oder verklebt. Im fünften Schritt 105 wird das elektronische Modul 2 mit dem mechanischen Modul 8 im Mündungsbereich 15 der Ausnehmung 12 axial und um laufend verschweißt. Da die beiden Druckseiten nun voneinander getrennt sind, kann im sechsten Schritt 106 das Befüllen der mindestens zwei Druckübertragungsleitungen 16 mit einer Druckübertragungsflüssigkeit erfolgen. Im letzten Schritt 107 wird schließlich das Gehäuse 4 auf den Gehäuseadapter 5 aufgesetzt.

Bezugszeichenhste

1 Differenzdruckmessaufnehmer

2 elektronisches Modul

3 Grundkörper

4 Gehäuse

5 Gehäuseadapter

6 Elektronikeinheit

7 Differenzdrucksensor

8 mechanisches Modul

9 Messwerk

10 erste Trennmembran

11 zweite Trennmembran

12 Ausnehmung

13 Auflagefläche

14 Anschlagfläche

15 Mündungsbereich der Ausnehmung

16 Druckübertragungsleitungen

17 Sockelscheibe

18 Isolierkörper

19 Überlastmembran

20 axiale Schweißnaht

21 Trägerscheibe

22 Schweißnaht zwischen Anschlags- und Auflagefläche