Title:
基板処理装置用ブロックバルブ及び基板処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023536809
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、収縮と膨張をする開閉部を有するバルブ部と、前記開閉部を駆動する駆動部、前記開閉部が収容される収容部を含むブロック本体を含み、前記ブロック本体は、前記収容部に連結したガス流入口、および前記収容部に連結したガス流出口とを含み、前記開閉部は、前記収容部内で前記ガス流入口または前記ガス流出口を開閉する、基板処理装置用ブロックバルブおよび基板処理装置に関するものである。
More Like This:
| JPH0521347 | SPUTTERING DEVICE |
| JPH11323537 | ELECTRON BEAM APPLYING METHOD OF LEADERLESS COATING |
Inventors:
Minmyungki
re tae ho
re tae ho
Application Number:
JP2023503498A
Publication Date:
August 30, 2023
Filing Date:
May 25, 2021
Export Citation:
Assignee:
Jusun Engineering Company Limited
International Classes:
C23C14/54; F16K27/02; C23C16/455; F16K27/00; F16K51/02; H01L21/31
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Haruka International Patent Office